GB/T 34878-2017真空技術(shù)閥門漏率測(cè)試

ICS23160

J78.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34878—2017/ISO278952009

:

真空技術(shù)閥門漏率測(cè)試

Vacuumtechnology—Valves—Leaktest

(ISO27895:2009,IDT)

2017-11-01發(fā)布2018-05-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T34878—2017/ISO278952009

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

符號(hào)

4………………………4

要求

5………………………4

測(cè)試方法

6…………………4

閥板檢漏

6.1……………4

閥體檢漏

6.2……………6

氣動(dòng)閥在驅(qū)動(dòng)壓縮空氣壓力最小和最大狀態(tài)下的檢漏可選項(xiàng)

6.3()………………8

手動(dòng)閥在最小和最大力矩驅(qū)動(dòng)條件下的檢漏可選項(xiàng)

6.4()…………8

工作溫度范圍內(nèi)的檢漏可選項(xiàng)

6.5()…………………8

烘烤后漏率測(cè)試可選項(xiàng)

6.6()…………8

測(cè)試報(bào)告

7…………………8

參考文獻(xiàn)

………………………9

Ⅰ

GB/T34878—2017/ISO278952009

:

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)使用翻譯法等同采用真空技術(shù)閥門漏率測(cè)試

ISO27895:2009《》。

與本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范性引用文件中的國際文件有一致性對(duì)應(yīng)關(guān)系的我國文件如下

:

真空技術(shù)氦質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)

———GB/T18193—2000(ISO3530:1979,IDT)。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC18)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所合肥智海光電技術(shù)有限公司安徽皖儀科技股份有限

:、、

公司上海真空閥門制造有限公司川北真空科技北京有限公司湖南玉豐真空科學(xué)技術(shù)有限公司北

、、()、、

京朗禾科技有限公司威海智德真空科技有限公司沈陽真空技術(shù)研究所

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人孫立臣劉恩均孟冬輝閆榮鑫洪曉鵬史紀(jì)軍劉磊黃文平章東林

:、、、、、、、、、

陳博昊周毅徐曦林樂忠張春元張海峰孫立志汪力王玲玲

、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T34878—2017/ISO278952009

:

引言

真空閥門是真空系統(tǒng)中最常用的部件閥門制造商依據(jù)其自身的測(cè)試方法提供技術(shù)參數(shù)用戶則根

,,

據(jù)這些技術(shù)參數(shù)選擇閥門閥門的密封漏率是其最基本的一項(xiàng)技術(shù)參數(shù)但測(cè)試方法不同可能導(dǎo)致測(cè)

。,

試結(jié)果出現(xiàn)較大差異如閥門漏率從內(nèi)部充氣到檢漏測(cè)試過程中漏率是不斷變化的因此檢漏測(cè)試時(shí)間

,,

的選擇對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響很大但直到本標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布以前依然沒有一個(gè)用于規(guī)范真空閥門漏率測(cè)試方法

,,

的國家標(biāo)準(zhǔn)

。

泄漏主要有種形式

3:

實(shí)漏例如氣體通過較大的裂紋和孔泄漏

a),;

虛漏在系統(tǒng)內(nèi)由于氣體或蒸氣的放出所引起的壓力增加

b),,;

滲漏氣體從密度大的一側(cè)通過固體結(jié)構(gòu)材料上存在的直徑可與原子相比的微孔向密度小的

c),

一側(cè)滲入擴(kuò)散通過的過程例如通過橡膠材料滲透

、、,。

虛漏不適用于本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的方法進(jìn)行測(cè)試因此在進(jìn)行閥門設(shè)計(jì)和選擇閥門材料時(shí)宜將虛漏風(fēng)

。,

險(xiǎn)降至最低

。

Ⅳ

GB/T34878—2017/ISO278952009

:

真空技術(shù)閥門漏率測(cè)試

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了真空系統(tǒng)中用于控制氣流或真空壓力的真空閥門的漏率測(cè)試方法適用于關(guān)閉后對(duì)

。

于示漏氣體密封漏率小于-53的真空閥門的漏率測(cè)試也適用于閥體的漏率測(cè)試可作

1×10Pa·m/s,,

為真空閥門檢驗(yàn)的依據(jù)

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于真空閥門在允許操作壓力范圍壓差烘烤溫度操作溫度和壽命周期等規(guī)定技術(shù)條

、、、

件下整個(gè)工作過程的漏率測(cè)試在上述條件下閥門的測(cè)試漏率低于制造商給定的標(biāo)稱漏率

,。

注1受所安裝的真空設(shè)備閥門安裝面表面精度的影響大型和無閥體真空閥門安裝后的測(cè)試漏率與單獨(dú)測(cè)試數(shù)據(jù)

:,

可能存在差異

。

注2依據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)獲得的測(cè)試漏率為對(duì)真空閥門個(gè)體進(jìn)行單獨(dú)測(cè)試所得可能與將閥門安裝在真空設(shè)備上測(cè)得的數(shù)

:,

據(jù)存在差異

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

真空技術(shù)氦質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)

ISO3530(Vacuumtechnology—Mass-spectrometer-typeleakde-

tectorcalibration)

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

漏率leakrate

q

真空閥門技術(shù)在規(guī)定條件下通過閥體閥座或封填材料上的裂縫小孔或間隙等部位的示漏氣

<>,、、

體流量

。

注1改寫定義

:ISO3530:1979,2.5.1。

注2漏率單位為帕斯卡立方米每秒

:。

注3可用質(zhì)譜型檢漏儀測(cè)量示蹤氣體的漏率漏率取決于氣體種類壓差和溫度

: