內(nèi)蒙古瀚海半導(dǎo)體有限公司碳化硅晶體（第三代半導(dǎo)體）產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目報(bào)告書

內(nèi)蒙古瀚海半導(dǎo)體有限公司碳化硅晶體（第三代半導(dǎo)體）產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書（送審稿）建設(shè)單位：內(nèi)蒙古瀚海半導(dǎo)體有限公司環(huán)評(píng)單位：北京中企環(huán)能科技有限公司二〇二二年四月內(nèi)蒙古瀚海半導(dǎo)體有限公司碳化硅晶體（第三代半導(dǎo)體）產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目目錄TOC\o"1-2"\h\z\u1概述 III類項(xiàng)目敏感一一二較敏感一二三不敏感二三三因此，按照《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則-地下水環(huán)境》（HJ610-2016），本項(xiàng)目地下水環(huán)境評(píng)價(jià)等級(jí)確定為三級(jí)。地表水環(huán)境按照《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則-地表水環(huán)境》（HJ2.3-2018）中的有關(guān)規(guī)定，根據(jù)建設(shè)項(xiàng)目廢水的影響類型、排放方式、排放量或影響情況、受納水體環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀、水環(huán)境保護(hù)目標(biāo)等綜合確定建設(shè)項(xiàng)目地表水環(huán)境影響評(píng)價(jià)等級(jí)的確定。本項(xiàng)目生產(chǎn)廢水不外排，生活污水經(jīng)管道排至九原水質(zhì)凈化廠。根據(jù)《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則-地表水環(huán)境》（HJ2.3-2018）中的規(guī)定，不排放到外環(huán)境的按三級(jí)B評(píng)價(jià)，本項(xiàng)目地表水環(huán)境評(píng)價(jià)等級(jí)確定為三級(jí)B。聲環(huán)境本項(xiàng)目建設(shè)地點(diǎn)位于內(nèi)蒙古包頭市九原工業(yè)園區(qū)，處于3類功能區(qū)，評(píng)價(jià)范圍內(nèi)無敏感目標(biāo)；根據(jù)《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則-聲環(huán)境》（HJ2.4-2009），通過對(duì)本項(xiàng)目具體情況與判定依據(jù)對(duì)比分析（見表2.5-7），判定本項(xiàng)目聲環(huán)境影響評(píng)價(jià)等級(jí)為三級(jí)。表2.5-8聲環(huán)境評(píng)價(jià)工作等級(jí)判定表判別依據(jù)聲環(huán)境功能區(qū)項(xiàng)目建設(shè)前后敏感點(diǎn)噪聲級(jí)的變化程度受噪聲影響范圍內(nèi)的人口一級(jí)評(píng)價(jià)判定依據(jù)0類區(qū)增高量>5dB(A)顯著增多二級(jí)評(píng)價(jià)判定依據(jù)1類區(qū)、2類區(qū)3dB(A)≤增高量≤5dB(A)增加較多三級(jí)評(píng)價(jià)判定依據(jù)3類區(qū)、4類區(qū)增高量<3dB(A)變化不大本項(xiàng)目3類區(qū)評(píng)價(jià)范圍內(nèi)無敏感點(diǎn)變化不大評(píng)價(jià)等級(jí)三級(jí)土壤環(huán)境項(xiàng)目建成后不涉及土壤環(huán)境的鹽化、酸化、堿化等，土壤環(huán)境影響類型為污染影響型。根據(jù)《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則-土壤環(huán)境（試行）》（HJ964-2018）附錄A土壤環(huán)境影響評(píng)價(jià)項(xiàng)目類別，項(xiàng)目屬于“制造業(yè)——石油、化工”行業(yè)中“半導(dǎo)體材料”，因此土壤環(huán)境影響評(píng)價(jià)類別為II類；本期項(xiàng)目占地面積142065.96m2，占地規(guī)模為中型；距離項(xiàng)目東廠界70m處和257m處分布有耕地，敏感程度為敏感；根據(jù)導(dǎo)則中污染影響型評(píng)價(jià)工作等級(jí)劃分，土壤評(píng)價(jià)為二級(jí)。土壤環(huán)境影響評(píng)價(jià)等級(jí)劃分見表2.5-9。表2.5-9土壤環(huán)境污染影響型評(píng)價(jià)工作等級(jí)劃分表類別I類II類III類大中小大中小大中小敏感一級(jí)一級(jí)一級(jí)二級(jí)二級(jí)二級(jí)三級(jí)三級(jí)三級(jí)較敏感一級(jí)一級(jí)二級(jí)二級(jí)二級(jí)三級(jí)三級(jí)三級(jí)--不敏感一級(jí)二級(jí)二級(jí)二級(jí)三級(jí)三級(jí)三級(jí)注“-”表示可不開展土壤環(huán)境影響評(píng)價(jià)工作環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則》（HJ169-2018）附錄B、GB30000.28，擬建項(xiàng)目涉及的危險(xiǎn)物質(zhì)主要為生產(chǎn)中使用的天然氣（以甲烷計(jì)），主要分布于生產(chǎn)裝置區(qū)和輸氣管道，以及產(chǎn)生的廢氣二氧化硫、二氧化氮、一氧化碳。根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則》（HJ169-2018）附錄C，當(dāng)存在多種危險(xiǎn)物質(zhì)時(shí)，按下式計(jì)算物質(zhì)總量與其臨界量的比值（Q）：式中：q1，q2，…，qn——每種危險(xiǎn)物質(zhì)的最大存在總量，t；Q1，Q2，…，Qn——每種危險(xiǎn)物質(zhì)的臨界量，t；當(dāng)Q<1時(shí)，該項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)潛勢(shì)為Ⅰ。當(dāng)Q≥1時(shí)，將Q值劃分為：（1）1≤Q<10；（2）10≤Q<100（3）Q≥100本項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)物質(zhì)數(shù)量與其臨界量比值（Q）匯總表見下表。表2.5-10環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)物質(zhì)數(shù)量與其臨界量比值（Q）匯總表序號(hào)危險(xiǎn)物質(zhì)名稱CAS號(hào)最大在線量qn（t）臨界量Qn（t）qn/Qn1天然氣（以甲烷計(jì)）74-82-80.54100.0542二氧化硫7446-09-50.075×10-32.50.03×10-33二氧化氮10102-44-00.0195×10-310.0195×10-34一氧化碳630-08-00.069×10-37.59.2×10-6合計(jì)（Q）0.054項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)物質(zhì)數(shù)量與臨界量比值（Q）為Q=0.054＜1，項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)潛勢(shì)為Ⅰ。根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則HJ169-2018》，建設(shè)項(xiàng)目風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)等級(jí)劃分如下表2.5-11所示。表2.5-11評(píng)價(jià)工作等級(jí)劃分環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)潛勢(shì)IV、IV+IIIIII評(píng)價(jià)工作等級(jí)一二三簡(jiǎn)單分析本項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)潛勢(shì)為Ⅰ，根據(jù)表2.5-11確定本項(xiàng)目的環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)等級(jí)為簡(jiǎn)單分析，按照《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則》（HJ169-2018）附錄A要求在描述危險(xiǎn)物質(zhì)、環(huán)境影響途徑、環(huán)境危害后果、風(fēng)險(xiǎn)防范措施等方面給出定性說明。生態(tài)環(huán)境本項(xiàng)目屬于工業(yè)類項(xiàng)目，占地142065.96m2，擬建地目前為空地，屬于一般區(qū)域；根據(jù)《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則-生態(tài)環(huán)境》（HJ19-2011），位于一般區(qū)域的占地面積≤2km2的建設(shè)項(xiàng)目，生態(tài)環(huán)境影響評(píng)價(jià)等級(jí)確定為三級(jí)。表2.5-12生態(tài)環(huán)境影響評(píng)價(jià)級(jí)別影響區(qū)域生態(tài)敏感性工程占地范圍面積≥20km2或長(zhǎng)度≥100km面積2-20km2或長(zhǎng)度50-100km面積≤2km2或長(zhǎng)度≤50km特殊生態(tài)敏感區(qū)一級(jí)一級(jí)一級(jí)重要生態(tài)敏感區(qū)一級(jí)二級(jí)二級(jí)一般區(qū)域二級(jí)三級(jí)三級(jí)本項(xiàng)目情況本項(xiàng)目占地1.4km2≤2km2，屬于一般區(qū)域評(píng)價(jià)等級(jí)三級(jí)評(píng)價(jià)范圍及環(huán)境保護(hù)目標(biāo)環(huán)境空氣評(píng)價(jià)范圍：本項(xiàng)目環(huán)境空氣評(píng)價(jià)工作等級(jí)為二級(jí)，評(píng)價(jià)范圍取以廠址中心為中心點(diǎn)，邊長(zhǎng)為5km范圍的矩形區(qū)域。詳見圖2.6-1。保護(hù)目標(biāo)：評(píng)價(jià)范圍內(nèi)的居住區(qū)。評(píng)價(jià)范圍及環(huán)境空氣保護(hù)目標(biāo)見表2.6-1及圖2.6-1。地下水本項(xiàng)目區(qū)域地下水徑流方向?yàn)樽员睎|向南西徑流。本次地下水調(diào)查評(píng)價(jià)區(qū)范圍的確定，一方面需包含項(xiàng)目所能影響到的所有地下水環(huán)境，另一方面便于地下水流數(shù)值模型的建立。依據(jù)《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則地下水環(huán)境》（HJ610-2016）的要求，地下水評(píng)價(jià)范圍依據(jù)公式計(jì)算法。