島津SM原子力顯微鏡原理及操作流程

原子力顯微鏡島津SPM--95001.研究背景

2.AFM簡(jiǎn)介

3.AFM的基本原理

4.AFM主要構(gòu)件及功能

5.AFM成像模式及特點(diǎn)

6.AFM的功能

原子力顯微鏡7.對(duì)樣品的要求8.AFM操作流程9.注意事項(xiàng)10.AFM應(yīng)用領(lǐng)域11.AFM在生命科學(xué)中的應(yīng)用12.AFM應(yīng)用前景1.研究背景以光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、掃描隧道顯微鏡為代表的一系列先進(jìn)顯微技術(shù)的出現(xiàn)與應(yīng)用，為人類(lèi)科技和社會(huì)進(jìn)步做出了巨大貢獻(xiàn)。1986年，IBM公司的G.Binning和斯坦福大學(xué)的C.F.Quate及C.Gerber合作發(fā)明的原子力顯微鏡(AtomicForceMicroscope,AFM)更為突出地顯現(xiàn)了顯微觀(guān)測(cè)技術(shù)對(duì)人類(lèi)的重要性，它是在掃描隧道顯微鏡基礎(chǔ)上為觀(guān)察非導(dǎo)電物質(zhì)經(jīng)改進(jìn)而發(fā)展起來(lái)的分子和原子級(jí)顯微工具。并以高分辨、制樣簡(jiǎn)單、操作易行等特點(diǎn)在生命科學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域發(fā)揮了重大作用，推動(dòng)了納米科技的發(fā)展，促使人類(lèi)進(jìn)入了納米時(shí)代。2.AFM簡(jiǎn)介原子力顯微鏡（AtomicForceMicroscope，AFM），是一種可用來(lái)研究包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器。它通過(guò)檢測(cè)待測(cè)樣品表面和一個(gè)微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來(lái)研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。將一對(duì)微弱力極端敏感的微懸臂一端固定，另一端的微小針尖接近樣品，這時(shí)它將與其相互作用，作用力將使得微懸臂發(fā)生形變或運(yùn)動(dòng)狀態(tài)發(fā)生變化。掃描樣品時(shí)，利用傳感器檢測(cè)這些變化，就可獲得作用力分布信息，從而以納米級(jí)分辨率獲得表面結(jié)構(gòu)信息。

原子力顯微鏡SPM-9500

3.AFM的基本原理當(dāng)樣品在針尖下面掃描時(shí)，同距離密切相關(guān)的針尖-樣品相互作用會(huì)引起微懸臂的形變，微懸臂的形變是對(duì)樣品-針尖相互作用的直接反映。通過(guò)檢測(cè)微懸臂產(chǎn)生的彈性形變量ΔZ,就可以根據(jù)微懸臂的彈性系數(shù)ｋ和函數(shù)式Ｆ=k·ΔZ直接求出樣品-針尖間相互作用Ｆ。再利用照射在懸臂尖端的激光束的反射接收來(lái)檢測(cè)微懸臂的形變。由于光杠桿作用原理，即使小于0.01nm的微懸臂形變也可在光電檢測(cè)器上產(chǎn)生10nm左右的激光點(diǎn)位移，由此產(chǎn)生的電壓變化對(duì)應(yīng)著微懸臂的形變量，通過(guò)一定的函數(shù)變換便可得到懸臂形變量的測(cè)量值。當(dāng)樣品在XY平面內(nèi)掃描時(shí)(對(duì)某一點(diǎn)其坐標(biāo)為[x,y])若保持樣品在Z軸方向靜止，且令探針的豎直初始位置為零，則可根據(jù)針尖-樣品相互作用與間距的關(guān)系得到樣品表面的高度變化信息Δh(x,y)，即樣品表面任意點(diǎn)(x,y)相對(duì)于初始位點(diǎn)的高度。