第四章熱電傳感器

第四章熱電傳感器第一頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日我國(guó)目前實(shí)行的是1990年國(guó)際溫標(biāo)(ITS—90）定義國(guó)際開(kāi)爾文溫度（T90）國(guó)際攝氏溫度（t90）；

T90：?jiǎn)挝唬↘）開(kāi)爾文

t90：?jiǎn)挝唬–）攝氏兩者關(guān)系為：

t90/℃=T90/K–273.15或

t/℃

=T/K–273.15溫度單位：熱力學(xué)溫度是國(guó)際上公認(rèn)的最基本溫度第二頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日

溫度是諸多物理現(xiàn)象中具有代表性的物理量，現(xiàn)代生活中準(zhǔn)確的溫度是不可缺少的信息內(nèi)容，如家用電器有：電飯煲、電冰箱、空調(diào)、微波爐這些家用電器中都少不了熱電式傳感器。概述第三頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日熱電式傳感器是一種將溫度變化轉(zhuǎn)換為電量的裝置。它是利用某些材料或元件的性能隨溫度變化的特性來(lái)進(jìn)行測(cè)量的。例如將溫度變化轉(zhuǎn)換為電阻、熱電動(dòng)勢(shì)、熱膨脹、導(dǎo)磁率等的變化，再通過(guò)適當(dāng)?shù)臏y(cè)量電路達(dá)到檢測(cè)溫度的目的。概述第四頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日概述各種熱電偶第五頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日概述各種熱電阻第六頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日

熱電式傳感器按工作原理主要有以下幾類：

熱電偶，利用金屬溫差電動(dòng)勢(shì)，有耐高溫、精度高的特點(diǎn)；

熱電阻，利用導(dǎo)體電阻隨溫度變化，測(cè)溫不高；

熱敏電阻，利用半導(dǎo)體材料隨溫度變化測(cè)溫，體積小、靈敏度高、穩(wěn)定性差；

集成溫度傳感器，利用晶體管PN結(jié)電流、電壓隨溫度變化，有專用集成電路，體積小、響應(yīng)快、價(jià)廉，測(cè)量150℃以下溫度。概述第七頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日4.6..1熱電偶

1熱電效應(yīng)兩種不同類型的金屬導(dǎo)體兩端，分別接在一起構(gòu)成閉合回路，當(dāng)兩個(gè)結(jié)點(diǎn)溫度不等（T＞T0）有溫差時(shí)，回路里會(huì)產(chǎn)生熱電勢(shì)，形成電流。這種現(xiàn)象稱為熱電效應(yīng)。利用這種效應(yīng)，只要知道一端結(jié)點(diǎn)溫度，就可以測(cè)出另一端結(jié)點(diǎn)的溫度。第八頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日

固定溫度的接點(diǎn)稱基準(zhǔn)點(diǎn)（冷端）T0

，恒定在某一標(biāo)準(zhǔn)溫度；待測(cè)溫度的接點(diǎn)稱測(cè)溫點(diǎn)（熱端）T

，置于被測(cè)溫度場(chǎng)中。這種將溫度轉(zhuǎn)換成熱電動(dòng)勢(shì)的傳感器稱為熱電偶，金屬稱熱電極。第九頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日熱電效應(yīng)

1、兩種導(dǎo)體的接觸電勢(shì)（珀?duì)柼?yīng)）不同金屬自由電子密度不同，當(dāng)兩種金屬接觸在一起時(shí)，在結(jié)點(diǎn)處會(huì)產(chǎn)生電子擴(kuò)散，濃度大的向濃度小的金屬擴(kuò)散。濃度高的失去電子顯正電，濃度低的得到電子顯負(fù)電。當(dāng)擴(kuò)散達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡時(shí)，得到一個(gè)穩(wěn)定的接觸電勢(shì)。第十頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日熱電效應(yīng)溫度T時(shí)熱端接觸電勢(shì)：冷端（T0）接觸電勢(shì)：

式中：

A、B代表不同材料；T，T0

為兩端溫度；

k＿波爾茲曼常數(shù)；

e＿電子電荷量；

是A、B材料的電子濃度；第十一頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日熱電效應(yīng)在閉合回路中，總的接觸電勢(shì)為：第十二頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日熱電效應(yīng)2、單一導(dǎo)體的溫差電勢(shì)（湯姆遜電勢(shì)）對(duì)單一金屬如果兩邊溫度不同，兩端也產(chǎn)生電勢(shì)。產(chǎn)生這個(gè)電勢(shì)是由于導(dǎo)體內(nèi)自由電子在高溫端具有較大的動(dòng)能，會(huì)向低溫端擴(kuò)散。由于高溫端失去電子帶正電，低溫端得到電子帶負(fù)電。＋－Ｔ＞Ｔ０第十三頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日A、B兩導(dǎo)體構(gòu)成閉合回路總的溫差電勢(shì)為：?jiǎn)我粚?dǎo)體的溫差電勢(shì)為：σ:湯姆遜系數(shù)第十四頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日熱電效應(yīng)根據(jù)兩導(dǎo)體的接觸電勢(shì)（珀?duì)柼妱?shì)）和單一導(dǎo)體溫差電勢(shì)（湯姆遜電勢(shì)）。熱電偶總的熱電勢(shì)為：第十五頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日熱電效應(yīng)結(jié)論：熱電偶兩電極材料相同，NA=NB時(shí)，無(wú)論兩端點(diǎn)溫度如何，總熱電勢(shì)為零；2.如果熱電偶兩接點(diǎn)溫度相同，T=T0時(shí)，A、B材料不同，回路總電勢(shì)為零；熱電偶產(chǎn)生熱電勢(shì)的必要條件:熱電偶必須用不同材料做電極；在T、T0兩端必須有溫差梯度.

第十六頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日熱電偶基本定律1、均質(zhì)導(dǎo)體定律兩種均質(zhì)導(dǎo)體，其電勢(shì)大小與熱電極直徑、長(zhǎng)度及沿?zé)犭姌O長(zhǎng)度上的溫度分布無(wú)關(guān)，只與熱電極材料和兩端溫度有關(guān)。材質(zhì)不均勻，則當(dāng)熱電極上各處溫度不同時(shí)，將產(chǎn)生附加熱電勢(shì)，造成無(wú)法估計(jì)的測(cè)量誤差。第十七頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日2熱電偶基本定律2、中間導(dǎo)體定律如果將熱電偶T0端斷開(kāi)，接入第三導(dǎo)體C，回路中電勢(shì)EAB（T，T0）應(yīng)寫為：ＡＢＣＴＴ０Ｔ０第十八頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日2。熱電偶基本定律設(shè)

時(shí)，

將

代入上式有：

第十九頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日2熱電偶基本定律結(jié)論：當(dāng)引入第三導(dǎo)體C時(shí)，只要C導(dǎo)體兩端溫度相同，回路總電勢(shì)不變，根據(jù)這一定律，將導(dǎo)體C作為測(cè)量?jī)x器接入回路，就可以由總電勢(shì)求出工作端溫度，條件是：保證兩端溫度一致。第二十頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日2熱電偶基本定律3、參考電極定律（中間溫度定律）當(dāng)結(jié)點(diǎn)溫度為T、T0時(shí)的熱電勢(shì)EAB（T,T0）等于結(jié)點(diǎn)溫度T、Tc和Tc、T0

