島津SPM-9500原子力顯微鏡原理及操作流程課件

原子力顯微鏡島津SPM--9500原子力顯微鏡島津SPM--950011.研究背景

2.AFM簡(jiǎn)介

3.AFM的基本原理

4.AFM主要構(gòu)件及功能

5.AFM成像模式及特點(diǎn)

6.AFM的功能

原子力顯微鏡7.對(duì)樣品的要求8.AFM操作流程9.注意事項(xiàng)10.AFM應(yīng)用領(lǐng)域11.AFM在生命科學(xué)中的應(yīng)用12.AFM應(yīng)用前景1.研究背景

2.AFM簡(jiǎn)介

3.AFM的基本原理

4.AF21.研究背景以光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、掃描隧道顯微鏡為代表的一系列先進(jìn)顯微技術(shù)的出現(xiàn)與應(yīng)用，為人類科技和社會(huì)進(jìn)步做出了巨大貢獻(xiàn)。1986年，IBM公司的G.Binning和斯坦福大學(xué)的C.F.Quate及C.Gerber合作發(fā)明的原子力顯微鏡(AtomicForceMicroscope,AFM)更為突出地顯現(xiàn)了顯微觀測(cè)技術(shù)對(duì)人類的重要性，它是在掃描隧道顯微鏡基礎(chǔ)上為觀察非導(dǎo)電物質(zhì)經(jīng)改進(jìn)而發(fā)展起來的分子和原子級(jí)顯微工具。并以高分辨、制樣簡(jiǎn)單、操作易行等特點(diǎn)在生命科學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域發(fā)揮了重大作用，推動(dòng)了納米科技的發(fā)展，促使人類進(jìn)入了納米時(shí)代。1.研究背景以光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、掃描隧道32.AFM簡(jiǎn)介原子力顯微鏡（AtomicForceMicroscope，AFM），是一種可用來研究包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器。它通過檢測(cè)待測(cè)樣品表面和一個(gè)微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。將一對(duì)微弱力極端敏感的微懸臂一端固定，另一端的微小針尖接近樣品，這時(shí)它將與其相互作用，作用力將使得微懸臂發(fā)生形變或運(yùn)動(dòng)狀態(tài)發(fā)生變化。掃描樣品時(shí)，利用傳感器檢測(cè)這些變化，就可獲得作用力分布信息，從而以納米級(jí)分辨率獲得表面結(jié)構(gòu)信息。

2.AFM簡(jiǎn)介原子力顯微鏡（AtomicFo4原子力顯微鏡SPM-9500

原子力顯微鏡SPM-9500

53.AFM的基本原理當(dāng)樣品在針尖下面掃描時(shí)，同距離密切相關(guān)的針尖-樣品相互作用會(huì)引起微懸臂的形變，微懸臂的形變是對(duì)樣品-針尖相互作用的直接反映。通過檢測(cè)微懸臂產(chǎn)生的彈性形變量ΔZ,就可以根據(jù)微懸臂的彈性系數(shù)ｋ和函數(shù)式Ｆ=k·ΔZ直接求出樣品-針尖間相互作用Ｆ。再利用照射在懸臂尖端的激光束的反射接收來檢測(cè)微懸臂的形變。3.AFM的基本原理當(dāng)樣品在針尖下面掃描時(shí)，同距離6由于光杠桿作用原理，即使小于0.01nm的微懸臂形變也可在光電檢測(cè)器上產(chǎn)生10nm左右的激光點(diǎn)位移，由此產(chǎn)生的電壓變化對(duì)應(yīng)著微懸臂的形變量，通過一定的函數(shù)變換便可得到懸臂形變量的測(cè)量值。當(dāng)樣品在XY平面內(nèi)掃描時(shí)(對(duì)某一點(diǎn)其坐標(biāo)為[x,y])若保持樣品在Z軸方向靜止，且令探針的豎直初始位置為零，則可根據(jù)針尖-樣品相互作用與間距的關(guān)系得到樣品表面的高度變化信息Δh(x,y)，即樣品表面任意點(diǎn)(x,y)相對(duì)于初始位點(diǎn)的高度。對(duì)樣品表面進(jìn)行定域掃描便可得到此區(qū)域的表面形貌A=A(x,y,Δh(x,y))。由于光杠桿作用原理，即使小于0.01nm的微懸74.AFM主要構(gòu)件及功能（1）為反饋光路提供光源的激光系統(tǒng)(Laser)；（2）進(jìn)行力-距離反饋的微懸臂系統(tǒng)(Cantilever)；（3）執(zhí)行光柵掃描和Z軸定位的壓電掃描器(x,y,zPiezo-scanner)；（4）接收光反饋信號(hào)的光電探測(cè)器(Detector)；4.AFM主要構(gòu)件及功能（1）為反饋光路提供光源的激光系統(tǒng)(8（5）反饋電子線路(CurrentCircle)；（6）粗略定位系統(tǒng)；（7）防震防噪聲系統(tǒng)；（8）計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)與數(shù)據(jù)處理軟件；（9）樣品探測(cè)環(huán)境控制系統(tǒng)(濕控、溫控、氣環(huán)境控制等)；（10）監(jiān)控激光-懸臂-樣品相對(duì)位置的顯微及CCD攝像系統(tǒng)。其中，前四大系統(tǒng)是該儀器的核心部件。（5）反饋電子線路(CurrentCircle)；94.1激光系統(tǒng)激光器是光反饋通路的信號(hào)源。由于懸臂尖端的空間有限性，就對(duì)照射器上的光束寬度提出了一定要求：足夠細(xì)、單色性好、發(fā)散程度弱；同時(shí)也要求光源的穩(wěn)定性高，可持續(xù)運(yùn)行時(shí)間久，工作壽命長。而激光正是能夠很好地滿足上述條件的光源。4.1激光系統(tǒng)激光器是光反饋通路的信號(hào)10

4.2微懸臂系統(tǒng)微懸臂是探測(cè)樣品的直接工具，它的屬性直接關(guān)系到儀器的精度和使用范圍。微懸臂必須有足夠高的力反應(yīng)能力，這就要求懸臂必須容易彎曲，也易于復(fù)位，具有合適的彈性系數(shù)，使得零點(diǎn)幾個(gè)納(nN)甚至更小的力的變化都可以被探測(cè)到；同時(shí)也要求懸臂有足夠高的時(shí)間分辨能力，因而要求懸臂的共振頻率應(yīng)該足夠高，可以追隨表面高低起伏的變化。4.2微懸臂系統(tǒng)微懸臂是探測(cè)樣品的直接工具11