對(duì)樣品表面進(jìn)行定域掃描便可得到此區(qū)域的表面形貌A=A(x,y,Δh(x,y))。4.AFM主要構(gòu)件及功能（1）為反饋光路提供光源的激光系統(tǒng)(Laser)；（2）進(jìn)行力-距離反饋的微懸臂系統(tǒng)(Cantilever)；（3）執(zhí)行光柵掃描和Z軸定位的壓電掃描器(x,y,zPiezo-scanner)；（4）接收光反饋信號(hào)的光電探測(cè)器(Detector)；（5）反饋電子線(xiàn)路(CurrentCircle)；（6）粗略定位系統(tǒng)；（7）防震防噪聲系統(tǒng)；（8）計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)與數(shù)據(jù)處理軟件；（9）樣品探測(cè)環(huán)境控制系統(tǒng)(濕控、溫控、氣環(huán)境控制等)；（10）監(jiān)控激光-懸臂-樣品相對(duì)位置的顯微及CCD攝像系統(tǒng)。其中，前四大系統(tǒng)是該儀器的核心部件。4.1激光系統(tǒng)激光器是光反饋通路的信號(hào)源。由于懸臂尖端的空間有限性，就對(duì)照射器上的光束寬度提出了一定要求：足夠細(xì)、單色性好、發(fā)散程度弱；同時(shí)也要求光源的穩(wěn)定性高，可持續(xù)運(yùn)行時(shí)間久，工作壽命長(zhǎng)。而激光正是能夠很好地滿(mǎn)足上述條件的光源。4.2微懸臂臂系統(tǒng)統(tǒng)微懸懸臂臂是是探探測(cè)測(cè)樣樣品品的的直直接接工工具具，，它它的的屬屬性性直直接接關(guān)關(guān)系系到到儀儀器器的的精精度度和和使使用用范范圍圍。。微微懸懸臂臂必必須須有有足足夠夠高高的的力力反反應(yīng)應(yīng)能能力力，，這這就就要要求求懸懸臂臂必必須須容容易易彎彎曲曲，，也也易易于于復(fù)復(fù)位位，，具具有有合合適適的的彈彈性性系系數(shù)數(shù)，，使使得得零零點(diǎn)點(diǎn)幾幾個(gè)個(gè)納納(nN)甚至至更更小小的的力力的的變變化化都都可可以以被被探探測(cè)測(cè)到到；；同同時(shí)時(shí)也也要要求求懸懸臂臂有有足足夠夠高高的的時(shí)時(shí)間間分分辨辨能能力力，，因因而而要要求求懸懸臂臂的的共共振振頻頻率率應(yīng)應(yīng)該該足足夠夠高高，，可可以以追追隨隨表表面面高高低低起起伏伏的的變變化化。。根據(jù)據(jù)上上述述兩兩個(gè)個(gè)要要求求，，微微懸懸臂臂的的尺尺寸寸必必須須在在微微米米的的范范圍圍，，而而位位于于微微懸懸臂臂末末端端的的探探針針則則在在10nm左右右，，而而其其上上針針尖尖的的曲曲率率半半徑徑約約為為30nm，懸懸臂臂的的固固有有頻頻率率則則必必須須高高于于10kHz。通通常常使使用用的的微微懸懸臂臂材材料料是是Si3N4。其其彈彈性性系系數(shù)數(shù)k=3=9.57，其其中中E,I分別別為為楊楊氏氏模模量量、、轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)慣慣量量，，L,m,f分別別是是微微懸懸臂臂的的長(zhǎng)長(zhǎng)度度、、質(zhì)質(zhì)量量和和共共振振頻頻率率。。微微懸懸臂臂的的勁勁度度常常數(shù)數(shù)一一般般為為4××--2.0N/ｍ。。4.3壓電電掃掃描描系系統(tǒng)統(tǒng)壓電電換換能能器器是是能能將將機(jī)機(jī)械械作作用用和和電電訊訊號(hào)號(hào)互互相相轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換換的的物物理理器器件件。。