大學(xué)物理 靜電防護(hù)演講報(bào)告

靜電防護(hù)講座一、序言四、ESD對(duì)電子產(chǎn)品損害的特點(diǎn)六、ESD對(duì)電子產(chǎn)品損害的一般機(jī)理二、靜電的產(chǎn)生三、ESD的四種基本模型五、浪涌（Surge)的概念及其危害七、ESD的防護(hù)辦法八、部分ESD國(guó)際和國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)指兩個(gè)具有不同電位的物體，由于直接接觸或靜電電場(chǎng)感應(yīng)引起的兩個(gè)物體間的靜電電荷的轉(zhuǎn)移。*)靜電放電ElectroStaticDischarge（ESD）：直接接觸（機(jī)器）接觸電（磁）場(chǎng)感應(yīng)一、序言：*)靜電ElectroStatic（ES）：靜電就是靜止的電荷ElectroStaticCharge（ESC）。不同放電形式的發(fā)生，與放電的電極形狀、材質(zhì)距離、阻抗、數(shù)量有密切的關(guān)係，同時(shí)亦會(huì)產(chǎn)生不同的危害。*）靜電放電（ESD）分類：1.火花放電（SparkDischarge）2.電暈放電（CoronaDischarge）3.刷狀放電（Brush

Discharge）4.大量粉堆放電（Bulk

Powder

Discharge）5.射狀放電（Propagation

BrushDischarge）*)二十世紀(jì)中后期靜電危害震驚世界：*）美國(guó)從1960年到1975年由于靜電引起的火災(zāi)爆炸事故達(dá)116起！*)1969年底在不到一個(gè)月的時(shí)間內(nèi)荷蘭、挪威、英國(guó)三艘20萬噸超級(jí)油輪洗艙時(shí)產(chǎn)生的靜電引起相繼發(fā)生爆炸以后引起了世界科學(xué)家對(duì)靜電防護(hù)的關(guān)注!*)我國(guó)在石油企業(yè)發(fā)生了30多起較大的靜電事故，其中損失達(dá)百萬元以上的有數(shù)起!*)1971年IEEE-IAS-EPC第一次召開靜電學(xué)術(shù)會(huì)議。*)1982年國(guó)際靜電放電協(xié)會(huì)（EOS/ESD）成立并每年召開一次大規(guī)模的國(guó)際靜電放電會(huì)議。從此，ESD問題越來越受到重視!*)1970年在維也納奧地利召開了歐洲靜電學(xué)會(huì)（EFCE）第一次學(xué)術(shù)交流會(huì)，以后每4年開一次!*)ESD造成火箭飛行失敗統(tǒng)計(jì)表：序號(hào)火箭名稱飛行試驗(yàn)代號(hào)時(shí)間高度/KM真空度/mmHg故障簡(jiǎn)況及原因1民兵IFTM-50219627.6316ESD造成制導(dǎo)計(jì)算機(jī)故障,I級(jí)發(fā)動(dòng)機(jī)關(guān)閉前自毀,發(fā)射失敗2民兵IFTM-503196221.839.6ESD造成制導(dǎo)計(jì)算機(jī)故障,I級(jí)發(fā)動(dòng)機(jī)關(guān)閉前自毀,發(fā)射失敗3歐羅尼IIF-II1971277.94ESD使制導(dǎo)計(jì)算機(jī)阻塞,姿態(tài)失控,約一分鐘后火箭I、II級(jí)過載自毀發(fā)射失敗4偵察兵S-112196438-423.09-1.86電爆管橋絲和殼體之間因電弧擊穿，II級(jí)發(fā)動(dòng)機(jī)自毀系統(tǒng)爆炸，發(fā)射失敗5偵察兵5128196438-423.09-1.86電爆管橋絲和殼體之間因電弧擊穿，II級(jí)發(fā)動(dòng)機(jī)自毀系統(tǒng)爆炸，發(fā)射失敗6大力神IIICC-101967268.94ESD使制導(dǎo)計(jì)算機(jī)故障后自動(dòng)轉(zhuǎn)移到應(yīng)急后備狀態(tài)7大力神IIICC-1419671752ESD使制導(dǎo)計(jì)算機(jī)故障后，經(jīng)地面發(fā)射指令，修正到預(yù)定軌道8德爾安23131974制導(dǎo)系統(tǒng)控制器件故障，火箭翻滾，發(fā)射失敗就電子工業(yè)而言，靜電放電能夠改變半導(dǎo)體器件的電氣特性，使之退化或者完全毀掉。靜電放電還可能干擾電子系統(tǒng)的正常運(yùn)行，導(dǎo)致器件故障或癱瘓。1、第一艘阿波羅載人宇宙飛船，由于靜電放電(ESD)導(dǎo)致火災(zāi)和爆炸，三名宇航員全部喪生！

2、日本IC生產(chǎn)中的不合格器件有45%是由靜電造成的！3、早在1988年美國(guó)因ESD影響損失50億美元！4、90年代初北京某公司試生產(chǎn)的高檔數(shù)字萬用表，由于IC沒注意防靜電，使其產(chǎn)品大部分不合格！5、華為公司：某批含E-5射頻放大器的GSM單板失效率達(dá)15%，失效形式表現(xiàn)為功能完全喪失，分析表明是受偶然的電浪涌燒傷，如漏電、ESD所致。某批CC08ASL用戶板上二極管RD5和RD6不良率達(dá)90%，經(jīng)分析確定為靜電損傷！

現(xiàn)代許多高速超大規(guī)模集成電路碰到僅幾十伏或更低的靜電就會(huì)遭到損壞。也就是說當(dāng)你接觸這些電路時(shí)，你既沒有感覺到又沒有看到更沒有聽到靜電放電時(shí)，這塊電路就已部分損傷或完全損壞，而你可能還在找其硬件或軟件的原因。你可能還沒有意識(shí)到真正的元兇就是靜電這個(gè)“幽靈”!靜電放電已成為高科技現(xiàn)代化工業(yè)的恐怖主義者！二、靜電的產(chǎn)生：丹麥物理學(xué)家波爾及其原子結(jié)構(gòu)模型原子的行星模型原子的原子核模型任何物質(zhì)都是由原子組合而成，原子則由原子核和電子所組成，原子核又由質(zhì)子、中子所組成。質(zhì)子帶正電，中子不帶電，電子帶負(fù)電

