GB/T 2900.104-2021電工術(shù)語微機(jī)電裝置

ICS0104029

CCSK.04.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T2900104—2021/IEC60050-5232018

.:

電工術(shù)語微機(jī)電裝置

Electrotechnicalterminology—Micro-electromechanicaldevices

IEC60050-5232018Internationalelectrotechnicalvocabular—

(:,y

Part523Micro-eletromechanicaldevicesIDT

:,)

2021-10-11發(fā)布2022-05-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T2900104—2021/IEC60050-5232018

.:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是電工術(shù)語的第部分已經(jīng)發(fā)布了多個(gè)部分

GB/T2900《》104。GB/T2900100。

本文件等同采用國(guó)際電工詞匯第部分微機(jī)電裝置

IEC60050-523:2018《523:》。

本文件做了下列最小限度的編輯性修改

:

修改了標(biāo)準(zhǔn)名稱

———;

增加了參考文獻(xiàn)

———。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)電工術(shù)語標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC232)。

本文件起草單位中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心蕪湖中集瑞江汽車有限公司廣東瑞克斯智能科技有限公

:、、

司北京大學(xué)蕪湖市標(biāo)準(zhǔn)化研究院東莞市吉錸升電機(jī)股份有限公司漳州市太龍照明工程有限公司

、、、、、

福州華虹智能科技股份有限公司廣東萬江配電有限公司浙江博亞精密機(jī)械有限公司

、、。

本文件主要起草人蒯勇張威李桂芳李婧范遠(yuǎn)斌申延智倪圣叨李英王本雄藍(lán)秀堂姜圓

:、、、、、、、、、、、

陸學(xué)貴

。

Ⅰ

GB/T2900104—2021/IEC60050-5232018

.:

引言

電工術(shù)語系列國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)對(duì)應(yīng)國(guó)際電工詞匯系列國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)對(duì)電

GB/T2900IEC60050。IEC

工領(lǐng)域的分類將電工術(shù)語系列標(biāo)準(zhǔn)分為類基本概念電工材料儀器儀表電工設(shè)備電

,9:1);2);3);4);5)

子設(shè)備發(fā)電輸電和配電電信技術(shù)特殊應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)化

;6)、;7);8);9)。

本文件等同采用國(guó)際電工詞匯第部分微機(jī)電裝置歸于第部分電

IEC60050-523:2018《523:》,5

子設(shè)備為微機(jī)電裝置方面通用基礎(chǔ)術(shù)語可為本領(lǐng)域技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)制修訂技術(shù)交流提供幫助

,、,、。

電工術(shù)語系列國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)第部分電子設(shè)備已發(fā)布標(biāo)準(zhǔn)包括

GB/T29005“”:

電工術(shù)語電力電子技術(shù)

———GB/T2900.33—2004(IEC60050-551:1998,IEC60050-551-20:

2001,IDT);

電工術(shù)語半導(dǎo)體器件和集成電路

———GB/T2900.66—2004(IEC60050-521:2002,IDT);

電工術(shù)語電子設(shè)備用機(jī)電元件

———GB/T4210—2015(IEC60050-581:2008,IDT)。

Ⅱ

GB/T2900104—2021/IEC60050-5232018

.:

電工術(shù)語微機(jī)電裝置

1范圍

本文件界定了微機(jī)電裝置的通用科學(xué)與工程材料科學(xué)功能元素加工技術(shù)鍵合裝配技術(shù)測(cè)量

、、、、、、

技術(shù)和應(yīng)用相關(guān)術(shù)語

。

本文件適用于微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域

。

2規(guī)范性引用文件

本文件沒有規(guī)范性引用文件

。

3術(shù)語和定義

31通用術(shù)語

.

523-01-01

微機(jī)電裝置micro-electromechanicaldevice

微機(jī)電器件

集成了敏感器執(zhí)行器傳感器諧振器振蕩器機(jī)械部件和或電路的微型裝置

、、、、、/。

注在微尺度上相關(guān)技術(shù)與基礎(chǔ)技術(shù)如設(shè)計(jì)材料加工功能元件系統(tǒng)控制能源供應(yīng)鍵合和組裝電路基

:,(、、、、、、、)、

礎(chǔ)科學(xué)如微觀科學(xué)和工程以及熱力學(xué)和摩擦學(xué)都極為不同如果微機(jī)電器件構(gòu)成一個(gè)系統(tǒng)它有時(shí)被稱為

(),。,

是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫

MEMS,“”。

來源

[:IEC62047-1:2016,2.1.1]

523-01-02

微系統(tǒng)技術(shù)microsystemtechnologyMST

;

利用微機(jī)械加工實(shí)現(xiàn)微電光學(xué)和機(jī)械系統(tǒng)及其部件的技術(shù)

、。

注術(shù)語主要用于歐洲

:MST。

來源

[:IEC62047-1:2016,2.1.2741-01-03]

523-01-03

微機(jī)械micromachine

小型化裝置其部件尺寸為幾毫米或更小

,。

注包括各種功能裝置如采用微機(jī)械技術(shù)的傳感器

: