GB/T 11446.9-2013電子級水中微粒的儀器測試方法

ICS31030

L90-

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T11446.9—2013

代替

GB/T11446.9—1997

電子級水中微粒的儀器測試方法

Testmethodforparticlesinelectronicgradewaterbyinstrument

2013-12-31發(fā)布2014-08-15實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T114469—2013

.

前言

預(yù)計(jì)結(jié)構(gòu)如下

GB/T11446:

電子級水

———GB/T11446.1;

待定

———GB/T11446.2();

電子級水測試方法通則

———GB/T11446.3;

電子級水電阻率的測試方法

———GB/T11446.4;

電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法

———GB/T11446.5;

電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法

———GB/T11446.6;

電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法

———GB/T11446.7;

電子級水中總有機(jī)碳的測試方法

———GB/T11446.8;

電子級水中微粒的儀器測試方法

———GB/T11446.9;

電子級水中細(xì)菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測試方法

———GB/T11446.10。

本部分為的第部分

GB/T114469。

本部分按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本部分代替電子級水中微粒的儀器測試方法

GB/T11446.9—1997《》。

本部分與相比主要有下列變化

GB/T11446.9—1997,:

重新對微粒進(jìn)行了定義見第章

———“3.1”(3);

增加了干擾因素見第章

———“5”(5);

刪除了注意事項(xiàng)見年版的第章

———“11”(199711);

修訂了Pi的定義

———。

本部分由中華人民共和國工業(yè)和信息化部提出

。

本部分由中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院歸口

。

本部分起草單位信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所中國電子技

:、、

術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所

、。

本部分主要起草人王奕褚連青何秀坤段曙光提劉旺劉筠

:、、、、、。

本部分所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T11446.9—1989、GB/T11446.9—1997。

Ⅰ

GB/T114469—2013

.

電子級水中微粒的儀器測試方法

1范圍

的本部分規(guī)定了電子級水中微粒的儀器測定方法

GB/T11446。

本部分適用于電子級水中微粒的連續(xù)式或單次檢測計(jì)數(shù)測定的微粒粒徑不小于微粒的

,0.05μm,

濃度范圍為個

0~10000/mL。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

電子級水

GB/T11446.1—2013

電子級水測試方法通則

GB/T11446.3—2013

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T11446.3—2013。

31

.

微粒particle

粒狀物除去氣體非均勻地分散在水中的非液態(tài)物質(zhì)

,,。

4方法原理

一束經(jīng)聚焦的激光垂直于水樣流向方向入射水中的微粒將產(chǎn)生光散射效應(yīng)散射光的強(qiáng)度與微粒

,,

的大小具有一定的關(guān)系散射光經(jīng)聚光鏡會聚到光電倍增管將光信號變成電脈沖電脈沖的數(shù)目和幅

,,,

度分別與水中微粒的數(shù)目和直徑成正比電脈沖信號經(jīng)放大輸入計(jì)算機(jī)處理后可直