JJF 1944-2021電容式測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范

中華人民共和國國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF1944—2021

電容式測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforCapacitanceComparators

2021-12-08發(fā)布2022-06-08實(shí)施

國家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF1944—2021

電容式測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范??

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?JJF1944—2021?

CalibrationSpecificationfor??

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?代替JJG570—2006?

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CapacitanceComparators

歸口單位全國幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

:

主要起草單位河南省計(jì)量科學(xué)研究院

:

中國計(jì)量科學(xué)研究院

參加起草單位遼寧省計(jì)量科學(xué)研究院

:

江蘇省計(jì)量科學(xué)研究院

天津大學(xué)

本規(guī)范委托全國幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJF1944—2021

本規(guī)范主要起草人

:

賈曉杰河南省計(jì)量科學(xué)研究院

()

崔建軍中國計(jì)量科學(xué)研究院

()

黃玉珠河南省計(jì)量科學(xué)研究院

()

周強(qiáng)河南省計(jì)量科學(xué)研究院

()

參加起草人

:

劉娜遼寧省計(jì)量科學(xué)研究院

()

王曉飛江蘇省計(jì)量科學(xué)研究院

()

段發(fā)階天津大學(xué)

()

JJF1944—2021

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

概述

2……………………(1)

計(jì)量特性

3………………(1)

重復(fù)性

3.1………………(1)

示值誤差

3.2……………(1)

穩(wěn)定性

3.3………………(2)

校準(zhǔn)條件

4………………(2)

環(huán)境條件

4.1……………(2)

校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器及相應(yīng)設(shè)備

4.2…………(2)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法

5…………………(2)

校準(zhǔn)前準(zhǔn)備

5.1…………(2)

重復(fù)性

5.2………………(2)

示值誤差

5.3……………(3)

穩(wěn)定性

5.4………………(4)

校準(zhǔn)結(jié)果的表達(dá)

6………………………(4)

復(fù)校時(shí)間間隔

7…………(5)

附錄量程的電容式測(cè)微儀示值誤差的測(cè)量數(shù)據(jù)處理實(shí)例

A20μm………………(6)

附錄測(cè)量擋板的技術(shù)要求

B…………(7)

附錄精密測(cè)長裝置

C…………………(8)

附錄校準(zhǔn)證書信息及內(nèi)頁格式

D……………………(9)

附錄電容式測(cè)微儀示值誤差校準(zhǔn)不確定度評(píng)定示例精密測(cè)長裝置法

E()……(10)

附錄電容式測(cè)微儀示值誤差校準(zhǔn)不確定度評(píng)定示例量塊測(cè)量法

F()…………(13)

Ⅰ

JJF1944—2021

引言

國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則通用計(jì)量術(shù)語及

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011《

定義測(cè)量儀器特性評(píng)定和測(cè)量不確定度評(píng)

》、JJF1094—2002《》JJF1059.1—2012《

定與表示共同構(gòu)成支撐本規(guī)范修訂的基礎(chǔ)性系列規(guī)范

》。

與電容式測(cè)微儀相比除編輯性修改外本規(guī)范主要技術(shù)變化

JJG570—2006《》,,

如下

:

適用范圍由量程不大于分辨力為擴(kuò)大為量程

———“2000μm,1nm~0.5μm”“

為分辨力為的電容式測(cè)微儀的校準(zhǔn)

20μm~10mm,1nm~1μm”;

刪除了引用文獻(xiàn)

———“”;

修改了電容式測(cè)微儀結(jié)構(gòu)示意圖和電容式測(cè)微儀的測(cè)頭示意圖

———;

修改示值重復(fù)性為重復(fù)性并對(duì)其技術(shù)指標(biāo)和校準(zhǔn)方法進(jìn)行了重新描

———“”“”,

述增加了重復(fù)性計(jì)算公式

,;

刪除了響應(yīng)時(shí)間鑒別力和調(diào)零范圍技術(shù)指標(biāo)

———“”“”“”;

修改了示值誤差技術(shù)指標(biāo)并對(duì)其校準(zhǔn)方法進(jìn)行了重新描述

———,;

修改了穩(wěn)定性的校準(zhǔn)方法

———“”;

刪除了指針式電容測(cè)微儀的計(jì)量性能要求

———“”;

增加了附錄量程的電容式測(cè)微儀示值誤差的測(cè)量數(shù)據(jù)處理實(shí)例

———“A20μm”;

修改了附錄中標(biāo)準(zhǔn)擋板為測(cè)量擋板修改了測(cè)量擋板的直徑要求

———B“”“”;;

增加了附錄精密測(cè)長裝置結(jié)構(gòu)示意圖

———C。

本規(guī)范的歷次版本發(fā)布情況為

:

———JJG570—2006;

———JJG570—1988。

Ⅱ

JJF1944—2021

電容式測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于量程為分辨力為的電容式測(cè)微儀的

20μm~10mm,1nm~1μm

校準(zhǔn)

。

2概述

電容式測(cè)微儀以下簡(jiǎn)稱測(cè)微儀是采用電容調(diào)頻或電容運(yùn)算原理的一種非接觸式

()

尺寸精密測(cè)量儀器適用于航空醫(yī)療精密制造等行業(yè)中的幾