根據(jù)上述兩個(gè)要求，微懸臂的尺寸必須在微米的范圍，而位于微懸臂末端的探針則在10nm左右，而其上針尖的曲率半徑約為30nm，懸臂的固有頻率則必須高于10kHz。通常使用的微懸臂材料是Si3N4。其彈性系數(shù)k=3=9.57，其中E,I分別為楊氏模量、轉(zhuǎn)動(dòng)慣量，L,m,f分別是微懸臂的長度、質(zhì)量和共振頻率。微懸臂的勁度常數(shù)一般為4×--2.0N/ｍ。根據(jù)上述兩個(gè)要求，微懸臂的尺寸必須在微米的范12

4.3壓電掃描系統(tǒng)壓電換能器是能將機(jī)械作用和電訊號(hào)互相轉(zhuǎn)換的物理器件。它不僅能夠使樣品在XY掃描平面內(nèi)精確地移動(dòng)，也能靈敏地感受樣品與探針間的作用，同時(shí)亦能將反饋光路的電訊號(hào)轉(zhuǎn)換成機(jī)械位移，進(jìn)而靈敏地控制樣品和探針間的距離(力)，并記錄因掃描位置的改變而引起的Z向伸縮量Δh(x,y)。這樣，就實(shí)現(xiàn)了對(duì)樣品的表面掃描。常見掃描器的最小分辨率0.1nm×0.1nm×0.01nm。4.3壓電掃描系統(tǒng)壓電換能器是能將機(jī)械作用13

4.4光電檢測(cè)與反饋系統(tǒng)

目前AFM探測(cè)懸臂微形變的主要方法：光束偏轉(zhuǎn)法

用一束激光照在微懸臂的尖端，而用位置靈敏光檢測(cè)器(PSPD)來接收懸臂尖端的反射激光束，并輸出反映反射光位置的信號(hào)。由于懸臂的形變會(huì)引起反射光束的偏移，導(dǎo)致反射光在PSPD上位置的變化，進(jìn)而產(chǎn)生反應(yīng)懸臂的形變的電訊號(hào)，以供調(diào)節(jié)壓電掃描器的伸縮控制。4.4光電檢測(cè)與反饋系統(tǒng)

目前AFM探測(cè)懸臂微形變145.AFM成像模式及特點(diǎn)原子力顯微鏡的操作模式分為三大類型：接觸模式(ContactMode)、非接觸模式(Non-contactMode)和輕敲模式(TappingMode)。圖3給出了AFM不同操作模式在針尖和樣品相互作用力曲線中的工作區(qū)間和力屬性。5.AFM成像模式及特點(diǎn)原子力顯微鏡的操作模155.1接觸模式(ContactMode)

接觸模式是AFM最直接的成像模式。樣品掃描時(shí)，針尖始終同樣品“接觸”，而相互作用力是排斥力。掃描時(shí)，懸臂施加在針尖上的力有可能破壞試樣的表面結(jié)構(gòu)，因此力的大小范圍在～N。若樣品表面柔嫩而不能承受這樣的力，便不宜選用接觸模式對(duì)樣品表面進(jìn)行成像。此模式通常產(chǎn)生穩(wěn)定、高分辨圖像。針尖-樣品距離在小于零點(diǎn)幾個(gè)納米的斥力區(qū)域，對(duì)應(yīng)圖3中的1-2段。5.1接觸模式(ContactMode)

接觸165.2非接觸模(Non-contactMode)

非接觸模式探測(cè)試樣表面時(shí)懸臂在距離試樣表面上方5～10nm的距離處振蕩。樣品與針尖之間的相互作用由范德華力控制，通常為N，樣品不會(huì)被破壞，而且針尖也不會(huì)被污染，適合于研究柔嫩物體的表面。此模式的不利之處是要在室溫大氣環(huán)境下完成。針尖-樣品距離在幾到幾十納米的吸引力區(qū)域，對(duì)應(yīng)圖3中的3-4段。由于針尖-樣品距離較大，因此分辨率比接觸式的低。到目前為止，非接觸模式通常不適合在液體中成像，在生物樣品的研究中也不常見。5.2非接觸模(Non-contactMode)

175.3輕敲模式(TappingMode)

輕敲模式是上述兩種模式之間的掃描方式。掃描時(shí)，在共振頻率附近以更大的振幅(>20nm)驅(qū)動(dòng)微懸臂，使得針尖與樣品間斷地接觸。當(dāng)針尖沒有接觸到表面時(shí)，微懸臂以一定的大振幅振動(dòng)，當(dāng)針尖接近表面直至輕輕接觸表面時(shí)，振幅將減小；而當(dāng)針尖反向遠(yuǎn)離時(shí),振幅又恢復(fù)到原值。作用在樣品上的力保持恒定。由于針尖同樣品接觸，分辨率幾乎與接觸模式一樣好；又因?yàn)榻佑|非常短暫，剪切力引起的樣品破壞幾乎完全消失。輕敲模式適合于分析柔軟、粘性和脆性的樣品，并適合在液體中成像。5.3輕敲模式(TappingMode)

輕敲模185.4三種模式的比較

1、接觸模式（ContactMode）：

優(yōu)點(diǎn)：掃描速度快，是唯一能夠獲得“原子分辨率”圖像的AFM垂直方向上有明顯變化的質(zhì)硬樣品，有時(shí)更適于用ContactMode掃描成像。

缺點(diǎn)：橫向力影響圖像質(zhì)量在空氣中，因?yàn)闃悠繁砻嫖揭簩拥拿?xì)作用使針尖與樣品之間的粘著力很大，橫向力與粘著力的合力導(dǎo)致圖像空間分辨率降低，而且針尖掛擦樣品會(huì)損壞軟質(zhì)樣品（如生物樣品，聚合體等）。