時(shí)，熱電勢(shì)與

的代數(shù)和為：

實(shí)際測(cè)量時(shí)，利用這一性質(zhì)，對(duì)參考端溫度不為零度時(shí)的熱電勢(shì)進(jìn)行修正。第二十一頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日3熱電偶的溫度補(bǔ)償熱電偶輸出的電熱是兩結(jié)點(diǎn)溫度差的函數(shù)。為了使輸出的電勢(shì)是被測(cè)溫度的單一函數(shù)，一般將T作為被測(cè)溫度端，T0作為固定冷端(參考溫度端)。通常要求T0保持為0℃(恒定)，但是在實(shí)際使用中要做到這一點(diǎn)比較困難，因而產(chǎn)生了熱電偶冷端溫度補(bǔ)償問(wèn)題。第二十二頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日3熱電偶的溫度補(bǔ)償(1)0℃恒溫法即在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下，將清潔的水和冰屑混合后放在保溫容器內(nèi)，可使T0保持0℃。近年來(lái)已研制出一種能使溫度恒定在0℃的半導(dǎo)體致冷器件。(2)補(bǔ)正系數(shù)修正法利用中間溫度定律可以求出T0≠0時(shí)的電勢(shì)。該法較精確，但繁瑣。因此，工程上常用補(bǔ)正系數(shù)修正法實(shí)現(xiàn)補(bǔ)償。設(shè)冷端溫度為Tn，此時(shí)測(cè)得溫度為T1

(儀表測(cè)得溫度)，其實(shí)際溫度應(yīng)為：

T=T1

+kTn

式中k——補(bǔ)正系數(shù)。第二十三頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日3熱電偶的溫度補(bǔ)償(3)延伸熱電極法(即補(bǔ)償導(dǎo)線法)

熱電偶長(zhǎng)度一般只有一米左右，在實(shí)際測(cè)量時(shí)，需要將熱電偶輸出的電勢(shì)傳輸?shù)綌?shù)十米外的顯示儀表或控制儀表，根據(jù)中間導(dǎo)體定律即可實(shí)現(xiàn)上述要求。一般選用直徑粗、導(dǎo)電系數(shù)大的材料制作延伸導(dǎo)線，以減小熱電偶回路的電阻，節(jié)省電極材料。第二十四頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日3熱電偶的溫度補(bǔ)償(4)補(bǔ)償電橋法該法利用不平衡電橋產(chǎn)生的電壓來(lái)補(bǔ)償熱電偶參考端溫度變化引起的電勢(shì)變化。電橋四個(gè)橋臂與冷端處于同一溫度，其中R1=R2=R3為錳銅線繞制的電阻，R4為銅導(dǎo)線繞制的補(bǔ)償電阻，E是電橋的電源，R為限流電阻，阻值取決于熱電偶材料。

使用時(shí)選擇R4的阻值使電橋保持平衡，電橋輸出Uab=0。當(dāng)冷端溫度升高時(shí)，R4阻值隨之增大，電橋失去圖示

補(bǔ)償電橋法示意圖平衡，Uab相應(yīng)增大，此時(shí)熱電偶電勢(shì)Ex由于冷端溫度升高而減小。若Uab的增量等于熱電偶電勢(shì)Ex的減小量，回路總的電勢(shì)Uab的值就不會(huì)隨熱電偶冷端溫度變化而變化，即：

UAB=EX+Uab

第二十五頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日4熱電偶的結(jié)構(gòu)和種類結(jié)構(gòu)：普通熱電偶，測(cè)量氣體、蒸汽、液體等，棒形結(jié)構(gòu)；薄膜熱電偶，用于火箭、飛機(jī)噴嘴溫度測(cè)量，結(jié)構(gòu)較??；鎧裝熱電偶，用以測(cè)量狹小對(duì)象，結(jié)構(gòu)細(xì)長(zhǎng)、可彎曲；表面熱電偶，用于弧形表面物體測(cè)溫；消耗式熱電偶，主要用于鋼水溫度測(cè)量。a)普通熱電偶b)薄膜熱電偶c)鎧裝熱電偶第二十六頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日4