它它不不僅僅能能夠夠使使樣樣品品在在XY掃描描平平面面內(nèi)內(nèi)精精確確地地移移動(dòng)動(dòng)，，也也能能靈靈敏敏地地感感受受樣樣品品與與探探針針間間的的作作用用，，同同時(shí)時(shí)亦亦能能將將反反饋饋光光路路的的電電訊訊號(hào)號(hào)轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換換成成機(jī)機(jī)械械位位移移，，進(jìn)進(jìn)而而靈靈敏敏地地控控制制樣樣品品和和探探針針間間的的距距離離(力)，并并記記錄錄因因掃掃描描位位置置的的改改變變而而引引起起的的Z向伸伸縮縮量量Δh(x,y)。這這樣樣，，就就實(shí)實(shí)現(xiàn)現(xiàn)了了對(duì)對(duì)樣樣品品的的表表面面掃掃描描。。常見(jiàn)見(jiàn)掃掃描描器器的的最最小小分分辨辨率率0.1nm××0.1nm××0.01nm。4.4光電電檢檢測(cè)測(cè)與與反反饋饋系系統(tǒng)統(tǒng)目前前AFM探測(cè)測(cè)懸懸臂臂微微形形變變的的主主要要方方法法：：光束束偏偏轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)法法用一一束束激激光光照照在在微微懸懸臂臂的的尖尖端端，，而而用用位位置置靈靈敏敏光光檢檢測(cè)測(cè)器器(PSPD)來(lái)接接收收懸懸臂臂尖尖端端的的反反射射激激光光束束，，并并輸輸出出反反映映反反射射光光位位置置的的信信號(hào)號(hào)。。由由于于懸懸臂臂的的形形變變會(huì)會(huì)引引起起反反射射光光束束的的偏偏移移，，導(dǎo)導(dǎo)致致反反射射光光在在PSPD上位位置置的的變變化化，，進(jìn)進(jìn)而而產(chǎn)產(chǎn)生生反反應(yīng)應(yīng)懸懸臂臂的的形形變變的的電電訊訊號(hào)號(hào)，，以以供供調(diào)調(diào)節(jié)節(jié)壓壓電電掃掃描描器器的的伸伸縮縮控控制制。。5.AFM成像像模模式式及及特特點(diǎn)點(diǎn)原子子力力顯顯微微鏡鏡的的操操作作模模式式分分為為三三大大類(lèi)類(lèi)型型：：接觸觸模模式式(ContactMode)、非接接觸觸模模式式(Non-contactMode)和輕敲敲模模式式(TappingMode)。圖圖3給出出了了AFM不同同操操作作模模式式在在針針尖尖和和樣樣品品相相互互作作用用力力曲曲線(xiàn)線(xiàn)中中的的工工作作區(qū)區(qū)間間和和力力屬屬性性。。5.1接觸觸模模式式(ContactMode)接觸觸模模式式是是AFM最直接的的成像模模式。樣樣品掃描描時(shí)，針針尖始終終同樣品品“接觸觸”，而而相互作作用力是是排斥力力。掃描描時(shí)，懸懸臂施加加在針尖尖上的力力有可能能破壞試試樣的表表面結(jié)構(gòu)構(gòu)，因此此力的大大小范圍圍在～～N。若樣品品表面柔柔嫩而不不能承受受這樣的的力，便便不宜選選用接觸觸模式對(duì)對(duì)樣品表表面進(jìn)行行成像。。此模式式通常產(chǎn)產(chǎn)生穩(wěn)定定、高分分辨圖像像。針尖尖-樣品距離離在小于于零點(diǎn)幾幾個(gè)納米米的斥力力區(qū)域，，對(duì)應(yīng)圖圖3中的1-2段。5.2非接觸模模(Non-contactMode)非接觸模模式探測(cè)測(cè)試樣表表面時(shí)懸懸臂在距距離試樣樣表面上上方5～10nm的距離處處振蕩。。樣品與與針尖之之間的相相互作用用由范德德華力控控制，通通常為N，樣品不不會(huì)被破破壞，而而且針尖尖也不會(huì)會(huì)被污染染，適合合于研究究柔嫩物物體的表表面。此此模式的的不利之之處是要要在室溫溫大氣環(huán)環(huán)境下完完成。針針尖-樣品距離離在幾到到幾十納納米的吸吸引力區(qū)區(qū)域，對(duì)對(duì)應(yīng)圖3中的3-4段。由于于針尖-樣品距離離較大，，因此分分辨率比比接觸式式的低。。到目前前為止，，非接觸觸模式通通常不適適合在液液體中成成像，在在生物物樣品的的研究中中也不常常見(jiàn)。