L=α×K×I×T/ne式中：L—下游遷移距離，m；α—變化系數(shù)，α≥1，一般取2；K—滲透系數(shù)，m/d，K根據(jù)評(píng)價(jià)區(qū)鉆孔資料取值3.87m/d；I—水力坡度，無量綱根據(jù)區(qū)域地下水流場(chǎng)計(jì)算得出I=2.5‰；T—質(zhì)點(diǎn)遷移天數(shù)，取值不小于5000d；ne—有效孔隙度，無量綱；含水層巖性主要為中細(xì)沙、粉細(xì)砂，ne取值0.40；由上述公式計(jì)算得出L=241.85m；地下水調(diào)查評(píng)價(jià)范圍及保護(hù)目標(biāo)示意見圖2.7-2。聲環(huán)境評(píng)價(jià)范圍：聲環(huán)境評(píng)價(jià)范圍為項(xiàng)目廠界外擴(kuò)200m。保護(hù)目標(biāo)：評(píng)價(jià)范圍內(nèi)無聲環(huán)境保護(hù)目標(biāo)分布。土壤環(huán)境評(píng)價(jià)范圍：土壤環(huán)境評(píng)價(jià)范圍為項(xiàng)目廠界外擴(kuò)200m。保護(hù)目標(biāo)：廠區(qū)占地范圍內(nèi)建設(shè)用地和項(xiàng)目東廠界70m處耕地。生態(tài)環(huán)境根據(jù)《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則-生態(tài)環(huán)境》（HJ19-2011），本項(xiàng)目生態(tài)環(huán)境評(píng)價(jià)范圍為項(xiàng)目廠界外擴(kuò)1000m。表2.6-1環(huán)境保護(hù)目標(biāo)一覽表環(huán)境要素名稱經(jīng)緯度保護(hù)對(duì)象保護(hù)內(nèi)容/人相對(duì)廠址方位相對(duì)廠址距離/km環(huán)境功能區(qū)XY大氣花圪臺(tái)村109°39′50.337″40°34′18.187″居民52戶，203人SE0.79《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）中的二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)索家圪旦109°38′15.168″40°33′34.715″居民55戶，193人WS1.82土黑麻淖爾109°37′40.252″40°35′22.957″居民291戶，993人NW1.45全巴圖村109°38′47.921″40°33′29.128″居民254戶，882人SW2.25山羊圪堵109°39′45.393″40°33′35.232″居民28戶，102人SE2.01地下水潛水含水層1#農(nóng)業(yè)用水井、2#和3#畜牧用水井內(nèi)的第四系松散巖類孔隙水《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T148482017）中的Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)，地下水水質(zhì)不因項(xiàng)目建設(shè)而惡化土壤廠區(qū)占地范圍內(nèi)建設(shè)用地和項(xiàng)目東廠界65m處耕地廠區(qū)占地范圍內(nèi)建設(shè)用地符合《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)（試行）》（GB36600-2018）“建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)篩選值及管控值”要求，東廠界65m處耕地符合《土壤環(huán)境質(zhì)量農(nóng)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)（試行）》（GB15618-2018）中農(nóng)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)篩選值（基本項(xiàng)目）pH＞7.5的要求噪聲項(xiàng)目廠界外200m范圍內(nèi)無聲環(huán)境敏感目標(biāo)《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3096-2008）3類區(qū)標(biāo)準(zhǔn)生態(tài)環(huán)境項(xiàng)目選址范圍內(nèi)動(dòng)植物資源，施工期水土流失等——圖2.7-1評(píng)價(jià)范圍及保護(hù)目標(biāo)分布圖圖2.7-2地下水評(píng)價(jià)范圍及保護(hù)目標(biāo)分布圖工程概況基本情況（1）項(xiàng)目名稱：碳化硅晶體（第三代半導(dǎo)體）產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目（2）建設(shè)單位：內(nèi)蒙古瀚海半導(dǎo)體有限公司（3）建設(shè)性質(zhì)：新建（4）建設(shè)規(guī)模：項(xiàng)目建成后年產(chǎn)6英寸碳化硅晶體150000錠。（5）建設(shè)地點(diǎn)：本項(xiàng)目建設(shè)地點(diǎn)位于內(nèi)蒙古包頭九原工業(yè)園區(qū)內(nèi)，經(jīng)二路西，緯六路北。項(xiàng)目區(qū)中心地理坐標(biāo)為：北緯40°34′51.49″，東經(jīng)109°39′12.96″。項(xiàng)目廠址北側(cè)為光威廠區(qū)，南側(cè)為空地，西側(cè)預(yù)留空地，東側(cè)為園區(qū)道路，最近敏感點(diǎn)為花圪臺(tái)村，位于項(xiàng)目東南790m。項(xiàng)目地理位置見圖3.1-1，項(xiàng)目周邊四鄰關(guān)系見圖3.1-2。（6）項(xiàng)目投資：項(xiàng)目總投資約90000萬元，其中環(huán)保投資為748萬元，占項(xiàng)目總投資的0.83%。（7）工作制度與勞動(dòng)定員：企業(yè)年生產(chǎn)300天，實(shí)行三班，每班8小時(shí)工作制，全年生產(chǎn)7200小時(shí)。全廠勞動(dòng)定員180人。（8）占地面積：廠區(qū)總占地面積142065.96m2。（9）工程進(jìn)度：工程建設(shè)周期為12個(gè)月。圖3.1-1項(xiàng)目地理位置圖圖3.1-2項(xiàng)目周邊四鄰關(guān)系圖產(chǎn)品方案碳化硅（Siliconcarbide），化學(xué)式為SiC，分子量40.1，是Ⅳ-Ⅳ族二元化合物，也是元素周期表Ⅳ組元素中的穩(wěn)定固態(tài)化合物，是性能優(yōu)異的第三代寬禁帶半導(dǎo)體材料。本項(xiàng)目自制晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯和石墨坩堝，用于組裝長(zhǎng)晶爐，生產(chǎn)能力按年產(chǎn)150000錠6英寸碳化硅晶體規(guī)劃建設(shè)，產(chǎn)品方案見下表。表3.2-1項(xiàng)目產(chǎn)品方案序號(hào)產(chǎn)品名稱產(chǎn)品數(shù)量產(chǎn)品重量備注1晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯300套585.54t/a組裝長(zhǎng)晶爐（自用）2石墨坩堝300套484.77t/a組裝長(zhǎng)晶爐（自用）36英寸碳化硅晶體150000錠133.297t/a外售用于生產(chǎn)碳化硅晶片項(xiàng)目組成本項(xiàng)目組成主要包括主體工程、公用工程、儲(chǔ)運(yùn)工程、輔助工程及環(huán)保工程等工程。具體建設(shè)內(nèi)容見下表。表3.3-1本項(xiàng)目建設(shè)內(nèi)容一覽表項(xiàng)目類別項(xiàng)目名稱建設(shè)內(nèi)容備注主體工程1#生產(chǎn)車間占地面積11799.25m2（216.5m×54.5m），鋼結(jié)構(gòu)封閉車間，高15m，位于辦公樓南側(cè)，內(nèi)設(shè)晶體爐，用于6英寸碳化硅晶體生長(zhǎng)，設(shè)置1套純水制備裝置。新建2#生產(chǎn)車間占地面積11799.25m2（216.5m×54.5m），鋼結(jié)構(gòu)封閉車間，高15m，位于1#生產(chǎn)車間南側(cè)，內(nèi)設(shè)烘箱、合成爐、純化爐、熱壓機(jī)、碳化爐、浸漬爐、碳纖維針刺機(jī)、數(shù)控車床。新建3#生產(chǎn)車間占地面積11799.25m2（216.5m×54.5m），鋼結(jié)構(gòu)封閉車間，高15m，位于2#車間南側(cè)，內(nèi)設(shè)沉積爐、高溫爐。新建4#生產(chǎn)車間占地面積5902.35m2（108.3m×54.5m），鋼結(jié)構(gòu)封閉車間，高15m，位于3#車間南側(cè)，內(nèi)設(shè)纏繞機(jī)、自動(dòng)貼片機(jī)、封裝機(jī)、單面研磨機(jī)等設(shè)備，主要用于產(chǎn)品包裝。新建儲(chǔ)運(yùn)工程原料及產(chǎn)品庫房（5#廠房）占地面積11799.25m2（216.5m×54.5m），鋼結(jié)構(gòu)封閉車間，高15m，位于4#車間南側(cè)，占地面積11799.25m2（216.5m×54.5m），鋼結(jié)構(gòu)封閉車間，高15m，位于4#車間南側(cè)，其中原料庫用于分區(qū)存儲(chǔ)炭纖維、石墨塊、石墨粉、高純硅粉和酚醛樹脂等原輔料。其中單獨(dú)設(shè)置酚醛樹脂存儲(chǔ)區(qū)，酚醛樹脂存儲(chǔ)區(qū)屬于重點(diǎn)防滲區(qū)，鋪設(shè)2mm高密度聚乙烯(HDPE)膜，滲透系數(shù)≤10-10cm/s。其他存儲(chǔ)區(qū)為混凝土硬化地面。新建輔助工程辦公樓2座，4層混磚結(jié)構(gòu)，每座占地面積均為1425.6m2，用于員工辦公使用，包括辦公室、休息室、食堂及財(cái)務(wù)室新建檢測(cè)中心1座，3層混磚結(jié)構(gòu)，占地面積均為6440.93m2，主要安裝表面缺陷檢查、幾何參數(shù)測(cè)試儀、高阻電阻率測(cè)試儀、低阻電阻率測(cè)試儀、拉曼光譜機(jī)、雙晶X射、衍行儀等設(shè)備，開展物理檢測(cè)，用于物料和產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)。新建實(shí)驗(yàn)中心1座，3層混磚結(jié)構(gòu)，占地面積均為1958.2m2，物理實(shí)驗(yàn)室，輔助生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)和研究。新建循環(huán)冷卻水系統(tǒng)設(shè)置18座冷卻水池，鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)，安裝36座冷卻塔，池體容積均為2m×8m×3m。新建消防事故水池設(shè)置1座1000m3的事故水池，鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)新建液氬儲(chǔ)罐和液氮儲(chǔ)罐設(shè)置3座30m3液氬儲(chǔ)罐、2座30m3液氮儲(chǔ)罐，位于4#車間東側(cè)新建公用工程供電由工業(yè)園區(qū)供電系統(tǒng)集中提供依托采暖冬季采暖由園區(qū)供熱管網(wǎng)供給依托供水生產(chǎn)、生活用水均由園區(qū)供水管網(wǎng)供給依托供天然氣由工業(yè)園區(qū)天然氣管網(wǎng)供給依托環(huán)保工程廢氣（1）編織工段粉塵G1、機(jī)械加工粉塵G5和石墨機(jī)械加工粉塵G11碳纖維針刺機(jī)和數(shù)控車床產(chǎn)塵點(diǎn)均設(shè)置集塵罩，編織粉塵、機(jī)械加工等粉塵均經(jīng)集氣罩捕集（捕集率90%）后，送至1套脈沖式布袋除塵器處理（處理效率99%），處理后由1根18m高排氣筒（編號(hào)：DA001）排放。