5.4三種模式的比較

1、接觸模式（ContactMode192、非接觸模式（Non-ContactMode）：

優(yōu)點(diǎn)：沒有力作用于樣品表面。

缺點(diǎn)：由于針尖與樣品分離，橫向分辨率低；為了避免接觸吸附層而導(dǎo)致針尖膠粘，其掃描速度低于TappingMode和ContactModeAFM。通常僅用于非常怕水的樣品，吸附液層必須薄，如果太厚，針尖會(huì)陷入液層，引起反饋不穩(wěn)，刮擦樣品。由于上述缺點(diǎn)，on-contactMode的使用受到限制。2、非接觸模式（Non-ContactMode）：

203、輕敲模式（TappingMode）：

優(yōu)點(diǎn)：很好的消除了橫向力的影響。降低了由吸附液層引起的力，圖像分辨率高，適于觀測(cè)軟、易碎、或膠粘性樣品，不會(huì)損傷其表面。

缺點(diǎn)：比ContactModeAFM的掃描速度慢。3、輕敲模式（TappingMode）：

優(yōu)點(diǎn)：216.AFM的功能6.1表面形貌的表征通過檢測(cè)探針-樣品作用力可表征樣品表面的三維形貌，這是AFM最基本的功能。由于表面的高低起伏狀態(tài)能夠準(zhǔn)確地以數(shù)值的形式獲取，對(duì)表面整體圖像進(jìn)行分析可得到樣品表面的粗糙度Roughness)、顆粒度(Granularity)、平均梯度(StepHeight)、孔結(jié)構(gòu)和孔徑分布等參數(shù)；對(duì)小范圍表面圖像分析還可得到表面物質(zhì)的晶形結(jié)構(gòu)、聚集狀態(tài)、分子的結(jié)構(gòu)、面積和表面積及體積等；通過一定的軟件也可對(duì)樣品的形貌進(jìn)行豐富的三維模擬顯示如等高線顯示法、亮度-高度對(duì)應(yīng)法等，亦可轉(zhuǎn)換不同的視角，讓圖像更適于人的直觀視覺。6.AFM的功能6.1表面形貌的表征226.2表面物化屬性的表征AFM的一種重要的測(cè)量方法是力-距離曲線，它包含了豐富的針尖-樣品作用信息。在探針接近甚至壓入樣品表面又隨后離開的過程中，測(cè)量并記錄探針?biāo)艿降牧?，就得到針尖和樣品間的力-距離曲線。通過分析針尖-樣品作用力，就能夠了解樣品表面區(qū)域的各種性質(zhì)如壓彈性、粘彈性、硬度等物理屬性；若樣品表面是有機(jī)物或生物分子，還可通過探針與分子的結(jié)合拉伸了解物質(zhì)分子的拉伸彈性、聚集狀態(tài)或空間構(gòu)象等物理化學(xué)屬性；若用蛋白受體或其它生物大分子對(duì)探針進(jìn)行修飾(functionization)，探針則會(huì)具有特定的分子識(shí)別功能，從而了解樣品表面分子的種類與分布等生物學(xué)特性。6.2表面物化屬性的表征237.對(duì)樣品的要求

(1）研究對(duì)象：有機(jī)固體、聚合物以及生物大分子等；（2）樣品的載體：云母片、玻璃片、石墨、拋光硅片、二氧化硅和某些生物膜等。最常用的是新剝離的云母片，因?yàn)槠浞浅Ｆ秸胰菀滋幚?；拋光硅片最好用濃硫酸與30%雙氧水的7∶3混合液在90℃下煮1h；利用電性能測(cè)試時(shí)需要導(dǎo)電性能良好的載體，如石墨或鍍有金屬的基片。（3）樣品的厚度：最大為10mm。（4）樣品的大小及重量：試樣的大小以不大于試樣臺(tái)的大小（直徑20mm）為標(biāo)準(zhǔn)，最大值約為40mm。樣品不宜過重，如果過重，有時(shí)會(huì)影響Scanner的動(dòng)作。7.對(duì)樣品的要求(1）研究對(duì)象：有機(jī)固體、聚合物以及生物大248.AFM操作流程（1）啟動(dòng)儀器：接通電源，先打開控制器，再打開AFM主機(jī)；開啟計(jì)算機(jī)并雙擊SPM--9500打開軟件（待主機(jī)的READY鍵變亮穩(wěn)定后）；

預(yù)熱20—30分鐘；（2）放樣品：待信號(hào)為5個(gè)以上時(shí)，將待測(cè)樣品用鑷子輕輕放入樣品臺(tái)；8.AFM操作流程（1）啟動(dòng)儀器：25（3）軟件設(shè)置：A.打開軟件后出現(xiàn)[SPMManager]窗口；

B.單擊窗口中的online按鈕出現(xiàn)[SPMOnline]窗口及[ScanningCondition]子窗口；

C.點(diǎn)擊[Oscilloscope]前的對(duì)勾出現(xiàn)[LeftOscilloscope]波動(dòng)圖像窗口并拖動(dòng)其至右下方；D.點(diǎn)擊[SPMOnline]窗口中[Setting]-[YScanStart]-[Top]設(shè)置掃描探針自上而下掃描，點(diǎn)擊[PanelDisplay]出現(xiàn)[SignalDisplayPanel]窗口，將垂直[VerticalDeflection]用垂直齒輪調(diào)至-2，將水平[HorizontalDeflection]用水平齒輪調(diào)至0，反復(fù)調(diào)節(jié)至少3次后，關(guān)閉窗口。（3）軟件設(shè)置：26AFM樣品臺(tái)示意圖AFM樣品臺(tái)示意圖27[SPMOnline]工作窗口[SPMOnline]工作窗口28（4）設(shè)置參數(shù)：