5.3輕敲模式式(TappingMode)輕敲模式式是上述述兩種模模式之間間的掃描描方式。。掃描時(shí)時(shí)，在共共振頻率率附近以以更大的的振幅(>20nm)驅(qū)動(dòng)微懸懸臂，使使得針尖尖與樣品品間斷地地接觸。。當(dāng)針尖尖沒(méi)有接接觸到表表面時(shí)，，微懸臂臂以一定定的大振振幅振動(dòng)動(dòng)，當(dāng)針針尖接近近表面直直至輕輕輕接觸表表面時(shí)，，振幅將將減??；；而當(dāng)針針尖反向向遠(yuǎn)離時(shí)時(shí),振幅又恢恢復(fù)到原原值。作作用在樣樣品上的的力保持持恒定。。由于針針尖同樣樣品接觸觸，分辨辨率幾乎乎與接觸觸模式一一樣好；；又因?yàn)闉榻佑|非非常短暫暫，剪切切力引起起的樣品品破壞幾幾乎完全全消失。。輕敲模模式適合合于分析析柔軟、、粘性和和脆性的的樣品，，并適合合在液體體中成像像。5.4三種模式式的比較較1、接觸模式式（ContactMode）：優(yōu)優(yōu)點(diǎn)點(diǎn)：掃描描速度快快，是唯唯一能夠夠獲得““原子分分辨率””圖像的的AFM垂直方向向上有明明顯變化化的質(zhì)硬硬樣品，，有時(shí)更更適于用用ContactMode掃描成像像。缺缺點(diǎn)點(diǎn)：橫向向力影響響圖像質(zhì)質(zhì)量在空空氣中，，因?yàn)闃訕悠繁砻婷嫖揭阂簩拥拿?xì)作用用使針尖尖與樣品品之間的的粘著力力很大，，橫向力力與粘著著力的合合力導(dǎo)致致圖像空空間分辨辨率降低低，而且且針尖掛掛擦樣品品會(huì)損壞壞軟質(zhì)樣樣品（如如生物樣樣品，聚聚合體等等）。2、非接觸觸模式式（Non-ContactMode）：優(yōu)優(yōu)點(diǎn)點(diǎn)：沒(méi)沒(méi)有力力作用用于樣樣品表表面。。缺缺點(diǎn)：：由于于針尖尖與樣樣品分分離，，橫向向分辨辨率低低；為為了避避免接接觸吸吸附層層而導(dǎo)導(dǎo)致針針尖膠膠粘，，其掃掃描速速度低低于TappingMode和ContactModeAFM。通常常僅用用于非非常怕怕水的的樣品品，吸吸附液液層必必須薄薄，如如果太太厚，，針尖尖會(huì)陷陷入液液層，，引起起反饋饋不穩(wěn)穩(wěn)，刮刮擦樣樣品。。由于于上述述缺點(diǎn)點(diǎn)，on-contactMode的使用用受到到限制制。3、輕敲模模式（TappingMode）：優(yōu)優(yōu)點(diǎn)：：很好好的消消除了了橫向向力的的影響響。降降低了了由吸吸附液液層引引起的的力，，圖像像分辨辨率高高，適適于觀(guān)觀(guān)測(cè)軟軟、易易碎、、或膠膠粘性性樣品品，不不會(huì)損損傷其其表面面。缺缺點(diǎn)：：比ContactModeAFM的掃描描速度度慢。。6.AFM的功能能6.1表面形形貌的的表征征通過(guò)檢檢測(cè)探探針-樣品作作用力力可表表征樣樣品表表面的的三維維形貌貌，這這是AFM最基本本的功功能。。由于于表面面的高高低起起伏狀狀態(tài)能能夠準(zhǔn)準(zhǔn)確地地以數(shù)數(shù)值的的形式式獲取取，對(duì)對(duì)表面面整體體圖像像進(jìn)行行分析析可得得到樣樣品表表面的的粗糙糙度Roughness)、顆粒粒度(Granularity)、平均均梯度度(StepHeight)、孔結(jié)結(jié)構(gòu)和和孔徑徑分布布等參參數(shù)；；對(duì)小小范圍圍表面面圖像像分析析還可可得到到表面面物質(zhì)質(zhì)的晶晶形結(jié)結(jié)構(gòu)、、聚集集狀態(tài)態(tài)、分分子的的結(jié)構(gòu)構(gòu)、面面積和和表面面積及及體積積等；；通過(guò)過(guò)一定定的軟軟件也也可對(duì)對(duì)樣品品的形形貌進(jìn)進(jìn)行豐豐富的的三維維模擬擬顯示示如等等高線(xiàn)線(xiàn)顯示示法、、亮度度-高度對(duì)對(duì)應(yīng)法法等，，亦可可轉(zhuǎn)換換不同同的視視角，，讓圖圖像更更適于于人的的直觀(guān)觀(guān)視覺(jué)覺(jué)。