真空壓力表課件

真空壓力表頭制作人：RS-Tech審核：RS-Tech真空壓力表頭制作人：RS-Tech0102外部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)介用途及基本性能目錄/contentsI/O電路圖0304輸出模式及設(shè)定模式05皮拉尼真空計(jì)及機(jī)械壓力表0102外部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)介用途及基本性能目錄/content01外部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)介01外部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)介

真空壓力表課件真空壓力表課件真空壓力表課件真空壓力表課件真空壓力表課件02用途及基本性能02用途及基本性能用途電子元件的吸附確認(rèn)確認(rèn)基準(zhǔn)壓力氣體泄漏測(cè)試用途電子元件的吸附確認(rèn)確認(rèn)基準(zhǔn)壓力氣體泄漏測(cè)試基本性能所有品種均由大氣壓-真空兼用型組成系列實(shí)現(xiàn)高精度傳感檢測(cè)無(wú)需根據(jù)正壓、負(fù)壓來(lái)選擇傳感器，因此可以減少登錄的品種。低壓型可實(shí)現(xiàn)高精度檢測(cè)：分辨率1/2000、顯示單位0.1kPa、反應(yīng)時(shí)間2.5ms（至5000ms可調(diào)）、溫度特性±0.5%F.S.(FullScale滿量程)、重復(fù)精度±0.1%F.S.?；拘阅芩衅贩N均由大氣壓-真空兼用型組成系列實(shí)現(xiàn)高精度傳感具備復(fù)制功能在主傳感器上每次連接一個(gè)傳感器，即可通過(guò)數(shù)據(jù)通信復(fù)制主傳感器的設(shè)定內(nèi)容。需要對(duì)多個(gè)傳感器進(jìn)行相同設(shè)定時(shí)，復(fù)制功能可以防止因設(shè)定錯(cuò)誤而引發(fā)的故障。此外，也能在裝置進(jìn)行設(shè)計(jì)變更時(shí)，減少作業(yè)指示書的變更。功能具備復(fù)制功能功能設(shè)定步驟設(shè)定步驟注意事項(xiàng)1、使用設(shè)定備份功能時(shí)，請(qǐng)務(wù)必在相同機(jī)種間進(jìn)行。不同機(jī)種間無(wú)法備份2、設(shè)定備份功能最多只能1臺(tái)主傳感器對(duì)應(yīng)1臺(tái)副傳感器。3、解除主傳感器的設(shè)定備份模式a.接通主傳感器的電源(拆下副傳感器的接線時(shí))。b.按住模式轉(zhuǎn)換按鈕約2秒。注意事項(xiàng)1、使用設(shè)定備份功能時(shí)，請(qǐng)務(wù)必在相同機(jī)種間進(jìn)行。不同真空壓力表課件真空壓力表課件真空壓力表課件03I/O電路圖03I/O電路圖真空壓力表課件真空壓力表課件如果是傳感器，那，NPN,常開，單傳感器不作用時(shí)，輸出低電平，作用時(shí)，輸出高電平。NPN,常閉，單傳感器不作用時(shí)，輸出高電平，作用時(shí)，輸出低電平。PNP,常開，單傳感器不作用時(shí)，輸出高電平，作用時(shí)，輸出低電平。PNP,常閉，單傳感器不作用時(shí)，輸出低電平，作用時(shí)，輸出高電平。如果，你用的是直流24V的傳感器，還可以這樣理解，高電平+24V,低電平0V。如果是傳感器，那，NPN,常開，單傳感器不作用時(shí)，輸出低電平042個(gè)獨(dú)立輸出和3種輸出模式（標(biāo)準(zhǔn)型）042個(gè)獨(dú)立輸出和3種輸出模式（標(biāo)準(zhǔn)型）具備2個(gè)獨(dú)立的比較輸出，可以分別選擇不同的傳感檢測(cè)模式。2個(gè)比較輸出中有1個(gè)可用作警報(bào)輸出，此外，還能將不使用的輸出設(shè)為無(wú)效。具備2個(gè)獨(dú)立的比較輸出，可以分別選擇不同的傳感檢測(cè)吸附用途，真空破壞也能確認(rèn)吸附用途，真空破壞也能確認(rèn)確認(rèn)基準(zhǔn)壓力用途，可進(jìn)行基準(zhǔn)壓力的警報(bào)輸出確認(rèn)基準(zhǔn)壓力用途，可進(jìn)行基準(zhǔn)壓力的警報(bào)輸出1.EASY模式進(jìn)行比較輸出ON/OFF控制的模式。（注1）：應(yīng)差可以固定為8級(jí)。（注2）：副顯示部在比較輸出1時(shí)顯示“P-1”，比較輸出2時(shí)顯示“P-2”。1.EASY模式（注1）：應(yīng)差可以固定為8級(jí)。2.滯后模式任意設(shè)定比較輸出的應(yīng)差（滯后）、進(jìn)行ON/OFF控制的模式。（注1）：副顯示部在比較輸出1時(shí)顯示“H1-1”、“Lo-1”，比較輸出2時(shí)顯示“H1-2”、“Lo-2”。2.滯后模式（注1）：副顯示部在比較輸出1時(shí)顯示“H13.窗式比較模式按照設(shè)定范圍內(nèi)的壓力，使比較輸出為ON或OFF的模式。（注1）：應(yīng)差可以固定為8級(jí)。（注2）：副顯示部在比較輸出1時(shí)顯示“H1-1”、“Lo-1”，比較輸出2時(shí)顯示“H1-2”、“Lo-2”。3.窗式比較模式（注1）：應(yīng)差可以固定為8級(jí)。1級(jí)：日常進(jìn)行的操作設(shè)定為“RUN模式”2級(jí)：基本設(shè)定為“菜單設(shè)定模式”3級(jí)：高級(jí)功能為“PRO模式”設(shè)定操作模式1級(jí)：日常進(jìn)行的操作設(shè)定為“RUN模式”設(shè)定操作模式真空壓力表課件真空壓力表課件05皮拉尼真空計(jì)及機(jī)械壓力表05皮拉尼真空計(jì)及機(jī)械壓力表皮拉尼真空計(jì)是全壓真空計(jì)，利用了氣體熱傳導(dǎo)性與壓力有關(guān)的原理，通過(guò)測(cè)量保持在不同溫度的兩固定元件表面間熱能的傳遞來(lái)測(cè)量壓力的一種真空計(jì)。Pirani(皮拉尼)真空計(jì)原理皮拉尼真空計(jì)是全壓真空計(jì)，利用了氣體熱傳導(dǎo)性與壓力有1、極寬的測(cè)量范圍從大氣壓到1x10﹣4mbar.2、極好的重復(fù)性,過(guò)程壓強(qiáng)范圍10-8…10-2毫巴均為5%3、皮拉尼連鎖保護(hù)燈絲,防止過(guò)早燒毀4、雙敷涂釔的氧化銥長(zhǎng)壽命燈絲5、可選圖形顯示和現(xiàn)場(chǎng)總線接口6、自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整,減少操作人員的干預(yù)7、容易更換具有在機(jī)校準(zhǔn)的傳感元件,保證高度重復(fù)性特點(diǎn)1、極寬的測(cè)量范圍從大氣壓到1x10﹣4mbar.特點(diǎn)半導(dǎo)體工藝和輸送室中的壓強(qiáng)測(cè)量工業(yè)鍍膜一般真空測(cè)量和控制,從低至超高真空范圍應(yīng)用半導(dǎo)體工藝和輸送室中的壓強(qiáng)測(cè)量應(yīng)用真空壓力表課件真空壓力表課件機(jī)械壓力表工作原理

彈簧管在壓力和真空作用下，產(chǎn)生彈性變形引起管端位移，其位移通過(guò)機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行放大，傳遞給指示裝置，再由指針在刻有法定計(jì)量單位的分度盤上指出被測(cè)壓力或真空量值。真空壓力表課件機(jī)械壓力表內(nèi)部構(gòu)造機(jī)械壓力表內(nèi)部構(gòu)造構(gòu)造：

a溢流孔：若發(fā)生波登管爆裂的緊急情況的時(shí)候，內(nèi)部壓力將通過(guò)溢流孔向外界釋放，防止玻璃面板的爆裂。注：為了保持溢流孔的正常性能，請(qǐng)?jiān)诒砗竺媪舫鲋辽?0mm的空間，不要改造或塞住溢流孔。

b指針：除標(biāo)準(zhǔn)指針外，其他指針也是可選的。（零調(diào)指針最大值指針或設(shè)定指針）請(qǐng)?jiān)谶x型表中列出。

c玻璃面板：除標(biāo)準(zhǔn)玻璃外，其他特殊材質(zhì)玻璃，如強(qiáng)化玻璃，無(wú)反射玻璃也是可選的。構(gòu)造：是帶有波浪的圓形膜片，膜片本身位于兩個(gè)法蘭之間，或焊接在法蘭盤上或其邊緣夾在兩個(gè)法蘭盤之間。膜片一側(cè)受到測(cè)量介質(zhì)的壓力。這樣膜片所產(chǎn)生的微小彎曲變形可用來(lái)間接測(cè)量介質(zhì)的壓力。壓力的大小由指針顯示。d膜片敏感元件是帶有波浪的圓形膜片，膜片本身位于兩個(gè)法蘭之間，或焊接在法蘭END！END！演講完畢，謝謝觀看！演講完畢，謝謝觀看！真空壓力表頭制作人：RS-Tech審核：RS-Tech真空壓力表頭制作人：RS-Tech0102外部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)介用途及基本性能目錄/contentsI/O電路圖0304輸出模式及設(shè)定模式05皮拉尼真空計(jì)及機(jī)械壓力表0102外部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)介用途及基本性能目錄/content01外部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)介01外部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)介

真空壓力表課件真空壓力表課件真空壓力表課件真空壓力表課件真空壓力表課件02用途及基本性能02用途及基本性能用途電子元件的吸附確認(rèn)確認(rèn)基準(zhǔn)壓力氣體泄漏測(cè)試用途電子元件的吸附確認(rèn)確認(rèn)基準(zhǔn)壓力氣體泄漏測(cè)試基本性能所有品種均由大氣壓-真空兼用型組成系列實(shí)現(xiàn)高精度傳感檢測(cè)無(wú)需根據(jù)正壓、負(fù)壓來(lái)選擇傳感器，因此可以減少登錄的品種。低壓型可實(shí)現(xiàn)高精度檢測(cè)：分辨率1/2000、顯示單位0.1kPa、反應(yīng)時(shí)間2.5ms（至5000ms可調(diào)）、溫度特性±0.5%F.S.(FullScale滿量程)、重復(fù)精度±0.1%F.S.?；拘阅芩衅贩N均由大氣壓-真空兼用型組成系列實(shí)現(xiàn)高精度傳感具備復(fù)制功能在主傳感器上每次連接一個(gè)傳感器，即可通過(guò)數(shù)據(jù)通信復(fù)制主傳感器的設(shè)定內(nèi)容。需要對(duì)多個(gè)傳感器進(jìn)行相同設(shè)定時(shí)，復(fù)制功能可以防止因設(shè)定錯(cuò)誤而引發(fā)的故障。此外，也能在裝置進(jìn)行設(shè)計(jì)變更時(shí)，減少作業(yè)指示書的變更。功能具備復(fù)制功能功能設(shè)定步驟設(shè)定步驟注意事項(xiàng)1、使用設(shè)定備份功能時(shí)，請(qǐng)務(wù)必在相同機(jī)種間進(jìn)行。不同機(jī)種間無(wú)法備份2、設(shè)定備份功能最多只能1臺(tái)主傳感器對(duì)應(yīng)1臺(tái)副傳感器。3、解除主傳感器的設(shè)定備份模式a.接通主傳感器的電源(拆下副傳感器的接線時(shí))。b.按住模式轉(zhuǎn)換按鈕約2秒。注意事項(xiàng)1、使用設(shè)定備份功能時(shí)，請(qǐng)務(wù)必在相同機(jī)種間進(jìn)行。不同真空壓力表課件真空壓力表課件真空壓力表課件03I/O電路圖03I/O電路圖真空壓力表課件真空壓力表課件如果是傳感器，那，NPN,常開，單傳感器不作用時(shí)，輸出低電平，作用時(shí)，輸出高電平。NPN,常閉，單傳感器不作用時(shí)，輸出高電平，作用時(shí)，輸出低電平。PNP,常開，單傳感器不作用時(shí)，輸出高電平，作用時(shí)，輸出低電平。PNP,常閉，單傳感器不作用時(shí)，輸出低電平，作用時(shí)，輸出高電平。如果，你用的是直流24V的傳感器，還可以這樣理解，高電平+24V,低電平0V。如果是傳感器，那，NPN,常開，單傳感器不作用時(shí)，輸出低電平042個(gè)獨(dú)立輸出和3種輸出模式（標(biāo)準(zhǔn)型）042個(gè)獨(dú)立輸出和3種輸出模式（標(biāo)準(zhǔn)型）具備2個(gè)獨(dú)立的比較輸出，可以分別選擇不同的傳感檢測(cè)模式。2個(gè)比較輸出中有1個(gè)可用作警報(bào)輸出，此外，還能將不使用的輸出設(shè)為無(wú)效。具備2個(gè)獨(dú)立的比較輸出，可以分別選擇不同的傳感檢測(cè)吸附用途，真空破壞也能確認(rèn)吸附用途，真空破壞也能確認(rèn)確認(rèn)基準(zhǔn)壓力用途，可進(jìn)行基準(zhǔn)壓力的警報(bào)輸出確認(rèn)基準(zhǔn)壓力用途，可進(jìn)行基準(zhǔn)壓力的警報(bào)輸出1.EASY模式進(jìn)行比較輸出ON/OFF控制的模式。