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文檔簡介
場發(fā)射掃描式顯微鏡-JEOLJSM-6700F-(FE-SEM)目錄1.什么是FE-SEM?2.什么場合使用?3.獲得怎樣的圖像?4.圖像信號4-1二次電子圖像(SEI)4-2下方電子信號圖像(LEI)4-3反射電子組成圖像(COMPO/TOPO)5.試料傾斜6.濾光7.依賴~提出的流程JEOLJSM-6700FJEOLJSM-6700F1.什么是FE-SEM?2.什么場合使用?3.獲得怎樣的圖像?4.圖像信號4-1二次電子圖像(SEI)4-2下方電子信號圖像(LEI)4-3反射電子組成圖像(COMPO/TOPO)5.試料傾斜6.濾光7.依賴~提出的流程目錄1.什么是FE-SEM?JEOLJSM-6700FFE-SEM
FieldEmission–ScanningElectronMicroscope(場放射掃描式電子顯微鏡)何為場放射(FE)?
是指SEM電子槍(電子線發(fā)生源)的種類。
在陰極施以高電壓,使其產生電子光束,加速下方位置的第一陽極,將電子光束聚集于再下方的第二陽極,使光束照射在觀察試料上。JEOLJSM-6700F目錄1.什么是FE-SEM?2.什么場合使用?3.獲得怎樣的圖像?4.圖像信號4-1二次電子圖像(SEI)4-2下方電子信號圖像(LEI)4-3反射電子組成圖像(COMPO/TOPO)5.試料傾斜6.濾光7.依賴~提出的流程2.什么場合下使用JEOLJSM-6700F?薄膜表面觀察(細微的凹凸狀況,成長狀態(tài))?薄膜斷面觀察(圖形邊緣形狀,粒成長狀態(tài))?異物及缺陷部位的構造觀察?組成分布觀察?其他分散型形狀的觀察等
受電子光束照射易變形的,會放出氣流的,及有流動性的試料如在觀察前不做特別處理是無法觀察的。另外鐵等磁性體塊狀物體會吸住物鏡,造成鏡頭破損,所以觀察比較困難。JEOLJSM-6700F目錄1.什么是FE-SEM?2.什么場合使用?3.獲得怎樣的圖像?4.圖像信號4-1二次電子圖像(SEI)4-2下方電子信號圖像(LEI)4-3反射電子組成圖像(COMPO/TOPO)5.試料傾斜6.濾光7.依賴~提出的流程3.得到怎樣的圖像?JEOLJSM-6700F<與光學顯微鏡的不同>
■灰階圖像(白黒的圖像)
■凹凸、或各種組成的對比
■高倍率觀察,極小的區(qū)域也能清晰可見
■可傾斜,可立體觀察
JEOLJSM-6700F目錄1.什么是FE-SEM?2.什么場合使用?3.獲得怎樣的圖像?4.圖像信號4-1二次電子圖像(SEI)4-2下方電子信號圖像(LEI)4-3反射電子組成圖像(COMPO/TOPO)5.試料傾斜6.濾光7.依賴~提出的流程4.圖像信號的種類JEOLJSM-6700F■SEISecondaryElectronImage(二次電子圖像)■LEILowerElectronImage(下方電子信號圖像)
■BEIBackscatteredElectronImage(反射電子圖像)
反射電子圖像為COMPO(組成圖像)與TOPO(凹凸圖像)可按需進行MODE轉換。
4-1.二次電子圖像(SEI)JEOLJSM-6700F二次電子圖像
根據(jù)照射電子束的不同,將樣品表面顯現(xiàn)出來的電子信號化之后形成圖像,轉換為二次電子圖像,便能清晰看到樣品表面的凹凸情況。SP-ITO(×50,000)4-2.下方電子信號圖像(LEI)JEOLJSM-6700F下方電子信號圖像
W.D.8mm以上時使用。同時檢出二次電子、反射電子。適用于觀察易帶電的樣品。AFM的硅制懸式探針前端
4-3.反射電子圖像(COMPO/TOPO)JEOLJSM-6700F反射電子組成圖像(COMPO)
觀察區(qū)域的組成的差異形成對比性的圖像。原子番號越大,形成的圖像則越清晰明亮。反射電子凹凸圖像(TOPO)
可以通過轉化二次電子圖像獲取觀察樣品的凹凸圖像,但解析度較差。異物的LEI(上)/COMPO像(下)JEOLJSM-6700F目錄1.什么是FE-SEM?2.什么場合使用?3.獲得怎樣的圖像?4.圖像信號4-1二次電子圖像(SEI)4-2下方電子信號圖像(LEI)4-3反射電子組成圖像(COMPO/TOPO)5.試料傾斜6.濾光7.依賴~提出的流程5.試料傾斜JEOLJSM-6700F將試料傾斜可觀察到從上方無法觀察到的,試料的立體構造。將試料傾斜有2個方法。?使用45°切割的試料臺?在裝置內將試料機械調整傾斜45°傾斜JEOLJSM-6700F目錄1.什么是FE-SEM?2.什么場合使用?3.獲得怎樣的圖像?4.圖像信號4-1二次電子圖像(SEI)4-2下方電子信號圖像(LEI)4-3反射電子組成圖像(COMPO/TOPO)5.試料傾斜6.濾光7.依賴~提出的流程6.濾光JEOLJSM-6700F當觀察電介體(絕緣體)表面時,SEM的電子光束易停留在樣品表面,產生異常對比。為了防止此類現(xiàn)象,需在表面成以數(shù)10?程度的濾光膜。濾光需要用專用的裝置,施以電阻加熱,或噴濺,將具有導電性能的靶材材質成在樣品表面。
濾光靶材?Au(金)?Pt(白金)?C(碳)
JEOLJSM-6700F目錄1.什么是FE-SEM?2.什么場合使用?3.獲得怎樣的圖像?4.圖像信號4-1二次電子圖像(SEI)4-2下方電子信號圖像(LEI)4-3反射電子組成圖像(COMPO/TOPO)5.試料傾斜6.濾光7.依賴~提出的流程7.依賴~提出的流程JEOLJSM
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