6.2表面物物化屬屬性的的表征征AFM的一種種重要要的測(cè)測(cè)量方方法是是力-距離曲曲線(xiàn)，，它包包含了了豐富富的針針尖-樣品作作用信信息。。在探探針接接近甚甚至壓壓入樣樣品表表面又又隨后后離開(kāi)開(kāi)的過(guò)過(guò)程中中，測(cè)測(cè)量并并記錄錄探針針?biāo)苁艿降牡牧?，，就得得到針針尖和和樣品品間的的力-距離曲曲線(xiàn)。。通過(guò)過(guò)分析析針尖尖-樣品作作用力力，就就能夠夠了解解樣品品表面面區(qū)域域的各各種性性質(zhì)如如壓彈彈性、、粘彈彈性、、硬度度等物物理屬屬性；；若樣樣品表表面是是有機(jī)機(jī)物或或生物物分子子，還還可通通過(guò)探探針與與分子子的結(jié)結(jié)合拉拉伸了了解物物質(zhì)分分子的的拉伸伸彈性性、聚聚集狀狀態(tài)或或空間間構(gòu)象象等物物理化化學(xué)屬屬性；；若用用蛋白白受體體或其其它生生物大大分子子對(duì)探探針進(jìn)進(jìn)行修修飾(functionization)，探針則會(huì)會(huì)具有特定定的分子識(shí)識(shí)別功能，，從而了解解樣品表面面分子的種種類(lèi)與分布布等生物學(xué)學(xué)特性。7.對(duì)樣品的要要求(1）研究對(duì)象：有機(jī)固體體、聚合物物以及生物物大分子等等；（2）樣品的載體體：云母片、、玻璃片、、石墨、拋拋光硅片、、二氧化硅硅和某些生生物膜等。。最常用的的是新剝離離的云母片片，因?yàn)槠淦浞浅Ｆ秸胰菀滋幪幚?；拋光光硅片最好好用濃硫酸酸與30%雙氧水的7∶3混合液在90℃下煮1h；利用電性性能測(cè)試時(shí)時(shí)需要導(dǎo)電電性能良好好的載體，，如石墨或或鍍有金屬屬的基片。。（3）樣品的厚度度：最大為10mm。（4）樣品的大小小及重量：試樣的大大小以不大大于試樣臺(tái)臺(tái)的大?。ǎㄖ睆?0mm）為標(biāo)準(zhǔn)，，最大值約約為40mm。樣品不宜宜過(guò)重，如如果過(guò)重，，有時(shí)會(huì)影影響Scanner的動(dòng)作。8.AFM操作流程（1）啟動(dòng)儀器：接通電源，，先打開(kāi)控控制器，再再打開(kāi)AFM主機(jī)；開(kāi)啟啟計(jì)算機(jī)并并雙擊SPM--9500打開(kāi)軟件（（待主機(jī)的的READY鍵變亮穩(wěn)定定后）；預(yù)熱20—30分鐘；（2）放樣品：待信號(hào)為5個(gè)以上時(shí)，，將待測(cè)樣樣品用鑷子子輕輕放入入樣品臺(tái)；；（3）軟件設(shè)置：A.打開(kāi)軟件后后出現(xiàn)[SPMManager]窗口；B.單擊窗口中中的online按鈕出現(xiàn)[SPMOnline]窗口及[ScanningCondition]子窗口；C.點(diǎn)擊[Oscilloscope]前的對(duì)勾出出現(xiàn)[LeftOscilloscope]波動(dòng)圖像窗窗口并拖動(dòng)動(dòng)其至右下下方；D.點(diǎn)擊[SPMOnline]窗口中[Setting]-[YScanStart]-[Top]設(shè)置掃描探探針自上而而下掃描，，點(diǎn)擊[PanelDisplay]出現(xiàn)[SignalDisplayPanel]窗口，將垂垂直[VerticalDeflection]用垂直齒輪輪調(diào)至-2，將水平[HorizontalDeflection]用水平齒輪輪調(diào)至0，反復(fù)調(diào)節(jié)節(jié)至少3次后，關(guān)閉閉窗口。