PECVD培訓(xùn)教程課件

PECVD培訓(xùn)教程

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目錄一、PECVD簡(jiǎn)介二、PECVD操作工位介紹三、PECVD裝片四、PECVD預(yù)熱五、PECVD沉積六、PECVD卸片七、工件架清潔八、各工位檢查項(xiàng)目九、異常處理十、PECVD所用氣體及性質(zhì)2一、PECVD簡(jiǎn)介PECVD全稱為PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，即等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積。PECVD在非晶硅薄膜中的用途：目前常用的襯底為導(dǎo)電玻璃（TCO），通過(guò)在TCO導(dǎo)電玻璃的導(dǎo)電層上沉積PIN的非晶硅薄膜初步形成一大塊電池芯片。PECVD工作原理：在真空狀態(tài)下，加在電極板上的射頻電場(chǎng)，使反應(yīng)室氣體發(fā)生輝光放電，在輝光發(fā)電區(qū)域產(chǎn)生大量的電子。這些電子在電場(chǎng)的作用下獲得充足的能量，其本身溫度很高，它與氣體分子相碰撞，使氣體分子活化。它們吸附在襯底上，并發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成介質(zhì)膜，副產(chǎn)物從襯底上解吸，隨主氣流由真空泵抽走。3二、PECVD操作工位介紹PECVD段有四個(gè)工位：1、二次清洗下料即為PECVD段上片，將二次清洗后的TCO玻璃裝入工件架，為預(yù)熱做準(zhǔn)備。2、數(shù)控操作（包括預(yù)熱和沉積）（1）預(yù)熱：將裝在工件架上的TCO玻璃加熱到215℃溫度，達(dá)到PECVD沉積的溫度需求。（2）沉積：在預(yù)熱好的TCO玻璃上沉積上所需結(jié)構(gòu)類型的電池。3、卸片沉積好的TCO玻璃出爐后，冷卻到55℃以下，將其從工件架上卸下，放到芯片周轉(zhuǎn)車上。為二次激光上料做準(zhǔn)備。4、工件架擦拭/清洗（1）擦拭：卸片完后的工件架，在上片前要擦拭清潔。（2）清洗：在擦拭的基礎(chǔ)上，使用10次后的工件架要清洗清潔。

4三、PECVD裝片

防護(hù)用品護(hù)腕、手套（尼龍手套、乳膠手套）、口罩。安全事項(xiàng)1：使用尼龍手套、乳膠手套時(shí)需檢查是否干凈、無(wú)破損。若有破損、污漬則需及時(shí)更換。2：在該段進(jìn)行操作時(shí)必須確保防護(hù)用品佩戴正確、完整。3：在操作過(guò)程中保證玻璃的搬運(yùn)不會(huì)對(duì)自己、周圍的人和設(shè)備造成傷害。4：發(fā)生特殊情況時(shí)要及時(shí)通知組長(zhǎng)。5三、裝片——上片作業(yè)1：在接片的規(guī)程中，檢查導(dǎo)電玻璃是否已經(jīng)清洗干凈、TCO是否良好，是否有刻劃激光一；若清洗不干凈（污點(diǎn)在受光面上須用粘酒精的無(wú)塵布擦拭），則重新進(jìn)行二次清洗；若沒(méi)有刻劃激光一，刻劃不斷或刻劃異常，則將其放置芯片周轉(zhuǎn)車上，并及時(shí)通知組長(zhǎng)與QC人員確認(rèn)；2：當(dāng)導(dǎo)電玻璃快脫離傳送軸時(shí)，作業(yè)員雙手接穩(wěn)導(dǎo)電玻璃長(zhǎng)邊，將玻璃的短邊對(duì)齊工件架的上下卡槽，并保證導(dǎo)電玻璃與鋁板平行。緩慢的往卡槽里送導(dǎo)電玻璃，當(dāng)短邊在工件架卡槽夾穩(wěn)時(shí)，作業(yè)者再將夾持導(dǎo)電玻璃上端邊的手把住玻璃懸空的短邊，另一只手依舊托住玻璃的底部長(zhǎng)邊，用掌心推懸空的短邊，使導(dǎo)電玻璃緩緩地進(jìn)入工件架，同時(shí)確保正極在上。3：在工件架右邊處，先裝單數(shù)片，后裝雙數(shù)片。防止出現(xiàn)個(gè)別位置漏裝導(dǎo)電玻璃，或者出現(xiàn)裝錯(cuò)位置。裝片整體動(dòng)作盡量緩慢、柔和、減少導(dǎo)電玻璃，特別是受光面因高速摩擦而產(chǎn)生的刮傷。裝每片速度不得高于15cm/s,每裝一片的時(shí)間不得少于8秒。一個(gè)工件架共可以裝72片。4：用萬(wàn)用表測(cè)試導(dǎo)電膜是否向外，可以把萬(wàn)用表打到電阻擋，檢測(cè)激光一兩根線間的電阻，若有阻值說(shuō)明是導(dǎo)電膜向外，若無(wú)阻值說(shuō)明導(dǎo)電膜向里。5：調(diào)整導(dǎo)電玻璃在工件架內(nèi)的深度，使玻璃長(zhǎng)邊距離電極板兩側(cè)的位置一致。6：以上步驟完成后填寫好相關(guān)表單。6三、上片操作流程圖雙手抵住玻璃兩角，將玻璃翻起，手不能觸摸膜面雙手握住玻璃中間，將其抬出