。在正常狀況下，一個(gè)原子的質(zhì)子數(shù)目與電子數(shù)目相等，正負(fù)電荷平衡，所以對(duì)外表現(xiàn)出不帶電的現(xiàn)象。而由于外界作用,如摩擦或以各種能量：如動(dòng)能、位能、熱能、化學(xué)能等的形式作用會(huì)使原子的正負(fù)電荷打破平衡。任何兩個(gè)不同材質(zhì)的物體只要接觸后分離就能產(chǎn)生靜電！物質(zhì)A(電荷平衡)接觸

分離物質(zhì)B(帶負(fù)電荷)物質(zhì)A(帶正電荷)物質(zhì)B(電荷平衡)靜電是正負(fù)電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡時(shí)所造成的結(jié)果。*)

靜電放電（ESD）的特點(diǎn):可達(dá)數(shù)萬至數(shù)十萬伏，操作時(shí)常達(dá)數(shù)百和數(shù)千伏（人通常對(duì)3.5KV以下靜電不易感覺到）。

1）高電位：靜電流多為微安級(jí)（尖端放電例外）。2）低電量：3）作用時(shí)間短：

特別是濕度，濕度上升則靜電積累減少，靜電壓下降。

4）受環(huán)境影響大：靜電放電時(shí)間只有微秒級(jí)。

靜電放電是高電位，強(qiáng)電場(chǎng)，瞬時(shí)大電流的過程。三、靜電放電（ESD）的四種基本模型:一）人體對(duì)器件直接靜電放電（人體HBM）模型；三）器件自身發(fā)生靜電放電（充電CDM）模型；四）電（磁）場(chǎng)感應(yīng)靜電放電（感應(yīng)FIM）模型。HBMMMFIMCDM二）機(jī)器靜電放電（機(jī)器MM）模型；一)人體對(duì)器件直接靜電放電(人體HBM)模型：指因人體上已積累靜電電荷,當(dāng)此時(shí)去碰觸IC，人體上的靜電便會(huì)經(jīng)由IC的引線進(jìn)入IC內(nèi)，再經(jīng)由IC放電到地。人體是最普遍存在的靜電危害源！對(duì)于靜電來說人體是導(dǎo)體！*)人體帶電電位與靜電電擊強(qiáng)度的關(guān)系:人體電位（V）電擊程度說明1000完全無感覺發(fā)出微弱的放電聲2000手指外側(cè)有感覺，但不痛3000有針刺的感覺，微痛4000有針刺的感覺，手指微痛見到放電的微光5000從手掌到前腕感到痛指間延伸出微光6000手指感到巨痛，后腕感到沉重7000手指和手掌感到巨痛，稍有麻木感覺8000從手掌到前腕有麻木的感覺9000手腕子感到巨痛，手感到麻木沉重10000整個(gè)手感到痛，有電流的感覺11000手指巨麻，整個(gè)手感到被強(qiáng)烈電擊12000整個(gè)手感到被強(qiáng)烈地打擊*)人體帶電的規(guī)律：A.人活動(dòng)的速度越快，則起電速率越大，飽和帶電量越大，帶電電位越高：這是因?yàn)槿梭w的活動(dòng)速度越大，引起接觸分離的機(jī)會(huì)越多的緣故。比如，同是穿塑料底鞋的人在工業(yè)橡膠地面上行走，走的快時(shí)起電可達(dá)2500V，走的慢時(shí)只有800V。所穿鞋子動(dòng)

作產(chǎn)生靜電壓(Volts)皮

鞋原地慢速踏步150~200原地快速跑步200~250球鞋原地慢速踏步200~250原地快速跑步250~350B.人體對(duì)地電阻越大，則人的飽和帶電量越大，帶電電位越高：這是因?yàn)槿梭w對(duì)地電阻越大，靜電越不容易向大地泄漏的緣故。人體對(duì)地電阻在干燥環(huán)境時(shí)比潮濕時(shí)大，故而在干燥地面上活動(dòng)的人帶電電位高于潮濕地面上活動(dòng)的人。人體活動(dòng)使部分機(jī)械能轉(zhuǎn)換為電能，瞬間放電功率達(dá)90KW！人體帶靜電等效電路:I是起電率，與人的活動(dòng)速率有關(guān)；C是人體對(duì)地電容，它主要由腳對(duì)地電容決定，并且受到人體姿勢(shì)、鞋底厚度、周圍環(huán)境的影響；人體電量Q由下式表示:Q(t)=idtR是人體電阻，有一定的離散性；人體對(duì)地電壓V(t)隨Q(t)變化:V(t)=Q(t)/CICR*)行走時(shí)，人就不斷處于充放電過程中：

