標準解讀
《GB/T 11446.3-2013 電子級水測試方法通則》相比于《GB/T 11446.3-1997 電子級水測試方法通則》,主要在以下幾個方面進行了更新與調(diào)整:
-
技術內(nèi)容的更新:2013版標準根據(jù)近年來電子工業(yè)對超純水質(zhì)量要求的提升,對測試項目和指標進行了修訂,引入了更嚴格的檢測參數(shù)和限值,以適應電子元件小型化、高性能化的需求。
-
測試方法的改進:新標準采用了更先進的分析技術和儀器,如高效液相色譜(HPLC)、電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)等,提高了檢測靈敏度和準確性,確保測試結(jié)果的可靠性和可比性。
-
適用范圍的擴展:2013版標準擴大了適用的電子級水質(zhì)類別,涵蓋了更多類型的高純度水使用場景,如半導體制造、平板顯示、光伏等行業(yè),增強了標準的通用性和實用性。
-
規(guī)范性引用文件的更新:新版標準引用了最新的國內(nèi)外相關標準和規(guī)范,替代了已過時的參考文獻,確保了測試方法與國際先進水平接軌。
-
術語和定義的明確:為避免理解歧義,2013版標準對一些關鍵術語和定義進行了明確和細化,增強了標準的可操作性。
-
數(shù)據(jù)處理和報告格式:新標準對測試數(shù)據(jù)的處理方法和測試報告的格式提出了更具體的要求,強調(diào)了數(shù)據(jù)的透明性和可追溯性,便于質(zhì)量控制和信息交流。
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....
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2013-12-31 頒布
- 2014-08-15 實施



文檔簡介
ICS31030
L90-
中華人民共和國國家標準
GB/T114463—2013
代替.
GB/T11446.3—1997
電子級水測試方法通則
Genericrulesfortestmethodsofelectronicgradewater
2013-12-31發(fā)布2014-08-15實施
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布
中國國家標準化管理委員會
GB/T114463—2013
.
前言
預計結(jié)構(gòu)如下
GB/T11446:
電子級水
———GB/T11446.1;
待定
———GB/T11446.2();
電子級水測試方法通則
———GB/T11446.3;
電子級水電阻率的測試方法
———GB/T11446.4;
電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
———GB/T11446.5;
電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法
———GB/T11446.6;
電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法
———GB/T11446.7;
電子級水中總有機碳的測試方法
———GB/T11446.8;
電子級水中微粒的儀器測試方法
———GB/T11446.9;
電子級水中細菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測試方法
———GB/T11446.10。
本部分為的第部分
GB/T114463。
本部分按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
本部分代替電子級水測試方法通則
GB/T11446.3—1997《》。
本部分與相比主要有如下變化
GB/T11446.3—1997,:
術語和定義中增加了準確度精密度和檢出限的定義見第章
———“3”“”、“”“”(3);
在采樣中增加了對采集用于非堿性痕量金屬及微粒分析的樣品的要求并修訂了采樣瓶
———“4”,,
的準備要求見第章
(4);
增加了條款將瓶子放入塑料袋中密封并采集平行樣品見
———“4.9,,?!?4.9);
修改了貯存與運輸中的貯存溫度條件并對需要檢測3--2-的樣品的貯存條
———“5”,PO4、NO3、SO4
件提出了要求見第章
(5)。
本部分由中華人民共和國工業(yè)和信息化部提出
。
本部分由中國電子技術標準化研究院歸口
。
本部分起草單位信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心中國科學院半導體研究所中國電子技
:、、
術標準化研究院中國電子科技集團公司第四十六研究所
、。
本部分主要起草人褚連青王奕何秀坤段曙光提劉旺劉筠
:、、、、、。
本部分所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為
:
———GB/T11446.3—1989、GB/T11446.3—1997。
Ⅰ
GB/T114463—2013
.
電子級水測試方法通則
1范圍
的本部分規(guī)定了電子級水的采樣貯存與運輸及報告的格式
GB/T11446、。
本部分適用于級電子級水
EW-Ⅰ~EW-Ⅳ。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
電子級水
GB/T11446.1—2013
3術語和定義
界定的以及下列術語和定義適用于本文件
GB/T11446.1—2013。
31
.
取樣sampling
獲得被試驗物質(zhì)的有代表性的部分
。
32
.
在線監(jiān)測on-linemonitoring
在高純水生產(chǎn)過程中選擇合適的取樣點用儀器直接對水質(zhì)指標進行測量
,。
33
.
濃度concentration
單位量試樣中所包含的某種物質(zhì)的量
。
34
.
靈敏度sensitivity
試樣中被測元素的含量變化與測得的相應信號的變化之比值
。
35
.
空白值blankvalue
由水試劑器皿儀器環(huán)境及操作人員本身引入的測量結(jié)果的額外增加值
、、、、。
36
.
空白試驗blanktest
在不加入試樣或被測元素的情況下
溫馨提示
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