P5000工作原理精品課件

Theoryintroduction2021/8/231最新PPTP5000Minframeoverview主機2021/8/232最新PPTPoweron2021/8/233最新PPTRemoteACbox2021/8/234最新PPTACbox2021/8/235最新PPTDCpower1.48v10AChopperdriver,motobreak2.+/-15v3AMatch,manometer,remotesupportequipment,tool3.24v31ADI/O,2021/8/236最新PPT2021/8/237最新PPTTCMFC2021/8/238最新PPT2021/8/239最新PPT2021/8/2310最新PPTExpand12gasesto28gases.附機2021/8/2311最新PPTHeatexchanger

2021/8/2312最新PPT1.AMAT-0standard工作溫度：20℃-80℃冷卻液：50%ethyleneglycol50%DIwater流量：2gpm容量：2gallon2.AMAT-1hightemperature工作溫度：20℃-120℃冷卻液：100%ethyleneglycol流量：1.25gpm容量：2gallon3.Neslab工作溫度：5℃-35℃冷卻液：50%ethyleneglycol50%DIwater容量：5gallon常見熱交換器2021/8/2313最新PPTAMATHeatExchanger2021/8/2314最新PPTAMATstandard2021/8/2315最新PPTAMAT-1hightemperature2021/8/2316最新PPT

Neslab2021/8/2317最新PPT2021/8/2318最新PPTWafertransfersubsystem2021/8/2319最新PPTRobot方向2021/8/2320最新PPT2021/8/2321最新PPTP5000robotassemblely2021/8/2322最新PPTrobotblade2021/8/2323最新PPT手臂取片位置①手臂在cassette中slotbase位置②手臂在cassette中slotdelta位置①手臂在elevator中slotbase位置②手臂在elevator中slotpickup位置（往腔體傳片）③手臂在elevator中slotpassthrough位置（往cassette傳片）2021/8/2324最新PPTHandlermanualcontrol2021/8/2325最新PPTTRANSFERSTEPPERMOTORSCONTROL2021/8/2326最新PPTETCHchamberP5000ETCHchambertype:MarkIIMxpMxp+eMxp+ASP2021/8/2327最新PPTETCHchambercomponents2021/8/2328最新PPTMarkIIchamberbody2021/8/2329最新PPTMxpchamberbody2021/8/2330最新PPTETCHMxPchamber2021/8/2331最新PPT2021/8/2332最新PPTMxp+chamber2021/8/2333最新PPTMxp+chamberparts2021/8/2334最新PPTMonitorETCHchamber2021/8/2335最新PPTETCHMxPchamber2021/8/2336最新PPTVACUUMSUBSYSTEM2021/8/2337最新PPT2021/8/2338最新PPT2021/8/2339最新PPTVacuumGaugesIonGaugeCapacitanceManometerConvectronTCGauge2021/8/2340最新PPT是一種絕對真空計，它利用薄膜受氣壓變化產(chǎn)生撓曲，檢測膜片電容值改變來測量真空，它是一種高精度真空計誤差〈０.５％，測量范圍：760托-10-5托（所有干法設備均采用MKS127/122系列）CapacitanceManometer2021/8/2341最新PPT2021/8/2342最新PPTCapacitanceManometer2021/8/2343最新PPT利用熱散失的原理量測溫度，當壓力越高則加熱絲溫度低，反之亦然熱電偶偵測出溫度的變化於是產(chǎn)生電壓，藉由電壓變化的判讀得知壓力適用壓力範圍為 10-3~1torrThermocoupleGauge2021/8/2344最新PPTThermocoupleGauge2021/8/2345最新PPT電離真空計（離子規(guī)IONGAUGE）具有一定動能的帶電質點通過稀薄氣體時可以產(chǎn)生電離現(xiàn)象。由陰極發(fā)射出來的電子在加速電場的作用下具有較大的動能，電子在飛行過程中與殘余氣體分子相撞，使氣體分子電離。電離產(chǎn)生的正電子數(shù)與氣體密度成正比即與氣體的壓強成正比。因此可以通過測量離子流的大小來間接測量真空度。測量范圍：10-2-10-12托。IONGAUGE2021/8/2346最新PPTGaugeConvectron

