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文檔簡(jiǎn)介

模擬版圖中的典型器件--青軟模擬版圖中的典型器件電阻電容

BIPOLAR

DIODE電感

FUSE

SEALRING

PAD

ESD電阻

電阻(Resistance)作為集成電路模擬版圖中最常見(jiàn)的器件,類(lèi)型有多種,版圖設(shè)計(jì)要求也較高。電阻最常見(jiàn)的類(lèi)型主要有:

MetalRes:阻值非常低

PolyRes:阻值較低

DiffRes:阻值較高

WellRes:阻值非常高Netlist中的調(diào)用:

RR1AB24000$[RNDD]LVSCommandfile中的定義:

DEVICER(RNDD)rndddevhvndrhvndr

METAL電阻一、Metal電阻畫(huà)法:兩端用Via接出,或是直接Metal連接。有效部分是兩端Via中間的部分,附加resDummylayer。這種電阻非常少見(jiàn),一般會(huì)用寄生的方式實(shí)現(xiàn)。二、poly電阻畫(huà)法:兩端用polycont接出,有效部分是兩端cont間的部分,有效部分加resdummylayer。(不同的制程層次不一樣)NWELL的應(yīng)用主要是起到更好的保護(hù)隔離作用。POLY電阻三、diffusion電阻畫(huà)法:兩端用diffusioncont接出,有效部分是兩端cont間的部分,有效部分加resdummylayer。有p/ndiffusion之分(不同的制程層次不一樣)DIFFUSION電阻WELL電阻-NWELL電阻四、well電阻1、nwell電阻畫(huà)法:兩端用ndiffusioncont接出,有效部分是兩端cont間的部分,有效部分加resdummylayer。四、well電阻2、pwell電阻畫(huà)法:兩端用pdiffusioncont接出,有效部分是兩端cont間的部分,有效部分加reslayer。(別忘記pdiffusion要包pimplant)WELL電阻-PWELL電阻電阻及DUMMY的擺放

電阻與其Dummy要保持嚴(yán)格的方向一致,兩側(cè)的Dummy長(zhǎng)度要與電阻本身長(zhǎng)度相同,兩端的Dummy長(zhǎng)度可以根據(jù)實(shí)際情況調(diào)整。ResDummy可以只用到電阻體層次,其它層次可以不用電阻及DUMMY的擺放

電阻體兩側(cè)Dummy可以適當(dāng)縮小Width,只保持與電阻體的長(zhǎng)度一致。電阻及DUMMY的擺放電阻體兩側(cè)Dummy還可以作為填充的作用。電阻及DUMMY的擺放電阻矩陣可以很好的實(shí)現(xiàn)多個(gè)電阻阻值不同的有效擺放電阻及DUMMY的擺放電阻體有時(shí)會(huì)覆蓋一層臨近金屬層作為對(duì)電阻的屏蔽保護(hù)措施。電阻電阻電阻注意事項(xiàng)

一、

畫(huà)電阻時(shí),要注意其阻值的算法,有經(jīng)驗(yàn)的前端設(shè)計(jì)人員會(huì)明確每個(gè)電阻的具體Width/Length數(shù)值。如果沒(méi)有明確,可以根據(jù)lvsCommandfile中的定義算法自己算出所需數(shù)值。二、電阻兩端必須用metal引出,不能跳poly或diffusion。三、電阻加dummy時(shí),dummy電阻與電阻space要一致,長(zhǎng)度也要一致。電阻要單獨(dú)圍ring,與其他的device隔開(kāi)。四、多個(gè)電阻放置應(yīng)朝同一個(gè)方向,盡量不要從電阻上走線,串聯(lián)的電阻要交叉對(duì)稱放置。電阻注意事項(xiàng)電容

電容(Capacitance)同樣是集成電路模擬版圖中最常見(jiàn)的器件,類(lèi)型也有多種,常見(jiàn)的類(lèi)型主要有:

PolylCap:會(huì)用到兩層Poly來(lái)實(shí)現(xiàn)