在[ScanningCondition]子窗口中設(shè)置：A.[Size]（微懸臂在樣品表面水平掃描范圍）設(shè)置為20um；B.[Rate]（微懸臂掃描速度）設(shè)置為2HZ；C.[ZRange]（微懸臂掃描時(shí)Z方向波動(dòng)范圍）一般設(shè)置為[X1]（Z方向波動(dòng)范圍為掃描器規(guī)定的最大波動(dòng)范圍）；[X2]指Z方向波動(dòng)范圍縮小一半；D.[Operating]操作電壓為1V；E.[ProportionalGain]比例增益設(shè)置為10；F.[IntegralGain]積分增益設(shè)置為0.01；G.X,Y,Z設(shè)置為清零模式0；在[SPMOnline]窗口中，[ZRange]根據(jù)檢測(cè)對(duì)象設(shè)置合理數(shù)值。（4）設(shè)置參數(shù)：29（5）開始檢測(cè)A.點(diǎn)擊[FastApproach]快速趨進(jìn)按鈕，微懸臂會(huì)自動(dòng)趨近樣品，并且在距離樣品10um處自動(dòng)停止；B.點(diǎn)擊[SlowApproach]慢速趨進(jìn)按鈕，當(dāng)微懸臂接觸到樣品后，慢速進(jìn)針自動(dòng)停止，開始掃描樣品并出現(xiàn)掃描圖像（慢速進(jìn)針一般進(jìn)行8格自動(dòng)結(jié)束）。（5）開始檢測(cè)A.點(diǎn)擊[FastApproach]30檢測(cè)進(jìn)程中出現(xiàn)掃描圖像檢測(cè)進(jìn)程中出現(xiàn)掃描圖像31（6）調(diào)節(jié)圖像A.點(diǎn)擊[SPMOnline]窗口中的Zoom選擇圖像中的合適區(qū)域進(jìn)行放大掃描；B.調(diào)節(jié)[scancondition]中的[Zrange]使沿Z方向波動(dòng)的范圍縮小相應(yīng)的倍數(shù)；C.當(dāng)圖像出現(xiàn)豎道時(shí)，將Data從256*256先設(shè)置為512*512，再設(shè)置為256*256；D.有時(shí)候出現(xiàn)的掃描圖形可能是偽圖，因此應(yīng)該回針再重新掃描；E.要看掃描圖像中測(cè)得的某處樣品的高度先按住Shift，再用鼠標(biāo)在樣品處劃線。（6）調(diào)節(jié)圖像A.點(diǎn)擊[SPMOnline]窗口中的32（7）保存圖像

在工具欄內(nèi)點(diǎn)擊[Save]按鈕，選擇要保存的圖片信息，然后再點(diǎn)擊[OK]。當(dāng)掃描到底或在頂時(shí)，本次保存才能結(jié)束。保存的文件以當(dāng)前日期和時(shí)間命名。當(dāng)圖像上出現(xiàn)SAVETHIS時(shí)不能改變檢測(cè)的各參數(shù)。點(diǎn)擊任何抬針按鈕，都可以停止掃描。（8）結(jié)束測(cè)試（7）保存圖像在工具欄內(nèi)點(diǎn)擊[Save]按鈕，選33（9）處理圖像A.在[SPMManage]窗口下點(diǎn)擊[Offline]按鈕，出現(xiàn)[SPMOffline]操作窗口；B.在[SPMOffline]窗口的工具欄內(nèi)，點(diǎn)擊文件夾樹按鈕[Browser]，出現(xiàn)圖片庫窗口；C.在圖片庫窗口內(nèi)，雙擊要處理的圖片，會(huì)出現(xiàn)它的單獨(dú)的[SPMOffline]窗口；（9）處理圖像A.在[SPMManage]窗口下點(diǎn)34對(duì)于已經(jīng)平滑好的圖片，如果希望看到樣品信息的三維信息，點(diǎn)擊3D顯示按鈕。然后在3D設(shè)置內(nèi)可以選擇3D視角。

D.在[SPMoffline]圖片處理窗口的工具欄內(nèi)，點(diǎn)擊平滑按鈕，選擇[lineflatten]按鈕，平滑圖片。E.三維圖像顯示操作對(duì)于已經(jīng)平滑好的圖片，如果希望看到樣品信息的三維信息35（10）結(jié)束試驗(yàn)(a)關(guān)閉SPMonline軟件；(b)關(guān)閉SPM主機(jī)；(c)關(guān)閉電腦；(d)關(guān)閉SPM控制器；(e)蓋好防塵布。（10）結(jié)束試驗(yàn)(a)關(guān)閉SPMonline軟件；36*9.注意事項(xiàng)（1）各參數(shù)設(shè)置好后要按回車鍵，檢測(cè)中改變參數(shù)后也要按回車鍵；（2）開始檢測(cè)要關(guān)閉空調(diào)，防止空氣流動(dòng)對(duì)檢測(cè)造成影響；（3）檢測(cè)中，實(shí)驗(yàn)員不能碰觸儀器桌面，不能在儀器附近來回走動(dòng)；（4）未抬針堅(jiān)決不能放樣品，每次更換樣品及試驗(yàn)結(jié)束后都必須抬針，每次抬針大約5、6次；（5）READY鍵不亮?xí)r可能死機(jī)（死機(jī)時(shí)會(huì)發(fā)出聲響，在垂直于水平旋鈕互相切換時(shí)也會(huì)發(fā)出聲響），此時(shí)要先關(guān)閉SPM軟件再按POWER鍵關(guān)閉主機(jī)，等待穩(wěn)定后再按POWER鍵重新啟動(dòng)主機(jī)。*9.注意事項(xiàng)（1）各參數(shù)設(shè)置好后要按回車鍵，檢測(cè)中改變參數(shù)3710.AFM優(yōu)缺點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)：（1）AFM具有超高的空間分辨率，放大倍數(shù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過以往的顯微鏡：光學(xué)顯微鏡的放大倍數(shù)一般不超過1000倍；電子顯微鏡的放大倍數(shù)的極限是100萬倍；而AFM的放大倍數(shù)是電子顯微鏡的1000倍，高達(dá)10億倍，可以直接觀察到物質(zhì)的分子和原子。（2）AFM的制樣過程簡(jiǎn)單易行：不需要對(duì)樣品做特殊處理，如鍍銅或碳等；只需對(duì)樣品稍加固定便可進(jìn)行觀察。10.AFM優(yōu)缺點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)：38（3）AFM還具有多樣的試驗(yàn)環(huán)境：既可以在真空中試驗(yàn)，也可以在大氣中，甚至還可以在溶液中觀察樣品，同時(shí)對(duì)溫度沒有特殊要求，高溫低溫皆可以進(jìn)行。（4）AFM具有廣泛的研究對(duì)象：可研究生物、物理、化學(xué)等領(lǐng)域，并能研究生物宏觀分子，甚至活的生物組織。（5）AFM不僅提供二維圖像，而且提供真正的三維表面圖。