利用熱散失的原理量測溫度，當壓力越高則加熱絲溫度低，反之亦然為間接量測之壓力計，所量測的氣體種類需要輔以校正參數(shù)適用的壓力範圍為10-4~1000torr當量測壓力高於1torr時，擺放方位必須為水平位置，方能得到準確的壓力量測值2021/8/2347最新PPTGaspanalGasdeliverysubsystem2021/8/2348最新PPTSENSORBYPASSCONTRLVALVEELECTRONICS(PCB)GASFLOWMassflowcontrol2021/8/2349最新PPTMFCfunction

用途：制程用氣體的流量控制與測量。組成：

1.Amassflowmeter(MFM)

2.Acontrolandsolenoidvalve(控制或螺線形電導管閥門）

3.Electronics(produceandsendsignals)2021/8/2350最新PPTMFC的使用條件：工作電壓:+/-15V前后壓力差：10--40PSIresponesetime:<=1sec（typical=500ms)接口：1/4“VCR使用范圍：10%--90%控制接口：20-pincardedgeconnector(金手指）15-pinDconnector9-pinDconnector2021/8/2351最新PPTPlasma&RFsubsystem腔體充滿氣體和適當?shù)膲毫χ聞傞_始只有少數(shù)的游離電子提供電場,離子化與碰撞開始發(fā)生提供電場之后,電子會被加速,同時與中性粒子發(fā)生碰撞,產(chǎn)生離子化等離子體中的碰撞適當壓力與能量下,產(chǎn)生星火燎原的連鎖反應產(chǎn)生一團發(fā)光發(fā)熱的云狀物質2021/8/2352最新PPT提供電場,離子化與碰撞開始發(fā)生Plasma2021/8/2353最新PPT腔體充滿氣體和適當?shù)膲毫χ翽lasma2021/8/2354最新PPTRFMatchoftheMxPChamber2021/8/2355最新PPT腐蝕P5000設備的射頻源在設計上都以50歐姆為額定輸出電阻，但腔體在腐蝕過程中其電阻是不斷變化的，因此需要在RFG與腔體之間加一匹配器，用以使RFG的負載電阻穩(wěn)定在50歐姆。RF匹配原理2021/8/2356最新PPTChamberpressurecontrol腔體壓力控制：（THROTTLEVALVE）通過改變泵的抽氣管徑來改變泵的抽力，以達到設定的腔體壓力。2021/8/2357最新PPTThrottlevalve2021/8/2358最新PPTDerivative目的為避免壓力過高(Overshoot)或過低(Undershoot)的突衝現(xiàn)象過度使用ratefunction會減緩系統(tǒng)的壓力反應時間，而使得系統(tǒng)壓力不穩(wěn)定PressurePIDcontrol2021/8/2359最新PPTPressureControlScreen2021/8/2360最新PPTWaferCooling

IonbombardmentgeneratelargeamountheatHightemperaturecancausePRreticulationNeedcoolwafertocontroltemperatureHeliumbacksidecoolingiscommonlyusedHeliumtransferheatfromwafertowatercooledchuck2021/8/2361最新PPT

ETCHchamberHE2021/8/2362最新PPT結束

謝謝！2021/8/2363最新PPT9、人的價值，在招收誘惑的一瞬間被決定。03-2月-2303-2月-23Friday,February3,202310、低頭要有勇氣，抬頭要有低氣。***2/3/20234:38:34PM11、人總是珍惜為得到。03-2月-23**Feb-2303-Feb-2312、人亂于心，不寬余請。***Friday,February3,202313、生氣是拿別人做錯的事來懲罰自己。03-2月-2303-2月-23**03February202314、抱最大的希望，作最大的努力。03二月2023**03-2月-2315、一個人炫耀什么，說明他內心缺少什么。。二月23*03-2月-23*03February202316、業(yè)余生活要有意義，不要越軌。**2/3/202317、一個人即使已登上頂峰，也仍要自強不息。***03-2月-23謝謝大家2021/8/2364最新PPT9、人的價值，在招收誘惑的一瞬間被決定。03-2月-2303-2月-23Friday,February3,202310、低頭要有勇氣，抬頭要有低氣。***2/3/20234:38:34PM11、人總是珍惜為得到。03-2月-23**Feb-2303-Feb-2312、人亂于心，不寬余請。***Friday,February3,202313、生氣是拿別人做錯的事來懲罰自己。03-2月-2303-2月-23**03February202314、抱