MosCap:利用Mos的Gate與其Source和Drain來(lái)實(shí)現(xiàn)

MimCap:利用兩層金屬和其之間CTM來(lái)實(shí)現(xiàn)

MetalCap:利用兩層甚至更多層金屬層來(lái)實(shí)現(xiàn),有時(shí)會(huì)利用Poly跟

metal來(lái)實(shí)現(xiàn)Netlist中的調(diào)用:

CC1AB2.4p$[MP]LVSCommandfile中的定義:

DEVICEC(MP)pmcapdevpgatepsd

電容的形狀一般是方形最好,但有時(shí)根據(jù)需要,在保證有效面積不變的情況下,形狀可以隨意調(diào)整(主要是根據(jù)block的形狀與擺放做相應(yīng)調(diào)整,保證block為矩形)。進(jìn)行電容連線時(shí)要分清電容的正負(fù)極,如右圖,正極為|端。電容一、mos電容畫(huà)法:poly是電容的一端,一般為正極。source&drain接在一起做電容的另一端,為負(fù)極。還有另一種畫(huà)法,和普通mos畫(huà)法一樣。(下頁(yè))MOS電容mos電容:Gate為正極Source/Drain為負(fù)極。容值很小一般作為Chip中Power的高頻濾波之用。MOS電容二、poly電容畫(huà)法:由poly1和poly2組成,需要用metal連接出去,一般poly2為正極。POLY電容二、poly電容右圖為poly電容的剖面圖POLY電容就是(Metal-Insulator-Metal)金屬-絕緣體-金屬結(jié)構(gòu)。畫(huà)法:一般是頂層metal與倒數(shù)第二層metal之間新加了一層CTM層次。一般把MIM電容劃為metal電容。三、MIM電容MIM電容畫(huà)法:一般是利用多層metal之間的相互寄生效應(yīng)來(lái)實(shí)現(xiàn)。三、metal電容METAL電容Metal電容中的“夾心”電容。METAL電容Metal電容中的“梳妝”電容。有些也叫“手指狀”電容METAL電容電容無(wú)論以何種方式做,都應(yīng)該用ring圈起,與其他器件隔開(kāi)。

電容與其相關(guān)的電路不易離太遠(yuǎn),在layout電容時(shí),其面積要計(jì)算清楚(有些是定義W/L)。電容的擺放也要注意,盡量均勻、對(duì)稱。(如右圖,如果c1與c2電容的個(gè)數(shù)是1:8,擺放就按右圖)。電容上面嚴(yán)禁走線,尤其是信號(hào)線。電容注意事項(xiàng)在要求不是很高的時(shí)候電容的形狀可以根據(jù)block的擺放調(diào)整。(注意cap上面有跑線)。電容注意事項(xiàng)

有時(shí)會(huì)把電容做成小的單位電容,具體擺放時(shí)可以根據(jù)不同電路中電容的容值擺放多個(gè)單位電容來(lái)實(shí)現(xiàn)空間的有效利用。電容注意事項(xiàng)在要求較高的時(shí)候電容的擺放需要加Dummy電容及DUMMY的擺放電容及DUMMY的擺放

可以說(shuō)電阻電容在模擬電路中即普通又特殊。普通在于它們是模擬電路中最普通不過(guò)的器件。特殊在于它們的不請(qǐng)自到,它們寄生在版圖中的每個(gè)角落,無(wú)論是數(shù)字版圖還是模擬版圖。怎樣去有效的避免和利用這些寄生出來(lái)的不速之客是版圖設(shè)計(jì)者必須考慮的事情,也是一個(gè)優(yōu)秀的版圖設(shè)計(jì)者的必備素質(zhì)。這就需要我們版圖設(shè)計(jì)工程師在版圖設(shè)計(jì)工作開(kāi)始之前就要仔細(xì)斟酌,跑線的長(zhǎng)短、跑線的寬度、跑線的層次、跑線的距離等很多因素都要考慮,只有這樣我們才能隨著工作資歷的增加工作素質(zhì)才能全面提高,不然的話只能成為一名LayoutEngineer,永遠(yuǎn)不會(huì)成為L(zhǎng)ayoutDesigner。BIPOLAR電阻電容我們講完了再講一下三極管,我們用到最多是雙極型晶體管(Bipolar)。雙極型晶體管類(lèi)型主要有兩種:

