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流行飾品材料及工藝教育部職業(yè)教育寶玉石鑒定與加工專業(yè)教學(xué)資源庫(kù)GemsandJadeIdentificationandProcessingTeachingResourceLibrary物理氣相沉積工藝的分類建設(shè)者姓名：尚穎麗物理氣相沉積工藝物理氣相沉積工藝的分類-離子鍍

離子鍍離子鍍是在真空條件下，利用氣體放電使氣體或被蒸發(fā)物質(zhì)部分離化，在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)離子轟擊作用的同時(shí)，把蒸發(fā)物或其反應(yīng)物沉積在基底上。離子鍍兼具蒸發(fā)鍍的沉積速度快和濺射鍍的離子轟擊清潔表面的特點(diǎn)，具體來說有以下方面：(1)膜層與襯底之間具有良好的附著力，并且薄膜結(jié)構(gòu)致密。(2)可以提高薄膜對(duì)于復(fù)雜外形表面的覆蓋能力，或稱為薄膜沉積過程中的繞射能力。(3)膜層組織可控參數(shù)多、膜層粒子總體能量高，容易進(jìn)行反應(yīng)沉積，可以在較低溫度下獲得化合物涂層。謝謝觀看！

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