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文檔簡(jiǎn)介

太陽(yáng)能光伏電池的工藝特點(diǎn)施紅平

內(nèi)容一、太陽(yáng)能光伏原理、簡(jiǎn)史和分類二、產(chǎn)業(yè)及技術(shù)背景三、光伏電池的工藝要求四、太陽(yáng)電池生產(chǎn)過程及裝備

太陽(yáng)能光伏原理光伏電池:太陽(yáng)能電池是利用光電轉(zhuǎn)換原理使太陽(yáng)的輻射光通過半導(dǎo)體物質(zhì)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔艿囊环N器件,這種光電轉(zhuǎn)換過程通常叫做“光生伏打效應(yīng)〞。如果在硅晶體中摻入硼、鎵等元素,由于這些元素能夠俘獲電子,它就成了空穴型半導(dǎo)體,通常用符號(hào)P表示;如果摻入能夠釋放電子的磷、砷等元素,它就成了電子型半導(dǎo)體,以符號(hào)N代表。假設(shè)把這兩種半導(dǎo)體結(jié)合,交界面便形成一個(gè)P-N結(jié)。太陽(yáng)能電池的微妙就在這個(gè)“結(jié)〞上,P-N結(jié)就像一堵墻,阻礙著電子和空穴的移動(dòng)。當(dāng)太陽(yáng)能電池受到陽(yáng)光照射時(shí),電子接受光能,向N型區(qū)移動(dòng),使N型區(qū)帶負(fù)電,同時(shí)空穴向P型區(qū)移動(dòng),使P型區(qū)帶正電。這樣,在P-N結(jié)兩端便產(chǎn)生了電動(dòng)勢(shì),也就是通常所說的電壓。

簡(jiǎn)史〔世界〕1839年-法國(guó)Becquerel報(bào)道在光照電極插入電解質(zhì)的系統(tǒng)中產(chǎn)生光伏效應(yīng)-光電化學(xué)系統(tǒng);1876年英國(guó)W.G.Adams發(fā)現(xiàn)晶體硒在光照下能產(chǎn)生電流-固體光伏現(xiàn)象;1884年,美國(guó)人CharlesFritts制造成第一個(gè)1%硒電池;1954年貝爾實(shí)驗(yàn)室G.Pearson和D.Charpin研制成功6%的第一個(gè)有實(shí)用價(jià)值的硅太陽(yáng)電池;紐約時(shí)報(bào)把這一突破性的成果稱為“最終導(dǎo)致使無限陽(yáng)光為人類文明效勞的一個(gè)新時(shí)代的開始。〞-現(xiàn)代太陽(yáng)電池的先驅(qū);

簡(jiǎn)史〔世界〕1958年硅太陽(yáng)電池第一次在空間應(yīng)用;20世紀(jì)60年代初,空間電池的設(shè)計(jì)趨于穩(wěn)定;70年代在空間開始大量應(yīng)用,地面應(yīng)用開始,70年代末地面用太陽(yáng)電池的生產(chǎn)量已經(jīng)大大超過空間電池。

簡(jiǎn)史〔中國(guó)〕1959年第一個(gè)有實(shí)用價(jià)值的太陽(yáng)電池誕生1971年3月太陽(yáng)電池首次應(yīng)用于我國(guó)第二顆人造衛(wèi)星—實(shí)踐1號(hào)上;1973年太陽(yáng)電池首次應(yīng)用于浮標(biāo)燈上;1979年開始用半導(dǎo)體工業(yè)廢次單晶、半導(dǎo)體器件工藝生產(chǎn)單晶硅電池;80“年代中后期引進(jìn)國(guó)外關(guān)鍵設(shè)備或成套生產(chǎn)線我國(guó)太陽(yáng)電池制造產(chǎn)業(yè)初步形成。

分類1.技術(shù)成熟程度:晶硅電池:?jiǎn)尉Ч?,多晶?)薄膜電池:a-Si,CIGS,CdTe,球形電池,多晶硅薄膜,Grātzel,有機(jī)電池。3)新型概念電池:量子點(diǎn)、量子阱電池,迭層(帶隙遞變)電池,中間帶電池,雜質(zhì)帶電池,上、下轉(zhuǎn)換器電池,a-Si/C-Si異質(zhì)結(jié)(增加紅外吸收),偶極子天線電池,熱載流子電池(也有人稱第三代電池)