NPN型:一般N型區(qū)作為發(fā)射極

PNP型:一般P型區(qū)作為發(fā)射極雙極型晶體管的做法主要有兩種:橫向和縱向。Netlist中的調(diào)用:

QQ1VDDVINVONPVM=1$EA=1e-10$W=4e-05

$L=2.5e-06LVSCommandfile中的定義:

DEVICEQ(PV)emitemit:1base:1coll:1BIPOLAR

雙極型晶體管尺寸小所以RC較低,所以相應(yīng)開(kāi)關(guān)速度會(huì)提升。雖然可以實(shí)現(xiàn)比Cmos更快的開(kāi)關(guān)速度,可以提供較大的驅(qū)動(dòng)能力,但是由于其較大的功耗使得其使用范圍大大縮小。純粹的BIPOLAR工藝主要應(yīng)用于功率IC?,F(xiàn)在很多Foundry廠都會(huì)在CMOS工藝的基礎(chǔ)上增加一部分工藝來(lái)實(shí)現(xiàn)BICMOS,利用BIPOLAR的高驅(qū)動(dòng)能力來(lái)當(dāng)輸出級(jí)。實(shí)現(xiàn)了BIPOLAR的快速、MOS的高密集度。BIPOLAR

我們之前學(xué)習(xí)過(guò)PN結(jié)中,N型區(qū)域存在大量電子,P型區(qū)域存在大量空穴。在PN結(jié)上加一正向電壓,PN結(jié)導(dǎo)通。如果我們?cè)谶@個(gè)PN結(jié)的頂端再加一個(gè)N層,并在兩個(gè)N層之間加一個(gè)更高的電壓,結(jié)果會(huì)是什么樣子的呢?BIPOLAR我們可以根據(jù)右圖的電路來(lái)學(xué)習(xí)一下,如果想讓下面的PN結(jié)導(dǎo)通,需要一個(gè)偏置電壓(0.8V),電子通過(guò)P區(qū)向左運(yùn)動(dòng)(從E到B)。當(dāng)這些電子遇到來(lái)自頂部(C端)的一個(gè)更大的電壓時(shí),電子會(huì)怎么走?我們的P型區(qū)域很薄,那些流進(jìn)正偏PN結(jié)的電子大部分都跑到上面的N區(qū)。底部的N區(qū)發(fā)射電子并被頂部的N區(qū)收集,因此底部N區(qū)被成為發(fā)射極(Emitter),頂部的N區(qū)被稱為集電極(Collector),中間的P型區(qū)為基極(Base)。三極管的三極BIPOLAR之前我們說(shuō)過(guò)bipolar的器件一般功耗比較大,這里我們可以看出,在這個(gè)電路中,仍然會(huì)有部分的電子通過(guò)P區(qū)向左移動(dòng),也就是說(shuō)會(huì)有電流從B端流向E端,這部分電流其實(shí)是一個(gè)損失(但是如果不加這個(gè)電壓,這個(gè)三極管是不工作的,此處可認(rèn)為是一個(gè)開(kāi)關(guān))。雙機(jī)型晶體管工作時(shí),基極一定存在電流,而且雙極型晶體管開(kāi)關(guān)的越快,需要的電流越大,所以說(shuō)雙極型晶體管需要更多的功耗。三極管的功耗為什么比較大BIPOLAR

大家知道在場(chǎng)效應(yīng)管(就是常說(shuō)的mos管)中,柵的長(zhǎng)度L決定了器件的速度,在雙極型管中,由什么決定呢?通過(guò)上面的學(xué)習(xí),可以知道,NPN的速度由P區(qū)的寬度決定,兩個(gè)N區(qū)之間的距離越短,在這個(gè)區(qū)域中開(kāi)關(guān)電流的速度就越快。而在制作工藝上,有縱向和橫向之分,我們一般可以理解為:如果載流子是沿著晶體管斷面的垂直方向運(yùn)動(dòng),就稱為縱向;如果載流子是沿著晶體管斷面的水平方向運(yùn)動(dòng),就稱為橫向。一般是縱向C包裹B,B包裹E;橫向是CE被B包裹。BIPOLAR