新建（2）整形定型廢氣G2、浸漬廢氣G6、碳化工段廢氣G7和晶體生長(zhǎng)廢氣G16烘箱、浸漬爐、碳化爐和長(zhǎng)晶爐產(chǎn)生的有機(jī)廢氣經(jīng)設(shè)備管道送至1套蓄熱式熱力燃燒裝置處理（處理效率95%），處理廢氣由1根18m高排氣筒（DA002）排放。新建（3）長(zhǎng)晶爐爐襯純化廢氣G9、石墨坩堝純化廢氣G12和石墨粉純化廢氣G14純化爐廢氣主要污染物為氟化物，純化廢氣均經(jīng)管道收集，送至1套堿液噴淋塔處理（Ca（OH）2和NaOH混合溶液，處理效率92.5%），處理廢氣通過一根18m高排氣筒排放（編號(hào)：DA003）。新建（4）石墨粉投料粉塵G13和高純硅粉投料粉塵G15粉料投料環(huán)節(jié)均設(shè)置在密閉箱體中投料（將原料整包放入密閉手套箱，然后再進(jìn)行拆包裝、投料），在密閉手套箱設(shè)置集氣管道，廢氣經(jīng)集氣管道收集并通過車間內(nèi)布袋除塵器處理（處理效率99%），根據(jù)車間設(shè)備、管道布置情況，共設(shè)置10個(gè)密閉手套箱、2套布袋除塵器，除塵器設(shè)置在封閉車間內(nèi)不設(shè)置排氣筒。新建（5）預(yù)制體一次增密廢氣G3和化學(xué)氣相涂層工段廢氣G10預(yù)制體一次增密廢氣和化學(xué)氣相涂層工段廢氣中均含有天然氣（甲烷）、氫氣等可燃?xì)怏w，該氣體作為蓄熱式熱力燃燒裝置的燃料，經(jīng)設(shè)備管道送至蓄熱式熱力燃燒室燃燒處理，可節(jié)約蓄熱式熱力燃燒裝置燃料使用量。燃燒廢氣經(jīng)18m高排氣筒（DA002）排放。新建（6）高溫處理過程廢氣G4和石墨化處理工段廢氣G8高溫處理過程廢氣和石墨化處理工段廢氣均為氬氣，氬氣不以污染物計(jì)，由高溫爐排氣孔由風(fēng)道排放至車間外。新建廢水（1）循環(huán)冷卻系統(tǒng)使用純水，循環(huán)使用不外排；（2）純水制備系統(tǒng)排污水屬于清凈下水，排污水為清凈下水，補(bǔ)充至堿液噴淋塔使用。（3）堿液噴淋塔噴淋液循環(huán)使用，不外排。堿液循環(huán)水池包括二級(jí)沉淀池（總?cè)莘e12m3）和澄清池（容積3m3），噴淋吸收液進(jìn)入沉淀池，經(jīng)沉淀后由池體上部溢流口進(jìn)入澄清池，再由泵抽送至噴淋塔往復(fù)循環(huán)使用。沉淀池底部污泥定期抽入污泥干化池（容積2m3），經(jīng)干化后存儲(chǔ)、處置。（4）生活污水經(jīng)化糞池處理后由園區(qū)污水管網(wǎng)排至包頭市九原水質(zhì)凈化廠。堿液循環(huán)水池和污泥干化池屬于重點(diǎn)防滲區(qū)，鋪設(shè)2mm高密度聚乙烯(HDPE)膜，滲透系數(shù)≤10-10cm/s?；S池屬于一般防滲區(qū)，采取抗?jié)B混凝土防滲措施，滲透系數(shù)≤10-7cm/s。新建噪聲選取低噪聲設(shè)備，采取建筑隔聲和基礎(chǔ)減震等降噪措施。新建固廢（1）碳渣S1、S6：長(zhǎng)晶爐爐襯機(jī)加工和長(zhǎng)晶過程產(chǎn)生碳渣采用密封袋裝，暫存于一般固廢間，定期外售至建材公司綜合利用；（2）純化爐爐渣S2、S4、S5：純化爐內(nèi)產(chǎn)生泥狀的金屬氟化物采用密封袋裝，暫存于一般固廢間，定期外售至建材公司綜合利用。（3）石墨渣S3：石墨塊機(jī)加工產(chǎn)生石墨渣，暫存于一般固廢間，定期外售至建材公司綜合利用。（4）廢石墨坩堝和廢碳?xì)諷7：長(zhǎng)晶爐爐襯（碳?xì)郑┖褪釄甯鶕?jù)生產(chǎn)需要進(jìn)行更換，暫存于一般固廢間，定期外售至建材公司綜合利用。（5）廢樹脂的包裝物S8：屬于危險(xiǎn)廢物（HW13有機(jī)樹脂類廢物，廢物代碼是900-014-13），分區(qū)暫存于危廢間，定期由具備危廢資質(zhì)的廠家回收處置。（6）廢礦物油S9：設(shè)備檢修過程中產(chǎn)生廢礦物油及含礦物油廢物屬于危險(xiǎn)廢物（HW08廢礦物油與含廢礦物油廢物，廢物代碼是900-249-08），經(jīng)油桶收集，分區(qū)暫存于危廢間，定期由具備危廢資質(zhì)的廠家回收處置。（7）除塵器收集的除塵灰S10：經(jīng)密封袋裝暫存于一般固廢間，定期外售至建材公司綜合利用。（8）碳纖維的廢包裝S11：收集后送至廢物回收利用部門綜合利用。（9）生活垃圾S12：分類收集在垃圾桶內(nèi)，及時(shí)清運(yùn)交由當(dāng)?shù)丨h(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一處理。新建危廢間1座，占地面積20m2，全封閉彩鋼結(jié)構(gòu)，危廢暫存間內(nèi)部設(shè)隔斷，用于分區(qū)存儲(chǔ)廢樹脂的包裝物、廢礦物油（密封防滲漏桶裝），危廢間屬于重點(diǎn)防滲區(qū)，鋪設(shè)2mm高密度聚乙烯(HDPE)膜，滲透系數(shù)≤10-10cm/s。新建一般固廢間1座，占地面積100m2，全封閉彩鋼結(jié)構(gòu)，位于4#廠房東北側(cè)，用于分區(qū)暫存一般固廢，一般固廢間屬于一般防滲區(qū)，采取抗?jié)B混凝土防滲措施，滲透系數(shù)≤10-7cm/s。新建主要生產(chǎn)設(shè)備本項(xiàng)目主要生產(chǎn)設(shè)備見表3.4-1。表3.4-1本項(xiàng)目主要生產(chǎn)設(shè)備表設(shè)備名稱規(guī)格型號(hào)計(jì)量單位數(shù)量備注一、自制長(zhǎng)晶爐生產(chǎn)純化爐HHPF-950臺(tái)50晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯純化、石墨粉純化、石墨塊純化碳纖維針刺機(jī)HHZC-100臺(tái)3烘箱/臺(tái)5晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯整形定型炭化爐（臥式）HHCVDW-400臺(tái)3晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯碳化數(shù)控車床/臺(tái)10晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯和石墨坩堝機(jī)加工CVD爐1HHCVD-3850臺(tái)20用于預(yù)制體增密CVD爐2HHCVD-1500臺(tái)39晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯氣相涂層高溫爐HHHT-1臺(tái)4晶體生長(zhǎng)內(nèi)襯高溫處理熱壓機(jī)HHRY-300臺(tái)4浸漬爐HHJZ-50臺(tái)4晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯浸漬二、6寸碳化硅晶體生產(chǎn)晶體爐HHSC-6臺(tái)3006寸碳化硅晶體生長(zhǎng)合成爐HHSF-1臺(tái)50高純碳化硅粉合成三、成品檢測(cè)與包裝纏繞機(jī)/臺(tái)4自動(dòng)貼片機(jī)/臺(tái)1封裝機(jī)/臺(tái)2表面缺陷檢查/臺(tái)1幾何參數(shù)測(cè)試儀/臺(tái)4高阻電阻率測(cè)試儀/臺(tái)1低阻電阻率測(cè)試儀/臺(tái)2拉曼光譜儀/臺(tái)1雙晶X射線衍射儀/臺(tái)1單面研磨機(jī)/臺(tái)1四、純水制備設(shè)備原水增壓泵ZS80-65-1607.5KWQ=30T/HH=3.6M臺(tái)3超濾反洗泵ZS100-80-20011KWQ=10T/HH=29M臺(tái)1中間水泵ZS80-65-1605.5KWQ=20T/HH=29.9M臺(tái)3一級(jí)RO高壓泵CDL85-60N=22KWQ=40T/HH=141M臺(tái)3一級(jí)濃水輸送泵ZS80-65-1607.5KWQ=50T/HH=36M臺(tái)3RO清洗泵ZS80-65-1607.5KWQ=50T/HH=36M臺(tái)1二級(jí)濃水輸送泵ZS80-65-16015KWQ=50T/HH=36M臺(tái)3RO恒壓水輸送泵ZS80-65-200N=11KWQ=20T/HH=56.8M臺(tái)2五、輔助設(shè)備變壓器節(jié)能型臺(tái)53冷卻塔/臺(tái)36循環(huán)水泵YE5-280M-4臺(tái)36液氬罐30m3個(gè)3液氮罐30m3個(gè)2六、環(huán)保設(shè)施布袋除塵器負(fù)壓式，風(fēng)機(jī)風(fēng)量：4000m3/h套118m高排氣筒（編號(hào)：DA001）排放蓄熱式熱力燃燒裝置RTO，風(fēng)機(jī)風(fēng)量：50000m3/h套118m高排氣筒（DA002）堿液噴淋塔Ca（OH）2和NaOH混合溶液，風(fēng)機(jī)風(fēng)量：3000m3/h套118m高排氣筒排放（編號(hào)：DA003）密閉手套箱非標(biāo)個(gè)10布袋除塵器正壓式套2公輔工程項(xiàng)目位于內(nèi)蒙古包頭九原工業(yè)園區(qū)內(nèi)，經(jīng)二路西，緯六路北。園區(qū)的水、電、天然氣管網(wǎng)均已覆蓋擬建廠址，具備園區(qū)供水、供電和供天然氣條件。給水園區(qū)供水單位為包頭首創(chuàng)水務(wù)有限責(zé)任公司，水源為黃河水，水源可靠。本擬建項(xiàng)目生產(chǎn)及生活用水均采用園區(qū)供給。根據(jù)工藝裝置對(duì)水溫、水質(zhì)及水壓要求，本項(xiàng)目給水系統(tǒng)擬分為生活給水系統(tǒng)、生產(chǎn)給水系統(tǒng)和消防給水系統(tǒng)。（1）生活給水系統(tǒng)生活用水通過一條DN00管道送入廠區(qū)，供水壓力0.45MPa。項(xiàng)目投入運(yùn)營后最大職工人數(shù)為180人，員工生活用水按照《內(nèi)蒙古自治區(qū)行業(yè)用水定額標(biāo)準(zhǔn)》（DB15/T385-2020）用水定額100L/人d計(jì)算，年工作時(shí)間為300d，則生活用水量為18m3/d（5400m3/a）。（2）生產(chǎn)給水系統(tǒng)①循環(huán)冷卻水系統(tǒng)項(xiàng)目生產(chǎn)用水主要為工藝循環(huán)冷卻水補(bǔ)水（包括沉積爐、碳化爐、純化爐、高溫爐和晶體爐的循環(huán)冷卻水補(bǔ)水）。內(nèi)外循環(huán)系統(tǒng)采用純水作為補(bǔ)水，純水設(shè)備處理能力為20m3/d，采用RO反滲透。循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的外循環(huán)冷卻水通過板式換熱器與內(nèi)循環(huán)冷卻水進(jìn)行熱交換，給設(shè)備冷卻降溫。根據(jù)項(xiàng)目設(shè)計(jì)資料，外循環(huán)系統(tǒng)循環(huán)水量為28m3/h（672m3/d），補(bǔ)水量為0.56m3/h，即13.44m3/d（4032m3/a）；內(nèi)循環(huán)系統(tǒng)循環(huán)水量為0.6m3/h（14.4m3/d），補(bǔ)水量為0.012m3/h，即0.29m3/d（86.4m3/a）。②純水制備裝置純水制備裝置為循環(huán)冷卻水系統(tǒng)提供純水，采用RO反滲透工藝，處理能力為20m3/d。本項(xiàng)目用純水量為13.73m3/d（4119m3/a），純水系統(tǒng)排污量為20%，純水裝置的新水用量為17.16m3/d（5148m3/a），純水系統(tǒng)排污量為3.43m3/d（1029m3/a）。