顯影、蝕刻、去膜(DES)工藝指導(dǎo)書(shū)

顯影、蝕刻、去膜工藝指(DES)〔二.范圍：本指導(dǎo)書(shū)適用于內(nèi)層和掩孔法外層的顯影、蝕刻、和去膜的工作過(guò)程。設(shè)備：.三IMLDES材料：四.碳酸鈉、鹽酸、雙氧水、氫氧化鈉、去泡劑、軟化水、該工位的生產(chǎn)板。工藝：五.5．1操作步驟啟動(dòng)11．5“MAINSWITCH”轉(zhuǎn)至“ON”的位置，送入主電力電源，在按下把握面板上“POWER”鈕，此時(shí)“POWER”鈕內(nèi)之顯示燈亮，并留意“ENDSTOP”燈是否亮著，假設(shè)有應(yīng)馬上把握面板上或機(jī)臺(tái).上之緊急停頓按鈕予以復(fù)歸開(kāi)機(jī)操作挨次5.12首先確定全部的開(kāi)關(guān)均置OFF態(tài)；CONTROLSOURCE將全部的加熱系統(tǒng)依流程挨次壓下,先使其預(yù)熱；CONCONSPADJPUMP的開(kāi)機(jī)程序；分鐘潤(rùn)濕輥輪。10135．依顯影、蝕刻、去膜挨次依次關(guān)掉PUMPSTOPOFFMAINSWITCH轉(zhuǎn)至源POWER，將報(bào)系統(tǒng)依停機(jī)與否分二大類(lèi)::a.停機(jī)此項(xiàng)警報(bào)定義為主機(jī)或其一電器元件發(fā)生特別而無(wú)法運(yùn)做或?yàn)楸Ｗo(hù)人體安全而設(shè)置,如其一故障或保護(hù)條件成立便會(huì)使系統(tǒng)停頓,須將故障或特別問(wèn)題排解后再啟動(dòng)系統(tǒng)否則啟動(dòng)無(wú)效。:b.不停機(jī)此項(xiàng)警報(bào)定義為預(yù)先警報(bào)或周邊設(shè)備警報(bào)發(fā)生不會(huì)影響主機(jī)系統(tǒng)生產(chǎn),所以特別發(fā)生本身停頓 而不會(huì)停頓主系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)。,運(yùn)轉(zhuǎn):故障緊急處理方式:步驟當(dāng)緊急狀況發(fā)生是時(shí),須先按緊急停頓鈕,瞬間停頓設(shè)備之一切動(dòng)作,以保安全停機(jī)后如內(nèi)部尚有板子在內(nèi)時(shí),先行確認(rèn)輸送系統(tǒng)無(wú)特別后,可用EMG佃屎鈕以寸動(dòng)的方式強(qiáng)行將板子送出使輸送局部運(yùn)轉(zhuǎn),將其板子全部輸送后,再將操作箱上之電源開(kāi)關(guān)關(guān)閉然后再檢查故障區(qū)域；依指示區(qū)檢查確認(rèn)故障區(qū)的警示燈是何處故障；再開(kāi)機(jī),待將全部的故障區(qū)全部檢修完畢開(kāi)機(jī)時(shí)請(qǐng)遵守操作挨次開(kāi)機(jī)；接板時(shí)不允許有疊板現(xiàn)象。工藝把握：5.2顯影段：5.21:1.4m/min32:30℃:28-顯影槽溫度建浴槽溫度:28-32把握點(diǎn):30℃:1.0%把握點(diǎn)藥水濃度:0.8-1.1%:1.5-2.5BAR把握點(diǎn):2.0BAR:2.0BAR:1.5-2.5BAR烘干溫度：50℃:溶液更換與配制顯影槽:每天更換槽液(由建浴槽直接注入)。低液位予警時(shí)配置。建浴槽:配置方法:建浴槽低液位予警時(shí),把7.5瓶500克碳酸鈉倒入建浴槽(通過(guò)建浴槽濾網(wǎng))然后向建 啟動(dòng)建浴槽攪拌和加熱。升處),到指定位置浴槽注入軟化水,(500 檢板人員檢驗(yàn)合格前方能批量生產(chǎn)。,*顯影時(shí)先做四塊首板蝕刻段：5.22:傳送速度內(nèi)層:Hoz1.9-2.1m/min把握點(diǎn):2.0m/min、1oz0.8-1.2m/min把握點(diǎn):1.1m/min、2oz。:0.6m/min0.5-0.7m/min。:0.6m/min、1oz0.5-0.7m/min把握點(diǎn)Hoz0.8-1.1m/min:0.9m/min℃:48蝕刻溫度:2.5kg/cm2:2.9kg/cm2:蝕刻壓力:一槽:2.4kg/cm2:3.0kg/cm2下總壓二槽:上總壓)(把握器設(shè)定值只由工藝工程師設(shè)定AQUA:1.28S.G1.26-1.30把握點(diǎn):3.00HCL:2.50-3.50把握點(diǎn):20.0H2O2:18.0-25.0把握點(diǎn) 45.0℃把握點(diǎn):40.0℃TEMP:40.0-鹽酸和雙氧水添加槽低液位時(shí)分別添加精制鹽酸和雙氧水 ***)(***兩個(gè)槽千萬(wàn)不能加錯(cuò) 產(chǎn)。,確認(rèn)無(wú)殘銅并經(jīng)檢板人員確認(rèn)后*蝕刻時(shí)先做4塊首板,去膜段5.23:1.4m/min1.3-1.5m/min42:40℃:38-去膜槽溫度42:40℃建浴槽溫度:38-:2%把握點(diǎn)藥水濃度:1.5-2.5%kg/cm2烘干溫度：70℃:溶液更換與配置去膜槽:隔一天更換去膜槽藥液..低液位予警時(shí)配制建浴槽:400ml*4：5．3每天清洗各水洗段濾網(wǎng)，更換水槽中的水。每a.10〔氫氧化鈉30b.。重往顯影槽和去膜槽中以及水洗槽中注入軟化水，開(kāi)啟噴淋，循環(huán)30分鐘，停頓噴淋，排凈槽中清c.20濃鹽酸，三段水洗各加10升濃鹽酸，開(kāi)啟噴淋，循環(huán)30分鐘，停頓噴淋。d.排凈槽中清洗液。重往顯影30e.然后、安全事項(xiàng)：六慎重操作，假設(shè)有疑問(wèn)，與工藝聯(lián)系。操作者在處理過(guò)顯影液后必需洗手.在添加鹽酸和雙氧水時(shí)戴塑