下面我們通過(guò)制備一個(gè)縱向(Vertical)NPN管的過(guò)程來(lái)進(jìn)一步理解器件的版圖。

第一步:制作集電極區(qū)(Collector)首先,用一個(gè)N型區(qū)域構(gòu)建集電區(qū)。注:我們此處的工藝都是基于bicmos的,都是P型硅外延。BIPOLAR

然后在N區(qū)頂部通過(guò)外延生長(zhǎng)一層P型材料,通過(guò)擴(kuò)散,集電區(qū)面積就變得更大,濃度也更均勻。為了把N區(qū)埋層材料引出來(lái),另外注入一個(gè)足夠深的N型雜質(zhì)和N型埋層相接觸,從頂部看到的N型注入?yún)^(qū)就成為集電極的接觸端。BIPOLAR第二步:制作基極區(qū)(Base)

位于N型埋層上方有一個(gè)特殊摻雜的P型區(qū),它并不覆蓋整個(gè)N型埋層,因?yàn)檫€有一部分被注入的N型接觸區(qū)在這兒。由于P型外延,使得整個(gè)區(qū)域已經(jīng)成為P型,由于必須十分小心的控制P型基區(qū)的雜質(zhì)濃度,故對(duì)其進(jìn)行了專(zhuān)門(mén)的注入,必須保證注入的P區(qū)很淺以得到更快的開(kāi)關(guān)速度。P型外延和基區(qū)的P型區(qū)域濃度不一樣,為了區(qū)分基區(qū)的畫(huà)成綠色。BIPOLAR第三步:制作發(fā)射極區(qū)(Emitter)

由于基區(qū)/發(fā)射區(qū)結(jié)的制備比基區(qū)/集電區(qū)結(jié)的制備要重要的多。因?yàn)榘l(fā)射區(qū)的電子不能輕易越過(guò)勢(shì)壘,但是,一旦電子通過(guò)了基區(qū),集電區(qū)就好似個(gè)接收站,不需要特別控制。

N型發(fā)射區(qū)的面積比N型集電區(qū)要小。BIPOLAR第三步:制作發(fā)射極區(qū)(Emitter)根據(jù)上面的分析我們得出N型發(fā)射區(qū)的面積比N型集電區(qū)要小的結(jié)論。而且在基區(qū)擴(kuò)散以后,其水平方向的寬度遠(yuǎn)大于所需要的尺寸,(P型區(qū)域要很?。?,我們就把發(fā)射區(qū)放這里。BIPOLAR三個(gè)區(qū)域都已經(jīng)形成,下面只要引出引腳就好了。這種情況就是C包裹B,B包裹E。這里我們可以想一想它的版圖會(huì)是什么樣子的。BIPOLAR下面我們來(lái)看一下PNP是什么樣子的?

在基于bicmos工藝制備縱向PNP管時(shí),需要用額外的一層來(lái)充分的隔離底部的集電區(qū),(不可能所有的P型硅外延都算作集電區(qū),需要隔離出來(lái)一部分),因此需要在下面多一層N型擴(kuò)散層,作為隔離層。額外添加一層材料就意味著需要更多的工藝步驟,花更多的錢(qián),存在更多的出錯(cuò)幾率,所以,基于bicmos工藝的PNP管子大多是橫向的(Lateral)。BIPOLAR我們下面就學(xué)習(xí)一下橫向PNP管一個(gè)橫向PNP管通常包含一個(gè)N型區(qū)(通常是N阱),這個(gè)N型區(qū)又包含兩個(gè)P型區(qū),這些都是橫向的。BIPOLAR