缺點(diǎn)：AFM的成像范圍太小，速度慢，受探頭的影響太大。（3）AFM還具有多樣的試驗(yàn)環(huán)境：既可以在真空中試驗(yàn)，也可以3910.AFM應(yīng)用領(lǐng)域在各種樣品上獲得的結(jié)果已經(jīng)證實(shí)，原子力顯微鏡已經(jīng)在很多科學(xué)領(lǐng)域中得到成功應(yīng)用，如電化學(xué)、物理學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域。

原子力顯微鏡可對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體材料進(jìn)行研究，如金屬、陶瓷、半導(dǎo)體材料；能對(duì)物理材料、化學(xué)材料進(jìn)行測(cè)量，如礦物、紙張、涂料、無機(jī)物、有機(jī)高分子等；能對(duì)生物樣品進(jìn)行測(cè)量，如(植物、動(dòng)物、細(xì)菌)的組織、細(xì)胞、細(xì)胞器、生物大分子等

；可也對(duì)表面軟硬不同的樣品進(jìn)行測(cè)量，如金剛石、牙齒骨骼、皮膚組織、凝膠、腫瘤細(xì)胞等

；亦可對(duì)不同狀態(tài)的物質(zhì)進(jìn)行測(cè)量，如薄膜、顆粒物質(zhì)、液晶態(tài)物質(zhì)等。10.AFM應(yīng)用領(lǐng)域在各種樣品上獲得的結(jié)果已經(jīng)4011.AFM在生命科學(xué)中的應(yīng)用主要包括三個(gè)方面：（1）生物細(xì)胞的表面形態(tài)觀測(cè)：通過觀察細(xì)胞表面形態(tài)和三維結(jié)構(gòu)，可以獲得細(xì)胞的表面積、厚度、寬度和體積等的量化參數(shù)等；（2）生物大分子的結(jié)構(gòu)及其他性質(zhì)的觀測(cè)研究：研究蛋白質(zhì)，脫氧核糖核酸(DNA)，

核糖核酸(RNA)，核酸與蛋白質(zhì)復(fù)合物(Nuclearacids-ProteinComplex)，細(xì)胞(Cell)，病毒(Virus)等；（3）生物分子之間力譜曲線的觀測(cè)：通過力曲線，可以研究癌細(xì)胞、腫瘤細(xì)胞，從而研究出相應(yīng)的抑制藥物。生物分子間作用力的研究，是對(duì)生命體功能活動(dòng)中最根本原理的研究。11.AFM在生命科學(xué)中的應(yīng)用主要包括三個(gè)方面：4112.AFM應(yīng)用前景原子力顯微鏡（AFM）能對(duì)細(xì)胞的超微結(jié)構(gòu)和機(jī)械性能進(jìn)行精確的成像。由于疾病的發(fā)生常導(dǎo)致細(xì)胞形態(tài)和其力學(xué)性能的改變，因此原子力顯微鏡在臨床醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用很有意義，特別是觀察腫瘤細(xì)胞的機(jī)械性能與超微結(jié)構(gòu)方面，顯示出其良好的應(yīng)用前景。

因此，

原子力顯微鏡在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域有很大的發(fā)展空間和前景，在造福人類健康中發(fā)揮著重要作用。12.AFM應(yīng)用前景原子力顯微鏡（AFM）能對(duì)42演講完畢，謝謝觀看！演講完畢，謝謝觀看！43原子力顯微鏡島津SPM--9500原子力顯微鏡島津SPM--9500441.研究背景

2.AFM簡(jiǎn)介

3.AFM的基本原理

4.AFM主要構(gòu)件及功能

5.AFM成像模式及特點(diǎn)

6.AFM的功能

原子力顯微鏡7.對(duì)樣品的要求8.AFM操作流程9.注意事項(xiàng)10.AFM應(yīng)用領(lǐng)域11.AFM在生命科學(xué)中的應(yīng)用12.AFM應(yīng)用前景1.研究背景

2.AFM簡(jiǎn)介

3.AFM的基本原理

4.AF451.研究背景以光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、掃描隧道顯微鏡為代表的一系列先進(jìn)顯微技術(shù)的出現(xiàn)與應(yīng)用，為人類科技和社會(huì)進(jìn)步做出了巨大貢獻(xiàn)。1986年，IBM公司的G.Binning和斯坦福大學(xué)的C.F.Quate及C.Gerber合作發(fā)明的原子力顯微鏡(AtomicForceMicroscope,AFM)更為突出地顯現(xiàn)了顯微觀測(cè)技術(shù)對(duì)人類的重要性，它是在掃描隧道顯微鏡基礎(chǔ)上為觀察非導(dǎo)電物質(zhì)經(jīng)改進(jìn)而發(fā)展起來的分子和原子級(jí)顯微工具。并以高分辨、制樣簡(jiǎn)單、操作易行等特點(diǎn)在生命科學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域發(fā)揮了重大作用，推動(dòng)了納米科技的發(fā)展，促使人類進(jìn)入了納米時(shí)代。1.研究背景以光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、掃描隧道462.AFM簡(jiǎn)介原子力顯微鏡（AtomicForceMicroscope，AFM），是一種可用來研究包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器。它通過檢測(cè)待測(cè)樣品表面和一個(gè)微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。將一對(duì)微弱力極端敏感的微懸臂一端固定，另一端的微小針尖接近樣品，這時(shí)它將與其相互作用，作用力將使得微懸臂發(fā)生形變或運(yùn)動(dòng)狀態(tài)發(fā)生變化。掃描樣品時(shí)，利用傳感器檢測(cè)這些變化，就可獲得作用力分布信息，從而以納米級(jí)分辨率獲得表面結(jié)構(gòu)信息。