人在地毯上行走，當(dāng)腳抬起時(shí)，鞋底與地毯分離，鞋底電荷流向人體，起充電作用。同時(shí)，人體電荷通過落地腳向地毯泄漏。行走時(shí)，人就不斷處于充放電過程中。如果鞋底電阻率夠大，則電荷會(huì)在人體積聚。*)人體釋放靜電的I-T關(guān)系曲線:100ns1ns人體靜電放電時(shí)間T(s)T(s)靜電電流強(qiáng)度I(A)40(A)C.人的服裝表面電阻率越大，人的飽和帶電量越大：這是由于隨著服裝表面電阻率增大，靜電不易泄漏的緣故。比如，在外界條件相同時(shí)，棉布的表面電阻率低于尼龍織物的表面電阻率，因此，尼龍織物的飽和帶電量和帶電電位比棉布的高。D.環(huán)境（空氣）的相對(duì)濕度越大，人體的飽和帶電量越小：這是由于濕度增大時(shí)，在服裝纖維表面形成薄薄的一層水膜，而使其表面電阻率降低，從而增加靜電沿服裝向大地泄漏。比如，當(dāng)相對(duì)濕度低于30％時(shí)，棉布工作服也可產(chǎn)生較高的靜電電位，而相對(duì)濕度高于70％時(shí)，大多數(shù)衣料都不會(huì)積聚靜電。*)電子行業(yè)工作人員日常發(fā)生ESD強(qiáng)度和相對(duì)濕度的關(guān)系：人體的活動(dòng)狀況靜電電壓（V）10～20%RH40%RH55%RH65～90%RH人在地毯上行走350001500075001500人在塑料地板上行走1200050003000250拿TEFLON的硅片架300001200坐在椅子上工作的人6000(12000)50003000100翻閱塑面說明書文件7000600拿起普通聚乙烯袋200001000坐在聚氨脂泡沫墊上180001500從包裝箱上拿出泡沫26000200007000無接地措施時(shí)人體運(yùn)動(dòng)6000800400穿合適腳帶在防靜電地板行走∠15二）機(jī)器靜電放電（機(jī)器MM）模型；機(jī)器放電（MM）模式的ESD是指機(jī)器(例如機(jī)械手臂、導(dǎo)電工具)本身累積了靜電，當(dāng)此機(jī)器去碰觸到IC時(shí)，該靜電便經(jīng)由IC的pin放電。三）器件自身發(fā)生靜電放電(充電CDM)模型：充電模式（CDM）指IC先因磨擦或其它因素而在IC內(nèi)部累積了靜電，但在靜電累積的過程中IC并未被損傷。此帶有靜電的IC在處理過程中，當(dāng)其pin去碰觸到接地面時(shí)，IC內(nèi)部的靜電便會(huì)經(jīng)由pin自IC內(nèi)部流出來，而造成了放電的現(xiàn)象。*)兩個(gè)零部件裝配時(shí)發(fā)生摩擦產(chǎn)生靜電放電：在插入SCART連接器時(shí)出現(xiàn)靜電放電（電火花）*)生產(chǎn)車間靜電產(chǎn)生的來源:車間工作臺(tái)面、地板、座椅、包裝材料及操作工具等都是靜電產(chǎn)生的主要來源，下表是幾種主要的靜電源：靜電源說明工作臺(tái)面打臘,粉刷或清漆表面,未處理的聚乙烯塑料玻璃地板灌封混凝土,打臘或成品木材,地瓷磚和地毯服裝和人員非ESD防護(hù)服,非ESD防護(hù)鞋,合成材料,頭發(fā)座椅成品木材,聚乙烯類,玻璃纖維,絕緣車輪包裝和操作材料塑料帶,包,封套,泡沫塑料,苯聚乙烯泡沫塑料,非ESD防護(hù)料盒,托盤,容器組裝工具和材料高壓射流,壓縮空氣,合成毛刷,熱風(fēng)機(jī),吹風(fēng)機(jī),復(fù)印機(jī),打印機(jī)四）電（磁）場(chǎng)感應(yīng)放電(感應(yīng)FIM)型：即有強(qiáng)電場(chǎng)圍繞，這是來之于塑性材料或強(qiáng)電場(chǎng)會(huì)發(fā)生電子轉(zhuǎn)化跨過氧化層。若電位差超過氧化層的介電常數(shù)則會(huì)產(chǎn)生電弧以破壞氧化層，其結(jié)果為短路。（其它還有：場(chǎng)增強(qiáng)模型、人體金屬模型、電容耦合模型、懸浮器件模型等等，只是描述方式的不同）。

*)開關(guān)電源在正常工作時(shí)會(huì)向周圍空間散發(fā)大量的高頻電磁波，這些電磁波集聚在機(jī)殼上形成靜電并聚集，當(dāng)有合適泄放回路和有人接觸機(jī)殼時(shí)就會(huì)對(duì)外放電，使用人就會(huì)有“電擊”的感覺。*)靜電物理參數(shù)表示法:1.電荷量：靜電的實(shí)質(zhì)是存在剩余電荷。電荷是所有有關(guān)靜電現(xiàn)象本質(zhì)方面的物理量。電位、電場(chǎng)、電流等有關(guān)的量都是由于電荷的存在或電荷的移動(dòng)而產(chǎn)生的物理量。表示靜電電荷量的多少用電量Ｑ表示，其單位是庫侖Ｃ，由于庫侖的單位太大通常用微庫或納庫表示：1庫侖＝1000000微庫(μC)

1微庫＝1000納庫(nC)

2.靜電電壓：其單位為伏，但由于靜電電壓通常很高，因此常用一個(gè)較大的單位-千伏(kV)3.電阻和電阻率：體電阻是指材料兩端之間的直流電壓與通過電流的比值，它的單位也是歐姆。四、ESD對(duì)電子產(chǎn)品損害的特點(diǎn)：一）隱蔽性：ESD造成電子產(chǎn)品的損害中，活動(dòng)的人體帶電是一個(gè)重要因素！一般情況下，人體所帶靜電電位都在1～2KV的范圍，在此電壓水平的靜電人體一般并無直觀感覺，而電子元件卻在不知不覺中受到損壞！請(qǐng)記住：人體僅能感受到超過3000V的靜電壓，但部分敏感元器件所能夠承受的卻僅有20V！二）失效分析的復(fù)雜性：靜電放電損傷的失效分析工作，因電子產(chǎn)品的精細(xì)微小結(jié)構(gòu)特點(diǎn)而費(fèi)時(shí)費(fèi)力！另外，靜電損傷現(xiàn)象也難以與其它原因造成的損傷加以區(qū)別！*)電致發(fā)光Electro-Luminescence（EL）檢測(cè)法：*)電子束感應(yīng)電流（EBIC）檢測(cè)法：(ElectroBeamInducedCurrent)(EBIC)未遭受ESD損傷的EBID圖象已遭受ESD損傷的EBID圖象三）損傷具有潛在性：有些電子元器件受靜電損傷后，僅表現(xiàn)出產(chǎn)品某些性能參數(shù)的下降，但尚未達(dá)到完全失效的程度，不進(jìn)行全面測(cè)試往往無法發(fā)現(xiàn)，在繼續(xù)使用的情況下可能發(fā)生致命的失效，難以預(yù)料又不可實(shí)現(xiàn)篩選。據(jù)統(tǒng)計(jì)資料表明：潛在性緩慢失效占電子靜電放電失效總數(shù)的90%，因此其危害性甚大。四）損傷的隨機(jī)性：只要電子元器件接觸和靠近超過其靜電放電敏感電壓閾值的情況存在，就可能發(fā)生損傷，從加工制造到用戶使用維護(hù)的任一環(huán)節(jié)都有可能發(fā)生，具有很大的隨機(jī)性！