TCO自檢工件架上片

7四、PECVD預(yù)熱

1：作業(yè)員根據(jù)功率匹配表，在進(jìn)入預(yù)熱爐前匹配好相對(duì)應(yīng)的沉積爐。2：工件架結(jié)構(gòu)：18個(gè)電極，72個(gè)卡槽，36個(gè)小腔室。3：檢測(cè)：用萬(wàn)用表檢測(cè)膜面是否裝反，發(fā)聲面則為TCO膜面（受光面緊貼基板，膜面朝外，正極朝上）。4：推片：兩個(gè)人進(jìn)行推片，一前一后，前面往后面推，把芯片推入工件架半圓弧內(nèi)，先推單數(shù)面再推雙數(shù)面。8四、預(yù)熱——工件架推入預(yù)熱爐1：工件架后門（以工件架電極方向?yàn)榍伴T）用鋁門裝上，在門上左右兩邊的鐵鏈固定鋁門，讓鋁門保持1/3敞開(kāi)。2：拉搬運(yùn)車時(shí)候不能太快，不能左右搖擺。3：推搬運(yùn)車，將已裝好導(dǎo)電玻璃的工件架推至預(yù)熱爐中，通過(guò)搬運(yùn)車的定位輪調(diào)整搬運(yùn)車使搬運(yùn)車的導(dǎo)軌與預(yù)熱爐的導(dǎo)軌對(duì)齊。4：通過(guò)搬運(yùn)車的重力裝置調(diào)節(jié)搬運(yùn)車的導(dǎo)軌對(duì)平預(yù)熱爐的導(dǎo)軌。5：

打開(kāi)搬運(yùn)車的鎖緊裝置，緩緩將工件架推入預(yù)熱爐（注意：不要用力過(guò)猛，防止導(dǎo)電玻璃在工件架內(nèi)竄動(dòng)），工件架到位后，插好預(yù)熱爐內(nèi)鎖緊裝置。6：進(jìn)預(yù)熱爐：一人打開(kāi)預(yù)熱爐門，一人將搬運(yùn)車軌道對(duì)準(zhǔn)預(yù)熱爐軌道，然后兩人往預(yù)熱爐里面推，推入過(guò)程中，兩人一手扶住搬運(yùn)車，一手緩慢推入。9四、預(yù)熱——預(yù)熱爐操作規(guī)范目的導(dǎo)電玻璃基片預(yù)熱到PECVD沉積所需的溫度。

安全規(guī)程：日常工作時(shí)尼龍手套，護(hù)腕。接觸熱工件架時(shí)，使用耐高溫手套。開(kāi)機(jī)1：打開(kāi)相應(yīng)的電源開(kāi)關(guān)。2：將裝有激光線刻劃完成的導(dǎo)電玻璃推入爐中。3：按下“風(fēng)機(jī)”按鈕，亮紅燈。4：按下“加熱”按鈕，亮紅燈，溫度表1得電自檢。5：檢查溫度設(shè)置是否符合工藝要求，長(zhǎng)按上溫度表中“RUN/RST”鍵3秒，執(zhí)行加熱程序溫度到達(dá)設(shè)定值并保溫一段時(shí)間以后，報(bào)警器警示啟動(dòng)。關(guān)機(jī)1：長(zhǎng)按上溫度表中“RUN/RST”鍵3秒。2：按下“加熱”按鈕。3：按下“風(fēng)機(jī)”按鈕，關(guān)閉風(fēng)機(jī)。風(fēng)機(jī)加熱運(yùn)行10四、預(yù)熱——升溫曲線預(yù)熱溫度和上升速率設(shè)定：參照?qǐng)D一所示

