標準解讀

《GB/T 1554-1995 硅晶體完整性化學擇優(yōu)腐蝕檢驗方法》相比于《GB 1554-1979》與《GB 4057-1983》，主要在以下幾個方面進行了調整和更新：

  1. 標準性質的轉變：從《GB 1554-1979》的強制性國家標準轉變?yōu)椤禛B/T 1554-1995》的推薦性國家標準，這一變化體現(xiàn)了標準適用的靈活性增強，更多地作為推薦指導而非強制執(zhí)行的要求。

  2. 技術內容的更新：《GB/T 1554-1995》引入了更先進的硅晶體完整性檢測技術和方法，具體包括化學擇優(yōu)腐蝕的詳細步驟、試劑配比、腐蝕條件控制等方面的新規(guī)定，以適應技術進步和行業(yè)發(fā)展的需要。這些更新有助于提高檢測的準確性和效率。

  3. 檢驗程序的優(yōu)化：新標準對檢驗流程進行了優(yōu)化，明確了樣品制備、腐蝕過程監(jiān)控、以及后續(xù)觀察分析的具體要求，旨在統(tǒng)一檢驗操作，減少人為誤差，提升檢驗結果的一致性和可比性。

  4. 質量控制要求的強化：《GB/T 1554-1995》增加了對實驗室環(huán)境、設備校準、人員培訓等方面的規(guī)范要求，強調了檢驗過程中的質量控制措施，確保檢驗結果的可靠性和準確性。

  5. 術語和定義的明確：為避免理解上的歧義，新標準對涉及的專業(yè)術語給出了明確的定義，增強了標準的可讀性和實施的準確性。

  6. 參考標準的更新：鑒于科學和技術的發(fā)展，新標準引用了最新的參考文獻和相關標準，確保了檢驗方法的先進性和國際兼容性。


如需獲取更多詳盡信息，請直接參考下方經官方授權發(fā)布的權威標準文檔。

....

查看全部

  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現(xiàn)行標準GB/T 1554-2009
  • 1995-04-18 頒布
  • 1995-12-01 實施
?正版授權
GB/T 1554-1995硅晶體完整性化學擇優(yōu)腐蝕檢驗方法_第1頁
GB/T 1554-1995硅晶體完整性化學擇優(yōu)腐蝕檢驗方法_第2頁
GB/T 1554-1995硅晶體完整性化學擇優(yōu)腐蝕檢驗方法_第3頁
免費預覽已結束，剩余9頁可下載查看

下載本文檔

GB/T 1554-1995硅晶體完整性化學擇優(yōu)腐蝕檢驗方法-免費下載試讀頁

文檔簡介

UDC.669.782：621.193.4H26中華人民共和國國家標準GB/T1554-1995硅晶體完整性化學擇優(yōu)腐蝕檢驗方法Testmethodforcrystallographicperfectionofsiliconbypreferentialetchtechniques1995-04-18發(fā)布1995-12-01實施國家技術監(jiān)督局發(fā)布

（京)新登字023號中華人民共和國國家標準桂品體完整性化學擇優(yōu)腐做檢驗方法GB/T1554-1995中國標準出版社出版發(fā)行北京西城區(qū)復興門外三里河北街16號郵政編碼：100045電話：63787337、637874471995年10月第一版2005年1月電子版制作書號：155066·1-11891版權專有侵權必究舉報電話：（010）68533533

中華人民共和國國家標準GB/T1554-1995硅晶體完整性化學擇優(yōu)腐蝕檢驗方法代林GB1554-79TestmethodforcrystallographicperfectionGB4057-83ofsiliconbypreferentiaietchtechniques1主題內容與適用范圍本標準規(guī)定了用擇優(yōu)腐蝕技術檢驗硅晶體完整性的方法。本標準通用于品向為(111)或(100)、電阻率為10-～10"n·cm、位錯密度在0～10°cm-之間的硅單晶鍵或硅片中原生缺陷的檢驗。用標準GB/T4058硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法YS/T2097桂硅材料原生缺陷圖譜方法原理試祥經擇優(yōu)腐蝕液腐蝕，在有缺陷的位置被腐蝕成淺坑或丘，在宏觀上可能組成一定的圖形,在微觀上呈現(xiàn)為分立的腐蝕淺坑或丘。用肉眼和金相顯微鏡進行觀察。試劑和材料4.1三氧化鉻，化學純4.2氫氟酸(42%)。4.3！硝酸(p1.48/mL)。4.4乙酸(冰乙酸p1.058/mL)4.5高純水,電阻率大于10MQ·cm(25℃)。4.6化學腐蝕地光液，采用表1中諸配方之一。表1化學腐蝕拋光液配方硝酸（4.3)氫氟

溫馨提示

  • 1. 本站所提供的標準文本僅供個人學習、研究之用，未經授權，嚴禁復制、發(fā)行、匯編、翻譯或網絡傳播等，侵權必究。
  • 2. 本站所提供的標準均為PDF格式電子版文本（可閱讀打?。?，因數(shù)字商品的特殊性，一經售出，不提供退換貨服務。
  • 3. 標準文檔要求電子版與印刷版保持一致，所以下載的文檔中可能包含空白頁，非文檔質量問題。

評論

0/150

提交評論