2.AFM簡(jiǎn)介原子力顯微鏡（AtomicFo47原子力顯微鏡SPM-9500

原子力顯微鏡SPM-9500

483.AFM的基本原理當(dāng)樣品在針尖下面掃描時(shí)，同距離密切相關(guān)的針尖-樣品相互作用會(huì)引起微懸臂的形變，微懸臂的形變是對(duì)樣品-針尖相互作用的直接反映。通過檢測(cè)微懸臂產(chǎn)生的彈性形變量ΔZ,就可以根據(jù)微懸臂的彈性系數(shù)ｋ和函數(shù)式Ｆ=k·ΔZ直接求出樣品-針尖間相互作用Ｆ。再利用照射在懸臂尖端的激光束的反射接收來檢測(cè)微懸臂的形變。3.AFM的基本原理當(dāng)樣品在針尖下面掃描時(shí)，同距離49由于光杠桿作用原理，即使小于0.01nm的微懸臂形變也可在光電檢測(cè)器上產(chǎn)生10nm左右的激光點(diǎn)位移，由此產(chǎn)生的電壓變化對(duì)應(yīng)著微懸臂的形變量，通過一定的函數(shù)變換便可得到懸臂形變量的測(cè)量值。當(dāng)樣品在XY平面內(nèi)掃描時(shí)(對(duì)某一點(diǎn)其坐標(biāo)為[x,y])若保持樣品在Z軸方向靜止，且令探針的豎直初始位置為零，則可根據(jù)針尖-樣品相互作用與間距的關(guān)系得到樣品表面的高度變化信息Δh(x,y)，即樣品表面任意點(diǎn)(x,y)相對(duì)于初始位點(diǎn)的高度。對(duì)樣品表面進(jìn)行定域掃描便可得到此區(qū)域的表面形貌A=A(x,y,Δh(x,y))。由于光杠桿作用原理，即使小于0.01nm的微懸504.AFM主要構(gòu)件及功能（1）為反饋光路提供光源的激光系統(tǒng)(Laser)；（2）進(jìn)行力-距離反饋的微懸臂系統(tǒng)(Cantilever)；（3）執(zhí)行光柵掃描和Z軸定位的壓電掃描器(x,y,zPiezo-scanner)；（4）接收光反饋信號(hào)的光電探測(cè)器(Detector)；4.AFM主要構(gòu)件及功能（1）為反饋光路提供光源的激光系統(tǒng)(51（5）反饋電子線路(CurrentCircle)；（6）粗略定位系統(tǒng)；（7）防震防噪聲系統(tǒng)；（8）計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)與數(shù)據(jù)處理軟件；（9）樣品探測(cè)環(huán)境控制系統(tǒng)(濕控、溫控、氣環(huán)境控制等)；（10）監(jiān)控激光-懸臂-樣品相對(duì)位置的顯微及CCD攝像系統(tǒng)。其中，前四大系統(tǒng)是該儀器的核心部件。（5）反饋電子線路(CurrentCircle)；524.1激光系統(tǒng)激光器是光反饋通路的信號(hào)源。由于懸臂尖端的空間有限性，就對(duì)照射器上的光束寬度提出了一定要求：足夠細(xì)、單色性好、發(fā)散程度弱；同時(shí)也要求光源的穩(wěn)定性高，可持續(xù)運(yùn)行時(shí)間久，工作壽命長。而激光正是能夠很好地滿足上述條件的光源。4.1激光系統(tǒng)激光器是光反饋通路的信號(hào)53

4.2微懸臂系統(tǒng)微懸臂是探測(cè)樣品的直接工具，它的屬性直接關(guān)系到儀器的精度和使用范圍。微懸臂必須有足夠高的力反應(yīng)能力，這就要求懸臂必須容易彎曲，也易于復(fù)位，具有合適的彈性系數(shù)，使得零點(diǎn)幾個(gè)納(nN)甚至更小的力的變化都可以被探測(cè)到；同時(shí)也要求懸臂有足夠高的時(shí)間分辨能力，因而要求懸臂的共振頻率應(yīng)該足夠高，可以追隨表面高低起伏的變化。4.2微懸臂系統(tǒng)微懸臂是探測(cè)樣品的直接工具54

根據(jù)上述兩個(gè)要求，微懸臂的尺寸必須在微米的范圍，而位于微懸臂末端的探針則在10nm左右，而其上針尖的曲率半徑約為30nm，懸臂的固有頻率則必須高于10kHz。通常使用的微懸臂材料是Si3N4。其彈性系數(shù)k=3=9.57，其中E,I分別為楊氏模量、轉(zhuǎn)動(dòng)慣量，L,m,f分別是微懸臂的長度、質(zhì)量和共振頻率。微懸臂的勁度常數(shù)一般為4×--2.0N/ｍ。根據(jù)上述兩個(gè)要求，微懸臂的尺寸必須在微米的范55

4.3壓電掃描系統(tǒng)壓電換能器是能將機(jī)械作用和電訊號(hào)互相轉(zhuǎn)換的物理器件。它不僅能夠使樣品在XY掃描平面內(nèi)精確地移動(dòng)，也能靈敏地感受樣品與探針間的作用，同時(shí)亦能將反饋光路的電訊號(hào)轉(zhuǎn)換成機(jī)械位移，進(jìn)而靈敏地控制樣品和探針間的距離(力)，并記錄因掃描位置的改變而引起的Z向伸縮量Δh(x,y)。這樣，就實(shí)現(xiàn)了對(duì)樣品的表面掃描。常見掃描器的最小分辨率0.1nm×0.1nm×0.01nm。4.3壓電掃描系統(tǒng)壓電換能器是能將機(jī)械作用56

4.4光電檢測(cè)與反饋系統(tǒng)

目前AFM探測(cè)懸臂微形變的主要方法：光束偏轉(zhuǎn)法

用一束激光照在微懸臂的尖端，而用位置靈敏光檢測(cè)器(PSPD)來接收懸臂尖端的反射激光束，并輸出反映反射光位置的信號(hào)。由于懸臂的形變會(huì)引起反射光束的偏移，導(dǎo)致反射光在PSPD上位置的變化，進(jìn)而產(chǎn)生反應(yīng)懸臂的形變的電訊號(hào)，以供調(diào)節(jié)壓電掃描器的伸縮控制。4.4光電檢測(cè)與反饋系統(tǒng)

目前AFM探測(cè)懸臂微形變575.AFM成像模式及特點(diǎn)原子力顯微鏡的操作模式分為三大類型：接觸模式(ContactMode)、非接觸模式(Non-contactMode)和輕敲模式(TappingMode)。圖3給出了AFM不同操作模式在針尖和樣品相互作用力曲線中的工作區(qū)間和力屬性。5.AFM成像模式及特點(diǎn)原子力顯微鏡的操作模585.1接觸模式(ContactMode)

