單晶少子壽命測試課件

單晶少數(shù)載流子壽命測試實(shí)驗(yàn)?zāi)康膶?shí)驗(yàn)原理儀器介紹實(shí)驗(yàn)內(nèi)容思考練習(xí)單晶少數(shù)載流子壽命測試實(shí)驗(yàn)?zāi)康膶?shí)驗(yàn)原理儀器介紹實(shí)驗(yàn)內(nèi)容思考練1.實(shí)驗(yàn)?zāi)康睦斫鈫尉贁?shù)載流子壽命的測試原理；

掌握單晶少數(shù)載流子壽命的測試方法。

1.實(shí)驗(yàn)?zāi)康睦斫鈫尉贁?shù)載流子壽命的測試原理；2.實(shí)驗(yàn)原理高頻源提供的高頻電流流經(jīng)被測樣品，當(dāng)紅外光源的脈沖光照射樣品時(shí)，單晶體內(nèi)即產(chǎn)生非平衡光生載流子，使樣品產(chǎn)生附加光電導(dǎo)，樣品電阻下降。由于高頻源為恒壓輸出，因此，流過樣品的高頻電流幅值，此時(shí)增加ΔI。光照消失后，ΔI便逐漸衰退，其衰退速度取決于光生非平衡載流子在晶體內(nèi)存在的平均時(shí)間(即壽命τ)。2.實(shí)驗(yàn)原理高頻源提供的高頻電流流經(jīng)被測樣品，當(dāng)紅外光源的脈在小注入條件下，樣品光照內(nèi)復(fù)合是主要因素。ΔI將按指數(shù)規(guī)律衰減，在取樣器上產(chǎn)生的電壓變化ΔV，也按同樣的規(guī)律變化。在小注入條件下，樣品光照內(nèi)復(fù)合是主要因素。儀器的工作原理簡化方框圖儀器的工作原理簡化方框圖此調(diào)幅高頻信號(hào)經(jīng)檢波器解調(diào)和高頻濾波，再經(jīng)寬頻放大器放大后輸入到脈沖示波器，在示波器上就顯示出一條如右圖所示的指數(shù)衰減曲線，衰減的時(shí)間常數(shù)τ就是欲測的壽命值。此調(diào)幅高頻信號(hào)經(jīng)檢波器解調(diào)和高頻濾波，再經(jīng)寬頻放大器放大后輸3.儀器介紹LT-2型單晶壽命測試儀3.儀器介紹LT-2型單晶壽命測試儀前面板說明前面板說明后面板說明后面板說明

主機(jī)承片臺(tái)：樣品的承片臺(tái)位于主機(jī)箱頂蓋中央，由兩個(gè)電極和紅外光透光孔組成，測試時(shí)將樣品置于兩電極和紅外光透光孔上。

主機(jī)承片臺(tái)：樣品的承片臺(tái)位于主機(jī)箱頂蓋中央，由兩個(gè)4.實(shí)驗(yàn)內(nèi)容測試時(shí)將樣品置于主機(jī)頂蓋的樣品承片臺(tái)上，通過調(diào)節(jié)示波器同步電平及釋抑時(shí)間內(nèi)同步示波器，使儀器輸出的指數(shù)衰減光電導(dǎo)信號(hào)波形穩(wěn)定下來，然后在示波器上觀察和計(jì)算樣品壽命讀數(shù)。4.實(shí)驗(yàn)內(nèi)容測試時(shí)將樣品置于主機(jī)頂蓋的樣品承片臺(tái)上，通過調(diào)節(jié)（1）接上電源線以及用高頻連接線將CZ與示波器Y輸入端接通，開啟主機(jī)及示波器，預(yù)熱15分鐘。在沒放樣品的情況下，可調(diào)節(jié)W2使檢波電壓為零。（2）在電極上涂抹一點(diǎn)自來水（注意:涂水不可過多，以免水流入光照孔），然后將清潔處理后的樣品置于電極上面，此時(shí)檢波電壓表將會(huì)顯示檢波電壓。如樣品很輕，可在單晶上端壓上重物，以改善接觸。（1）接上電源線以及用高頻連接線將CZ與示波器Y輸入（3）按下K接通紅外發(fā)光管工作電源，旋轉(zhuǎn)W1，適當(dāng)調(diào)高電壓。（4）調(diào)整示波器電平及釋抑時(shí)間內(nèi)同步，Y軸衰減X軸掃描速度及曲線的上下左右位置，使儀器輸出的指數(shù)衰減光電導(dǎo)信號(hào)波形穩(wěn)定下來，并與屏幕的標(biāo)準(zhǔn)指數(shù)曲線盡量吻合。（5）關(guān)機(jī)時(shí)，要先把開關(guān)K按起。（3）按下K接通紅外發(fā)光管工作電源，旋轉(zhuǎn)W1，適當(dāng)調(diào)高電壓。5.思考練習(xí)1、為什么要在樣品上涂抹少量自來水？2、在實(shí)際工藝中如何延長少子壽命？5.思考練習(xí)1、為什么要在樣品上涂抹少量自來水？單晶少數(shù)載流子壽命測試實(shí)驗(yàn)?zāi)康膶?shí)驗(yàn)原理儀器介紹實(shí)驗(yàn)內(nèi)容思考練習(xí)單晶少數(shù)載流子壽命測試實(shí)驗(yàn)?zāi)康膶?shí)驗(yàn)原理儀器介紹實(shí)驗(yàn)內(nèi)容思考練1.實(shí)驗(yàn)?zāi)康睦斫鈫尉贁?shù)載流子壽命的測試原理；

掌握單晶少數(shù)載流子壽命的測試方法。

1.實(shí)驗(yàn)?zāi)康睦斫鈫尉贁?shù)載流子壽命的測試原理；2.實(shí)驗(yàn)原理高頻源提供的高頻電流流經(jīng)被測樣品，當(dāng)紅外光源的脈沖光照射樣品時(shí)，單晶體內(nèi)即產(chǎn)生非平衡光生載流子，使樣品產(chǎn)生附加光電導(dǎo)，樣品電阻下降。由于高頻源為恒壓輸出，因此，流過樣品的高頻電流幅值，此時(shí)增加ΔI。光照消失后，ΔI便逐漸衰退，其衰退速度取決于光生非平衡載流子在晶體內(nèi)存在的平均時(shí)間(即壽命τ)。2.實(shí)驗(yàn)原理高頻源提供的高頻電流流經(jīng)被測樣品，當(dāng)紅外光源的脈在小注入條件下，樣品光照內(nèi)復(fù)合是主要因素。ΔI將按指數(shù)規(guī)律衰減，在取樣器上產(chǎn)生的電壓變化ΔV，也按同樣的規(guī)律變化。在小注入條件下，樣品光照內(nèi)復(fù)合是主要因素。儀器的工作原理簡化方框圖儀器的工作原理簡化方框圖此調(diào)幅高頻信號(hào)經(jīng)檢波器解調(diào)和高頻濾波，再經(jīng)寬頻放大器放大后輸入到脈沖示波器，在示波器上就顯示出一條如右圖所示的指數(shù)衰減曲線，衰減的時(shí)間常數(shù)τ就是欲測的壽命值。此調(diào)幅高頻信號(hào)經(jīng)檢波器解調(diào)和高頻濾波，再經(jīng)寬頻放大器放大后輸3.儀器介紹LT-2型單晶壽命測試儀3.儀器介紹LT-2型單晶壽命測試儀前面板說明前面板說明后面板說明后面板說明

主機(jī)承片臺(tái)：樣品的承片臺(tái)位于主機(jī)箱頂蓋中央，由兩個(gè)電極和紅外光透光孔組成，測試時(shí)將樣品置于兩電極和紅外光透光孔上。

主機(jī)承片臺(tái)：樣品的承片臺(tái)位于主機(jī)箱頂蓋中央，由兩個(gè)4.實(shí)驗(yàn)內(nèi)容測試時(shí)將樣品置于主機(jī)頂蓋的樣品承片臺(tái)上，通過調(diào)節(jié)示波器同步電平及釋抑時(shí)間內(nèi)同步示波器，使儀器輸出的指數(shù)衰減光電導(dǎo)信號(hào)波形穩(wěn)定下來，然后在示波器上觀察和計(jì)算樣品壽命讀數(shù)。4.實(shí)驗(yàn)內(nèi)容測試時(shí)將樣品置于主機(jī)頂蓋的樣品承片臺(tái)上，通過調(diào)節(jié)（1）接上電源線以及用高頻連接線將CZ與示波器Y輸入端接通，開啟主機(jī)及示波器，預(yù)熱15分鐘。在沒放樣品的情況下，可調(diào)節(jié)W2使檢波電壓為零。（2）在電極上涂抹一點(diǎn)自來水（注意:涂水不可過多，以免水流入光照孔），然后將清潔處理后的樣品置于電極上面，此時(shí)檢波電壓表將會(huì)顯示檢波電壓。如樣品很輕，可在單晶上端壓上重物，以改善接觸。（1）接上電源線以及用高頻連接線將CZ與示波器Y輸入（3）按下K接通紅外發(fā)光管工作電源，旋轉(zhuǎn)W1，適當(dāng)調(diào)高電壓。（4）調(diào)整示波器電平及釋抑時(shí)間內(nèi)同步，Y軸衰減X軸掃描速度及曲線的上下左右位置，使儀器輸出的指數(shù)衰減光電導(dǎo)信號(hào)波形穩(wěn)定下來，并與屏幕的標(biāo)準(zhǔn)指數(shù)