擴散爐子精品課件

1、擴散爐子第1頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四第2頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四第3頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四第4頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四第5頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四第6頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四第7頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四第8頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四第9頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四培訓內容1、開機操作2、生產(chǎn)操作3、關機操作第10頁

2、，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四1、開機操作1.1、打開氣柜壓縮空氣的手動閥并調節(jié)調壓閥使其壓力在6Bar左右。1.2、打開氣柜氮氣和氧氣手動閥，并調節(jié)調壓閥使其壓力在2Bar左右。 第11頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四1.3、打開電氣柜上的“Main Switch”在“ON”位置，設備上電；CMI電腦自動啟動。 1.4、打開設備冷卻水，先開出水閥，再開進水閥。檢查水壓在3-6kg /cm2 范圍內。 第12頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四1.5、輸入XP操作系統(tǒng)用戶“Operator”密碼“？”，進入CMI計算機的XP系

3、統(tǒng)，自動啟動CMI軟件。1.6、檢查并打開氣柜上1-4管“CESAR”的開關，啟動“CESAR”系統(tǒng)第13頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四1.7、 設定各管“Paddle”溫度為默認值，按下：“Manual/T_Paddle/All/Setpoint/Default” 。 1.8、設定升溫速度為5/min，按下：“Manual/T_Paddle/All/RampPos”，輸入“5”，并按確認鍵“ENTER”。第14頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四1.9、當溫度到達500時，用手推動爐門的氣缸，使爐門關閉。 1.10、順時針打開TGA上部調壓閥，使

4、壓縮空氣壓力恢復到4Bar左右。 第15頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四1.11、打開恒溫箱控制器的黑色電源開關，檢查并確認設定溫度20；按下“RUN”按鈕，啟動恒溫箱。當實際溫度達到設定溫度后，才可生產(chǎn)。1.12、當源瓶的磷源用盡需要更換時，恒溫控制器會有液位報警提示，需更換新的磷源。第16頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四1.13、在CMI觸摸屏上按下各管的“Standby”，確認CMI上顯示各管“CESAR”正常；當“T_Paddle”達到設定溫度，準備生產(chǎn)。爐體加熱部分共分5個溫區(qū)，每個溫區(qū)在600-1200范圍內的精度0.5。第17頁，共

5、32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四Start：運行一個準備好的工藝或啟動正在暫停的工藝。Stop：停止正在運行工藝，在任一時間按下“Start”按鈕，被終止的工藝將被繼續(xù)運行。Standby：如果沒有運行工藝，按下Standby，所有設備參數(shù)恢復默認值和Standby狀態(tài)下設定值。如果正在運行工藝，按下Standby，使工藝一直保持在正在運行的這一步；在按下“Stop”按鈕之后，按下Standby，將自動終止工藝。第18頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四2.生產(chǎn)操作2.1、檢查“Slider”是否在上料位置，若不在，手動狀態(tài)下移到上料處：“Manual/S

6、lider/to port”。2.2、把插好硅片的舟放到“slider”上。盡量使舟在“slider”中間位置。第19頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四2.3、在“Setup”界面選擇“Boat”項，選擇一個舟號，進行工藝信息編輯。 2.4、選擇確定后，進入“boat activation”界面，點選“Set boat active for handling”、 “Set boat to Ready for processing和Boat will be removed for unload”復選框,再點擊“Next”按鈕。第20頁，共32頁，2022年，5月20日，0點

7、16分，星期四2.5、進入“Handling information”界面，把舟上的編號輸入到“Boat ID”一欄，同時選擇Load position為“Slider”，再點擊“Next”按鈕。 2.6、進入“Process tube selection”界面，選擇需運行工藝的管號，在正常情況下1-4管全部選中，再點擊“Next”按鈕。 第21頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四2.7、進入“Boat information”界面， 在Actual boat location位置選擇“Slider”，在Boat state位置選擇“Wait for tube”，再點擊“N

8、ext”按鈕。 2.8、進入“Process information”界面，選擇相應的運行工藝名，在“Lots in boat”中輸入相關舟的信息，再點擊“Finish”按鈕第22頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四2.9、進入“Summary”界面，顯示2.8步輸入的信息，核對無誤后，點擊“OK”，信息輸入完成。2.10、在“Job”頁面點擊然 “Run” 按鈕，回到自動運行狀態(tài)。機械手自動送舟到SiC槳上，開始運行工藝。 第23頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四2.11、當某一管的“Tube state” 顯示藍色時，需要人工輸入信息，打開相應管的

9、CESAR界面。2.12、在紅色的對話框“Adjust temperature?”中輸入需要修改的溫度或默認值，再在鍵盤上點擊“Enter”鍵。 第24頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四2.13、在彈出的紅色對話框“Adjust diffusion time?”中輸入需要修改的時間或默認值，再在鍵盤上點擊“Enter”鍵。 2.14、在彈出的紅色對話框“Adjust drive in time?” 中輸入需要修改的時間或默認值，再在鍵盤上點擊“Enter”鍵,信息輸入完畢，槳自動送舟到石英管，開始擴散工藝。 第25頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四2

10、.15、當工藝運行完，自動取舟到“Storage”位置冷卻；冷卻后“Slider”自動取舟到下料位置并伴有蜂鳴提示，進行取舟卸片和測試方塊電阻；再放上需要擴散的舟。 2.16、同時CMI電腦彈出“Boat Info”界面，點擊“Unload done”按鈕，在軟件中完成卸舟信息。2.17、進入“Boat Info Mode Select”界面，選擇“Wafer（Production wafer with host validation）”項，點擊“OK”按鈕。 第26頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四3 關機操作3.1、檢查并確定各管工藝已運行完畢，設定“Paddle”溫

11、度為500：按下“Manual/T_Paddle/All/Setpoint”,輸入“500”并按 “ENTER” 確認。3.2、逆時針旋轉TGA頂部調壓閥，關閉爐門的壓縮空氣，使壓力為零。 第27頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四3.3、當各管爐溫降到500，用手推開爐門5mm左右，防止冷凝后偏磷酸粘住爐門。 3.4、設定“Spike”溫度到20。按下“Manual/T_Spike/All/Setpoint”,輸入“20” 并按確認“ENTER”。3.5、在CMI觸摸屏上分別關閉1-4管的CESAR系統(tǒng)，按下“Service/Shutdown/Yes”；并且關閉氣柜上1-4管“CESAR”的開關。 第28頁，共32頁，2022年，5月20日，0點16分，星期四6、按下恒溫箱控制面板的“RUN”按鈕，使恒溫箱停止工作，再關閉黑色的電源開關。 7、退出CMI軟件，關閉CMI電腦第29頁，共32頁，2022年，5月