一般為了降低阱中的串聯(lián)電阻,我們可以在一次制備過(guò)程中構(gòu)造兩個(gè)管子,也就是兩個(gè)PNP管共用中央的一個(gè)P型區(qū)。BIPOLARNwell制程中NPN型雙極型晶體管BIPOLARNwell制程中PNP型雙極型晶體管BIPOLAR雙極型晶體管做法版圖設(shè)計(jì)可以多種多樣BIPOLAR雙極型晶體管的擺放要講究對(duì)稱,有時(shí)還會(huì)需要DummyBIPOLAR需要大電流輸出時(shí)會(huì)用到三極管,而且根據(jù)驅(qū)動(dòng)能力要求的大小會(huì)并多個(gè)三極管

前面我們學(xué)習(xí)了三極管,我們?cè)賮?lái)了解一下二極管(DIODE)。二極管在電路中主要起到整流作用,在一個(gè)完整的CHIP中,二極管常用于ESD部分,還有就是防止天線效應(yīng)(Antenna)。在版圖實(shí)現(xiàn)上也比較簡(jiǎn)單主要有三種:

MOS型:利用P/NMos實(shí)現(xiàn)電流的單向?qū)p極型晶體管型:短接雙極型晶體管的基極與集電極襯底型:利用現(xiàn)有的襯底等層次實(shí)現(xiàn)PN結(jié)Netlist中的調(diào)用:

D100ABPDM=1$EA=1e-10LVSCommandfile中的定義:

DEVICED(PD)ndiopsubtndiffDIODEDIODEMos構(gòu)造二極管:將mos的Gate與Source短接形成一個(gè)二極管。Mos構(gòu)造二極管:將mos的Gate與Source短接形成一個(gè)二極管。DIODE雙極型晶體管集電極與基極短接形成一個(gè)雙極型晶體管構(gòu)造的二極管。DIODENwell制程中利用nwell與其中的pdiff之間的PN結(jié)構(gòu)成一個(gè)二極管。(思考怎樣才能利用P襯底構(gòu)造一個(gè)二極管)DIODENwell制程中利用Ndiff與P襯底構(gòu)造一個(gè)二極管DIODE電感

電感(Inductance)是一種十分有用的電路元器件。在版圖中出現(xiàn)的幾率比較低,但是很多特殊電路中也會(huì)出現(xiàn),電感的版圖設(shè)計(jì)要求很高。集成電路中的電感一般是利用金屬層來(lái)實(shí)現(xiàn)。主要做法有兩種:?jiǎn)螌勇菪姼校簡(jiǎn)螌咏饘倮@圈,單層金屬一般會(huì)選用最厚、最寬、電阻率最低的TOP金屬層來(lái)實(shí)現(xiàn)。多層金屬疊層電感:利用足夠多層金屬相互配合疊層繞圈。

電感在Netlist中的調(diào)用:

Lxxnegposnr=nr$[ind]電感在lvscommandfile中的定義:

DEVICEL(ind)inddevmetal5(NEG)p2ind:1(POS)電感利用metal5的單層繞圈來(lái)實(shí)現(xiàn)電感電感利用metal1、metal2、metal3疊層繞圈來(lái)實(shí)現(xiàn)電感(此圖是事例,實(shí)際電感復(fù)雜得多)電感

電感可以做成各種樣式電感

這是某量產(chǎn)IC中最簡(jiǎn)單的單層金屬電感電感

要保證版圖中電感與其他電路之間足夠的空間,因?yàn)榭拷姼械膶?dǎo)線會(huì)影響電感品質(zhì)(Q)。在進(jìn)行電感的版圖設(shè)計(jì)時(shí)要與前端設(shè)計(jì)人員和工藝廠商充分溝通,使得版圖設(shè)計(jì)最大可能的滿足前端電路設(shè)計(jì)人員的設(shè)計(jì)。電感層次寄生的電阻電容對(duì)電感品質(zhì)有很大的影響,因此對(duì)版圖設(shè)計(jì)和工藝要求會(huì)很高,一般會(huì)有專(zhuān)門(mén)的廠家提供一個(gè)相關(guān)的電感庫(kù),設(shè)計(jì)人員會(huì)根據(jù)電感庫(kù)的相關(guān)參數(shù)選擇滿足自己設(shè)計(jì)要求的電感類(lèi)型.