③堿液噴淋塔用水項(xiàng)目堿液噴淋塔使用氫氧化鈉溶液，經(jīng)與廢氣中污染物接觸吸收后，進(jìn)入沉淀池，在沉淀池內(nèi)添加氫氧化鈣，經(jīng)反應(yīng)成為氟化鈣及堿類沉淀至底部，少部分水分隨煙氣蒸發(fā)，經(jīng)排氣筒排放大氣。根據(jù)項(xiàng)目設(shè)計(jì)方案及類比同類項(xiàng)目堿液噴淋塔運(yùn)行參數(shù)，堿液噴淋塔循環(huán)噴淋用量為100m3/d，因蒸發(fā)損耗補(bǔ)水量5m3/d。堿液噴淋塔用水均由純水系統(tǒng)排污水（3.43m3/d）補(bǔ)給，不足部分由新水（1.57m3/d）補(bǔ)充。（3）消防給水本次設(shè)計(jì)占地面積小于100ha，同一時(shí)間內(nèi)火災(zāi)處數(shù)為1處，消防總用水量為300L/s，設(shè)置消防水池及消防加壓泵站1個(gè)，供水量為300L/s，有效消防水量為3000m3，供水壓力為1.0MPa。根據(jù)項(xiàng)目設(shè)計(jì)資料，消防水池及消防加壓泵站設(shè)1座鋼筋混凝土消防－貯水池（容積3200m3）。排水（1）生活污水項(xiàng)目生活污水產(chǎn)生量為用水量80%，生活污水量14.4m3/d（4320m3/a）。生活污水通過園區(qū)污水管網(wǎng)排放至包頭市九原水質(zhì)凈化廠。（2）生產(chǎn)廢水循環(huán)冷卻系統(tǒng)使用純水，循環(huán)使用不外排；堿液噴淋塔噴淋液循環(huán)使用，不外排。純水系統(tǒng)排污水：項(xiàng)目純水系統(tǒng)排水量約為3.43m3/d（1029m3/a），排污水為清凈下水，補(bǔ)充至堿液噴淋塔使用。項(xiàng)目水平衡情況見表3.5-1及圖3.5-1。表3.5-1項(xiàng)目水量平衡一覽表單位：m3/d序號(hào)用水工序用水量新水量回用水損耗量廢水量排水去向1設(shè)備冷卻水外循環(huán)67213.44（純水）013.440除蒸發(fā)損耗外，全部循環(huán)使用，不外排2設(shè)備冷卻水內(nèi)循環(huán)14.40.29（純水）00.2903堿液噴淋塔1001.57（新水）3.43503純水制備裝置17.1617.16（新水）003.43（回用）排污水為清凈下水，補(bǔ)充至堿液噴淋塔使用4生活用水1818（新水）03.614.4由園區(qū)管網(wǎng)排至包頭市九原水質(zhì)凈化廠總計(jì)771.5636.733.4322.3314.4表3.5-1項(xiàng)目水量平衡圖單位：m3/d（3）消防排水系統(tǒng)本項(xiàng)目在雨水排水系統(tǒng)的末端設(shè)消防事故應(yīng)急措施和消防事水故收集池，當(dāng)出現(xiàn)事故應(yīng)時(shí)，切斷外排排水通道，將所有事故排水均送至事故水池內(nèi)，待事故完成后，事故廢水送至外部具備處理能力的污水處理站處理，事故收集池為鋼筋混凝土池，事故容積為1000m3。供電工程項(xiàng)目供電由九原工業(yè)園區(qū)500kV陰華變電站開關(guān)站將35KV電力線路送至廠區(qū)35KV/10KV變電站，再由35KV變電站送至各車間10KV/0.4KV變電所，由變電所降壓后送到低壓配電柜，供設(shè)備用電，可滿足本項(xiàng)目的供電要求。年耗電量總計(jì)為56910萬kWh/a。供天然氣本項(xiàng)目用氣由園區(qū)供氣管網(wǎng)提供，氣源為長(zhǎng)慶氣田，天然氣蘊(yùn)藏量約4.788億m3，天然氣管網(wǎng)均已覆蓋擬建廠址，可滿足項(xiàng)目用氣需求。天然氣執(zhí)行GB17820-2018中表1二類質(zhì)量要求，主要成分見下表。表3.5-2天然氣成分一覽表成分甲烷乙烷丙烷正丁烷異丁烷正戊烷異戊烷含量99.08%0.02%＜0.01%＜0.01%＜0.01%＜0.01%＜0.01%成分二氧化碳氮?dú)庋鯕饪偭颍ㄒ粤蛴?jì)）（mg/m3）硫化氫（mg/m3）高熱值（MJ/m3）/含量＜0.01%0.80%0.10%≤100≤2031.4/占地及總平面布置本項(xiàng)目占地面積142065.96m2。本項(xiàng)目總平面布置由行政辦公區(qū)、實(shí)驗(yàn)中心、檢測(cè)中心、生產(chǎn)車間及配套建設(shè)的公輔工程組成。項(xiàng)目北側(cè)為檢測(cè)中心、實(shí)驗(yàn)中心、辦公區(qū)，中部及南側(cè)依次為五個(gè)廠房。（1）行政辦公和生活服務(wù)區(qū)布置在廠區(qū)北部，由辦公樓、職工食堂、停車場(chǎng)等組成，靠近園區(qū)主干道、方便職工上下班，對(duì)外聯(lián)系方便。（2）生產(chǎn)車間按照生產(chǎn)工藝順序優(yōu)化布置各廠房，1#廠房安裝晶體爐和純水制備，用于6英寸碳化硅晶體生長(zhǎng)，2#廠房用于晶生長(zhǎng)爐內(nèi)襯和石墨坩堝生產(chǎn)、純化、高純碳化硅粉合成等，3#廠房用于碳纖維編織、機(jī)加工等，4#廠房用于產(chǎn)品包裝，5#廠房作為原料及產(chǎn)品庫房。（3）公輔工程公輔工程主要包括檢測(cè)中心、實(shí)驗(yàn)中心、循環(huán)冷卻水系統(tǒng)、液氬儲(chǔ)罐、消防水池/消防水加壓泵房、消防事故水池等。本項(xiàng)目廠區(qū)平面總圖布置見圖3.6-1。圖3.6-1廠區(qū)平面總圖布置圖生產(chǎn)制度、勞動(dòng)定員生產(chǎn)制度工人實(shí)行三班，每班8小時(shí)工作制，管理人員白班，技術(shù)人員值班制。項(xiàng)目年生產(chǎn)時(shí)間為7200小時(shí)，每天24小時(shí)。本項(xiàng)目勞動(dòng)定員180人。主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)本項(xiàng)目主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)見下表。表3.8-1本項(xiàng)目主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)序號(hào)項(xiàng)目名稱單位數(shù)量備注一產(chǎn)品方案1晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯t/a585.54t/a300套2石墨坩堝t/a484.77t/a300套36英寸碳化硅晶體t/a133.297t/a150000錠二原料消耗1炭纖維t/a250晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯生產(chǎn)原料2石墨塊t/a500石墨坩堝生產(chǎn)原料3石墨粉t/a40碳化硅晶體生產(chǎn)原料4高純硅粉t/a93.3335氬氣t/a1963.45碳化硅晶體生產(chǎn)使用6氮?dú)鈚/a964.26晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯生產(chǎn)使用7天然氣t/a1015.48晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯工藝使用8酚醛樹脂t/a90.295晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯工藝和籽晶粘結(jié)使用9氟利昂-22t/a0.967純化工藝使用三公用工程消耗量1新水m3/a11019園區(qū)供水管網(wǎng)2電萬kWh/a56910園區(qū)電網(wǎng)四全廠定員人180五占地面積m2142065.96六項(xiàng)目投資1總投資萬元900002年均利潤總額萬元192243年均稅后利潤萬元106724項(xiàng)目投資回收期(含建設(shè)期)年5.6所得稅后工程分析原輔材料消耗、燃料、能源消耗及供應(yīng)原輔材料及能源消耗量本項(xiàng)目各原輔材料及能源消耗量見表4.1-1和表4.1-2。表4.1-1項(xiàng)目原輔材料一覽表名稱年用量t/a儲(chǔ)存方式最大儲(chǔ)存量t儲(chǔ)存周期來源備注炭纖維250原料庫502個(gè)月外購晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯生產(chǎn)原料石墨塊500原料庫1002個(gè)月外購石墨坩堝生產(chǎn)原料石墨粉40原料庫82個(gè)月外購碳化硅晶體生產(chǎn)原料高純硅粉93.333原料庫18.6672個(gè)月外購氬氣587.49液氬儲(chǔ)罐/3個(gè)/30m3113.458天外購碳化硅晶體生產(chǎn)使用氮?dú)?64.26液氮儲(chǔ)罐/2個(gè)/30m343.213天外購晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯生產(chǎn)使用天然氣1015.48管道輸送//園區(qū)管道晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯工藝使用酚醛樹脂90.295原料庫9.031個(gè)月外購晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯工藝和籽晶粘結(jié)使用氟利昂-220.967可重復(fù)使用鋼瓶包裝0.11個(gè)月外購純化工藝使用表4.1-2能源消耗一覽表序號(hào)能源單位消耗量來源1新水m3/a11019園區(qū)供水管網(wǎng)2電萬kWh/a56910園區(qū)電網(wǎng)原輔材料性質(zhì)（1）炭纖維碳纖維(carbonfiber，簡(jiǎn)稱CF)，是一種含碳量在95%以上的高強(qiáng)度、高模量纖維的新型纖維材料。它是由片狀石墨微晶等有機(jī)纖維沿纖維軸向方向堆砌而成，經(jīng)碳化及石墨化處理而得到的微晶石墨材料。碳纖維"外柔內(nèi)剛"，質(zhì)量比金屬鋁輕，但強(qiáng)度卻高于鋼鐵，并且具有耐腐蝕、高模量的特性，在國防軍工和民用方面都是重要材料，它不僅具有碳材料的固有本征特性，又兼?zhèn)浼徔椑w維的柔軟可加工性，是新一代增強(qiáng)纖維。項(xiàng)目采用的炭纖維的規(guī)格如下：?jiǎn)谓z直徑0~8μm，泊松比0.307，彈性模量（MPa）≥2.1×105，抗拉強(qiáng)度（MPa）≥3500，纖維密度1.74~1.79g/cm3，伸長(zhǎng)率（%）≥1.5，含碳量≥95%，軟化劑含量為1%（主要成分為樹脂），水分及其他雜質(zhì)含量為4%。（2）石墨塊石墨塊可用于碳化硅爐、石墨化爐等冶金爐、電阻爐作爐襯和導(dǎo)電材料，以及不透性石墨熱交換器。品質(zhì)優(yōu)良，性能穩(wěn)定，本項(xiàng)目使用石墨塊執(zhí)行YB/T2818-2005，石墨塊的理化指標(biāo)見下表。表4.1-3石墨塊理化指標(biāo)一覽表目項(xiàng)單位指標(biāo)要求電阻率不大于pΩm13體積密度不小于g/cm1.53不小于抗壓強(qiáng)度MPa18.5不大于灰分%0.5（3）石墨粉石墨粉主要成分為碳單質(zhì)，質(zhì)軟，黑灰色；有油膩感，可污染紙張。硬度為1～2，沿垂直方向隨雜質(zhì)的增加其硬度可增至3～5。比重為1.9～2.3。在隔絕氧氣條件下，其熔點(diǎn)在3000℃以上，是最耐溫的礦物之一。常溫下石墨粉的化學(xué)性質(zhì)比較穩(wěn)定，不溶于水、稀酸、稀堿和有機(jī)溶劑；材料具有耐高溫導(dǎo)電性能，可做耐火材料，導(dǎo)電材料，耐磨潤滑材料。本項(xiàng)目石墨含量≥99.0%，灰分≤1%。（4）高純硅粉高純硅粉是黑褐色無定形非金屬粉末或硬而有光澤的晶體。