熱電偶的結(jié)構(gòu)和種類熱電偶種類：貴金屬熱電偶鉑銠——鉑銠（600～1700）℃鉑銠——鉑（0～1600）℃普通金屬熱電偶鎳鉻——鎳硅（-200～1200）℃鎳鉻——鎳銅（-40～750）℃鐵——康銅（0～400）℃熱電偶可以測(cè)量上千度高溫，并且精度高、性能好，這是其它熱電式傳感器無(wú)法替代的。第二十七頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日5

熱電偶測(cè)量電路通過(guò)查熱電偶分度表可知熱電偶產(chǎn)生的熱電勢(shì)；例如K型：0℃時(shí)0mV，600℃時(shí)E=24.902mv；分度表以t=0℃作基準(zhǔn)，而實(shí)際應(yīng)用中t≠0℃；若參考端溫度不為0℃，工作端溫度為t時(shí)，由分度表可查出EA（t,0），與實(shí)際熱電勢(shì)EAB（t,t0）之間的關(guān)系可通過(guò)參考電極定律得出：第二十八頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日5

熱電偶測(cè)量電路電路調(diào)試步驟：調(diào)零：T=0℃時(shí)調(diào)整調(diào)零電位器RP2使運(yùn)放輸出為零；調(diào)增益：溫度600℃時(shí)調(diào)節(jié)負(fù)反饋電阻，使運(yùn)放輸出在6V。放大器增益為240.94，得到滿量程輸出6V（600℃）。第二十九頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日熱電阻主要有兩大類：金屬熱電阻半導(dǎo)體熱敏電阻廣泛用于測(cè)量-200～+850℃，少數(shù)可測(cè)1000℃。4.5.2熱電阻貼片式薄膜式

大功率

第三十頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日金屬熱電阻一般用于-200～+500℃溫度測(cè)量；材料多為純鉑金屬絲，也有銅、鎳，繞制在云母板、玻璃或陶瓷線圈架上，構(gòu)成熱電阻。鉑熱電阻阻值與溫度變化之間的關(guān)系近似為：4.5.2熱電阻

1金屬熱電阻-200～O℃

+0～850℃

式中：

為溫度和

時(shí)的電阻a值。溫度時(shí)，

的公稱值是。第三十一頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日熱電阻＝電阻體（最主要部分）＋絕緣套管＋接線盒作為熱電阻的材料要求：電阻溫度系數(shù)要大，以提高熱電阻的靈敏度；電阻率盡可能大，以便減小電阻體尺寸；熱容量要小，以便提高熱電阻的響應(yīng)速度；在測(cè)量范圍內(nèi)，應(yīng)具有穩(wěn)定的物理和化學(xué)性能；電阻與溫度的關(guān)系最好接近于線性；應(yīng)有良好的可加工性，且價(jià)格便宜。使用最廣泛的熱電阻材料是鉑和銅鉑熱電阻主要作為標(biāo)準(zhǔn)電阻溫度計(jì)，廣泛應(yīng)用于溫度基準(zhǔn)、標(biāo)準(zhǔn)的傳遞。銅熱電阻測(cè)量精度要求不高且溫度較低的場(chǎng)合，測(cè)量范圍一般為―50～150℃。1

金屬熱電阻第三十二頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日⑴鉑熱電阻長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的復(fù)現(xiàn)性可達(dá)10-4K，是目前測(cè)溫復(fù)現(xiàn)性最好的一種溫度計(jì)。鉑電阻的精度與鉑的提純程度有關(guān)純度電阻比W（100）越高，表示鉑絲純度越高，國(guó)際實(shí)用溫標(biāo)規(guī)定，作為基準(zhǔn)器的鉑電阻，W（100）≥1.3925目前技術(shù)水平已達(dá)到W（100）＝1.3930，工業(yè)用鉑電阻的純度W（100）為1.387～1.390。1