接觸模式是AFM最直接的成像模式。樣品掃描時(shí)，針尖始終同樣品“接觸”，而相互作用力是排斥力。掃描時(shí)，懸臂施加在針尖上的力有可能破壞試樣的表面結(jié)構(gòu)，因此力的大小范圍在～N。若樣品表面柔嫩而不能承受這樣的力，便不宜選用接觸模式對(duì)樣品表面進(jìn)行成像。此模式通常產(chǎn)生穩(wěn)定、高分辨圖像。針尖-樣品距離在小于零點(diǎn)幾個(gè)納米的斥力區(qū)域，對(duì)應(yīng)圖3中的1-2段。5.1接觸模式(ContactMode)

接觸595.2非接觸模(Non-contactMode)

非接觸模式探測(cè)試樣表面時(shí)懸臂在距離試樣表面上方5～10nm的距離處振蕩。樣品與針尖之間的相互作用由范德華力控制，通常為N，樣品不會(huì)被破壞，而且針尖也不會(huì)被污染，適合于研究柔嫩物體的表面。此模式的不利之處是要在室溫大氣環(huán)境下完成。針尖-樣品距離在幾到幾十納米的吸引力區(qū)域，對(duì)應(yīng)圖3中的3-4段。由于針尖-樣品距離較大，因此分辨率比接觸式的低。到目前為止，非接觸模式通常不適合在液體中成像，在生物樣品的研究中也不常見。5.2非接觸模(Non-contactMode)

605.3輕敲模式(TappingMode)

輕敲模式是上述兩種模式之間的掃描方式。掃描時(shí)，在共振頻率附近以更大的振幅(>20nm)驅(qū)動(dòng)微懸臂，使得針尖與樣品間斷地接觸。當(dāng)針尖沒有接觸到表面時(shí)，微懸臂以一定的大振幅振動(dòng)，當(dāng)針尖接近表面直至輕輕接觸表面時(shí)，振幅將減小；而當(dāng)針尖反向遠(yuǎn)離時(shí),振幅又恢復(fù)到原值。作用在樣品上的力保持恒定。由于針尖同樣品接觸，分辨率幾乎與接觸模式一樣好；又因?yàn)榻佑|非常短暫，剪切力引起的樣品破壞幾乎完全消失。輕敲模式適合于分析柔軟、粘性和脆性的樣品，并適合在液體中成像。5.3輕敲模式(TappingMode)

輕敲模615.4三種模式的比較

1、接觸模式（ContactMode）：

優(yōu)點(diǎn)：掃描速度快，是唯一能夠獲得“原子分辨率”圖像的AFM垂直方向上有明顯變化的質(zhì)硬樣品，有時(shí)更適于用ContactMode掃描成像。

缺點(diǎn)：橫向力影響圖像質(zhì)量在空氣中，因?yàn)闃悠繁砻嫖揭簩拥拿?xì)作用使針尖與樣品之間的粘著力很大，橫向力與粘著力的合力導(dǎo)致圖像空間分辨率降低，而且針尖掛擦樣品會(huì)損壞軟質(zhì)樣品（如生物樣品，聚合體等）。

5.4三種模式的比較

1、接觸模式（ContactMode622、非接觸模式（Non-ContactMode）：

優(yōu)點(diǎn)：沒有力作用于樣品表面。

缺點(diǎn)：由于針尖與樣品分離，橫向分辨率低；為了避免接觸吸附層而導(dǎo)致針尖膠粘，其掃描速度低于TappingMode和ContactModeAFM。通常僅用于非常怕水的樣品，吸附液層必須薄，如果太厚，針尖會(huì)陷入液層，引起反饋不穩(wěn)，刮擦樣品。由于上述缺點(diǎn)，on-contactMode的使用受到限制。2、非接觸模式（Non-ContactMode）：

633、輕敲模式（TappingMode）：

優(yōu)點(diǎn)：很好的消除了橫向力的影響。降低了由吸附液層引起的力，圖像分辨率高，適于觀測(cè)軟、易碎、或膠粘性樣品，不會(huì)損傷其表面。

缺點(diǎn)：比ContactModeAFM的掃描速度慢。3、輕敲模式（TappingMode）：

優(yōu)點(diǎn)：646.AFM的功能6.1表面形貌的表征通過檢測(cè)探針-樣品作用力可表征樣品表面的三維形貌，這是AFM最基本的功能。由于表面的高低起伏狀態(tài)能夠準(zhǔn)確地以數(shù)值的形式獲取，對(duì)表面整體圖像進(jìn)行分析可得到樣品表面的粗糙度Roughness)、顆粒度(Granularity)、平均梯度(StepHeight)、孔結(jié)構(gòu)和孔徑分布等參數(shù)；對(duì)小范圍表面圖像分析還可得到表面物質(zhì)的晶形結(jié)構(gòu)、聚集狀態(tài)、分子的結(jié)構(gòu)、面積和表面積及體積等；通過一定的軟件也可對(duì)樣品的形貌進(jìn)行豐富的三維模擬顯示如等高線顯示法、亮度-高度對(duì)應(yīng)法等，亦可轉(zhuǎn)換不同的視角，讓圖像更適于人的直觀視覺。6.AFM的功能6.1表面形貌的表征656.2表面物化屬性的表征AFM的一種重要的測(cè)量方法是力-距離曲線，它包含了豐富的針尖-樣品作用信息。在探針接近甚至壓入樣品表面又隨后離開的過程中，測(cè)量并記錄探針?biāo)艿降牧?，就得到針尖和樣品間的力-距離曲線。通過分析針尖-樣品作用力，就能夠了解樣品表面區(qū)域的各種性質(zhì)如壓彈性、粘彈性、硬度等物理屬性；若樣品表面是有機(jī)物或生物分子，還可通過探針與分子的結(jié)合拉伸了解物質(zhì)分子的拉伸彈性、聚集狀態(tài)或空間構(gòu)象等物理化學(xué)屬性；若用蛋白受體或其它生物大分子對(duì)探針進(jìn)行修飾(functionization)，探針則會(huì)具有特定的分子識(shí)別功能，從而了解樣品表面分子的種類與分布等生物學(xué)特性。6.2表面物化屬性的表征667.對(duì)樣品的要求