同樣電感會(huì)寄生于集成電路中每個(gè)地方,一定要注意盡量減小和避免寄生電感,避免把連線布成螺旋狀。尤其要注意電源走線,電源走線的寄生電感很容易使芯片失效。電感FUSE

除了以上眾多模擬器件以外,還有一種很重要的器件:Fuse。Fuse在電路中一般起到限流的電路保護(hù)作用。還有一種作用是作為電路的邏輯選擇(option)。實(shí)際上在定義Fuse時(shí)一般會(huì)將其作為一種電阻來(lái)定義。由于之前電阻已講到,在這里我們只做簡(jiǎn)單介紹,利用圖片看一下實(shí)際的Fuse版圖。實(shí)際電路中的Fuse表示FUSEFUSEFUSEFUSE作為邏輯選擇之用的Fuse陣列FUSEWHOLECHIP

對(duì)于WholeCHIP來(lái)說(shuō),還有一些其他的特殊器件,比如說(shuō):Seal_Ring、PAD、ESD等。下面分別對(duì)這些器件來(lái)做一些簡(jiǎn)單的介紹。SEALRINGSealRing很容易和劃片糟弄混。劃片槽叫Scribeline,是晶圓切割的中心線。Seal_Ring是一個(gè)Chip的版圖中不可缺少的一部分,是一圈圍在ChipDevice外圍的保護(hù)線路。由于Seal_Ring是一種非標(biāo)準(zhǔn)Device,在spice中往往不作為Device來(lái)調(diào)用,也不會(huì)在Lvscommandfile中定義。由于其做法特殊,Drccommandfile一般對(duì)其不做check,其上面所產(chǎn)生的drc錯(cuò)誤當(dāng)假錯(cuò)來(lái)處理,所以在進(jìn)行期版圖設(shè)計(jì)時(shí),一定要按照Design_rule仔細(xì)布局。SealRing它的作用有兩個(gè):主要作用是防止芯片在切割的時(shí)候的機(jī)械損傷,尤其是芯片的四個(gè)角一般都不要放重要器件;其次的作用是SealRing接地,屏蔽芯片外的干擾。

SealRing從襯底(大多數(shù)是從P襯底,N阱,到Pdiff,Contact,Metal1,Mvia,Metal2……..直到Top_Metal,這樣芯片中每一層都會(huì)在CHIP的外圍形成一圈,這樣便能夠使芯片內(nèi)的各種期間和連線很好的受到機(jī)械和電氣的保護(hù)。大家可以試想一下拋面圖,sealring一定要和芯片同厚的,這樣才能起到保護(hù)作用,所以從底層到TOP層都的包括。一般SealRing都是接地。SEALRING

在這個(gè)芯片的最外圍有一個(gè)紅色的圓圈,這便是Seal_RingSEALRING這是一個(gè)完整的Seal_Ring,下頁(yè)是其局部的放大圖。SEALRINGSeal_Ring的局部放大圖SEALRINGSeal_Ring的相關(guān)Rules,我們可以在右邊看到Seal_Ring所用到的每層Layer。SEALRINGPADPAD作為IC輸出的窗口,在CHIP中起到了至關(guān)重要的作用。PAD的Size一般較大,數(shù)目較多其版圖擺放具有一定的技巧,PAD擺放合理與否直接關(guān)系到后端流程Bonding的成功與否。

PAD的版圖設(shè)計(jì)要嚴(yán)格遵從Design_rules的要求,但是一般來(lái)說(shuō)PAD的版圖設(shè)計(jì)比較簡(jiǎn)單,難度在與PAD的擺放要滿足CHIP大小與美觀兼顧。

