標(biāo)準(zhǔn)解讀
《GB/T 13840-1992 晶片承載器》是中國一項(xiàng)關(guān)于晶片承載器的國家標(biāo)準(zhǔn)，發(fā)布于1992年。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了晶片承載器的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存要求，旨在統(tǒng)一和提升國內(nèi)晶片承載器的質(zhì)量與技術(shù)水平，確保其在半導(dǎo)體制造過程中的穩(wěn)定性和可靠性。
標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容覆蓋以下幾個(gè)關(guān)鍵方面：
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術(shù)語和定義：首先明確了晶片承載器的基本概念及其組成部分的定義，幫助讀者理解后續(xù)技術(shù)要求的具體含義。
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分類：根據(jù)晶片承載器的材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、應(yīng)用等特點(diǎn)進(jìn)行分類，便于不同場景下選用合適的產(chǎn)品。
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技術(shù)要求：
- 尺寸與外形：規(guī)定了承載器的尺寸公差、形狀及表面光潔度要求，確保與生產(chǎn)設(shè)備的兼容性。
- 材料：對承載器所用材料的物理、化學(xué)性能提出要求，如耐溫性、抗腐蝕性等，以滿足半導(dǎo)體制造過程中的嚴(yán)苛條件。
- 機(jī)械強(qiáng)度：要求承載器具備足夠的機(jī)械強(qiáng)度以承受搬運(yùn)、裝載及生產(chǎn)過程中的應(yīng)力，防止變形或損壞。
- 清潔度：設(shè)定嚴(yán)格的清潔度標(biāo)準(zhǔn)，避免雜質(zhì)污染晶片，影響芯片的成品率和性能。
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試驗(yàn)方法：詳細(xì)說明了各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)的檢測和驗(yàn)證方法，包括但不限于尺寸測量、材料性能測試、負(fù)載試驗(yàn)等，確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和一致性。
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檢驗(yàn)規(guī)則：規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗(yàn)程序、抽樣方案及合格判定準(zhǔn)則，為質(zhì)量控制提供依據(jù)。
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標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存：要求晶片承載器在出廠時(shí)需有清晰的標(biāo)識(shí)信息，同時(shí)對其包裝材料、方式以及運(yùn)輸、貯存條件做出具體規(guī)定，以保護(hù)產(chǎn)品在流轉(zhuǎn)過程中的完好無損。
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- 廢止
- 已被廢除、停止使用，并不再更新
- 1992-12-28 頒布
- 1993-08-01 實(shí)施
文檔簡介
DDG621.382.032.9L97中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T13840-92晶片承載器WaferCarriers1992-12-28發(fā)布1993-08-01實(shí)施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T13840-92載片Wafercarriers1.主題內(nèi)容與適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了品片承載器的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求和試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝標(biāo)志。本標(biāo)準(zhǔn)適用于晶片直徑為75、100、125、150mm通用型塑料和金屬晶片承載器,以及晶片直徑為125mm自動(dòng)輸送型塑料和金屬晶片承載器.2引用標(biāo)準(zhǔn)GB191包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志GB1173鑄造鋁合金技術(shù)條件GB2828逐批檢查計(jì)數(shù)抽樣程序及抽樣表(適用于連續(xù)批的檢查)GB2829周期檢查計(jì)數(shù)抽樣程序及抽樣表(適用于生產(chǎn)過程穩(wěn)定性的檢查）GB12670聚丙烯樹脂3術(shù)語品片承載器3.1ewafercarrier在品片生產(chǎn)工藝過程中各工序間裝載晶片的器具。3.2通用型generaltype用于手工及半自動(dòng)傳遞、清洗品片的承載器型式。3.3自動(dòng)輸送型autotransporttype用于自動(dòng)化生產(chǎn)線工序間自動(dòng)輸送品片的承載器型式。3.4傳遞品片承載器wafer-passingcarrier用于生產(chǎn)工藝過程中對晶片進(jìn)行加工和測試、工序間傳遞品片的一種品片承載器。3.5清洗晶片承載器wafer-cleaningcarrier用于生產(chǎn)工藝過程中對晶片進(jìn)行清洗的一種品片承載器。3.6晶片轉(zhuǎn)移wafertransfer把晶片從一個(gè)品片承載器移置到另一個(gè)品片承載器的動(dòng)作稱為晶片轉(zhuǎn)移。！產(chǎn)品分類4.1品種、型式、規(guī)格4.1.1晶片承載器分為塑料品片承載器和金屬晶片承載器4.1.2晶片承載器分為通用型和自動(dòng)輸送型，通用型按用途又分為傳遞用和清洗用兩種，4.1.3通用型晶片承載器按承載晶片直徑分為75、100、125、150mm四種規(guī)格;自動(dòng)輸送型品片承載器承載品片直徑
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