*)哪些電子工業(yè)過程會(huì)產(chǎn)生靜電危害:元器件從生產(chǎn)到使用的整體過程中都會(huì)產(chǎn)生靜電，依各個(gè)階段可分為：1.元件制造過程：在這個(gè)過程，包含制造，切割、接線、檢驗(yàn)到交貨。2.印刷電路版生產(chǎn)過程：收貨、驗(yàn)收、儲(chǔ)存、插入、焊接、品管、包裝到出貨。3.設(shè)備制造過程：電路板驗(yàn)收、儲(chǔ)存、裝配、品管、出貨。4.設(shè)備使用過程：收貨、安裝、試驗(yàn)、使用及保養(yǎng)。5.設(shè)備維修過程：電子設(shè)備拆卸、檢驗(yàn)等。在這整個(gè)過程中，不但包裝因移動(dòng)容易產(chǎn)生靜電外，而且整個(gè)包裝容易暴露在外界電場(chǎng)(如經(jīng)過高壓設(shè)備附近，工人移動(dòng)頻繁、車輛迅速移動(dòng)等)而受到破壞，所以傳送與運(yùn)輸過程需要特別注意以減少損失，避免無謂之糾紛。而實(shí)際上，最主要而又容易疏忽的一點(diǎn)卻是在元件的傳送與運(yùn)輸?shù)倪^程。*)開啟熒光燈開關(guān)導(dǎo)致Laser失效：1）征兆：以激光二極管驅(qū)動(dòng)用定電壓電源測(cè)試激光二極管的特性時(shí)，激光二極管突然被擊穿。2）原因：在旁邊工作的某甲當(dāng)接通同一交流線上的熒光燈開關(guān)時(shí)，突然發(fā)生～1600伏的浪涌，由于這一浪涌竄入激光二極管驅(qū)動(dòng)電源的交流輸入電路中，激光二極管一瞬間為過電流擊穿。

ESD問題表面上看來只影響了生產(chǎn)產(chǎn)品的成品率，但實(shí)際上亦影響到了行業(yè)內(nèi)各層次制造商的產(chǎn)品質(zhì)量，導(dǎo)致整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈都會(huì)受到影響！如：系統(tǒng)維護(hù)、維修及引起顧客不滿而導(dǎo)致公司聲譽(yù)受損等等。五）嚴(yán)重性：*）ESD危害流程圖靜電分離電荷積累在設(shè)備上電荷積累在產(chǎn)品上電荷逸散電荷放電電荷放電引燃（化工）/產(chǎn)品品質(zhì)不良（電子業(yè)）ESD半導(dǎo)體損壞率的分配：59%都是由靜電引致的！*)ESD的破壞性：

由SemiconductorReliability提供資料(March,1993):*)靜電平均損失報(bào)告：

工業(yè)領(lǐng)域的有關(guān)專家曾作過估計(jì)，由于靜電所造成的平均產(chǎn)品損失大約在8~33%之間，見下表：數(shù)據(jù)來源：

StephenHalperin《GuidelinesforStaticControlManagement》，Eurostat，1990

描述最小損失最大損失估計(jì)平均損失制造商4%97%16-22%分包商3%70%9-15%承包商2%35%8-14%用戶5%70%27-33%*)靜電對(duì)電子產(chǎn)品損害的四種形式:靜電的基本物理特性為：吸引或排斥，與大地有電位差，會(huì)產(chǎn)生放電電流。這些特性能對(duì)電子元器件產(chǎn)生下列影響：1．靜電吸附灰塵，降低元件絕緣電阻（縮短壽命）。2．靜電放電破壞，使元件受損不能工作(完全破壞)。

3．靜電放電電場(chǎng)或電流產(chǎn)生的熱，使元件受傷（潛在損傷）。4．靜電放電產(chǎn)生的電磁場(chǎng)幅度很大（達(dá)幾百伏/米）頻譜極寬（從幾十兆到幾千兆），對(duì)電子產(chǎn)器造成干擾甚至損壞（電磁干擾）。*)ESD造成LED芯片損傷的SEM照片:LED芯片球焊點(diǎn)局部放大右上角局部放大左下角局部放大左上角局部放大ESD*)某國(guó)外公司Laser-ESD退化實(shí)驗(yàn)檢測(cè)結(jié)果：注意到：器件發(fā)生退化的ESD電壓為1400V.ForwardCurrentIf(mA)OpticalOutputPowerPO(mW)ForwardL/ICharacteristicsofInGaAsPafterreverse-biasedESDStressingatvariousvoltage.*)某國(guó)外公司Laser-ESD退化實(shí)驗(yàn)檢測(cè)結(jié)果：1230546501000ForwardCurrentIf(mA)OpticalOutputPowerPO(mW)注意到：器件發(fā)生退化的ESD電壓僅為60V。*)部分常用電子器件所能承受靜電破壞的靜電電壓：產(chǎn)品名稱靜電破壞電壓晶體管30～7000微型運(yùn)算器200～2500二極管200～2500薄膜電阻200～2500低功率邏輯集成電路200～2500*)部分電子器件所能承受靜電破壞的靜電電壓：器件類型靜電破壞電壓（V）器件類型靜電破壞電壓（V）Vmos30～1800OP-AMP190～2500MOSFET100～200JEFT140～1000GaAsFET100～300SCL680～1000PROM100STTL300～2500CMoS250～2000DTL380～7000HMOS50～500肖特基二極管300～3000E／DMOS200～1000雙極型晶體管380～7000ECL300～2500石英壓電晶體＜10000五、浪涌（Surge）的概念及其危害：浪涌是電路中出現(xiàn)的一種短暫的電流、電壓波動(dòng)，也稱為瞬態(tài)過電應(yīng)力ElectricalOverStress(EOS)。在電路中通常持續(xù)時(shí)間約10-6秒，220V電路系統(tǒng)中持續(xù)瞬間（10-6秒）的電壓波動(dòng)在5000V～10000V之間。0510152025電壓值79111519232713591315日期某機(jī)房ODE（高頻頭）電源電壓中混雜的浪涌電壓

EOS損傷現(xiàn)象：器件發(fā)生誤動(dòng)作、器件pn結(jié)或介質(zhì)層漏電、甚至金屬化互連線或內(nèi)引線發(fā)熱燒毀和開路等。*)浪涌電壓主要由以下幾種情況造成：浪涌電壓分類產(chǎn)生浪涌電壓的原因雷擊直擊雷雷擊直接電擊電源或信號(hào)線路等感應(yīng)雷由空間電磁場(chǎng)引起的靜電感應(yīng)、電磁感應(yīng)等感應(yīng)回路線路浪涌故障浪涌相線對(duì)地線短路引起的過電壓、相線開路引起的過電壓（負(fù)載不均）等其他原因系統(tǒng)開關(guān)過電壓無負(fù)載時(shí)開關(guān)對(duì)開關(guān)切斷電流、電容性或電感性負(fù)載開關(guān)、整流等其他原因電磁感應(yīng)EMI/RFI使用電機(jī)、電吹風(fēng)、無線電話等等靜電感應(yīng)人體靜電、摩擦靜電等等*)浪涌造成的退化測(cè)試和失效分析舉例：*)浪涌引起的鏡面退化舉例：*)釬焊激光器管腳導(dǎo)致Laser失效：1）征兆：2）原因：經(jīng)裝配后的LD在開啟工作電源時(shí)，激光器已然失效。釬焊烙鐵未接地，市電波動(dòng)通過烙鐵直接加到激光器而導(dǎo)致激光器失效。*)開啟工作電源而導(dǎo)致Laser退化：1）征兆：開啟工作電源時(shí)，激光器突然失效。2）原因：開啟工作電源時(shí)，CR延遲電路電流過大，經(jīng)由自動(dòng)功率控制（APC）電路加到激光器上，導(dǎo)致激光器發(fā)生失效。*)