此CHIP中的PAD擺放還沒(méi)有達(dá)到最優(yōu),我們可以找找看哪些地方是可以改進(jìn)的。PADPAD主要結(jié)構(gòu)一般由金屬與VIA構(gòu)成,從最頂層金屬開(kāi)始用VIA鏈接到Design_rules中所規(guī)定的PAD連接所需最底層金屬。PADPAD主要結(jié)構(gòu)一般由金屬與VIA構(gòu)成,從最頂層金屬開(kāi)始用VIA鏈接到Design_rules中所規(guī)定的PAD連接所需最底層金屬。ESDPADPAD主要結(jié)構(gòu)一般由金屬與VIA構(gòu)成,從最頂層金屬開(kāi)始用VIA鏈接到Design_rules中所規(guī)定的PAD連接所需最底層金屬。PADPAD主要結(jié)構(gòu)一般由金屬與VIA構(gòu)成,從最頂層金屬開(kāi)始用VIA鏈接到Design_rules中所規(guī)定的PAD連接所需最底層金屬。PADDesign_rule中關(guān)于擺放PAD一般會(huì)要求PADSpace和是否DoublePad,以及是否可以實(shí)現(xiàn)多排擺放。PADESD我們?cè)赪holeChip中還可以看到很多大尺寸的Mos。這些mos便是Chip中的ESD保護(hù)線路。整個(gè)CHIP的I/O部分都會(huì)有ESD保護(hù)線路。ESD這只是局部放大的示意圖,實(shí)際上這個(gè)版圖只是演示用。ESDESD(Electro-StaticDischarge)即“靜電放電”,多數(shù)電子元器件是靜電敏感器件。在制造、運(yùn)輸和使用過(guò)程中極易造成損壞,因此有必要在IC內(nèi)部采取防靜電保護(hù)措施。我們?cè)诎鎴D中看到的接pad的大mos,那種做法就是為了防止靜電放電而做的保護(hù)電路。ESDprotectmos主要的作用就是給ESD電流提供一個(gè)泄放的路徑,不讓其流經(jīng)內(nèi)部電路,對(duì)內(nèi)部電路造成損壞.ESDprotectmos和普通的mos管畫(huà)法不一樣,一般Foundry廠有專(zhuān)門(mén)的ESDrule來(lái)供IC設(shè)計(jì)人員作參考,但是有時(shí)候IC設(shè)計(jì)人員會(huì)根據(jù)自己的經(jīng)驗(yàn)對(duì)ESD器件作修改。ESD比較常見(jiàn)的幾種ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)ESD比較常見(jiàn)的幾種CMOS類(lèi)型的ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)ESD由于時(shí)間限制我們?cè)谶@里只對(duì)MOS類(lèi)型的ESD保護(hù)結(jié)構(gòu)及其版圖設(shè)計(jì)方法做簡(jiǎn)單介紹。為提升CMOSIC的ESD防護(hù)能力,在輸入/輸出PAD的ESD保護(hù)元件尺寸都會(huì)比較大,以期利用大尺寸的元件設(shè)計(jì)來(lái)提升ESD防護(hù)能力。這些大尺寸的元件在布局上經(jīng)常畫(huà)成手指狀(finger-type),比如一個(gè)nmos元件其W/L=1000/0.6,我們?cè)谠O(shè)計(jì)時(shí)就可以做成10根100/0.6的nmos并聯(lián)。這樣可以有效提升ESD的反應(yīng)速度,提高ESD防護(hù)的可靠性。ESD一般來(lái)講ESD部分的CMOS會(huì)按照特殊的Designrule來(lái)設(shè)計(jì)成非對(duì)稱的MOS結(jié)構(gòu)。我們前面所用到的MOS大多是對(duì)稱的(Source/Drain結(jié)構(gòu)相同,可以互換),但是非對(duì)稱MOS(Source/Drain結(jié)構(gòu)不同,不可以互換)在高壓電路部分使用非常廣泛。非對(duì)稱MOS的Source/Drain結(jié)構(gòu)甚至是所用到的層次也不同。ESD部分所用到的MOS大多遵從以幾個(gè)特點(diǎn):1、尺寸較大,Width非常大,Length一般不會(huì)采用最

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