分類2.材料;硅基電池:?jiǎn)尉Ч瑁嗑Ч?,微?納晶),非晶硅,化合物半導(dǎo)體電池:CdTe,CIGS,GaAs,InP.。有機(jī)電池,Grātzel電池(光化學(xué)電池)3.波段范圍:太陽(yáng)光伏電池?zé)峁夥姵?/p>

內(nèi)容一、太陽(yáng)能光伏原理、簡(jiǎn)史和分類二、產(chǎn)業(yè)及技術(shù)背景三、光伏電池的工藝要求四、太陽(yáng)電池生產(chǎn)過程及裝備

硅太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)鏈

中國(guó)已成為光伏產(chǎn)業(yè)開展最快的國(guó)家全球太陽(yáng)能電池增長(zhǎng)統(tǒng)計(jì)2006年全球太陽(yáng)電池生產(chǎn)區(qū)域分布國(guó)內(nèi)太陽(yáng)電池產(chǎn)能/產(chǎn)量中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)鏈已形成規(guī)模且漸趨平衡工業(yè)硅生產(chǎn)全球第一高純硅生產(chǎn)百噸級(jí)已突破,千噸級(jí)出現(xiàn)曙光硅片加工生產(chǎn)規(guī)模已達(dá)世界級(jí)電池及組件生產(chǎn)有世界一流領(lǐng)軍企業(yè)裝備初具規(guī)模和水平,可提供強(qiáng)力支撐太陽(yáng)能燈具世界第一,并網(wǎng)系統(tǒng)等國(guó)際知名十家光伏企業(yè)國(guó)外上市涉足光伏行業(yè)的國(guó)內(nèi)上市公司達(dá)十二家以上

國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)高速開展的原因環(huán)保壓力日趨嚴(yán)重以德國(guó)為首的歐洲市場(chǎng)的強(qiáng)力拉動(dòng)無錫尚德等領(lǐng)頭企業(yè)巨大成功的示范作用海歸科學(xué)家?guī)韲?guó)際一流的工藝技術(shù)高投資回報(bào)率及短投資回收期

內(nèi)容一、太陽(yáng)能光伏原理、簡(jiǎn)史和分類二、產(chǎn)業(yè)及技術(shù)背景三、光伏電池的工藝要求四、太陽(yáng)電池生產(chǎn)過程及裝備二、太陽(yáng)能光伏電池工藝要求1、生產(chǎn)過程及工藝布置方式2、潔凈度和溫濕度要求3、生產(chǎn)設(shè)備的特點(diǎn)光伏電池生產(chǎn)流程工藝設(shè)備布置方式〔一字型〕工藝設(shè)備布置方式〔回轉(zhuǎn)型〕生產(chǎn)流程示意圖光伏生產(chǎn)線潔凈度和溫濕度要求房間名稱溫度(℃)相對(duì)濕度(%)潔凈度擴(kuò)散間23±250±101萬擴(kuò)散前后清洗23±250±10十萬刻蝕23±250±10十萬PECVD23±250±10十萬絲網(wǎng)印刷23±250±10無動(dòng)力配置需求〔以50MW為例〕

電源是整個(gè)工廠的首要條件,僅工藝和動(dòng)力設(shè)備用電功率就在1800KW左右,必須有可靠的電能供給。PECVD設(shè)備,制冷機(jī),空壓機(jī),空調(diào)風(fēng)機(jī)和循環(huán)水泵是用電功率較大的設(shè)備。

工藝純水的用量在15噸/小時(shí)左右,水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)都要到達(dá)15MΩ。工藝?yán)鋮s水用量也在15噸/小時(shí)左右,水質(zhì)中微粒粒徑不宜大于10微米,供水溫度宜在15-20℃,供水壓力5巴左右,應(yīng)有可靠的溫度,供水壓力控制,最好采用變頻泵。