金屬熱電阻第三十三頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日鉑絲的電阻值與溫度之間的關(guān)系，即特性方程如下：當(dāng)溫度t在－200℃≤t≤0℃時(shí)：當(dāng)溫度t在0℃≤t≤650℃時(shí)：國(guó)內(nèi)統(tǒng)一設(shè)計(jì)的工業(yè)用標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻，W（100）≥1.391，R0分為50Ω和100Ω兩種，分度號(hào)分別為Pt50和Pt100，其分度表（給出阻值和溫度的關(guān)系）1金屬熱電阻第三十四頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日帶保護(hù)管的鉑測(cè)溫電阻元件第三十五頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日⑵銅熱電阻應(yīng)用：測(cè)量精度要求不高且溫度較低的場(chǎng)合測(cè)量范圍：―50～150℃優(yōu)點(diǎn)：溫度范圍內(nèi)線性關(guān)系好，靈敏度比鉑電阻高，容易提純、加工，價(jià)格便宜，復(fù)制性能好。缺點(diǎn)：易于氧化，一般只用于150℃以下的低溫測(cè)量和沒(méi)有水分及無(wú)侵蝕性介質(zhì)的溫度測(cè)量。與鉑相比，銅的電阻率低，所以銅電阻的體積較大。第三十六頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日銅電阻的阻值與溫度之間的關(guān)系為關(guān)系是線性的工業(yè)上使用的標(biāo)準(zhǔn)化銅熱電阻的R0按國(guó)內(nèi)統(tǒng)一設(shè)計(jì)取50Ω和100Ω兩種，分度號(hào)分別為Cu50和Cu100，相應(yīng)的分度表可查閱相關(guān)資料。)1(0tRRtα+=第三十七頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日

普通工業(yè)用熱電阻式熱電式傳感器第三十八頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日銅熱電阻結(jié)構(gòu)示意圖鉑熱電阻結(jié)構(gòu)示意圖第三十九頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日半導(dǎo)體比金屬有更大的電阻溫度系數(shù)。熱敏電阻用半導(dǎo)體材料氧化復(fù)合燒結(jié)而成。主要材料有：Mn、Co、Ni、Cu、Fe氧化物，結(jié)構(gòu)分為：二端、三端、四端、直熱式、旁熱式。2熱敏電阻熱敏電阻符號(hào)

第四十頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日熱敏電阻—溫度特性

PTC——正溫度系數(shù)型；NTC——負(fù)溫度系數(shù)型；

負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻的特性曲線用經(jīng)驗(yàn)公式表示：2熱敏電阻負(fù)溫度系數(shù)型熱敏電阻特性曲線

A－與材料和形狀有關(guān)；B－常數(shù)；－溫度為T時(shí)的電阻值；

第四十一頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日多數(shù)熱敏電阻具有負(fù)溫度系數(shù)，溫度升高電阻下降，同時(shí)靈敏度下降，所以熱電阻限制了它在高溫下使用。目前，熱敏電阻溫度上限約300℃。

優(yōu)點(diǎn)：(1)熱敏電阻的溫度系數(shù)比金屬大（4～9倍）(2)電阻率大，體積小，熱慣性小，適于測(cè)量點(diǎn)溫、表面溫度及快速變化的溫度。(3)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、機(jī)械性能好。缺點(diǎn)：線性度較差，復(fù)現(xiàn)性和互換性較差。2熱敏電阻第四十二頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日熱敏電阻的結(jié)構(gòu)形式第四十三頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日