ESD作用對(duì)壽命實(shí)驗(yàn)的影響:ESD條件：Vstress=50V；R=0Ω；C=200PF;5次正向浪涌。測(cè)試條件：溫度(Ta)=60度；輸出功率(P0)=5mW.未受ESD作用壽命實(shí)驗(yàn)曲線遭受ESD作用壽命實(shí)驗(yàn)曲線六、ESD對(duì)電子產(chǎn)品損害的一般機(jī)理:是指靜電電壓作用于半導(dǎo)體器件PN結(jié)上而導(dǎo)致其PN結(jié)正、反向擊穿，后果是該器件永久性損毀！對(duì)于半導(dǎo)體激光器來說，檢測(cè)器件的正、反向電阻為零（或接近于零）或開路，此時(shí)光功率也為零！一）電壓擊穿：OiD正向特性反向特性u(píng)D激光器伏-安（V-A）特性*）雪崩效應(yīng)：電壓擊穿開始時(shí)往往先在某一電壓下在介質(zhì)個(gè)別點(diǎn)上出現(xiàn)所謂網(wǎng)點(diǎn)擊穿，以后只要在較低的電壓下即可出現(xiàn)大片區(qū)域的雪崩式擊穿，造成器件永久性損毀。二）功率擊穿：功率擊穿則與靜電放電脈沖有關(guān)，它與瞬時(shí)脈沖的形狀，持續(xù)時(shí)間和能量積聚有關(guān)。靜電放電電流流過器件內(nèi)部引起PN結(jié)的溫度升高，或超過其熔化點(diǎn)，有的可能燒毀內(nèi)部連接導(dǎo)線，有的引起合金化或造成金屬的擴(kuò)散，最終造成器件永久性的破壞！

PN結(jié)熔融后的SEM照片內(nèi)部引線燒熔的放大照片三）軟擊穿：往往當(dāng)時(shí)并未發(fā)現(xiàn)器件有明顯的損壞，但在今后隨時(shí)都可能出現(xiàn)失效，對(duì)今后電子設(shè)備的使用和維修帶來極大的隱患！需要著重強(qiáng)調(diào)的是：對(duì)于半導(dǎo)體激光器來說，檢測(cè)到其伏-安（V-I）特性正常，但是不一定就有激光輸出！OiD正向特性反向特性u(píng)D以伏-安特性來判斷LD的好壞，一般是檢測(cè)LD的正反向電阻值是否正常。退化后*)日本NEC公司一份統(tǒng)計(jì)，每年因靜電損壞的IC比例：CMOS器件：79％線形IC:12%MOS存儲(chǔ)器：12％Intel的研究表明，在引起電腦故障的諸多因素中，ESD是最大的隱患，將近一半的電腦故障都是由EOS／ESD引起的。*）ESD已成為當(dāng)今電腦的頭號(hào)殺手七、靜電防護(hù)方法：在電子產(chǎn)品生產(chǎn)中，主要從兩個(gè)方面進(jìn)行靜電防護(hù)，即防止靜電的積聚和對(duì)積聚的靜電進(jìn)行泄放！常用的靜電防護(hù)方法有：1、接地法：接地消除靜電。接地線必須連接牢靠，避免折斷處產(chǎn)生火花。2、泄露法：采取增濕措施，增大空氣濕度。絕緣體表面濕度增加降低了絕緣性，增大靜電電荷通過表面泄放，相對(duì)濕度70%以上為宜。采用抗靜電強(qiáng)加劑效果更顯著。3、靜電中和法：設(shè)法將靜電荷中和掉。主要采用感應(yīng)中和，外接電源中和器和離子風(fēng)中和法。4、工藝控制法：改進(jìn)工藝，控制靜電積累，從流程、材料、設(shè)備安裝和操作管理上采取措施加以控制。5、消除人體靜電法：應(yīng)穿用導(dǎo)電纖維制作防靜電工作服和導(dǎo)電橡膠制作防靜電鞋等。*)ESD防護(hù)的基本原則：3.防靜電工作區(qū)按電子元器件靜電放電靈敏度確定保護(hù)程度。

2.迅速、安全、有效地消除已經(jīng)產(chǎn)生的靜電荷：1.抑制靜電荷的積聚，嚴(yán)格控制靜電源；*)ESD控制的基本方式：1.做好ESD防護(hù)設(shè)計(jì)：器件選型、合理布線、設(shè)計(jì)保護(hù)電路等。2.消除和減少靜電的產(chǎn)生：減少或消除靜電產(chǎn)生的過程、維持過程和材料處于等電勢(shì)等。3.使靜電荷瀉放與中和：使用靜電導(dǎo)體、接地、電離器來瀉放與中和靜電。4.保護(hù)產(chǎn)品免遭ESD傷害：使用防靜電材料包裝和儲(chǔ)運(yùn)。*)日常生活中靜電防護(hù)(專家支招)：*)靜電防護(hù)領(lǐng)域的常用術(shù)語:1.