本項(xiàng)目高純硅粉執(zhí)行YS/T724-2016，硅粉粒度一般為150pm~600pm(30目~100目)之間。粒度小于150pm、大于600pm的超范圍硅粉應(yīng)不超過總質(zhì)量的20%。表4.1-4高純硅粉規(guī)格及化學(xué)成分表物料粒度（wt）SiFeAlCa硅粉0.3～0.6mm≥99.99%≤0.002%≤0.002%≤0.001%酸不溶物CPB/≤0.001%≤0.001%≤0.001%≤0.002%/（5）天然氣天然氣主要成分烷烴，其中甲烷占絕大多數(shù)，另有少量的乙烷、丙烷和丁烷，此外一般有硫化氫、二氧化碳、氮和水氣和少量一氧化碳及微量的稀有氣體，如氦和氬等；天然氣微溶于水，溶于醇、乙醚，密度為0.7174kg/Nm3，飽和蒸汽壓53.53kPa（-168.8℃）。本項(xiàng)目用氣由園區(qū)供氣管網(wǎng)提供，可滿足項(xiàng)目用氣需求。（6）氟利昂-22項(xiàng)目所用氟利昂學(xué)名：二氟一氯甲烷。R-22作為一種作為當(dāng)今使用最廣泛的中低溫制冷劑，分子式CHF2Cl。本項(xiàng)目氟利昂在封閉純化爐內(nèi)使用，在2000℃的高溫條件下，氟利昂與物料中的金屬鐵、鋁雜質(zhì)生成金屬氟化物，生成的金屬氟化物沸點(diǎn)均在2000℃以下，以氣化形式從材料內(nèi)部蒸發(fā)出來，將材料中的金屬雜質(zhì)減少到0.002%以下從而減少物料中的雜質(zhì)含量。根據(jù)《關(guān)于生產(chǎn)和使用消耗臭氧層物質(zhì)建設(shè)項(xiàng)目管理有關(guān)工作的通知》（環(huán)大氣〔2018〕5號(hào)），“一、禁止新建、擴(kuò)建生產(chǎn)和使用作為制冷劑、發(fā)泡劑、滅火劑、溶劑、清洗劑、加工助劑、氣霧劑、土壤熏蒸劑等受控用途的消耗臭氧層物質(zhì)的建設(shè)項(xiàng)目?！北卷?xiàng)目R-22型氟利昂（二氟一氯甲烷）在封閉純化爐內(nèi)使用不會(huì)進(jìn)入空氣中，不作為“制冷劑、發(fā)泡劑、滅火劑、溶劑、清洗劑、加工助劑、氣霧劑、土壤熏蒸劑”等用途使用，符合使用要求。氟利昂-22采用可重復(fù)使用鋼瓶包裝（需回收包裝鋼瓶），制冷劑R22鋼瓶為帶壓容器，儲(chǔ)存時(shí)應(yīng)遠(yuǎn)離火種、熱源、避免陽光直接曝曬，儲(chǔ)放于陰涼、干燥和通風(fēng)的倉庫內(nèi)；搬運(yùn)時(shí)應(yīng)按要求輕裝、輕卸，防止鋼瓶以及閥門等附件破損。（7）氬氣氬氣是一種無色、無味的惰性氣體，在工藝中作為工藝保護(hù)氣使用，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下，其密度為1.784kg/m3。氬本身無毒，但在高濃度時(shí)有室息作用。當(dāng)空氣中氬氣濃度高于33%時(shí)就有室息的危險(xiǎn)。當(dāng)氬氣濃度超過50%時(shí)，出現(xiàn)嚴(yán)重癥狀，濃度達(dá)到75%以上時(shí)，能在數(shù)分鐘內(nèi)死亡。外購液氬通過低溫槽車運(yùn)進(jìn)本項(xiàng)目站區(qū)低溫儲(chǔ)罐暫存，氣態(tài)充裝。表4.1-6二氟一氯甲烷（氟利昂-22）理化性質(zhì)及危險(xiǎn)特性表（8）酚醛樹脂固體酚醛樹脂為黃色、透明、無定形塊狀物質(zhì)，因含有游離酚而呈微紅色，易溶于醇，不溶于水，對(duì)水、弱酸、弱堿溶液穩(wěn)定。由苯酚和甲醛在催化劑條件下縮聚、經(jīng)中和、水洗而制成的樹脂。因選用催化劑的不同，可分為熱固性和熱朔性兩類。酚醛樹脂具有良好的耐酸性能、力學(xué)性能、耐熱性能，廣泛應(yīng)用于防腐蝕工程、膠粘劑、阻燃材料、砂輪片制造等行業(yè)。本項(xiàng)目使用醇溶性酚醛樹脂。表4.1-7酚醛樹脂理化性質(zhì)及危險(xiǎn)特性表標(biāo)識(shí)中文名:酚醛樹脂危險(xiǎn)貨物編號(hào):32197英義名:phenolicresinUN編:1866/CAS號(hào):52469-00-8理化性質(zhì)外觀與性狀紅棕色透明液體或固體。毒性及健康危害侵入途徑吸入、食入、經(jīng)皮吸收。危險(xiǎn)特性及健康危害易燃，遇明火、高熱能燃燒。受高熱分解放出有毒的氣體。粉體與空氣可形成爆炸性混合物，當(dāng)達(dá)到一定濃度時(shí)，遇火星會(huì)發(fā)生爆炸。接觸加工或使用本品過程中所形成的粉塵，可引起頭痛、嗜睡、周身無力、呼吸道粘膜刺激癥狀、喘息性支氣管炎和皮膚病，還可發(fā)牛腎臟損害。空氣環(huán)境分析發(fā)現(xiàn)苯酚、甲醛和氨在縮聚過程中，可發(fā)生甲醛、酚、一氧化碳中毒。急救方法皮膚接觸，脫去污染的衣著，用肥皂水及清水徹底沖洗；眼睛接觸，立即翻開上下眼臉，立即用流動(dòng)清水徹底沖洗就醫(yī)；吸入，脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處，就醫(yī)；食入，飲足量的溫水，催吐，就醫(yī)。燃燒爆炸危險(xiǎn)性燃燒性易燃燃燒分解物一氧化碳、二氧化碳//引燃溫度(C)420儲(chǔ)運(yùn)條件與泄漏處理儲(chǔ)運(yùn)條件:儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的倉間內(nèi)。遠(yuǎn)離火種、熱源，避免日光直射；與氧化劑隔離儲(chǔ)運(yùn)。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸，防止容器受損。泄漏處理:迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū)，并進(jìn)行隔離，嚴(yán)格限制出入。切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防靜電工作服。若是液體，盡可能切斷泄漏源。防止流入下水道、排洪溝等限制性空間。小量泄漏:用干燥的砂土或類似物質(zhì)吸收。大量泄漏:構(gòu)筑圍堤或挖坑收容。用泡沫覆蓋。降低蒸氣災(zāi)害。用防爆泵轉(zhuǎn)移至槽車或?qū)Ｓ檬占鲀?nèi)?；厥栈蜻\(yùn)至廢物處理場(chǎng)所處置。若是固體。收集于干燥、潔凈、有蓋的容器中。然后在專用廢棄場(chǎng)所深層掩埋。若大量泄漏，收集回收或運(yùn)至廢物處理場(chǎng)所處置。滅火方法用霧狀水、泡沫、二氧化碳、干粉、砂土滅火。工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)分析項(xiàng)目生產(chǎn)工藝包括自制長(zhǎng)晶爐與生產(chǎn)碳化硅晶體兩部分，其中自制長(zhǎng)晶爐自用于晶體生長(zhǎng)工序，不外售。自制長(zhǎng)晶爐工藝及產(chǎn)污環(huán)節(jié)自制長(zhǎng)晶爐包括晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯生產(chǎn)、石墨坩堝生產(chǎn)及組裝長(zhǎng)晶爐。晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯生產(chǎn)工藝碳/碳熱場(chǎng)復(fù)合材料生產(chǎn)過程主要包括：碳纖維增強(qiáng)體制備、預(yù)制體致密化（CVI）、石墨化處理、機(jī)械加工、純化和化學(xué)氣相涂層（CVD）工序，生產(chǎn)工藝流程詳細(xì)敘述如下：（1）通過編織機(jī)械完成碳纖維增強(qiáng)體制備（碳纖維預(yù)制體）碳/碳復(fù)合材料的碳纖維預(yù)制體結(jié)構(gòu)有碳布疊層、短纖維模壓、針刺氈（薄氈疊層、整體氈）、碳布+短纖維以及長(zhǎng)纖維的編織和纏繞等準(zhǔn)三維結(jié)構(gòu)。本項(xiàng)目預(yù)制體采用針刺氈預(yù)制體的制備方法為一層長(zhǎng)纖維無緯布與一層短纖維網(wǎng)胎交替疊層針刺，針刺是用帶倒鉤刺針，將網(wǎng)胎中短纖維帶下，使之成為垂直于網(wǎng)胎和無緯布，并將各纖維層連成一體，對(duì)二維層狀的纖維或無緯布有一定的錨定作用，改善材料的層間剪切強(qiáng)度和熱導(dǎo)率。而且，由于針刺在方向引入了相當(dāng)含量的纖維，增加預(yù)制體中纖維含量或局部的纖維分?jǐn)?shù)，同時(shí)打通了更多的氣體擴(kuò)散通道，使得通往預(yù)制體內(nèi)部的孔隙通道的大小出現(xiàn)差異，導(dǎo)致沉積過程中的閉孔有先有后，這為預(yù)制體內(nèi)部在閉孔前的中后期的沉積提供了導(dǎo)入反應(yīng)氣體的有利通道，可在一定程度上加快沉積速度，減少沉積周期。編織機(jī)械工作過程中會(huì)產(chǎn)生少量的粉塵G1。（2）整形定型將預(yù)制體加入烘箱（采用電加熱），在200-250℃的加熱條件下，將預(yù)制體進(jìn)行整形定型處理。在加熱條件下，炭纖維表面存在的軟化劑（樹脂）將全部分解生成有機(jī)廢氣。炭纖維表面存在的軟化劑（樹脂含量為1%）將全部分解生成有機(jī)廢氣。整形定型過程中會(huì)產(chǎn)生少量廢氣G2，主要為非甲烷總烴。（3）預(yù)制體致密化（CVI），一次增密預(yù)制體的致密化，以天然氣作為預(yù)制體的致密化碳源，以烴類氣體為前驅(qū)體，在碳纖維多孔預(yù)制體內(nèi)部的孔隙中或氣固界面上，在一定的化學(xué)動(dòng)力學(xué)和熱力學(xué)條件下，通過一系列的脫氫等化學(xué)過程，生成氫氣通過擴(kuò)散，被排出到預(yù)制體的外面，而反應(yīng)物則在一定的動(dòng)力學(xué)因素作用下，不斷地進(jìn)入預(yù)制體內(nèi)部，生成的碳原子則在碳纖維的表面不斷地堆積形成熱解碳，隨著熱解碳的不斷沉積或滲透，多孔的預(yù)制體獲得了增密。天然氣在沉積爐內(nèi)停留2-3s，該工段內(nèi)天然氣熱解率約為50%?；瘜W(xué)氣相沉積致密化處理：化學(xué)氣相沉積致密化處理：1000℃~1100℃CH4C+2H2致密化過程：真空狀態(tài)（或氮?dú)獗Ｗo(hù)狀態(tài)下）碳源氣體由大型沉積爐爐底的進(jìn)氣口流入，而后由下至上流經(jīng)工裝組合形成的管狀氣體通道，最后由爐頂?shù)某鰵饪谂懦?。工裝組合件被置于等溫CVI爐（化學(xué)氣相沉積爐）的爐膽中，加熱至1000℃，爐溫均勻性為+-10℃。溫度測(cè)量點(diǎn)位于工裝形成的管狀氣流通道內(nèi)，上下各有一測(cè)試點(diǎn)，為溫度控制點(diǎn)。氣體流量控制采用氣體質(zhì)量流量計(jì)，通過真空泵前端的蝶閥對(duì)爐壓經(jīng)行控制。整個(gè)CVI過程可以分步表述如下：①反應(yīng)氣體進(jìn)入反應(yīng)室；②反應(yīng)氣體進(jìn)入預(yù)制纖維多孔體；③反應(yīng)氣體分子吸附在纖維表面；④吸附分子熱解成炭；⑤氣相副產(chǎn)物分子脫附并排出多孔體，氣相副產(chǎn)物排出反應(yīng)室。工藝的這五個(gè)步驟運(yùn)行中是同步進(jìn)行的，致密化工藝的優(yōu)點(diǎn)是工藝簡(jiǎn)單、基體性能好、增密的程度便于精確控制、制備的復(fù)合材料的綜合性能要好于液相浸漬法，通過改變工藝參數(shù)，還可以得到不同結(jié)構(gòu)、不同性能的復(fù)合材料，且可與其他致密化工藝一起使用。預(yù)制體一次增密過程中會(huì)產(chǎn)生少量廢氣G3，主要成分為氮?dú)?、天然氣（甲烷）和氫氣；?）高溫處理（高溫爐，一次高溫處理）將完成沉積后的工件放入爐內(nèi)進(jìn)行高溫處理，在爐內(nèi)通入氬氣作保護(hù)氣體，完成高溫處理過程。