標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 26032-2010 鎳蒸發(fā)料》是一項國家標(biāo)準(zhǔn)，主要針對用于真空鍍膜等工藝中的鎳蒸發(fā)材料進行了規(guī)范。該標(biāo)準(zhǔn)詳細規(guī)定了鎳蒸發(fā)料的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運輸和貯存等方面的內(nèi)容。

技術(shù)要求部分明確了鎳蒸發(fā)料的化學(xué)成分應(yīng)符合特定范圍，包括主元素鎳含量需達到的標(biāo)準(zhǔn)值及雜質(zhì)元素的最大允許含量。此外，還對材料的外觀質(zhì)量提出了具體要求，如表面應(yīng)當(dāng)清潔無油污、氧化皮或其他異物。

在試驗方法上，《GB/T 26032-2010》列出了測定鎳蒸發(fā)料中各元素含量的方法，比如采用電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法（ICP-AES）或X射線熒光光譜分析等手段來檢測其化學(xué)組成；通過目視檢查等方式評估外觀質(zhì)量是否達標(biāo)。

關(guān)于檢驗規(guī)則，本標(biāo)準(zhǔn)指定了產(chǎn)品出廠前必須經(jīng)過的型式檢驗項目及其頻率，并且對于每批產(chǎn)品的抽樣方案也做了明確規(guī)定。只有當(dāng)所有測試結(jié)果均滿足標(biāo)準(zhǔn)所設(shè)定的要求時，才能認(rèn)為該批次合格并予以放行。


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  • 2011-01-10 頒布
  • 2011-10-01 實施
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GB/T 26032-2010鎳蒸發(fā)料_第1頁
GB/T 26032-2010鎳蒸發(fā)料_第2頁
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ICS7715099

H68..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T26032—2010

鎳蒸發(fā)料

Evaporatednickelmaterial

2011-01-10發(fā)布2011-10-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T26032—2010

前言

本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)由有研億金新材料股份有限公司負責(zé)起草

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人尚再艷雷繼峰朱曉光楊永剛班立志熊曉東江軒

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T26032—2010

鎳蒸發(fā)料

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鎳蒸發(fā)料的要求試驗方法檢驗規(guī)則標(biāo)志包裝運輸貯運及質(zhì)量證明書與訂貨單

、、、、、、

或合同內(nèi)容

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)用的各類鎳蒸發(fā)料其他用途的鎳蒸發(fā)料也可參照使用

。。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅所注日期的版本適用于本

。,

文件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

計數(shù)抽樣檢驗程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2828.11:(AQL)

鎳化學(xué)分析方法硫量的測定高頻感應(yīng)爐燃燒紅外吸收法

GB/T8647.8

鎳化學(xué)分析方法碳量的測定高頻感應(yīng)爐燃燒紅外吸收法

GB/T8647.9

貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法

GB/T15077

高純鎳

GB/T26016—2010

3要求

31產(chǎn)品分類

.

鎳蒸發(fā)料的類型按鎳的純度分為和兩種

IC-Ni99.99IC-Ni99.995。

鎳蒸發(fā)料形狀主要分為片狀和柱狀兩種如圖所示

,1。

片狀柱狀

a)b)

圖1鎳蒸發(fā)料示意圖

32化學(xué)成分要求

.

321

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