地：任何一點(diǎn)的電位按慣例取為零的大地或?qū)щ娢镔|(zhì)。2.接地：電氣連接到能提供或接受大量電荷的物體上（如大地、船舶、運(yùn)載工具的金屬外殼等)。3.靜電接地：將金屬導(dǎo)體（通過接地極）與大地進(jìn)行電氣上的連接，使金屬導(dǎo)體的電位接近大地電位的措施。4.硬接地：直接接地或通過一個(gè)低阻抗地相連。5.軟接地：通過足夠的阻抗接地，把電流限制在人身安全的電平（通常為5MΩ）之下。軟接地所需要的阻抗取決于靠近接地點(diǎn)的人員可能接觸的電壓電平。6.直接接地：將金屬體與大地進(jìn)行導(dǎo)電性連接的一種接地方式。7.間接接地：為使金屬以外的物體進(jìn)行靜電接地，將其表面的全部或局部與接地的金屬體緊密相接的一種接地方式。8.靜電放電接地裝置：一個(gè)公共裝置，在靜電放電防護(hù)工作區(qū)內(nèi)與該裝置連接的元器件被接地。12.靜電連接：將彼此間沒有良好導(dǎo)電通路的物體進(jìn)行導(dǎo)電性連接，使相互間大體上處于相同電位的措施。11.對(duì)地電壓：帶電體與大地之間的電位差(令大地電位為零)。9.人體接地：通過使用導(dǎo)電墊、導(dǎo)電地面、導(dǎo)電鞋或其他各種接地用具使人體與大地保持通導(dǎo)狀態(tài)的措施。10.接地（電）極：埋入大地以便與大地良好接觸的導(dǎo)體或幾個(gè)導(dǎo)體的組合。13.泄露電阻：物體在不帶電的情況下，從被測(cè)點(diǎn)到接地連接系統(tǒng)間的等效電阻。14.泄漏電流：指帶電物體上的電荷通過各種泄漏途徑向大地泄漏的電流。15.靜電泄漏通道：帶電區(qū)的靜電荷通過帶電體內(nèi)部和表面而使之泄漏的途徑。一）產(chǎn)品設(shè)計(jì)中的靜電防護(hù)措施：

保護(hù)電路的基本原理是：使用電壓箝位電路阻止高壓進(jìn)入，同時(shí)提供大電流分流通道。有多種電路設(shè)計(jì)可以達(dá)到ESD保護(hù)的目的，但選用時(shí)必須考慮以下原則，并在性能和成本之間加以權(quán)衡：*速度要快，這是ESD干擾的特點(diǎn)所決定的；*能應(yīng)付大的電流通過；*考慮瞬態(tài)電壓會(huì)在正、負(fù)極性兩個(gè)方向發(fā)生；*對(duì)信號(hào)增加的電容效應(yīng)和電阻效應(yīng)控制在允許范圍內(nèi)；*考慮體積和產(chǎn)品成本因素。一個(gè)良好的電子系統(tǒng)設(shè)備應(yīng)該在電路設(shè)計(jì)的最初階段就考慮瞬態(tài)保護(hù)要求。

激光二極管保護(hù)二極管-+-+一般來說，與外部設(shè)備連接的接口電路都需要加保護(hù)電路。靜電防護(hù)Chip靜電防護(hù)二極管工作原理U二）在靜電安全區(qū)域使用或安裝靜電排除裝置：1.防靜電地面（地板）體電阻105

～109Ω，敷設(shè)地線網(wǎng)。

無防靜電地面或防靜電地墊，單獨(dú)使用防靜電鞋、防靜電服防靜電作用不大，因?yàn)殪o電不能泄放到大地。*防靜電地板（活動(dòng)地板）具體施工步驟:檢測(cè)項(xiàng)目單位指標(biāo)抗壓強(qiáng)度mpa≥70耐磨性（750g/500r）g≤0.03對(duì)混凝土的粘接力混凝土破壞鉛筆硬度H≥2干燥時(shí)間表干h≤4實(shí)干d≥2表面電阻底涂Ω≥1X106中涂≥1X106導(dǎo)電底油≥1X109面涂≥105X109*防靜電地面（自流平）鋪設(shè)后的檢測(cè)項(xiàng)目：*）防靜電地板對(duì)人體的效果：步行狀態(tài)靜止?fàn)顟B(tài)2分鐘2分鐘1分鐘1分鐘對(duì)地電壓50010001500時(shí)間靜電壓V一般地板防靜電地板2.室外接大地：采用埋大地線的方法建立“獨(dú)立”地線。使地線與大地之間的電阻≤4Ω(參見GBJl79或SJ／T10694—1996)防靜電地線不得與電源零線相接，不得與防雷地線共用，使用三相五線制供電時(shí)，其地線可以作防靜電地線。接地桿深度（m)對(duì)大地電阻Ω*)接地電阻與接地桿的深度的關(guān)系：

*兩種室外接地方式：*降阻劑的作用：使用和不使用降阻劑介質(zhì)電阻率的變化曲線：（a）無降阻劑（b）有降阻劑3.儀表接地：外殼在人手和內(nèi)部電路間建立隔離層，阻止ESD的發(fā)生，金屬外殼同時(shí)也是阻止EMI輻射及傳導(dǎo)耦合的關(guān)鍵。如果殼內(nèi)空腔有電荷q，因?yàn)殪o電感應(yīng)，殼內(nèi)壁帶有等量異號(hào)電荷，殼外壁帶有等量同號(hào)電荷，殼外空間有電場(chǎng)存在（圖4），此電場(chǎng)可以說是由殼內(nèi)電荷q間接產(chǎn)生。也可以說是由殼外感應(yīng)電荷直接產(chǎn)生的。但如果將外殼接地，則殼外電荷將消失，殼內(nèi)電荷q與內(nèi)壁感應(yīng)電荷在殼外產(chǎn)生電場(chǎng)為零（圖5）。4.防靜電桌椅、桌墊時(shí)常保持清潔，并保證可靠接地；化纖或棉制工作服與工作臺(tái)面、坐椅摩擦?xí)r，可在服裝表面產(chǎn)生6000V以上的靜電電壓，并使人體帶電，此時(shí)與器件接觸時(shí)，會(huì)導(dǎo)致放電，容易損壞器件。5.工作中，在任何情況下都要穿好防靜電工作服，工作鞋，工作帽，使用手腕帶，指套及腳環(huán)；三）靜電敏感元件（SSD）靜電防護(hù)：1.明確靜電敏感區(qū)，按其級(jí)別劃分工作區(qū)；防靜電工作區(qū)標(biāo)明區(qū)域界限，并在明顯處懸掛警示標(biāo)志，警示標(biāo)志應(yīng)符合GJB1649規(guī)定，有條件的工作區(qū)入口處，應(yīng)配置離子化空氣風(fēng)浴設(shè)備。*)按規(guī)定落實(shí)靜電防護(hù)標(biāo)志:靜電敏感防護(hù)標(biāo)志：表示該物體對(duì)靜電敏感！*)防靜電工程分級(jí)標(biāo)準(zhǔn):防靜電級(jí)別適用場(chǎng)所一級(jí)1.微電子電路制造和測(cè)試場(chǎng)所2.電子產(chǎn)品生產(chǎn)中操作一級(jí)敏感器件場(chǎng)所3.航空、航天、國(guó)家安全等部門的信息管理和指揮中心二級(jí)1.以程控交換機(jī)為代表的各類通訊機(jī)房2.金融、證券系統(tǒng)的結(jié)算中心3.重要經(jīng)濟(jì)部門電力、交通等自動(dòng)化監(jiān)控、調(diào)度系統(tǒng)三級(jí)1.除上述以外的一般計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)2.除上述以外的電子器件和整機(jī)的組裝調(diào)試場(chǎng)所3.智能化建筑中電腦操作場(chǎng)所及重要的公共活動(dòng)場(chǎng)所*)器件敏感度的分級(jí)