高溫處理過程主要是在一定溫度下對(duì)亂層結(jié)構(gòu)碳原子進(jìn)行有序重排，其目的在于優(yōu)化產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)性能，提高材料的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度和力學(xué)性能。通過高溫處理，完成高溫處理過程。程序運(yùn)行完畢后產(chǎn)品可隨爐冷卻，300℃以下時(shí)出爐。高溫處理溫度和保溫時(shí)間一般根據(jù)具體工藝進(jìn)行設(shè)定，具體如下：溫度控制操控時(shí)長(zhǎng)工序條件室溫—1000℃2—4小時(shí)抽真空＜2kPa1000℃—1800℃2—4小時(shí)抽真空＜2kPa1800℃保溫1h充氬氣到微正壓1800℃—2300℃2—4小時(shí)微正壓2300℃2—3小時(shí)微正壓高溫處理過程中會(huì)產(chǎn)生的廢氣為氬氣（不以污染物計(jì)）G4。（5）機(jī)械加工通過數(shù)控車床將產(chǎn)品進(jìn)行切削加工，使產(chǎn)品形狀、尺寸接近最終產(chǎn)品。機(jī)械加工過程中會(huì)產(chǎn)生少量固廢S1，主要成分為碳渣；產(chǎn)生少量粉塵G5和噪聲N1。（6）浸漬工段將經(jīng)過化學(xué)氣相沉積密度達(dá)到1.25g/cm3的預(yù)制坩堝坯體置于浸漬爐中，在真空下用醇溶性樹脂浸漬，再充氬氣加壓使樹脂浸透預(yù)制坯體。浸漬壓力逐漸增加至3~5MPa，首次浸漬壓力不易過高，以免纖維織物變形受損。浸漬樹脂后的樣品放入碳化爐中，在氬氣的保護(hù)下進(jìn)行碳化，在碳化過程中樹脂熱解形成碳?xì)埩粑?，發(fā)生質(zhì)量損失和變形，同時(shí)在樣品中留下空隙。故此需要重新進(jìn)行樹脂浸漬和碳化，以減少空隙達(dá)到致密化的要求。浸漬過程中有少量有機(jī)廢氣揮發(fā)本項(xiàng)目以非甲烷總烴計(jì)，廢氣G6，主要成分為氬氣、非甲烷總烴。（7）碳化工段將浸漬后的坩堝放置于碳化爐中，真空下，以氬氣為保護(hù)氣體，升溫至600℃以上，約在900℃左右，酚醛樹脂熱解后使碳?xì)埩粲谯釄逯小７尤渲谑軣徇^程中，其分子結(jié)構(gòu)變化主要分為兩個(gè)溫度段，首先是在250℃以前，即酚醛樹脂的固化過程；其次是在250-800℃之間，即酚醛樹脂的受熱分解過程，在這一過程中酚醛樹脂大分子發(fā)生斷鍵，釋放出小分子氣體，最終殘留下熱解碳，亦稱為酚醛樹脂的炭化過程。由于酚醛樹脂分子中含有大量的芳香環(huán)，其殘?zhí)悸矢哂谄渌叻肿泳酆衔?，一般?5～65%。本項(xiàng)目在真空下，以氬氣為保護(hù)氣體，高溫分解時(shí)碳?xì)埩袈蕿?0%。酚醛樹脂熱分解產(chǎn)生的氣體有H2、水蒸汽、CO、CO2、乙烷、苯酚、烷基酚、烷基苯等。根據(jù)《酚醛樹脂熱解產(chǎn)物的激波管研究》（中國科學(xué)院力學(xué)研究所，閆衛(wèi)鋒、王蘇、李帥輝等）研究結(jié)果可知，1000K-2000K高溫范圍時(shí)的熱解產(chǎn)物氣體中H2、CO2、CO、水四種物質(zhì)的質(zhì)量占比為5%左右，其余氣體以非甲烷總烴計(jì)。本工段生產(chǎn)過程中會(huì)產(chǎn)生廢氣G7，主要成分為氬氣、非甲烷總烴以及H2、CO2、CO、水分等氣體。（8）石墨化處理在高溫爐內(nèi)完成，在爐內(nèi)通入氬氣作保護(hù)氣體。通過高溫處理，完成石墨化過程。石墨化溫度和保溫時(shí)間一般根據(jù)具體工藝進(jìn)行設(shè)定，例如：室溫—1000℃2—4小時(shí)抽真空＜2kPa1000℃—1800℃2—4小時(shí)抽真空＜2kPa1800℃保溫1hr充氬氣到微正壓1800℃—2300℃2—4小時(shí)微正壓2300℃2—3小時(shí)微正壓程序運(yùn)行完畢后樣品可隨爐冷卻，300℃以下時(shí)出爐。石墨化過程中會(huì)產(chǎn)生少量氬氣G8。（9）純化將長(zhǎng)晶爐爐襯放在純化爐里進(jìn)行純化，純化采用電加熱，純化工序通入氟利昂-22，以用來帶出材料里面的雜質(zhì)。項(xiàng)目材料中的主要雜質(zhì)為Fe、Al等，以氧化物的形式存在，雜質(zhì)的總含量約0.04%~0.06%。在2000℃的高溫條件下，氟利昂氣體發(fā)生熱分解產(chǎn)生的氟元素與材料中的金屬雜質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成金屬氟化物。生成的金屬氟化物沸點(diǎn)在2000℃以下，所以會(huì)氣化并從材料內(nèi)部蒸發(fā)出來，將材料中的金屬雜質(zhì)減少到0.002%以下。純化工序7天為一個(gè)周期，純化爐周期內(nèi)工作狀態(tài)為升溫24小時(shí)，純化24小時(shí)，純化時(shí)排出氣體以去除雜質(zhì)，降溫120小時(shí)，純化爐年工作時(shí)間為300天）。純化過程中會(huì)產(chǎn)生的廢氣G9，主要成分為氟化物；產(chǎn)生少量純化爐爐渣S2，主要成分為金屬氟化物。（10）化學(xué)氣相涂層（氣相沉積爐CVD）CVD是氣體在空間中發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并在基體表面生產(chǎn)固體物質(zhì)的過程，如同其他固相反應(yīng)一樣，CVD也包括均氣相化學(xué)反應(yīng)、氣體組分向固體表面的擴(kuò)散、氣體分子等在固體表面的吸附、表面反應(yīng)和表面的脫附以及向氣相主體擴(kuò)散等幾個(gè)步驟。此工序在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)完成，通過控制爐體溫度（1100℃左右）、流量（根據(jù)涂層厚度調(diào)整流量和時(shí)間），真空下，以氮?dú)鉃楸Ｗo(hù)氣體，使碳源氣體（天然氣）發(fā)生熱解反應(yīng)，使得加熱器表面涂上一定厚度的沉積炭，從而提高產(chǎn)品的抗氣體沖刷腐蝕能力，天然氣在沉積爐內(nèi)停留2-3s，該工段內(nèi)天然氣熱解率約為50%。本工段會(huì)產(chǎn)生少量廢氣G10，主要成分為氮?dú)?、天然氣（甲烷）和氫氣。圖4.3-1晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯工藝流程及產(chǎn)排污節(jié)點(diǎn)圖石墨坩堝生產(chǎn)及組裝長(zhǎng)晶爐生產(chǎn)工藝（1）石墨坩堝機(jī)械加工將外購的石墨塊根據(jù)生產(chǎn)要求，使用數(shù)控車床、加工中心等機(jī)械設(shè)備加工成坩堝毛坯件。機(jī)械加工過程中會(huì)產(chǎn)生少量粉塵G11；產(chǎn)生少量固廢S3，主要成分為石墨渣。噪聲N3。（2）純化及組裝長(zhǎng)晶爐將石墨坩堝放置在純化爐里進(jìn)行純化（純化爐采用電加熱，溫度為2000℃。純化工序通入氟利昂-22，氟利昂氣體發(fā)生熱分解產(chǎn)生的氟元素與材料中的金屬雜質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成金屬氟化物和金屬氯化物。純化工序7天為一個(gè)周期，純化爐周期內(nèi)工作狀態(tài)為升溫24小時(shí)，純化24小時(shí)，純化時(shí)排出氣體以去除雜質(zhì)，降溫120小時(shí)，純化爐年工作時(shí)間為300天）。純化過程中會(huì)產(chǎn)生的廢氣G12，主要成分為氟化物；產(chǎn)生少量純化爐爐渣S4，主要成分為金屬氟化物。純化完成將將長(zhǎng)晶爐爐襯（碳/碳復(fù)合材料，即碳?xì)郑┖褪釄褰M裝后即為長(zhǎng)晶爐。圖4.3-2自制長(zhǎng)晶爐生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)排污節(jié)點(diǎn)圖碳化硅晶體工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)碳化硅晶體生產(chǎn)工藝流程簡(jiǎn)述將外購的石墨粉使用純化爐進(jìn)行純化（純化爐采用電加熱，溫度為2000℃。純化工序通入氟利昂，氟利昂氣體發(fā)生熱分解產(chǎn)生的氟元素與材料中的金屬雜質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成金屬氟化物和金屬氯化物，純化工序7天為一個(gè)周期，純化爐周期內(nèi)工作狀態(tài)為升溫24小時(shí)，純化24小時(shí)，純化時(shí)排出金屬氟化物和金屬氯化物氣體，降溫120小時(shí)，純化爐年工作時(shí)間為300天）。石墨粉投料時(shí)產(chǎn)生粉塵G13，純化過程中會(huì)產(chǎn)生的廢氣G14，主要成分為氟化物；產(chǎn)生少量純化爐爐渣S5，主要成分為金屬氟化物。純化后的高純碳粉和外購的高純硅粉在合成爐中進(jìn)行燒結(jié)（燒結(jié)溫度為2400℃，燒結(jié)工序7天為一個(gè)周期，年工作150天，燒結(jié)過程中不排氣）得到高純碳化硅粉。將高純碳化硅粉放置到自制的長(zhǎng)晶爐里采用PVT法進(jìn)行長(zhǎng)晶，得到碳化硅晶體。SiC晶體升華法（PVT）生長(zhǎng)過程中，主要包括籽晶粘接、晶體生長(zhǎng)和退火。主要過程如下：晶體生長(zhǎng)（升華）：將碳化硅籽晶（自制長(zhǎng)晶爐切一部分成需要的大?。┲糜谑釄鍍?nèi)壁的上端，為生長(zhǎng)面，碳化硅粉料放置于石墨坩堝的底部，之后將石墨坩堝放入感應(yīng)加熱的單晶爐中，坩堝外部包裹石墨氈進(jìn)行保溫處理，利用真空泵對(duì)爐內(nèi)進(jìn)行抽真空處理，然后向爐內(nèi)通入氬氣作為保護(hù)氣。裝爐完成后開始升溫加熱，加熱采用感應(yīng)加熱，加熱溫度為2400℃。真空爐內(nèi)碳化硅晶體生長(zhǎng)結(jié)束后停止加熱，并將惰性氣體氬氣全部排出，待爐內(nèi)溫度降低至室溫后，打開真空爐取出坩堝，先將晶體后的石墨環(huán)敲開，再用刀翹碳化硅晶體，即可取下坩堝蓋上生長(zhǎng)完的晶體，生長(zhǎng)完的晶體呈圓形燒餅狀。退火及冷卻：晶體在生長(zhǎng)過程中會(huì)產(chǎn)生應(yīng)力，為消除應(yīng)力將晶體再次加熱進(jìn)行退火處理；退火完畢在爐內(nèi)自然冷卻。在單晶生長(zhǎng)工序中，晶體生長(zhǎng)晶爐運(yùn)行期間密封，在出爐時(shí)產(chǎn)生少量氣體。高純硅粉投料時(shí)產(chǎn)生粉塵G15；出爐時(shí)將晶體生長(zhǎng)過程產(chǎn)生的廢氣G16帶出，主要成分為氬氣、非甲烷總烴以及H2、CO2、CO、水分等氣體；長(zhǎng)晶過程中產(chǎn)生固廢S6，主要成分為碳渣，另外產(chǎn)生廢石墨坩堝和廢碳?xì)諷7。圖4.3-4碳化硅晶體生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)排污節(jié)點(diǎn)圖碳化硅晶體原理物理氣相沉積法生長(zhǎng)SiC晶體原理見下圖。圖4.3-5物理氣相沉積法生長(zhǎng)SiC晶體原理SiC晶體升華法又稱為物理氣相傳輸技術(shù)（physicalvaportransport，PVT），長(zhǎng)晶爐中石墨坩堝置于感應(yīng)線圈的中心，其位置可上下移動(dòng)，碳化硅籽晶（自制長(zhǎng)晶爐切一部分成需要的大小）置于石墨坩堝內(nèi)壁的上端，為生長(zhǎng)面。碳化硅粉料放置于石墨坩堝的底部，石墨坩堝置于爐襯中間。長(zhǎng)晶爐中間通恒溫的循環(huán)冷卻水，通過分子泵和機(jī)械泵工作，生長(zhǎng)室真空度可達(dá)到1MPa。測(cè)溫系統(tǒng)由分別置于設(shè)備上下兩端的紅外高溫探測(cè)儀組成，整個(gè)設(shè)備與計(jì)算機(jī)連接，對(duì)生長(zhǎng)溫度和壓力進(jìn)行實(shí)時(shí)地精確控制，保障碳化硅單晶生長(zhǎng)的穩(wěn)定性和重復(fù)性。PVT法的基本生長(zhǎng)過程包括原料的分解升華、質(zhì)量運(yùn)輸和籽晶表面結(jié)晶三個(gè)過程。（1）原料的分解升華：固態(tài)SiC粉末首先會(huì)分解升華成幾種不同的氣相組分，其中主要的氣態(tài)成分為Si、SiC、Si2C、SiC2，另外還會(huì)有少量的C、C2、Si2、Si3、Si2C3等，因含量較少可以忽略不計(jì)。在高溫下坩堝內(nèi)SiC粉料主要發(fā)生的分解反應(yīng)有：SiC(s)Si(g)C(s)2SiC(s)Si2C(g)C(s)2SiC(s)SiC2(g)Si(l,g)SiC(s)SiC(g)石墨坩堝中的C可以與Si蒸汽發(fā)生反應(yīng)，繼續(xù)生成SiC2和Si2C，最后分解而形成的各種氣相組分在溫度梯度驅(qū)動(dòng)下在位于冷端的生長(zhǎng)界面上發(fā)生結(jié)晶過程。（2）質(zhì)量運(yùn)輸和籽晶表面結(jié)晶：待爐內(nèi)溫度達(dá)到工藝要求后（至2400℃）啟動(dòng)真空泵進(jìn)行排氣，將爐內(nèi)部分氬氣排出，控制爐內(nèi)壓力達(dá)到2500Pa，此時(shí)爐內(nèi)晶體開始生長(zhǎng)，保持生長(zhǎng)狀態(tài)100-150小時(shí)。由于降溫且石墨坩堝蓋溫度較低，受溫度梯度的影響，分解而成的各種氣相組分在坩堝蓋處發(fā)生結(jié)晶過程，具體可表示為：Si(g)SiC2(g)2SiC(s)Si2C(g)SiC2(g)3SiC(s)該工序在排氣過程中會(huì)排出充入的惰性氣體Ar，氬氣充入的位置是在坩堝外和真空爐內(nèi)的隔層，抽出氬氣并不會(huì)附帶抽碳化硅氣相組分，不含其他大氣污染物。物料平衡分析晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯物料平衡根據(jù)建設(shè)單位提供設(shè)計(jì)資料，結(jié)合建設(shè)單位在青島公司的實(shí)際運(yùn)行數(shù)據(jù)（青島渤海半導(dǎo)體有限公司6英寸碳化硅晶圓產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目），給出本項(xiàng)目的物料平衡。晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯生產(chǎn)過程物料平衡見下圖。圖4.4-1晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)襯生產(chǎn)過程物料平衡圖石墨坩堝生產(chǎn)及組裝長(zhǎng)晶爐物料平衡石墨坩堝生產(chǎn)及組裝長(zhǎng)晶爐物料平衡見圖4.4-2。圖4.4-2石墨坩堝及組裝長(zhǎng)晶爐物料平衡圖碳化硅晶體生產(chǎn)物料平衡碳化硅晶體生產(chǎn)物料平衡見圖4.4-3。圖4.4-3碳化硅晶體生產(chǎn)物料平衡圖工程污染源分析根據(jù)《國民經(jīng)濟(jì)行業(yè)分類》（GB/T4754—2017），本項(xiàng)目自制長(zhǎng)晶爐內(nèi)襯行業(yè)類型屬于C3091石墨及碳素制品制造中碳/碳復(fù)合材料(用于航空制動(dòng)、高溫爐)，《排污許可證申請(qǐng)與核發(fā)技術(shù)規(guī)范石墨及其他非金屬礦物制品制造》（HJ1119—2020），未列出碳/碳復(fù)合材料具體要求。6英寸碳化硅晶體屬于C3985電子專用材料制造中半導(dǎo)體材料制造，《排污許可證申請(qǐng)與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》（HJ1031—2019）未列出半導(dǎo)體材料制造行業(yè)要求。因此本項(xiàng)目自制長(zhǎng)晶爐內(nèi)襯、6英寸碳化硅晶體生產(chǎn)排放的大氣污染物、水污染物和國家規(guī)定的有毒有害污染物及其他產(chǎn)污設(shè)施和排放口，參照《排污許可證申請(qǐng)與核發(fā)技術(shù)規(guī)范總則》（HJ942—2018）執(zhí)行。廢氣項(xiàng)目運(yùn)營期產(chǎn)生廢氣的節(jié)點(diǎn)主要包括：編織工段粉塵G1；整形定型廢氣G2，主要為非甲烷總烴；預(yù)制體一次增密廢氣G3，主要成分為氮?dú)?、天然氣（甲烷）和氫氣；高溫處理過程廢氣G4，為氬氣；機(jī)械加工粉塵G5；浸漬廢氣G6，主要成分為氬氣、非甲烷總烴；碳化工段廢氣G7，主要成分為氬氣、非甲烷總烴以及H2、CO2、CO、水分等氣體；石墨化處理工段廢氣G8，為氬氣；長(zhǎng)晶爐爐襯純化廢氣G9，主要成分為氟化物；化學(xué)氣相涂層工段廢氣G10，主要成分為氮?dú)?、天然氣（甲烷）和氫氣；石墨機(jī)械加工粉塵G11；石墨坩堝純化廢氣G12，主要成分為氟化物；石墨粉投料粉塵G13；石墨粉純化廢氣G14，主要成分為氟化物；高純硅粉投料粉塵G15；晶體生長(zhǎng)廢氣G16，主要成分為氬氣、非甲烷總烴以及H2、CO2、CO、水分等氣體。（1）編織工段粉塵G1、機(jī)械加工粉塵G5和石墨機(jī)械加工粉塵G11根據(jù)建設(shè)單位提供設(shè)計(jì)資料和物料平衡分析，碳/碳復(fù)合材料編織過程中產(chǎn)生的粉塵G1以物料的千分之一計(jì)，產(chǎn)生量為0.25t/a（0.03kg/h）。根據(jù)建設(shè)單位提供設(shè)計(jì)資料，機(jī)械加工工段產(chǎn)生的粉塵G5，以物料的百分之一計(jì)，產(chǎn)生量為5.53t/a（0.77kg/h）。根據(jù)建設(shè)單位提供設(shè)計(jì)資料，石墨塊機(jī)械加工過程中產(chǎn)生的粉塵G11以物料的百分之一計(jì)，產(chǎn)生量為5t/a（0.69kg/h）。以上粉塵均經(jīng)集氣罩捕集（捕集率90%）后，采用脈沖式布袋除塵器處理（處理效率99%），處理后由1根18m高排氣筒（編號(hào)：DA001）排放，風(fēng)機(jī)風(fēng)量為4000m3/h。編織過程中產(chǎn)生的G1有組織粉塵的產(chǎn)生速率為0.03kg/h，產(chǎn)生濃度為7.50mg/m3。碳/碳復(fù)合材料機(jī)械加工工段產(chǎn)生的G5有組織粉塵的產(chǎn)生速率為0.77kg/h，產(chǎn)生濃度分別為192.50mg/m3。石墨塊機(jī)械加工工段產(chǎn)生的G11有組織粉塵的產(chǎn)生速率為0.69kg/h，產(chǎn)生濃度為172.50mg/m3。均由集氣罩捕集經(jīng)脈沖式布袋除塵器處理后，排氣筒（編號(hào)：DA001）有組織粉塵的排放速率為0.013kg/h，排放濃度為3.35mg/m3。G1、G5、G11無組織粉塵的產(chǎn)生量分別為0.03t/a（0.003kg/h）、0.55t/a（0.08kg/h）、0.50t/a（0.07kg/h），合計(jì)1.08t/a（0.153kg/h），經(jīng)封閉車間自然沉降，排放量合計(jì)0.108t/a（0.015kg/h）（2）整形定型廢氣G2、浸漬廢氣G6、碳化工段廢氣G7和晶體生長(zhǎng)廢氣G16；①整形定型廢氣G2產(chǎn)生量：根據(jù)建設(shè)單位提供設(shè)計(jì)資料和物料平衡分析，整形定型產(chǎn)生的廢氣G2，主要為非甲烷總烴。整形定型工段炭纖維表面存在的軟化劑（樹脂）含量為1%，將全部分解生成有機(jī)廢氣，炭纖維量為249.75t/a，G2非甲烷總烴產(chǎn)生量為2.50t/a（0.35kg/h）。②浸漬廢氣G6產(chǎn)生量：工程浸漬工段采用酚醛樹脂作為原料，根據(jù)建設(shè)單位提供設(shè)計(jì)資料和物料平衡分析，浸漬過程約有0.3%游離酚、游離醛揮發(fā)，樹脂用量為90.27t/a，G6非甲烷總烴的產(chǎn)生量為0.27t/a（0.04kg/h），氬氣產(chǎn)生量為114.97t/a（15.97kg/h）。氬氣不以污染物計(jì)。③碳化工段廢氣G7產(chǎn)生量：酚醛樹脂在受熱過程中，其分子結(jié)構(gòu)變化主要分為兩個(gè)溫度段，首先是在250℃以前，即酚醛樹脂的固化過程；其次是在250-800℃之間，即酚醛樹脂的受熱分解過程，在這一過程中酚醛樹脂大分子發(fā)生斷鍵，釋放出小分子氣體，最終殘留下熱解碳，亦稱為酚醛樹脂的炭化過程。由于酚醛樹脂分子中含有大量的芳香環(huán)，其殘?zhí)悸矢哂谄渌叻肿泳酆衔?，一般?5～65%。根據(jù)建設(shè)單位提供設(shè)計(jì)資料和物料平衡分析，本項(xiàng)目在真空下，以氬氣為保護(hù)氣體，高溫分解時(shí)碳?xì)埩袈蕿?0%。酚醛樹脂熱分解產(chǎn)生的氣體有H2、水蒸汽、CO、CO2、乙烷、苯酚、烷基酚、烷基苯等。根據(jù)《酚醛樹脂熱解產(chǎn)物的激波管研究》（中國科學(xué)院力學(xué)研究所，閆衛(wèi)鋒、王蘇、李帥輝等）研究結(jié)果可知，1000K-2000K高溫范圍時(shí)的熱解產(chǎn)物氣體中H2、CO2、CO、水四種物質(zhì)的質(zhì)量占比為5%左右，其余氣體以非甲烷總烴計(jì)。本項(xiàng)目碳化工段酚醛樹脂添加量90.27t/a，其中0.3%游離酚、游離醛揮發(fā)后為90t/a，G7非甲烷總烴的產(chǎn)生量為34.20t/a（4.75kg/h），氬氣產(chǎn)生量為229.39t/a（31.86kg/h）。H2、H2O、CO、CO2混合氣體產(chǎn)生量為1.8t/a（0.25kg/h），其中CO占比約30%為0.54t/a（0.075kg/h）。氬氣、H2、H2O、CO2均不以污染物計(jì)。④晶體生長(zhǎng)廢氣G16產(chǎn)生量：項(xiàng)目籽晶生長(zhǎng)過程使用酚醛樹脂，酚醛樹脂熱分解溫度一般為≥250℃，在真空條件下，以氬氣為保護(hù)氣體，高溫分解時(shí)碳?xì)埩袈蕿?0%。根據(jù)《酚醛樹脂熱解產(chǎn)物的激波管研究》（中國科學(xué)院力學(xué)研究所，閆衛(wèi)鋒、王蘇、李帥輝等）研究結(jié)果可知，1000K-2000K高溫范圍時(shí)的熱解產(chǎn)物氣體中H2、CO2、CO、水四種物質(zhì)的質(zhì)量占比為5%左右，其余氣體以非甲烷總烴計(jì)。本項(xiàng)目晶籽粘結(jié)用酚醛樹脂使用量為25kg/a，G16非甲烷總烴的產(chǎn)生量為0.0095t/a（0.001kg/h），氬氣產(chǎn)生量為183t/a（25.42kg/h），H2、H2O、CO、CO2混合氣體產(chǎn)生量為0.0005t/a（0.00007kg/h），其中CO占比約30%為0.00015t/a（0.00002kg/h）。氬氣、H2、H2O、CO2均不以污染物計(jì)。以上有機(jī)廢氣經(jīng)設(shè)備管道送至1套蓄熱式熱力燃燒裝置處理（處理效率95%），處理廢氣由1根18m高排氣筒（DA002）排放，風(fēng)機(jī)風(fēng)量為50000m3/h。整形定型廢氣G2非甲烷總烴產(chǎn)生速率為0.35kg/h，產(chǎn)生濃度為7mg/m3。浸漬廢氣G6非甲烷總烴產(chǎn)生速率為0.04kg/h，產(chǎn)生濃度為0.8mg/m3。碳化工段廢氣G7非甲烷總烴產(chǎn)生速率為4.75kg/h，產(chǎn)生濃度為95mg/m3。CO產(chǎn)生速率為0.075kg/h，產(chǎn)生濃度為1.5mg/m3。