溫度（℃）215150室溫455595200時(shí)間（min）1：預(yù)熱爐恒溫后的溫度為215℃，整個(gè)加熱過(guò)程總體時(shí)間為200min～240min2：每預(yù)熱完一爐，下一爐預(yù)熱前要用吸塵器清潔。3：升溫曲線1、2、3、4。用那條曲線升溫，是工藝設(shè)定時(shí)候?qū)?yīng)預(yù)熱爐具體用那條曲線升溫。4：預(yù)熱爐一到五步是升溫恒溫過(guò)程，第六部恒溫，第七步報(bào)警。5：開(kāi)機(jī)后在品質(zhì)追蹤單記錄開(kāi)機(jī)時(shí)間，預(yù)熱爐操作記錄表記錄時(shí)間。11五、PECVD沉積

準(zhǔn)備工作例行檢查1.1：確認(rèn)氣體房工藝用氣的高低壓力，通過(guò)低壓表確認(rèn)其氣體壓力滿足工藝要求，通過(guò)高壓表確認(rèn)氣體剩余量是否足夠要求的工藝用量1.2：確認(rèn)真空系統(tǒng)各泵工作是否穩(wěn)定（注意通過(guò)抽氣效率來(lái)查看）1.3：定期徹底保養(yǎng)工件架，確認(rèn)工件架符合生產(chǎn)工藝要求1.4：使用萬(wàn)用表檢查工件架點(diǎn)擊是否短路或斷路，有問(wèn)題的電極要及時(shí)請(qǐng)修2.開(kāi)機(jī)準(zhǔn)備2.1：確認(rèn)電、氣、水供應(yīng)源是否正常，查看冷卻循環(huán)用水、壓縮空氣和N2開(kāi)關(guān)是否正常打開(kāi)，檢查各真空泵油液是否正常，如果無(wú)誤，方可開(kāi)機(jī)2.2：烘烤設(shè)定：給設(shè)備電源柜、控制柜上電，打開(kāi)計(jì)算機(jī)，進(jìn)入手動(dòng)操作界面，設(shè)定烘烤溫度（一般為215℃），開(kāi)始給真空室加熱，加熱到設(shè)定溫度后，要有有溫度穩(wěn)定時(shí)間，從開(kāi)始加熱到開(kāi)始沉積工藝，烘烤時(shí)間不小于6h。2.3：給維持泵上電抽分子泵前級(jí)真空12五、沉積——準(zhǔn)備工作3.給機(jī)械泵上電抽管道真空，開(kāi)啟前級(jí)閥觀察界面上機(jī)械泵前端的復(fù)合真空計(jì)，當(dāng)該值小于5Pa時(shí)方可開(kāi)啟分子泵，分子泵達(dá)到設(shè)定的轉(zhuǎn)速（分子泵電源面板上“22”穩(wěn)定）時(shí)，在手動(dòng)界面上分子泵的顏色由黃色變成綠色，大約要花30min。推上射頻電源控制柜總開(kāi)關(guān)，將各個(gè)射頻電源打到“ON”，檢查射頻電源與通信系統(tǒng)是否有異常。查看氣路柜底部壓縮空氣進(jìn)氣端的壓力表，其壓力范圍為75Psi至85Psi（約0.5MPa~0.6Mpa），若壓力表讀值不在規(guī)定范圍內(nèi)請(qǐng)進(jìn)行調(diào)節(jié)。超過(guò)3天未開(kāi)機(jī)，需要將各路特氣管道氣體排氣約1分鐘13五、沉積——沉積爐操作規(guī)范1、安全規(guī)程：1.1日常工作時(shí)需戴尼龍手套。接觸熱工件架時(shí)，戴耐高溫?zé)崾痔住?.2操作警示：特氣氣體是危險(xiǎn)的。在大氣環(huán)境下，特氣氣體有毒能自燃

2、操作程序：

2.1：準(zhǔn)備工作2.2：例行檢查2.3：開(kāi)機(jī)準(zhǔn)備

2.4：操作步驟工件架從預(yù)熱爐轉(zhuǎn)移到沉積爐預(yù)抽沉積吹掃出爐關(guān)機(jī)14五、沉積——操作技巧1：目的

1.1：在TCO玻璃上沉積非晶硅薄膜

1.2：工裝治具與防護(hù)用品

1.3：工件架、扳手、萬(wàn)用表

1.4：尼龍手套、耐高溫手套、吸塵器、無(wú)塵布、酒精

1.5：要求：預(yù)熱爐出爐到沉積爐完成要求在10min內(nèi)，最多不能超過(guò)15min。操作：1：一人打開(kāi)沉積室的前門，打開(kāi)搬運(yùn)車的鎖緊裝置，緩緩將工件架推入沉積室（注意：不要用力大,以防止導(dǎo)電玻璃撞碎和移位），取下搬運(yùn)車固定銷拉出搬運(yùn)車。

1：升降裝置3：定位槽

2：固定插銷152：用工具（扳手）鉗住鎖緊裝置將其推到位，如圖四（注：此操作一人操作，另一人核查），關(guān)上沉積室的前門并上緊鎖緊裝置圖四真空室里的工件架鎖緊裝置

五、沉積——操作技巧161:操作:一人接地線，一人接特氣管，兩人同時(shí)接十八個(gè)電極,最后檢查特氣管，電極，地線是否接好。2:關(guān)起門之后電腦操作：首先試起輝功率設(shè)定100w，反射功率能否降下10w以下，反射高于10w檢查對(duì)應(yīng)電極是否接好，匹配器是否接好。3:執(zhí)行工藝注意先手動(dòng)界面抽真空，不能直接執(zhí)行工藝。4:先抽真空，打開(kāi)機(jī)械泵5秒鐘后，打開(kāi)預(yù)抽閥真空下降到7.99e+004以下，關(guān)掉預(yù)抽閥，關(guān)掉機(jī)械泵。然后工藝執(zhí)行界面，選擇工藝執(zhí)行程序，點(diǎn)擊工藝執(zhí)行注意：1:工藝進(jìn)行時(shí)不能停止工藝，不得亂動(dòng)電腦，射頻電源開(kāi)關(guān)不得觸碰。2:出爐后要對(duì)電極檢查，有無(wú)起輝燒壞的，燒壞的馬上通知設(shè)備維修。3:工件架清洗頻度：10爐/次4:工件架電極間短路檢測(cè)頻度：1爐/次5:工件架接觸不良檢測(cè)頻度：1爐/次6:工件架螺母松動(dòng)檢查頻度：1爐/次五、沉積——操作技巧17五、沉積——工作界面介紹18五、沉積——輝光點(diǎn)檢1：起輝PIN點(diǎn)檢2：點(diǎn)檢注意事項(xiàng)：點(diǎn)檢反射功率大于10w則要進(jìn)行調(diào)節(jié)。反射功率必須控制在10w以下。3：Ar起輝：若反射功率達(dá)到200w需馬上調(diào)節(jié)，多次調(diào)節(jié)無(wú)法降低的則需關(guān)閉該電極電源。（追蹤單對(duì)應(yīng)電極寫上反射功率200w，已關(guān)閉）能調(diào)節(jié)到80w以下的則不關(guān)閉。4：串?dāng)_情況：串?dāng)_是指連續(xù)幾個(gè)電極反射功率過(guò)高。5：電極射頻電源注意事項(xiàng)：

5.1：Ar起輝FAULTRESET（故障復(fù)位）燈亮起，則射頻電源沒(méi)有正常工作，把對(duì)應(yīng)電極關(guān)閉，重新把該電極開(kāi)起來(lái)。

5.2：射頻電源工作時(shí)有LP、FP（手動(dòng)、自動(dòng)）狀態(tài)，射頻電源需工作在LP（手動(dòng)）狀態(tài)