AFM樣品臺(tái)示意意圖[SPMOnline]工作窗口（4）設(shè)置參數(shù)：在[ScanningCondition]子窗口中設(shè)設(shè)置：A.[Size]（微微懸懸臂臂在在樣樣品品表表面面水水平平掃掃描描范范圍圍））設(shè)設(shè)置置為為20um；B.[Rate]（微微懸懸臂臂掃掃描描速速度度））設(shè)設(shè)置置為為2HZ；C.[ZRange]（微微懸懸臂臂掃掃描描時(shí)時(shí)Z方向向波波動(dòng)動(dòng)范范圍圍））一一般般設(shè)設(shè)置置為為[X1]（Z方向向波波動(dòng)動(dòng)范范圍圍為為掃掃描描器器規(guī)規(guī)定定的的最最大大波波動(dòng)動(dòng)范范圍圍））；；[X2]指Z方向向波波動(dòng)動(dòng)范范圍圍縮縮小小一一半半；；D.[Operating]操作作電電壓壓為為1V；E.[ProportionalGain]比例例增增益益設(shè)設(shè)置置為為10；F.[IntegralGain]積分分增增益益設(shè)設(shè)置置為為0.01；G.X,Y,Z設(shè)置置為為清清零零模模式式0；在[SPMOnline]窗口口中中，，[ZRange]根據(jù)據(jù)檢檢測(cè)測(cè)對(duì)對(duì)象象設(shè)設(shè)置置合合理理數(shù)數(shù)值值。。（5）開(kāi)始始檢檢測(cè)測(cè)A.點(diǎn)擊擊[FastApproach]快速速趨趨進(jìn)進(jìn)按按鈕鈕，，微微懸懸臂臂會(huì)會(huì)自自動(dòng)動(dòng)趨趨近近樣樣品品，，并并且且在在距距離離樣樣品品10um處自自動(dòng)動(dòng)停停止止；；B.點(diǎn)擊擊[SlowApproach]慢速速趨趨進(jìn)進(jìn)按按鈕鈕，，當(dāng)當(dāng)微微懸懸臂臂接接觸觸到到樣樣品品后后，，慢慢速速進(jìn)進(jìn)針針自自動(dòng)動(dòng)停停止止，，開(kāi)開(kāi)始始掃掃描描樣樣品品并并出出現(xiàn)現(xiàn)掃掃描描圖圖像像（（慢慢速速進(jìn)進(jìn)針針一一般般進(jìn)進(jìn)行行8格自動(dòng)結(jié)束））。檢測(cè)進(jìn)程中出出現(xiàn)掃描圖像像（6）調(diào)節(jié)圖像A.點(diǎn)擊[SPMOnline]窗口中的Zoom選擇圖像中的的合適區(qū)域進(jìn)進(jìn)行放大掃描描；B.調(diào)節(jié)[scancondition]中的[Zrange]使沿Z方向波動(dòng)的范范圍縮小相應(yīng)應(yīng)的倍數(shù)；C.當(dāng)圖像出現(xiàn)豎豎道時(shí)，將Data從256*256先設(shè)置為512*512，再設(shè)置為256*256；D.有時(shí)候出現(xiàn)的的掃描圖形可可能是偽圖，因此應(yīng)該回回針再重新掃掃描；E.要看掃描圖像像中測(cè)得的某某處樣品的高高度先按住Shift，再用鼠標(biāo)在在樣品處劃線(xiàn)線(xiàn)。（7）保存圖像在工具欄內(nèi)點(diǎn)點(diǎn)擊[Save]按鈕，選擇要要保存的圖片片信息，然后后再點(diǎn)擊[OK]。當(dāng)掃描到底底或在頂時(shí)，，本次保存才才能結(jié)束。保保存的文件以以當(dāng)前日期和和時(shí)間命名。。當(dāng)圖像上出出現(xiàn)SAVETHIS時(shí)不能改變檢檢測(cè)的各參數(shù)數(shù)。點(diǎn)擊任何抬針針按鈕，都可可以停止掃描描。（8）結(jié)束測(cè)試（9）處理圖像A.在[SPMManage]窗口下點(diǎn)擊[Offline]按鈕，出現(xiàn)[SPMOffline]操作窗口；；B.在[SPMOffline]窗口的工具欄欄內(nèi)，點(diǎn)擊文文件夾樹(shù)按鈕鈕[Browser]，出現(xiàn)圖片庫(kù)庫(kù)窗口；C.