（注1）：應(yīng)差可以固定為8級(jí)。（注2）：副顯示部在比較輸出1時(shí)顯示“P-1”，比較輸出2時(shí)顯示“P-2”。1.EASY模式（注1）：應(yīng)差可以固定為8級(jí)。2.滯后模式任意設(shè)定比較輸出的應(yīng)差（滯后）、進(jìn)行ON/OFF控制的模式。（注1）：副顯示部在比較輸出1時(shí)顯示“H1-1”、“Lo-1”，比較輸出2時(shí)顯示“H1-2”、“Lo-2”。2.滯后模式（注1）：副顯示部在比較輸出1時(shí)顯示“H13.窗式比較模式按照設(shè)定范圍內(nèi)的壓力，使比較輸出為ON或OFF的模式。（注1）：應(yīng)差可以固定為8級(jí)。（注2）：副顯示部在比較輸出1時(shí)顯示“H1-1”、“Lo-1”，比較輸出2時(shí)顯示“H1-2”、“Lo-2”。3.窗式比較模式（注1）：應(yīng)差可以固定為8級(jí)。1級(jí)：日常進(jìn)行的操作設(shè)定為“RUN模式”2級(jí)：基本設(shè)定為“菜單設(shè)定模式”3級(jí)：高級(jí)功能為“PRO模式”設(shè)定操作模式1級(jí)：日常進(jìn)行的操作設(shè)定為“RUN模式”設(shè)定操作模式真空壓力表課件真空壓力表課件05皮拉尼真空計(jì)及機(jī)械壓力表05皮拉尼真空計(jì)及機(jī)械壓力表皮拉尼真空計(jì)是全壓真空計(jì)，利用了氣體熱傳導(dǎo)性與壓力有關(guān)的原理，通過(guò)測(cè)量保持在不同溫度的兩固定元件表面間熱能的傳遞來(lái)測(cè)量壓力的一種真空計(jì)。Pirani(皮拉尼)真空計(jì)原理皮拉尼真空計(jì)是全壓真空計(jì)，利用了氣體熱傳導(dǎo)性與壓力有1、極寬的測(cè)量范圍從大氣壓到1x10﹣4mbar.2、極好的重復(fù)性,過(guò)程壓強(qiáng)范圍10-8…10-2毫巴均為5%3、皮拉尼連鎖保護(hù)燈絲,防止過(guò)早燒毀4、雙敷涂釔的氧化銥長(zhǎng)壽命燈絲5、可選圖形顯示和現(xiàn)場(chǎng)總線接口6、自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整,減少操作人員的干預(yù)7、容易更換具有在機(jī)校準(zhǔn)的傳感元件,保證高度重復(fù)性特點(diǎn)1、極寬的測(cè)量范圍從大氣壓到1x10﹣4mbar.特點(diǎn)半導(dǎo)體工藝和輸送室中的壓強(qiáng)測(cè)量工業(yè)鍍膜一般真空測(cè)量和控制,從低至超高真空范圍應(yīng)用半導(dǎo)體工藝和輸送室中的壓強(qiáng)測(cè)量應(yīng)用真空壓力表課件真空壓力表課件機(jī)械壓力表工作原理

彈簧管在壓力和真空作用下，產(chǎn)生彈性變形引起管端位移，其位移通過(guò)機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行放大，傳遞給指示裝置，再由指針在刻有法定計(jì)量單位的分度盤上指出被測(cè)壓力或真空量值。真空壓力表課件機(jī)械壓力表內(nèi)部構(gòu)造機(jī)械壓力表內(nèi)部構(gòu)造構(gòu)造：

a溢流孔：若發(fā)生波登管爆裂的緊急情況的時(shí)候，內(nèi)部壓力將通過(guò)溢流孔向外界釋放，防止玻璃面板的爆裂。注：為了保持溢流孔的正常性能，請(qǐng)?jiān)诒砗竺媪舫鲋辽?0mm的空間，不要改造或塞住溢流孔。

b指針