5.3：REMOTEENABLB（遠(yuǎn)程啟用）燈亮為正常工作狀態(tài)。6：對(duì)界面上氣體運(yùn)行情況點(diǎn)檢，各種氣體流量運(yùn)行是否正常。19五、沉積——出爐1：先在品質(zhì)追蹤單上記錄出爐時(shí)間，把追蹤單放到打印標(biāo)簽電腦桌面。2：出爐兩人操作，一人拆地線，一人拆特氣管，兩人同時(shí)拆電極，拔電極時(shí)候要注意手法左手在下面握住電極尾端，右手在上面拔，不能左右擺的拔，會(huì)造成電極操作損壞。3：關(guān)掉后門，打開(kāi)前門，工件架搬運(yùn)車對(duì)準(zhǔn)導(dǎo)軌，兩人拉工件架時(shí)候，一只手要頂住車子不要讓搬運(yùn)車有偏移現(xiàn)象。然后用點(diǎn)力拉出工件架，然后用插槽固定。4：一人把工件架拉到放置區(qū)域，一人用吸塵器把沉積爐清潔。20六、PECVD卸片1、冷卻作業(yè)1.1：沉積出爐后，將已沉積好裝有鍍膜玻璃的工件架用搬運(yùn)車緩慢的拉至工件架冷卻的位置；1.2：使用風(fēng)扇或空調(diào)加速進(jìn)行冷卻時(shí)，須在工件架自然冷卻40Min之后進(jìn)行正面吹風(fēng)，工件架位置須距離風(fēng)扇或空調(diào)兩米以外進(jìn)行吹風(fēng)冷卻；1.3：當(dāng)冷卻到55℃時(shí)冷卻速度變的很緩慢，自然冷卻至55℃（使用紅外測(cè)溫儀探測(cè)工件架中間頂部溫度）以下可以開(kāi)始卸片；2、卸片及貼條碼作業(yè)2.1：打印好條碼；2.2：按順序兩人用推片器將鍍膜玻璃推出工件架約15cm；2.3：卸片人員雙手夾持住鍍膜玻璃的長(zhǎng)邊，緩緩將鍍膜玻璃拉出。2.4：卸片時(shí)拉出導(dǎo)電玻璃的速度不得高于25cm/s，每卸一片在工件架中移動(dòng)的時(shí)間不得少于5S，下片動(dòng)作盡量緩慢、柔和，減少導(dǎo)電玻璃受光面因高速摩擦而產(chǎn)生的刮傷；2.5：卸片人員將卸出的鍍膜玻璃放置于芯片周轉(zhuǎn)車上，貼條碼人員則在玻璃正極邊的右上方用左手拿條碼定位工裝卡在玻璃邊緣，此時(shí)右手上也拿著條碼帶，定位完成后將所需要貼的條碼角用手輕折，待條碼角有輕微翹起后用刀片挑起一小角，緩緩撕起條碼，貼在定位工裝內(nèi)的轉(zhuǎn)角上，完成取下定位工裝，再用大拇指將條碼抹平；21六、卸片1：防護(hù)用品：護(hù)腕、乳膠手套、尼龍手套、口罩。2：常用工具：玻璃推片器、條碼工裝、刀片。3：說(shuō)明：

3.1:冷卻至55℃以下時(shí)方可卸片，卸片時(shí)，兩端使用推片器推出約15cm。

3.2:推出后雙手卡住玻璃長(zhǎng)邊抽出1/2以上檢查是否有破裂現(xiàn)象。

3.3:芯片卸出后雙手卡住玻璃長(zhǎng)邊檢查受光面是否有異物或刮傷。

3.4:放片時(shí)依照芯片卡槽位置一一對(duì)應(yīng)。

3.5:正極邊靠右角用條碼工裝按順序貼。226：貼條形碼2：雙手各抓芯片一邊，手不能碰膜面5：檢查芯片情況，將良品放入周轉(zhuǎn)車3：將芯片拉出二分之一4：雙手抓住芯片中間，卸片1：兩人共同推片六、卸片——操作流程圖23七、工件架圖片工件架邊緣基板3~4cm底部距邊緣4~5cm24七、工件架清潔1：目的：把工件架硅粉等殘留雜質(zhì)清理干凈。2：擦拭的范圍為：每一基板的兩端3~5cm；3：沉積了10爐的工件架清洗方法：先用純水在每個(gè)極板表面前后從上往下依次沖洗2-3次，保證每個(gè)基板都沖洗到。接下來(lái)用無(wú)塵布每個(gè)極板表面從上往下依次擦拭2-3次。最后用高壓氣槍在每個(gè)極板表面從上往下依次進(jìn)行吹掃。4：清洗完工件架后（需QC確認(rèn)），在工件架表面會(huì)有殘留的水珠，須使用干無(wú)塵布擦拭大面積的水珠，再使用壓縮空氣或氮?dú)獯祾咪X板中間部分水珠，直至無(wú)明顯顆粒狀的水珠，工件架搬運(yùn)車也要擦拭水珠與清潔5：清潔完之后拉過(guò)PECVD數(shù)控區(qū)進(jìn)行烘烤6：烘烤方法：預(yù)熱爐中進(jìn)行第4到第6步，完成之后打開(kāi)門以小縫隙，關(guān)掉加熱，用風(fēng)機(jī)進(jìn)行吹10min左右。7：沉積了1爐的工件架清洗方法：先用酒精每個(gè)極板表面從上往下依次擦拭2-3次，然后高壓N2每個(gè)極板表面從上往下依次進(jìn)行吹掃2-3次。8：清潔完之后寫上品質(zhì)追蹤單，拉過(guò)PECVD裝片區(qū)域。9：清潔后檢查：用干的無(wú)塵布在基板表面擦拭，看是否還有硅粉等殘留物。25七、工件架作業(yè)注意事項(xiàng)注意事項(xiàng)：