:

ESD事件導(dǎo)致的敏感器件受損程度主要取決于器件耗散放電能量或承受電壓的能力，即靜電敏感度（SSD）。定義器件對(duì)應(yīng)指定模型的敏感度。ESD-SSD器件敏感度分級(jí)--人體模型HBM（ESDSTM5.1-1998）

等級(jí)電壓范圍0級(jí)＜250V1A級(jí)

250V~500V（不含500V）1B級(jí)

500V~1000V（不含1000V）1C級(jí)

1000V~2000V（不含2000V）2級(jí)

2000V~4000V（不含4000V）3A級(jí)

4000V~8000V（不含8000V）2.靜電敏感器件應(yīng)采取防靜電保護(hù)性包裝：如防靜電袋、防靜電盒等，靜電敏感器件必須存放在防靜電容器（箱、袋）內(nèi)，并用防靜電運(yùn)輸工具（箱、車）周轉(zhuǎn)。貯運(yùn)中要遠(yuǎn)離靜電場(chǎng)、電磁場(chǎng)或放射場(chǎng)，如電腦顯示器頂部。放置敏感組件的導(dǎo)電容器--遮蔽袋、導(dǎo)電盒等：當(dāng)靜電靠近此容器時(shí)，容器便于組件四周形成保護(hù)作用。3.用離子風(fēng)槍或風(fēng)槍來中和零件上的靜電；不能有效地泄放靜電荷的場(chǎng)合，可采用電離器通過空氣中的正負(fù)離子來防止和中和元器件和其它物體上電荷積累，電離能力大于250V/s。生產(chǎn)線上的除靜電離子風(fēng)機(jī)

4.靜電敏感元器件(SSD)運(yùn)輸、存儲(chǔ)、使用要求A.SSD運(yùn)輸過程中不得掉落在地，不得任意脫離包裝。B.存放SSD的庫房相對(duì)濕度：30-40％RH。C.SSD存放過程中保持原包裝，若須更換包裝時(shí)，要使用具有防靜電性能的容器。D.庫房里，在放置SSD器件的位置上應(yīng)貼有防靜電專用標(biāo)簽。E.發(fā)放SSD器件時(shí)應(yīng)用目測(cè)的方法，在SSD器件的原包裝內(nèi)清點(diǎn)數(shù)量。F.裝配、焊接、修板、調(diào)試等操作人員都必須嚴(yán)格按照靜電防護(hù)要求進(jìn)行操作。

靜電敏感器件應(yīng)盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中，這種防靜電盛放器有良好導(dǎo)電性能，能有效防止靜電的產(chǎn)生。當(dāng)然，有條件的應(yīng)盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。*）操作靜電敏感器件避免碰觸引線腳，線腳是最容易造成組件毀損的傳導(dǎo)路徑！

*）避免在任何工作表面滑動(dòng)靜電敏感組件?；瑒?dòng)造成摩擦并進(jìn)而產(chǎn)生靜電荷！*）靜電敏感器件(SSD)生產(chǎn)、裝卸、使用中,在保證靜電防護(hù)的前提下,同時(shí)也不得不戴指套直接與SSD碰觸!四）定期檢測(cè)靜電防護(hù)系統(tǒng)：1.定期測(cè)試手腕帶及腳環(huán)的接地電阻是否合格；2.定期測(cè)試防靜電鞋的體積電阻是否合格；3.定期測(cè)試桌墊、屏蔽袋的防靜電性能是否合格。按國(guó)軍標(biāo)GJB3007-97規(guī)定，對(duì)EPA的各項(xiàng)技術(shù)要求，必須經(jīng)常性地進(jìn)行檢測(cè)、監(jiān)測(cè)，以維持其各項(xiàng)性能符合規(guī)定要求。檢測(cè)的頻次如下表所列:檢測(cè)頻次項(xiàng)目名稱檢測(cè)方式每日1次環(huán)境溫度、濕度測(cè)量佩帶腕帶、穿靜電服情況下人體對(duì)地電阻測(cè)量穿靜電服、鞋、佩腕帶的穿戴情況目視每周1次防護(hù)臺(tái)面、地板、地墊接地情況目視每月1次靜電電位值測(cè)量靜電消除器的中和能力測(cè)量每季度1次防護(hù)臺(tái)面、地板、地墊對(duì)地電阻和表面電阻測(cè)量電烙鐵接地電阻測(cè)量第1年每季度1次，以后每21個(gè)月1次系統(tǒng)接地電阻測(cè)量*)電子產(chǎn)品制造環(huán)境中防靜電技術(shù)指標(biāo)要求:1.靜電地線與線體地線、防雷地線、工頻電源中線、地線要分開拉設(shè)，其接地電阻值≤4Ω。2.靜電保護(hù)區(qū)內(nèi)的線體、儀器、設(shè)備、工具應(yīng)接地，其接地電阻值≤4Ω。3.靜電手環(huán)、防靜電臺(tái)墊、防靜電地墊限流電阻值為1MΩ～10MΩ。7.靜電膠墊的表面電阻值為106Ω～109Ω。4.腕帶連接電纜電阻1MΩ；佩帶腕帶時(shí)系統(tǒng)電阻1-1OMΩ。腳跟帶(鞋束)系統(tǒng)電阻0．5×105-108Ω。5.料盒、周轉(zhuǎn)箱、PCB架等物流傳遞器具：表面電阻值103-108Ω;摩擦電壓＜100V。

6.物流車臺(tái)面對(duì)車輪系統(tǒng)電阻106-109Ω。10.包裝袋、盒摩擦電壓＜100V。11.防靜電海綿的表面電阻值為105Ω～1011Ω。

9.靜電元件盒和防靜電周轉(zhuǎn)箱的表面電阻值為105Ω～1011Ω。8.集成電路包裝管的表面電阻值為104Ω～1010Ω。12.防靜電鞋的表面電阻值為105Ω～108Ω。13.防靜電手指套表面電阻105Ω～1011Ω