在圖片庫(kù)窗口口內(nèi)，雙擊要要處理的圖片片，會(huì)出現(xiàn)它它的單獨(dú)的[SPMOffline]窗口；對(duì)于已經(jīng)平滑滑好的圖片，，如果希望看看到樣品信息息的三維信息息，點(diǎn)擊3D顯示按鈕。然然后在3D設(shè)置內(nèi)可以選選擇3D視角。D.在[SPMoffline]圖片處理窗口口的工具欄內(nèi)內(nèi)，點(diǎn)擊平滑滑按鈕，選擇擇[lineflatten]按鈕，平滑圖圖片。E.三維圖像顯示示操作（10）結(jié)束試驗(yàn)(a)關(guān)閉SPMonline軟件；(b)關(guān)閉SPM主機(jī)；(c)關(guān)閉電腦；；(d)關(guān)閉SPM控制器；(e)蓋好防塵布。。*9.注意事項(xiàng)（1）各參數(shù)設(shè)置置好后要按回回車(chē)鍵，檢測(cè)測(cè)中改變參數(shù)數(shù)后也要按回回車(chē)鍵；（2）開(kāi)始檢測(cè)要要關(guān)閉空調(diào)，，防止空氣流流動(dòng)對(duì)檢測(cè)造造成影響；（3）檢測(cè)中，實(shí)實(shí)驗(yàn)員不能碰碰觸儀器桌面面，不能在儀儀器附近來(lái)回回走動(dòng)；（4）未抬針堅(jiān)決決不能放樣品品，每次更換換樣品及試驗(yàn)驗(yàn)結(jié)束后都必必須抬針，每次抬針大大約5、6次；（5）READY鍵不亮?xí)r可能能死機(jī)（死機(jī)機(jī)時(shí)會(huì)發(fā)出聲聲響，在垂直直于水平旋鈕鈕互相切換時(shí)時(shí)也會(huì)發(fā)出聲聲響），此時(shí)時(shí)要先關(guān)閉閉SPM軟件再再按POWER鍵關(guān)閉閉主機(jī)機(jī)，等待待穩(wěn)定定后再再按POWER鍵重新新啟動(dòng)動(dòng)主機(jī)機(jī)。10.AFM優(yōu)缺點(diǎn)點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)：：（1）AFM具有超超高的的空間間分辨辨率，，放大大倍數(shù)數(shù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)過(guò)以往往的顯顯微鏡鏡：光光學(xué)顯顯微鏡鏡的放放大倍倍數(shù)一一般不不超過(guò)過(guò)1000倍；電電子顯顯微鏡鏡的放放大倍倍數(shù)的的極限限是100萬(wàn)倍；；而AFM的放大大倍數(shù)數(shù)是電電子顯顯微鏡鏡的1000倍，高高達(dá)10億倍，，可以以直接接觀(guān)察察到物物質(zhì)的的分子子和原原子。。（2）AFM的制樣樣過(guò)程程簡(jiǎn)單單易行行：不需要要對(duì)樣樣品做做特殊殊處理理，如如鍍銅銅或碳碳等；；只需對(duì)對(duì)樣品品稍加加固定定便可可進(jìn)行行觀(guān)察察。（3）AFM還具有有多樣樣的試試驗(yàn)環(huán)環(huán)境：：既可可以在在真空空中試試驗(yàn)，，也可可以在在大氣氣中，，甚至至還可可以在在溶液液中觀(guān)觀(guān)察樣樣品，，同時(shí)時(shí)對(duì)溫溫度沒(méi)沒(méi)有特特殊要要求，，高溫溫低溫溫皆可可以進(jìn)進(jìn)行。。（4）AFM具有廣廣泛的的研究究對(duì)象象：可可研究究生物物、物物理、、化學(xué)學(xué)等領(lǐng)領(lǐng)域，，并能能研究生生物宏宏觀(guān)分分子，，甚至至活的的生物物組織織。（5）AFM不僅提提供二二維圖圖像，，而且且提供供真正正的三三維表表面圖圖。缺點(diǎn)：：AFM的成像像范圍圍太小小，速速度慢慢，受受探頭頭的影影響太太大。。10.AFM應(yīng)用領(lǐng)領(lǐng)域在各種種樣品品上獲獲得的的結(jié)果果