動(dòng)力配置需求〔以50MW為例〕壓縮空氣用量在400NM3/H左右,,建議使用無油空壓機(jī)。如果露點(diǎn)溫度要求苛刻,枯燥機(jī)建議使用組合式。

真空排氣量在300M3/H左右。

氮?dú)夂脱鯕馊绻拷蟮臍怏w供給站,一般采用液體儲(chǔ)罐供給的方式,初投資低,氮?dú)鈨?chǔ)罐20立方米左右,氧氣10立方米足夠。特殊氣體如硅烷等,考慮平安因素,單獨(dú)設(shè)置一個(gè)特氣間還是很有必要的。

內(nèi)容一、太陽(yáng)能光伏原理、簡(jiǎn)史和分類二、產(chǎn)業(yè)及技術(shù)背景三、光伏電池的工藝要求四、太陽(yáng)電池生產(chǎn)過程及裝備工藝設(shè)備特點(diǎn)太陽(yáng)能電池目前技術(shù)水平技術(shù)及大生產(chǎn)工藝已相當(dāng)成熟實(shí)驗(yàn)室水平最高轉(zhuǎn)換效率:?jiǎn)尉?4.7%、多晶20.3%生產(chǎn)線水平:?jiǎn)尉?6%~17.5%、多晶14%~16%多晶硅太陽(yáng)電池和單晶硅太陽(yáng)電池并行開展清洗/制絨機(jī)擴(kuò)散前清洗的目的在于制絨,就是把相對(duì)光滑的原材料硅片的外表通過強(qiáng)酸和強(qiáng)堿腐蝕,使其凸凹不平,變得粗糙,形成漫反射,減少直射到硅片外表的太陽(yáng)能的損失。所使用的介質(zhì)有HF,HCL,HNO3,NaOH,Na2SiO3和乙醇等。動(dòng)力源有自來水,純水,壓縮空氣,氮?dú)?,工藝?yán)鋮s水,廢水,熱排風(fēng)和酸排風(fēng)。擴(kuò)散爐擴(kuò)散的目的在于形成PN結(jié)。硅片含硼,是P型結(jié)物質(zhì),需要往里面摻雜磷,使電子發(fā)生移動(dòng),形成PN結(jié)空穴。所使用的介質(zhì)有POCL3,N2,O2。動(dòng)力源有壓縮空氣,氮?dú)?,工藝?yán)鋮s水,熱排風(fēng)和有機(jī)排風(fēng)。因?yàn)閿U(kuò)散爐內(nèi)的石英管需要清洗,所以需要增加一種石英管清洗機(jī)。

擴(kuò)散后清洗機(jī)擴(kuò)散后清洗的目的在于洗去擴(kuò)散時(shí)形成的磷硅玻璃,即SiO2和P2O5的混合物,所以擴(kuò)散后清洗機(jī)又叫做去磷硅玻璃清洗機(jī)。動(dòng)力源有氮?dú)?,壓縮空氣,純水,HF,熱排風(fēng),酸排風(fēng),廢水等??涛g機(jī)-等離子刻蝕機(jī)刻蝕的目的在于把硅片的邊緣PN結(jié)斷開,防止短路。動(dòng)力源有CF4,N2,NH3,熱排風(fēng),有機(jī)排風(fēng)??涛g機(jī)-激光刻蝕和濕法刻蝕1、激光刻蝕:適合選擇性刻蝕,刻蝕效果好,對(duì)硅片尺寸要求嚴(yán)格。國(guó)外大量使用,國(guó)內(nèi)效果不佳2、濕法刻蝕:價(jià)格昂貴,刻蝕效果好、本錢高PECVD---管式PECVD的目的在于鍍氮化硅薄膜,增加折射率,同時(shí)摻雜H元素,使缺陷減少,還可以保護(hù)硅片。所用設(shè)備有德國(guó)的ROTH&RAW平板式PECVD設(shè)備,還有CENTROTHERMO的管式PECVD設(shè)備。動(dòng)力源有SiH4,NH3,氮?dú)?,壓縮空氣,工藝?yán)鋮s水,熱排風(fēng),硅烷排風(fēng)等。管式平板式絲網(wǎng)印刷機(jī)絲網(wǎng)印刷的目的在于印刷導(dǎo)電電

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