。

14.防靜電手套表面電阻105Ω～1011Ω。15.防靜電地板的表面電阻值為105Ω～1010Ω

。16.防靜電袋的表面電阻值為105Ω～1011Ω。17.防靜電服的表面電阻值為105Ω～1010Ω

。

18.人體綜合電阻106-108Ω。

*)各項(xiàng)防護(hù)措施綜合表:防護(hù)途徑主要內(nèi)容具體措施1.防止靜電的產(chǎn)生1.控制靜電的生成環(huán)境1.濕度控制，在不致導(dǎo)致器材和產(chǎn)品腐蝕生銹或其它危害的前提下，盡量加大濕度。2.溫度控制。3.塵埃控制，防止附著（吸附）帶電的重要措施。4.地板、桌椅面料和工作臺(tái)墊應(yīng)由防靜電材料制成并正確接地。5.靜電敏感產(chǎn)品的運(yùn)送傳遞和存儲(chǔ)和包裝拆包裝應(yīng)采取防靜電措施。2.防止人體帶電1.佩帶防靜電腕帶。2.穿戴防靜電服裝、衣、帽。3.穿戴防靜電鞋襪、腳鏈。4.佩帶防靜電手套、指套。5.嚴(yán)格禁止與工作無關(guān)的人體行動(dòng)（做操、打鬧、吃東西等）。6.進(jìn)行離子風(fēng)浴。3.材料選用要求使用靜電導(dǎo)電材料和靜電耗散材料。4.工藝控制措施1.制定并實(shí)施防靜電操作程序。2.使用防靜電周轉(zhuǎn)、運(yùn)輸盤、盒、箱及其它容器，推車。3.使用防靜電工具（烙鐵、吸錫器等）。4.采用防靜電包裝。防護(hù)途徑主要內(nèi)容具體措施2.減少和消除靜電荷1.接地1.地板和工作桌、椅、臺(tái)面、臺(tái)墊正確接地。2.人體接地。3.工具（烙鐵、吸錫器、臺(tái)架、運(yùn)輸小推車等）接地。4.設(shè)備、儀表等接地。2.中和針對(duì)場(chǎng)所和帶電物體的形狀、特點(diǎn)，消除器具、器材、產(chǎn)品、場(chǎng)所、設(shè)備和人體上的靜電。3.摻雜在非導(dǎo)體材料、器具的表面通過噴、涂、鍍、印、貼的方式附加上一層物質(zhì)以增加導(dǎo)電率，加速電荷的泄露和釋放。3.減少靜電危害1.提高產(chǎn)品自身抗靜電能力1.針對(duì)MOS等靜電敏感集成電路采用輸入、輸出保護(hù)電路設(shè)計(jì)。2.對(duì)靜電敏感元器件進(jìn)行靜電保護(hù)設(shè)計(jì)。3.對(duì)靜電敏感電子裝置采用靜電防護(hù)設(shè)計(jì)。2.確保設(shè)備、設(shè)施和作業(yè)場(chǎng)所的靜電安全1.保護(hù)作業(yè)場(chǎng)所各種接地設(shè)施和系統(tǒng)正確接地。2.嚴(yán)格靜電安全作業(yè)操作規(guī)程。防護(hù)途徑主要內(nèi)容具體措施4.嚴(yán)格防靜電管理1.建立健全責(zé)任制和規(guī)章制度1.建立健全各類人員（領(lǐng)導(dǎo)者、技術(shù)和管理者、操作者）的靜電安全防護(hù)管理職責(zé)，并有檢查制度。2.編制具體、詳細(xì)的防靜電操作規(guī)程。3.對(duì)設(shè)備、裝置、器材、器具、工具等的防靜電性能要求建立定期檢查制度。2.培訓(xùn)教育1.針對(duì)領(lǐng)導(dǎo)者、技術(shù)和管理人員、操作人員等不同層次和不同崗位人員，實(shí)施有關(guān)防靜電常識(shí)、知識(shí)、技術(shù)和安全要求教育。2.針對(duì)不同崗位操作人員進(jìn)行操作技能培訓(xùn)及考核。3.警示裝置、標(biāo)記、及符號(hào)的使用1.應(yīng)在靜電敏感產(chǎn)品上和外包裝件上標(biāo)示靜電敏感器件標(biāo)記和符號(hào)。2.應(yīng)對(duì)裝置、設(shè)備中的靜電敏感元件、部位按照標(biāo)準(zhǔn)的要求作出標(biāo)記或警示符號(hào)。3.應(yīng)對(duì)防靜電工作場(chǎng)所（作業(yè)區(qū)）做出規(guī)定的特別的標(biāo)記。4.按標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定進(jìn)行檢測(cè)實(shí)驗(yàn)1.對(duì)有防靜電性能要求的工具、器具、服裝、鞋襪、地面、桌椅和工作臺(tái)墊等應(yīng)定期檢查，使之保持合格狀態(tài)。2.對(duì)人體和設(shè)備、裝置、系統(tǒng)的接地應(yīng)該規(guī)定檢測(cè)。3.對(duì)產(chǎn)品的靜電敏感度（抗擾度）應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定檢驗(yàn)，并建立質(zhì)量分析和反饋制度。*)防靜電工作區(qū)的管理與維護(hù):

1.制訂防靜電管理制度，并有專人負(fù)責(zé)。2.備用防靜電工作服、鞋、手鐲等個(gè)人用品以備外來人員使用。

3.定期維護(hù)、檢查防靜電設(shè)施的有效性。4.腕帶每周(或天)檢查一次。

5.桌墊、地墊的接地性、靜電消除器的性能每月檢查一次。

6.防靜電元器件架、印制板架、周轉(zhuǎn)箱；運(yùn)輸車、桌墊、地墊的防靜電性能每六個(gè)月檢查次。*)靜電測(cè)試常用儀器

:4.人體綜合電阻測(cè)試儀：檢測(cè)人體系統(tǒng)電阻。1.非接觸式靜電測(cè)量?jī)x：測(cè)表面靜電壓，可檢查靜電是否存在及其瀉放效果。2.表面電阻測(cè)量?jī)x：測(cè)表面電阻，可判斷是否為防靜電材料。

3.防靜電腕帶測(cè)試儀：檢測(cè)腕帶的有效性。

*)ESD管理小組的主要工作:1.統(tǒng)籌生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的ESD整改；

2.制訂《靜電放電控制規(guī)范》；3.歸檔ESD通用操作指導(dǎo)書（環(huán)境；儀器、設(shè)備、工具、工裝；工作臺(tái)；人員；包裝、存儲(chǔ)、轉(zhuǎn)運(yùn)；測(cè)試方法）；

4.編寫ESD專用操作指導(dǎo)書；5.建立現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)控與稽查制度；

6.靜電敏感器件(SSD)的分類；