1:電極板邊緣打磨的72片工件架生產(chǎn)10爐后必須用水清洗，若發(fā)現(xiàn)工件架未到10次但沉積后工件架硅粉較多，需清洗的時(shí)候也可以進(jìn)行水清洗；

2:對(duì)于所有擱置未使用的工件架，超過(guò)120小時(shí)（5天）必須水洗一次后方可投入使用；

3:用萬(wàn)用表檢測(cè)工件架電極間是否存在短路現(xiàn)象，正負(fù)極表筆分別搭在相領(lǐng)的兩塊基板上，查看是否有導(dǎo)通。

4:若工件架的個(gè)別電極間存在著短路現(xiàn)象，則停止短路電極的生產(chǎn)，并且通知設(shè)備部門進(jìn)行維修；

5:在用水清洗后，必須用萬(wàn)用表檢測(cè)工件架是否存在短路現(xiàn)象；

6:用手輕輕觸動(dòng)工件架的電極頭及電極桿是否有松動(dòng)現(xiàn)象，若電極頭相對(duì)電極桿存在著松動(dòng)現(xiàn)象（為電極頭上螺母存在松動(dòng)），則應(yīng)把電極頭上的螺母旋緊；若為電極桿與工件架存在輕微的松動(dòng)現(xiàn)象，則其電極可以繼續(xù)生產(chǎn)；若電極桿與工件架存在著較大的松動(dòng)現(xiàn)象，則請(qǐng)通知設(shè)備部門進(jìn)行維修；26七、工件架作業(yè)注意事項(xiàng)注意事項(xiàng)：

1:工件架電極觸頭因接觸不良有被氧化發(fā)黑，可用細(xì)砂紙進(jìn)行輕微地打磨，當(dāng)工件架電極觸頭損壞嚴(yán)重，會(huì)導(dǎo)致接觸嚴(yán)重不良必須更換成新的，檢測(cè)頻率為1爐/次；

2:工件架接觸不良檢測(cè)頻度為1爐/次；

3:由于工件架本身結(jié)構(gòu)原因，其變形再所難免，因而在實(shí)際操作中，應(yīng)盡量去保護(hù)其結(jié)構(gòu)，而工件架兩邊的鋁門可以起到加固結(jié)構(gòu)的作用，為了保護(hù)工件架的結(jié)構(gòu)，在推動(dòng)工件架的時(shí)候，應(yīng)安裝一個(gè)鋁門；

4:裝好導(dǎo)電玻璃的工件架，在原地安裝好兩側(cè)鋁門或只裝上一側(cè)的鋁門（任意），再推入預(yù)熱爐中，因?yàn)檠b好導(dǎo)電玻璃的工件架，加上玻璃重量，更容易晃動(dòng)；

5:卸下電池芯片的工件架，在推往清洗的過(guò)程中，一定要裝上一側(cè)鋁門（任意），因?yàn)檫@個(gè)過(guò)程相對(duì)較遠(yuǎn)，（切記務(wù)必裝好鋁門才進(jìn)行移動(dòng)）

6:在移動(dòng)的工件架且距離較遠(yuǎn)時(shí)，請(qǐng)安裝上一側(cè)鋁門。

7:工件架在行駛過(guò)程中應(yīng)該均勻緩慢的移動(dòng)，不許急速前進(jìn)與急速轉(zhuǎn)彎，因急速運(yùn)動(dòng)過(guò)程的工件架容易產(chǎn)生晃動(dòng)，導(dǎo)致工件架上緊的螺絲松動(dòng)；27八、各工位檢查項(xiàng)目檢驗(yàn)項(xiàng)目?jī)x器產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)/相關(guān)內(nèi)容檢驗(yàn)方式責(zé)任人檢驗(yàn)數(shù)量檢驗(yàn)頻度裝片檢查目視①導(dǎo)電玻璃表面潔凈，無(wú)水珠、斑點(diǎn)、顆粒、刮傷、破裂等不良現(xiàn)象，且四周倒邊、倒角完全，無(wú)光亮處。

