C-V測(cè)試儀驗(yàn)收?qǐng)?bào)告

C-V測(cè)試儀驗(yàn)收?qǐng)?bào)告一、引言：（Introduction）C-V測(cè)試儀CVPL01是從PHILIPS公司運(yùn)回來(lái)的，今后將在華潤(rùn)晶芯的生產(chǎn)線上使用，那么我們需要對(duì)這臺(tái)設(shè)備進(jìn)行安裝校準(zhǔn)的工作，對(duì)設(shè)備的測(cè)量準(zhǔn)確性進(jìn)行評(píng)估。二、摘要：（Abstract）C-V測(cè)試儀有以下幾個(gè)部件組成，DuoChuckplotter(熱測(cè)試臺(tái)),Microscope(顯微鏡)，Computer(控制計(jì)算機(jī))信號(hào)源與輸出測(cè)試部分。首先完成測(cè)試臺(tái)與主機(jī)，以及顯示器的定位。完成各個(gè)信號(hào)傳輸線路的檢查和連接，（動(dòng)力條件：冷卻水、真空已接上）確認(rèn)無(wú)誤。通電開(kāi)機(jī)后沒(méi)有異常情況。三、數(shù)據(jù)分析結(jié)果：(Analysis)使用原有的C-V測(cè)試片進(jìn)行試測(cè)試檢查排除軟件提示的問(wèn)題。確認(rèn)無(wú)誤后證明可以得到形狀符合要求的曲線，然后對(duì)比較關(guān)鍵的數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測(cè)。C-V測(cè)試的關(guān)鍵是要在正確的輸入偏壓下正確的反映的電容值的變化，這樣測(cè)出的數(shù)據(jù)才可信。項(xiàng)目規(guī)范驗(yàn)證/測(cè)量結(jié)果結(jié)論標(biāo)準(zhǔn)電容值（2pf和2000pf）SPEC.：2pf±0.2pf2000pf±200pfStd%<0.5%1.88Pf0.16%2186.84PF0.02%OK輸出電壓值中心值±0.05V見(jiàn)下表OK與上華匹配△Vfb<0.05V0.OK四、驗(yàn)證過(guò)程及數(shù)據(jù)：（TestandData）首先對(duì)輸出電壓的準(zhǔn)確性進(jìn)行驗(yàn)證，由于萬(wàn)用表的反應(yīng)速度不夠快，在manualmode下輸入指定的電壓值進(jìn)行測(cè)試。開(kāi)機(jī)1個(gè)小時(shí)等待系統(tǒng)穩(wěn)定后從-5V掃到5V測(cè)試得到的電壓值如下面表格所示：Csm顯示電壓-5-4.4~-4.5-3.9~-4.0-3.5-3.0-2.4~-2.5-2-1.4~-1.5-1.0-0.50實(shí)測(cè)電壓-4.98-4.47-3.98-3.48-2.98-2.49-1.98-1.49-0.99-0.490.006Csm顯示電壓0.511.51.9~2.02.52.9~3.03.4~3.53.9~4.04.4~4.54.9~5.0實(shí)測(cè)電壓0.511.011.502.002.503.003.503.994.494.99從表格中的數(shù)據(jù)可以看出，實(shí)際加在硅片兩側(cè)的電壓與計(jì)算機(jī)上顯示的電壓值之差小于0.03V,從整體上來(lái)看，對(duì)電壓準(zhǔn)確性不會(huì)產(chǎn)生不利影響。然后對(duì)電容測(cè)試值的準(zhǔn)確性進(jìn)行檢測(cè)，發(fā)現(xiàn)存在的問(wèn)題，經(jīng)過(guò)多次對(duì)電容校準(zhǔn)，發(fā)現(xiàn)存在的問(wèn)題是指針飄忽不定，多次調(diào)整后基本達(dá)到零值的要求，然后使用標(biāo)準(zhǔn)電容檢測(cè)了計(jì)算機(jī)的測(cè)試情況，下面表格為多次測(cè)試得到的數(shù)值：，標(biāo)準(zhǔn)電容值2pF2000pF測(cè)試值11.8902186.44測(cè)試值21.8832186.57測(cè)試值31.8872186.86測(cè)量值41.8842187.05測(cè)量值51.8832187.27Average1.8852186.84STD0.0030.339STD%0.16%0.02%從上面數(shù)據(jù)可以看出，2pF的電容值在1.88pF到1.89pF之間，2000pF的標(biāo)準(zhǔn)電容的測(cè)試值在2186pF到2187pF之間，比較穩(wěn)定。偏差值控制在了10%以內(nèi)，從線性上可以看出在電容僅為幾百pF的情況下，偏差會(huì)比較小，Cox與Cmin的偏差值不會(huì)影響測(cè)試結(jié)果（平帶電壓Vfb）的準(zhǔn)確性。最后，我們使用上華的C-V測(cè)試片對(duì)雙方的測(cè)試結(jié)果進(jìn)行對(duì)比，對(duì)比分為兩塊，結(jié)果如下表：（圖一是使用CV測(cè)量得到平帶電壓Vfb,和氧化物有效電荷數(shù)密度Nss的對(duì)比），圖2是BT測(cè)量時(shí)的平帶電壓Vfb,和氧化物有效電荷數(shù)密度Nss，平帶漂移電壓shift的對(duì)比）PARAMETERNssVfb0ＲｅｓｕｌｔCSWC第1次6.83E+10-0.518Ｏｋ第2次8.56E+10-0.621第3次8.78E+10-0.629第4次9.97E+10-0.692第5次1.07E+11-0.692Average8.97E+10-0.63CSMC第1次9.57E+10-0.676第2次9.53E+10-0.625△＜１０％6.09%3.09%CVSPEC：‖Vfb（0）‖<0.8V圖一CV測(cè)量結(jié)果比較NssVfb0Vfb+SHIFTResultＣＳＷＣ1.28E+11-0.838-0.7820.056OkCSMC9.57E+10-0.676-0.6980.02169.53E+10-0.625-0.6410.0155ＢＴＳＰＥＣ：‖ＳＨＩＦＴ‖＜０.１Ｖ圖二BT測(cè)量結(jié)果比較注：每次測(cè)試會(huì)因?yàn)檠趸瘜拥钠茐亩饻y(cè)量結(jié)果的變化，因此測(cè)試過(guò)程中我們不能選取同一點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試，但不同位置的點(diǎn)的測(cè)量肯定會(huì)有差異。五、存在的問(wèn)題：（Problem）我們目前還沒(méi)有校準(zhǔn)用的標(biāo)準(zhǔn)電容，長(zhǎng)時(shí)間使用后，如果測(cè)試值有漂移，不能對(duì)測(cè)試的偏差值的大小有一個(gè)準(zhǔn)確地了解。作BT處理用的冷卻水管需要進(jìn)行密封性檢