微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件

微機(jī)電系統(tǒng)Micro-ElectroMechanicalSystems微機(jī)電系統(tǒng)1引言G信息系統(tǒng)微型化系統(tǒng)體積大大減小性能、可靠性大幅度上升功耗和價(jià)格大幅度降低信息系統(tǒng)的目標(biāo):微型化和集成化微電子解決電子系統(tǒng)的微型化>非電子系統(tǒng)成為整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)一步縮小的關(guān)鍵引言2控制部分電子學(xué)微電子學(xué)機(jī)械部分傳感執(zhí)行MEMS控制部分3MonsterfliegenderHutschraubetderWeit"rea'eGres24mnlong,8mmhoeninidRo:arenTinosrtyingheicopteroftheworkrealsoSong:h24mmheghtammmnerangrotcRotoLaertesPaperDutcrmessor33mmFoNdpain:edDecamerer1semGeventohneerdos400mgwithoutpoint400mBear.Prunus,rendoitunierMoro:Lange5mDurchmesser24mmWording:h5mmdamorer2-MonsterfliegenderHutschraube4MEMS技術(shù)從廣義上講,MEMS是指集微型傳感器、微型執(zhí)行器信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信系統(tǒng)以及電源于體的微型機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)是一種多學(xué)科交叉的前沿性領(lǐng)域,它幾乎涉及到自然及工程科學(xué)的所有領(lǐng)域,如電子、機(jī)械、光學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)運(yùn)動(dòng)匾嫗匱型溫度化學(xué)與其它系統(tǒng)的通信/接口蜜測(cè)量控制量MEMS技術(shù)5MEMS—微小型、智能、集成、高可靠SMEMS是人類科技發(fā)展過(guò)程一次重大的技術(shù)整合微電子技術(shù)、精密加工技術(shù)、傳感器技術(shù)、執(zhí)行器技術(shù)G微小型化、智能化、集成化、高可靠性MEMS能夠完成真正意義上的微小型系統(tǒng)集成在芯片上實(shí)現(xiàn)了力、熱、磁、化學(xué)到電的轉(zhuǎn)變SMEMS極大地改善了人類生活的質(zhì)量大批量、低成本的傳感器生產(chǎn)方式給人們更多的保護(hù)MEMS將會(huì)帶動(dòng)一個(gè)充滿活力的產(chǎn)業(yè)迅速成長(zhǎng)不是鋼鐵、汽車、微電子,而是微系統(tǒng)MEMS—微小型、智能、集成、高可靠6DEMODULATORBUFFERADI公司AMP生產(chǎn)的微SENSORLOAD加速度機(jī)RESISTORMEMMS芯|雪CARRIER片APACITORSENSOR口PREA內(nèi)EFERENCESELFTESTDEMODULATOR7MEMS技術(shù)的應(yīng)用MEMS在航空、航天、汽車、生物醫(yī)環(huán)境監(jiān)控、軍事以及幾乎人們接觸到的所有領(lǐng)域中都有著十分廣闊的應(yīng)用前景微慣性傳感器及微型慣性測(cè)量組合能應(yīng)用于制導(dǎo)、衛(wèi)星控制、汽車自動(dòng)駕駛、汽車防撞氣囊、汽車防抱死系統(tǒng)(ABS)、穩(wěn)定控制和玩具微流量系統(tǒng)和微分析儀可用于微推進(jìn)、傷員救護(hù)MEMS系統(tǒng)還可以用于醫(yī)療、高密度存儲(chǔ)和顯示、光譜分析、信息采集等等>已經(jīng)制造出尖端直徑為5μm的可以?shī)A起一個(gè)紅細(xì)胞的微型鑷子,可以在磁場(chǎng)中飛行的象蝴蝶大小的飛機(jī)等MEMS技術(shù)的應(yīng)用8MEMS技術(shù)的應(yīng)用空間應(yīng)用>用作運(yùn)行參數(shù)測(cè)量的微加速度計(jì)已進(jìn)行了地面輻照實(shí)驗(yàn),正在進(jìn)行飛行搭載實(shí)驗(yàn)微陀螺、微推進(jìn)和微噴管等微系統(tǒng)基礎(chǔ)硏究通信方面光通信正在向有光交換功能的全光通信網(wǎng)絡(luò)方向發(fā)展無(wú)線通信則要求增強(qiáng)功能(如聯(lián)網(wǎng)等)和減小功耗。包括美國(guó)朗訊公司在內(nèi)的一些公司和大學(xué)正在研究全光通信網(wǎng)用的微系統(tǒng)及無(wú)線通信用射頻微系統(tǒng)MEMS技術(shù)的應(yīng)用9MEMS技術(shù)的應(yīng)用在生物醫(yī)學(xué)方面,將光、機(jī)、電、液、生化等部件集成在一起,構(gòu)成一個(gè)微型芯片實(shí)驗(yàn)室,用于臨床醫(yī)學(xué)檢測(cè),為醫(yī)生甚至家庭提供簡(jiǎn)單、廉價(jià)、準(zhǔn)確和快捷的檢測(cè)手段光顯示、高密度存儲(chǔ)、汽車、國(guó)防等微系統(tǒng)MEMS技術(shù)的應(yīng)用10微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件11微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件12微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件13微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件14微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件15微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件16微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件17微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件18微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件19微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件20微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件21微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件22微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件23微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件24微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件25微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件26微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件27微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件28微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件29微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件30微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件31微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件32微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件33微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件34微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件35微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件36微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件37微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件38微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件39微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件40微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件41微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件42微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件43微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件44微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件45微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件46微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件47微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件48微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件49微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的學(xué)習(xí)56張課件50微