(1）研究對(duì)象：有機(jī)固體、聚合物以及生物大分子等；（2）樣品的載體：云母片、玻璃片、石墨、拋光硅片、二氧化硅和某些生物膜等。最常用的是新剝離的云母片，因?yàn)槠浞浅Ｆ秸胰菀滋幚恚粧伖夤杵詈糜脻饬蛩崤c30%雙氧水的7∶3混合液在90℃下煮1h；利用電性能測(cè)試時(shí)需要導(dǎo)電性能良好的載體，如石墨或鍍有金屬的基片。（3）樣品的厚度：最大為10mm。（4）樣品的大小及重量：試樣的大小以不大于試樣臺(tái)的大?。ㄖ睆?0mm）為標(biāo)準(zhǔn)，最大值約為40mm。樣品不宜過重，如果過重，有時(shí)會(huì)影響Scanner的動(dòng)作。7.對(duì)樣品的要求(1）研究對(duì)象：有機(jī)固體、聚合物以及生物大678.AFM操作流程（1）啟動(dòng)儀器：接通電源，先打開控制器，再打開AFM主機(jī)；開啟計(jì)算機(jī)并雙擊SPM--9500打開軟件（待主機(jī)的READY鍵變亮穩(wěn)定后）；

預(yù)熱20—30分鐘；（2）放樣品：待信號(hào)為5個(gè)以上時(shí)，將待測(cè)樣品用鑷子輕輕放入樣品臺(tái)；8.AFM操作流程（1）啟動(dòng)儀器：68（3）軟件設(shè)置：A.打開軟件后出現(xiàn)[SPMManager]窗口；

B.單擊窗口中的online按鈕出現(xiàn)[SPMOnline]窗口及[ScanningCondition]子窗口；

C.點(diǎn)擊[Oscilloscope]前的對(duì)勾出現(xiàn)[LeftOscilloscope]波動(dòng)圖像窗口并拖動(dòng)其至右下方；D.點(diǎn)擊[SPMOnline]窗口中[Setting]-[YScanStart]-[Top]設(shè)置掃描探針自上而下掃描，點(diǎn)擊[PanelDisplay]出現(xiàn)[SignalDisplayPanel]窗口，將垂直[VerticalDeflection]用垂直齒輪調(diào)至-2，將水平[HorizontalDeflection]用水平齒輪調(diào)至0，反復(fù)調(diào)節(jié)至少3次后，關(guān)閉窗口。（3）軟件設(shè)置：69AFM樣品臺(tái)示意圖AFM樣品臺(tái)示意圖70[SPMOnline]工作窗口[SPMOnline]工作窗口71（4）設(shè)置參數(shù)：

在[ScanningCondition]子窗口中設(shè)置：A.[Size]（微懸臂在樣品表面水平掃描范圍）設(shè)置為20um；B.[Rate]（微懸臂掃描速度）設(shè)置為2HZ；C.[ZRange]（微懸臂掃描時(shí)Z方向波動(dòng)范圍）一般設(shè)置為[X1]（Z方向波動(dòng)范圍為掃描器規(guī)定的最大波動(dòng)范圍）；[X2]指Z方向波動(dòng)范圍縮小一半；D.[Operating]操作電壓為1V；E.[ProportionalGain]比例增益設(shè)置為10；F.[IntegralGain]積分增益設(shè)置為0.01；G.X,Y,Z設(shè)置為清零模式0；在[SPMOnline]窗口中，[ZRange]根據(jù)檢測(cè)對(duì)象設(shè)置合理數(shù)值。（4）設(shè)置參數(shù)：72（5）開始檢測(cè)A.點(diǎn)擊[FastApproach]快速趨進(jìn)按鈕，微懸臂會(huì)自動(dòng)趨近樣品，并且在距離樣品10um處自動(dòng)停止；B.點(diǎn)擊[SlowApproach]慢速趨進(jìn)按鈕，當(dāng)微懸臂接觸到樣品后，慢速進(jìn)針自動(dòng)停止，開始掃描樣品并出現(xiàn)掃描圖像（慢速進(jìn)針一般進(jìn)行8格自動(dòng)結(jié)束）。（5）開始檢測(cè)A.點(diǎn)擊[FastApproach]73檢測(cè)進(jìn)程中出現(xiàn)掃描圖像檢測(cè)進(jìn)程中出現(xiàn)掃描圖像74（6）調(diào)節(jié)圖像A.點(diǎn)擊[SPMOnline]窗口中的Zoom選擇圖像中的合適區(qū)域進(jìn)行放大掃描；B.調(diào)節(jié)[scancondition]中的[Zrange]使沿Z方向波動(dòng)的范圍縮小相應(yīng)的倍數(shù)；C.當(dāng)圖像出現(xiàn)豎道時(shí)，將Data從256*256先設(shè)置為512*512，再設(shè)置為256*256；D.有時(shí)候出現(xiàn)的掃描圖形可能是偽圖，因此應(yīng)該回針再重新掃描；E.要看掃描圖像中測(cè)得的某處樣品的高度先按住Shift，再用鼠標(biāo)在樣品處劃線。（6）調(diào)節(jié)圖像A.點(diǎn)擊[SPMOnline]窗口中的75（7）保存圖像

在工具欄內(nèi)點(diǎn)擊[Save]按鈕，選擇要保存的圖片信息，然后再點(diǎn)擊[OK]。當(dāng)掃描到底或在頂時(shí)，本次保存才能結(jié)束。保存的文件以當(dāng)前日期和時(shí)間命名。當(dāng)圖像上出現(xiàn)SAVETHIS時(shí)不能改變檢測(cè)的各參數(shù)。點(diǎn)擊任何抬針按鈕，都可以停止掃描。（8）結(jié)束測(cè)試（7）保存圖像在工具欄內(nèi)點(diǎn)擊[Save]按鈕，選76（9）處理圖像A.在[SPMManage]窗口下點(diǎn)擊[Offline]按鈕，出現(xiàn)[SPMOffline]操作窗口；B.在[SPMOffline]窗口的工具欄內(nèi)，點(diǎn)擊文件夾樹按鈕[Browser]，出現(xiàn)圖片庫窗口；C.在圖片庫窗口內(nèi)，雙擊要處理的圖片，會(huì)出現(xiàn)它的單獨(dú)的[SPMOffline]窗口；（9）處理圖像A.在[SPMManage]窗口下點(diǎn)77對(duì)于已經(jīng)平滑好的圖片，如果希望看到樣品信息的三維信息，點(diǎn)擊3D顯示按鈕。然后在3D設(shè)置內(nèi)可以選擇3D視角。