②已刻畫完成一次激光，無(wú)少刻、漏刻等異常。③導(dǎo)電玻璃在工件架中玻璃面朝基板，TCO面朝外,正極邊在工件架頂部。

④導(dǎo)電玻璃清洗后放置在大氣的時(shí)間不超過(guò)2小時(shí)

互檢作業(yè)員全檢100%巡檢IPQC一次4h工件架檢查目視、無(wú)塵布、萬(wàn)用表①工件架擦拭：基板兩端3～5cm區(qū)域，要求無(wú)塵布上不允許有顆粒狀硅粉殘留且不允許明顯發(fā)黑。

②電極短路：萬(wàn)用表檢測(cè)、正負(fù)極基板無(wú)短路現(xiàn)象。

③電極接觸性能：電極無(wú)氧化或發(fā)黑現(xiàn)象。

④松動(dòng)：無(wú)松動(dòng)或螺母掉落，其他部件有無(wú)異常。

⑤沉積次數(shù)：水洗后72片裝工件架沉積不超過(guò)10爐。⑥鋼化玻璃門10爐腐蝕清洗一次。⑦未使用工件架閑置時(shí)間不超過(guò)120分鐘。自檢作業(yè)員一次每爐巡檢IPQC一次4h28八、各工位檢查項(xiàng)目檢驗(yàn)項(xiàng)目?jī)x器產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)/相關(guān)內(nèi)容檢驗(yàn)方式責(zé)任人檢驗(yàn)數(shù)量檢驗(yàn)頻度預(yù)熱檢查目視①每爐清洗，無(wú)硅粉殘留。

③預(yù)熱爐進(jìn)出爐時(shí)間點(diǎn)檢。

④工件架中的刻線規(guī)格是否和品質(zhì)追蹤上一致

⑤鋼化玻璃門是否有進(jìn)爐一起預(yù)熱。

⑥預(yù)熱出爐后到沉積的時(shí)間不超過(guò)10分鐘。自檢作業(yè)員一次每爐巡檢IPQC一次4h沉積檢查目視①沉積室腔體內(nèi)壁無(wú)明顯硅粉、顆粒。

②設(shè)備電極無(wú)氧化、發(fā)黑。

③特氣管、地線正常連接。

④程序選擇正確。

⑤輝光正常，反射功率小于10w。

⑥沉積壓力與氣體流量正常穩(wěn)定。⑦沉積溫度在215℃～250℃。自檢作業(yè)員一次每爐巡檢IPQC一次4h29八、各工位檢查項(xiàng)目檢驗(yàn)項(xiàng)目?jī)x器產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)/相關(guān)內(nèi)容檢驗(yàn)方式責(zé)任人檢驗(yàn)數(shù)量檢驗(yàn)頻度冷卻、卸片目視、紅外測(cè)溫儀①工件架自然冷卻，出爐時(shí)不允許立即靠近空調(diào)或者風(fēng)扇。

②卸片溫度低于55℃。

③條碼貼的位置是否正確，字跡清晰并可掃描到計(jì)算機(jī)，且編號(hào)和片一一對(duì)應(yīng)。確認(rèn)的不良品貼上正確的不良項(xiàng)目條碼并在品質(zhì)追蹤單上需記錄清楚。

④注意芯片受光面是否有刮傷，記錄刮傷電極編號(hào)。⑤不良品需隔離放置標(biāo)識(shí)清楚。⑥檢查卸片作業(yè)方式與Sop文件一致性。自檢作業(yè)員一次每爐巡檢IPQC一次4h30九、異常處理現(xiàn)象影響判斷處理工件架硅粉或其他粉塵過(guò)多1:影響激光二刻劃2:影響沉積效果1：用手電筒側(cè)面照射電池芯片半成品的膜面，看表面是否能觀察到非常多顆粒狀的硅粉1：對(duì)工件架做清潔保養(yǎng)真空室預(yù)抽異常無(wú)法正常執(zhí)行工藝1：開(kāi)啟機(jī)械泵6秒內(nèi)腔室真空壓力仍然沒(méi)有下降趨勢(shì)判斷為真空室異常

2：沉積室前后門伴有漏氣的聲音（低真空時(shí)）。

3：分子泵抽氣20分后保壓，若半小時(shí)內(nèi)上升至5Pa以上，確定為沉積室密封性異常。1:檢查門的情況，若用外力擠壓使其合上，沉積完后通知設(shè)備調(diào)節(jié)門軸。2:用酒精擦拭密封圈周圍再次嘗試。