晶體生長(zhǎng)廢氣G16非甲烷總烴產(chǎn)生速率為0.001kg/h，產(chǎn)生濃度為0.02mg/m3，CO產(chǎn)生速率為0.00002kg/h，產(chǎn)生濃度為0.0004mg/m3。均由設(shè)備管道送至1套蓄熱式熱力燃燒裝置處理后，排氣筒（編號(hào)：DA002）有組織非甲烷總烴排放速率為0.26kg/h，排放濃度為5.14mg/m3，有組織CO排放速率為0.004kg/h，排放濃度為0.075mg/m3。（3）長(zhǎng)晶爐爐襯純化廢氣G9、石墨坩堝純化廢氣G12和石墨粉純化廢氣G14；純化采用電加熱，純化工序通入氟利昂-22，以用來帶出材料里面的雜質(zhì)。項(xiàng)目材料中的主要雜質(zhì)為Fe、Al等，以氧化物的形式存在，雜質(zhì)的總含量約0.04%~0.06%。在2000℃的高溫條件下，氟利昂氣體發(fā)生熱分解產(chǎn)生的氟元素與材料中的金屬雜質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成金屬氟化物。生成的金屬氟化物沸點(diǎn)在2000℃以下，所以會(huì)氣化并從材料內(nèi)部蒸發(fā)出來，將材料中的金屬雜質(zhì)減少到0.002%以下。長(zhǎng)晶爐爐襯純化廢氣G9產(chǎn)生量：根據(jù)建設(shè)單位提供設(shè)計(jì)資料和物料平衡分析，長(zhǎng)晶爐爐襯生產(chǎn)純化工段原材料使用量為249.75t/a，按雜質(zhì)的總含量0.05%提純后金屬雜質(zhì)減少到0.002%以下計(jì)算，提純雜質(zhì)為0.12t/a，氟利昂-22使用量為0.312t/a，長(zhǎng)晶爐爐襯純化廢氣G9氟化物產(chǎn)生量為0.086t/a（0.012kg/h）。石墨坩堝純化廢氣G12產(chǎn)生量：根據(jù)建設(shè)單位提供設(shè)計(jì)資料和物料平衡分析，石墨坩堝純化工段原材料使用量為485t/a，按雜質(zhì)的總含量0.05%提純后金屬雜質(zhì)減少到0.002%以下計(jì)算，提純雜質(zhì)為0.23t/a，氟利昂-22使用量為0.605t/a，長(zhǎng)晶爐爐襯純化廢氣G12氟化物產(chǎn)生量為0.168t/a（0.023kg/h）。石墨粉純化廢氣G14產(chǎn)生量：根據(jù)建設(shè)單位提供設(shè)計(jì)資料和物料平衡分析，石墨粉純化工段原材料使用量為40t/a，按雜質(zhì)的總含量0.05%提純后金屬雜質(zhì)減少到0.002%以下計(jì)算，提純雜質(zhì)為0.02t/a，氟利昂-22使用量為0.050t/a，長(zhǎng)晶爐爐襯純化廢氣G14氟化物產(chǎn)生量為0.014t/a（0.002kg/h）。項(xiàng)目純化廢氣均經(jīng)管道收集，送至1套堿液噴淋塔處理（Ca（OH）2和NaOH混合溶液，處理效率92.5%），處理廢氣通過一根18m高排氣筒排放（編號(hào)：DA003），風(fēng)機(jī)風(fēng)量為3000m3/h。長(zhǎng)晶爐爐襯純化廢氣G9氟化物產(chǎn)生速率為0.012kg/h，產(chǎn)生濃度為4mg/m3。石墨坩堝純化廢氣G12氟化物產(chǎn)生速率為0.023kg/h，產(chǎn)生濃度為7.67mg/m3。石墨粉純化廢氣G14氟化物產(chǎn)生速率為0.002kg/h，產(chǎn)生濃度為0.67mg/m3。氟化物均由設(shè)備管道送至1套堿液噴淋塔處理后，排氣筒（編號(hào)：DA003）有組織氟化物排放速率為0.0019kg/h，排放濃度為0.62mg/m3。（4）石墨粉投料粉塵G13和高純硅粉投料粉塵G15；石墨粉投料粉塵G13產(chǎn)生量：本項(xiàng)目石墨屬于粉狀物料，根據(jù)產(chǎn)塵特點(diǎn)參照水泥粉狀物料下料產(chǎn)污系數(shù)0.13kg/t（原料），石墨粉投料量為40t/a，年投料時(shí)間900h，石墨粉投料粉塵G13產(chǎn)生量為0.005t/a（0.006kg/h）。高純硅粉投料粉塵G15產(chǎn)生量：高純硅粉屬于粉狀物料，根據(jù)產(chǎn)塵特點(diǎn)參照水泥粉狀物料下料產(chǎn)污系數(shù)0.13kg/t（原料），高純硅粉投料量為93.333t/a，年投料時(shí)間900h，石墨粉投料粉塵G13產(chǎn)生量為0.012t/a（0.013kg/h）。項(xiàng)目粉料投料環(huán)節(jié)均設(shè)置在密閉箱體中投料（將原料整包放入密閉手套箱，然后再進(jìn)行拆包裝、投料），在密閉手套箱設(shè)置集氣管道，廢氣經(jīng)集氣管道收集并通過布袋除塵器處理（處理效率99%），該布袋除塵器設(shè)置在封閉車間內(nèi)不設(shè)置排氣筒，布袋除塵器出氣口粉塵排放量為0.0002t/a（0.0002kg/h），該粉塵在封閉車間內(nèi)自然沉降。（5）預(yù)制體一次增密廢氣G3和化學(xué)氣相涂層工段廢氣G10預(yù)制體一次增密廢氣G3和化學(xué)氣相涂層工段廢氣G10主要成分相同，均為氮?dú)狻⑻烊粴猓淄椋┖蜌錃?。根?jù)建設(shè)單位提供設(shè)計(jì)資料和物料平衡分析，預(yù)制體一次增密廢氣G3氮?dú)猱a(chǎn)生量為482.13t/a（66.96kg/h），天然氣（甲烷）產(chǎn)生量為407.49t/a（56.60kg/h），氫氣產(chǎn)生量為101.87t/a（14.15kg/h）；廢氣G10氮?dú)猱a(chǎn)生量為482.13t/a（66.96kg/h），天然氣（甲烷）產(chǎn)生量為100.25t/a（13.92kg/h），氫氣產(chǎn)生量為25.06t/a（3.48kg/h）。預(yù)制體一次增密廢氣G3和化學(xué)氣相涂層工段廢氣G10中均含有天然氣（甲烷）、氫氣等可燃?xì)怏w，該氣體可作為蓄熱式熱力燃燒裝置的助燃補(bǔ)充燃料，經(jīng)設(shè)備管道送至蓄熱式熱力燃燒室燃燒處理，從而節(jié)約蓄熱式熱力燃燒裝置燃料使用量。其中，天然氣（甲烷）產(chǎn)生量合計(jì)507.74t/a（70.52kg/h），氫氣產(chǎn)生量合計(jì)126.93t/a（17.63kg/h）。燃燒廢氣經(jīng)18m高排氣筒（DA002）排放。蓄熱式熱力燃燒裝置采用天然氣助燃，根據(jù)蓄熱式熱力燃燒裝置設(shè)備廠家出具的方案，天然氣用量50m3/h（258.26t/a，0.7174kg/m3），本項(xiàng)目產(chǎn)生天然氣（甲烷）507.74t/a（70.78萬m3/a），足夠提供RTO燃燒裝置燃料消耗。RTO燃燒裝置每天運(yùn)行24h，年工作300d。天然氣燃燒過程中產(chǎn)生煙塵、SO2、NOx。顆粒物、NOx：根據(jù)《第二次全國污染源普查系數(shù)手冊(cè)》中4430工業(yè)鍋爐（熱力生產(chǎn)和供應(yīng)行業(yè)）行業(yè)系數(shù)手冊(cè)，每燃燒1萬m3天然氣，產(chǎn)污系數(shù)為NOx6.97kg（低氮燃燒技術(shù)——國內(nèi)領(lǐng)先）。根據(jù)《環(huán)境保護(hù)實(shí)用數(shù)據(jù)手冊(cè)》中統(tǒng)計(jì)，燃燒1萬m3燃料氣排放的煙塵為2.4kg。則RTO燃燒裝置煙塵產(chǎn)生量0.17t/a，產(chǎn)生速率為0.024kg/h；NOx產(chǎn)生量為0.49t/a，產(chǎn)生速率為0.069kg/h。SO2：根據(jù)《第二次全國污染源普查系數(shù)手冊(cè)》中4430工業(yè)鍋爐（熱力生產(chǎn)和供應(yīng)行業(yè)）行業(yè)系數(shù)手冊(cè)，每燃燒1萬m3天然氣，產(chǎn)污系數(shù)為SO20.02Skg，天然氣含硫量按100mg/m3計(jì)算。則RTO燃燒裝置SO2產(chǎn)生量0.14t/a，產(chǎn)生速率為0.0195kg/h。污染物治理措施：燃燒煙氣與經(jīng)RTO處理后廢氣一并經(jīng)排氣筒DA002排放。根據(jù)建設(shè)單位提供資料，廢氣產(chǎn)生量為50000m3/h。污染物有組織排放：蓄熱式熱力燃燒裝置燃料燃燒產(chǎn)生的顆粒物有組織排放量為0.17t/a，排放速率為0.024kg/h，排放濃度為0.048mg/m3，二氧化硫有組織排放量為0.14t/a，排放速率為0.0195kg/h，排放濃度為0.39mg/m3，氮氧化物有組織排放量為0.49t/a，排放速率為0.069kg/h，排放濃度為1.38mg/m3，廢氣中煙塵、SO2、NOx排放速率和排放濃度均滿足《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）表2新污染源二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。（6）高溫處理過程廢氣G4和石墨化處理工段廢氣G8高溫處理過程廢氣G4為氬氣，石墨化處理工段廢氣G8為氬氣。根據(jù)建設(shè)單位提供設(shè)計(jì)資料和物料平衡分析，高溫爐產(chǎn)生的廢氣G4氬氣產(chǎn)生量為55.4t/a（7.69kg/h），G8氬氣產(chǎn)生量為14.73t/a（2.05kg/h），氬氣不以污染物計(jì)，由高溫爐排氣孔由風(fēng)道排放至車間外。本項(xiàng)目有組織廢氣污染物產(chǎn)生及排放統(tǒng)計(jì)表4.5-2，無組織廢氣排放統(tǒng)計(jì)表見表4.5-3。表4.5-2本項(xiàng)目有組織廢氣污染物產(chǎn)生及排放統(tǒng)計(jì)表排放口編號(hào)生產(chǎn)工段污染源名稱污染物單個(gè)排氣筒廢氣量（Nm3/h）污染物產(chǎn)生治理措施是否為治理可行技術(shù)去除效率污染物排放年排放時(shí)間（h）排放形式排放參數(shù)數(shù)據(jù)來源產(chǎn)生量t/a產(chǎn)生速率kg/h產(chǎn)生濃度mg/m3排放量t/a排放速率kg/h排放濃度mg/m3高度m內(nèi)徑m溫度℃DA001編織（成網(wǎng)、復(fù)合、針刺）編織工段粉塵G1顆粒物40000.250.037.50集氣罩捕集（捕集率90%）后，采用脈沖式布袋除塵器處理（處理效率99%），處理后由1根18m高排氣筒（編號(hào)：DA001）排放是99%0.0970.0133.357200有組織180.420設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)機(jī)械加工機(jī)械加工粉塵G5顆粒物5.530.77192.50是99%7200設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)石墨塊機(jī)加工石墨機(jī)械加工粉塵G11顆粒物50.69172.50是99%7200設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)DA002整形定型整形定型廢氣G2非甲烷總烴500002.500.357經(jīng)設(shè)備管道送至1套蓄熱式熱力燃燒裝置處理（處理效率95%），處理廢氣由1根18m高排氣筒（DA002）排放是95%非甲烷總烴1.87t/a,CO：0.027t/a非甲烷總烴：0.26kg/h，CO：0.004kg/h非甲烷總烴5.14mg/m3，CO：0.075mg/m37200有組織180.480設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)浸漬浸漬廢氣G6非甲烷總烴0.270.040.8是95%7200設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)碳化碳化工段廢氣G7非甲烷總烴34.204.7595是95%7200設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)CO0.540.0751.5是95