熱敏電阻的主要特性

⑴溫度特性熱敏電阻的電阻溫度系數(shù)比金屬絲的高很多，所以它的靈敏度很高。第四十四頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日當(dāng)流過(guò)熱敏電阻的電流很小時(shí):不足以使之加熱。電阻值只決定于環(huán)境溫度，伏安特性是直線，遵循歐姆定律。主要用來(lái)測(cè)溫。當(dāng)電流增大到一定值時(shí)：流過(guò)熱敏電阻的電流使之加熱，本身溫度升高，出現(xiàn)負(fù)阻特性。因電阻減小，即使電流增大，端電壓反而下降。其所能升高的溫度與環(huán)境條件(周圍介質(zhì)溫度及散熱條件)有關(guān)。當(dāng)電流和周圍介質(zhì)溫度一定時(shí)，熱敏電阻的電阻值取決于介質(zhì)的流速、流量、密度等散熱條件。可用它來(lái)測(cè)量流體速度和介質(zhì)密度。⑵伏安特性第四十五頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日熱敏電阻的主要參數(shù)⑴標(biāo)稱電阻值RH在環(huán)境溫度為25±0.2℃時(shí)測(cè)得的電阻值，又稱冷電阻。其大小取決于熱敏電阻的材料和幾何尺寸。⑵耗散系數(shù)H指熱敏電阻的溫度與周圍介質(zhì)的溫度相差1℃時(shí)熱敏電阻所耗散的功率，單位為mW/℃；⑶熱容量C熱敏電阻的溫度變化1℃所需吸收或釋放的熱量，單位為J／℃；第四十六頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日⑷能量靈敏度G（W）使熱敏電阻的阻值變化1％所需耗散的功率。⑸時(shí)間常數(shù)τ溫度為T0的熱敏電阻突然置于溫度為T的介質(zhì)中，熱敏電阻的溫度增量ΔT=0.63(T－T0)時(shí)所需的時(shí)間。⑹額定功率PE

在規(guī)定的技術(shù)條件下，熱敏電阻長(zhǎng)期連續(xù)使用所允許的耗散功率，單位為W。在實(shí)際使用時(shí)，熱敏電阻所消耗的功率不得超過(guò)額定功率第四十七頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日4.6.3熱電式傳感器的應(yīng)用

1、金屬熱電阻傳感器－200～+500℃范圍的溫度測(cè)量特點(diǎn)：精度高、適于測(cè)低溫。2、半導(dǎo)體熱敏電阻傳感器應(yīng)用范圍很廣，可在宇宙航船、醫(yī)學(xué)、工業(yè)及家用電器等方面用作測(cè)溫、控溫、溫度補(bǔ)償、流速測(cè)量、液面指示等。熱電阻式傳感器的應(yīng)用第四十八頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日1、金屬熱電阻傳感器工業(yè)廣泛使用，－200～+500℃范圍溫度測(cè)量。在特殊情況下，測(cè)量的低溫端可達(dá)3.4K，甚至更低，1K左右。高溫端可測(cè)到1000℃。溫度測(cè)量的特點(diǎn)：精度高、適于測(cè)低溫。傳感器的測(cè)量電路：經(jīng)常使用電橋、精度較高的是自動(dòng)電橋。為消除由于連接導(dǎo)線電阻隨環(huán)境溫度變化而造成的測(cè)量誤差，常采用三線制和四線制連接法。第四十九頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日三線制工業(yè)用熱電阻一般采用三線制G——檢流計(jì)，R1，R2，R3——固定電阻，Ra——零位調(diào)節(jié)電阻，Rt——熱電阻熱電阻測(cè)溫電橋的三線制接法精密測(cè)量中，采用四線制接法第五十頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日

金屬絲熱電阻作為氣體傳感器的應(yīng)用1—連通玻璃管2—流通玻璃管3—鉑絲（a）真空度測(cè)量方法對(duì)環(huán)境溫度變化比較敏感，實(shí)際應(yīng)用中有恒溫或溫度補(bǔ)償裝置。可測(cè)到133.322×10-5Pa。（b）可檢測(cè)管內(nèi)氣體介質(zhì)成分比例變化、熱風(fēng)流速變化第五十一頁(yè)，共五十七頁(yè)，2022年，8月28日

流量測(cè)量

利用熱敏電阻上的熱量消耗和介質(zhì)流速的關(guān)系可以測(cè)量流量、流速、風(fēng)速等熱敏電