3:數(shù)次嘗試無(wú)效后，通知設(shè)備維修.31九、異常處理現(xiàn)象影響判斷處理電源反射功率異常1:造成芯片低功率2:造成整爐芯片報(bào)廢1：反射功率超過(guò)80W認(rèn)為異常1：切換自動(dòng)手動(dòng)匹配。2：手動(dòng)情況下開(kāi)啟掃頻功能。3：手動(dòng)調(diào)節(jié)兩個(gè)電容的位置。4：手動(dòng)調(diào)節(jié)電源工作頻率。5：在品質(zhì)跟蹤單上記錄異常情況6：?jiǎn)栴}嚴(yán)重，通知設(shè)備冷卻水異常1：影響射頻電源2：干泵、分子泵1：檢查RF電源的冷卻水管的水溫，可以察看干泵冷卻循環(huán)水設(shè)備的出水口溫度顯示，高于30度認(rèn)為異常。1：水溫過(guò)高時(shí)若沒(méi)在輝光步驟，則停止工藝等待補(bǔ)做。

2：電源不能正常輝光，關(guān)閉該電極，輝光完后停止工藝。3：干泵停止工作，立即停止工藝。4：記錄故障詳細(xì)情況。32九、異常處理現(xiàn)象影響判斷處理分子泵報(bào)警造成工藝停止，出現(xiàn)芯片不良情況分子泵警報(bào)根據(jù)分子泵自身報(bào)警處理操作，分子泵在報(bào)警后會(huì)自動(dòng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)。若正在用則停止工藝通知設(shè)備，若不用則完成本次沉積后通知設(shè)備。

對(duì)于上述沒(méi)有提及的其他異常情況，在優(yōu)先進(jìn)行必要安全操作的前提下，及時(shí)通知技術(shù)部門解決。

3334GuangdongHanergySolarCo.,Ltd.PECVD設(shè)備常見(jiàn)真空問(wèn)題1.現(xiàn)象：真空抽不下原因一：爐門密封圈老化解決：更換密封圈原因二：爐門門縫太大解決：調(diào)節(jié)門縫2.現(xiàn)象：腔體有漏原因：經(jīng)檢漏發(fā)現(xiàn)電極漏氣解決：拆下重裝后再次檢漏漏率OK4.現(xiàn)象：干泵顯示冷卻循環(huán)水溫度過(guò)高原因：冷卻循環(huán)水管路堵塞處理：用氮?dú)獯祾吒杀肞B的進(jìn)出水管路后恢復(fù)正常3.現(xiàn)象：干泵運(yùn)行一小時(shí)后就自動(dòng)停機(jī)并報(bào)警，顯示故障代碼“5.12”，原因：經(jīng)廠家分析為過(guò)熱報(bào)警。查找到DP泵的冷卻水管路沒(méi)接好。解決：接好后設(shè)備正常。九、異常處理35GuangdongHanergySolarCo.,Ltd.PECVD設(shè)備常見(jiàn)射頻問(wèn)題原因：把相鄰匹配器的輸出電纜互換，判斷得知電極有接觸故障。1.現(xiàn)象：電極反饋功率高解決：跟換電極線后正常。2.現(xiàn)象：PECVD腔室2#電極出片開(kāi)門時(shí)發(fā)現(xiàn)打火嚴(yán)重，原因：檢查發(fā)現(xiàn)電極松動(dòng)氧化發(fā)黑。解決：更換電極，正常九、異常處理36GuangdongHanergySolarCo.,Ltd.1.現(xiàn)象：PECVD后門傳感器關(guān)門不變綠，原因：檢查感應(yīng)器連接線松動(dòng)脫落解決：緊固好后正常PECVD設(shè)備常見(jiàn)爐門問(wèn)題九、異常處理37GuangdongHanergySolarCo.,Ltd.PECVD設(shè)備常見(jiàn)真空問(wèn)題1.現(xiàn)象：真空抽不下原因一：爐門密封圈老化解決：更換密封圈原因二：爐門門縫太大解決：調(diào)節(jié)門縫2.現(xiàn)象：腔體有漏原因：經(jīng)檢漏發(fā)現(xiàn)電極漏氣解決：拆下重裝后再次檢漏漏率OK4.現(xiàn)象：干泵顯示冷卻循環(huán)水溫度過(guò)高原因：冷卻循環(huán)水管路堵塞處理：用氮?dú)獯祾吒杀肞B的進(jìn)出水管路后恢復(fù)正常3.現(xiàn)象：干泵運(yùn)行一小時(shí)后就自動(dòng)停機(jī)并報(bào)警