電子設(shè)備制造的職業(yè)病危害因素識別與防護(hù)-

1、電子設(shè)備制造的職業(yè)病危害因素識別與防護(hù)芯片制造業(yè)作為微電子的核心，已經(jīng)成為現(xiàn)代科技進(jìn)展的主要動力。芯片指集成電路，它是微電子技術(shù)的主要產(chǎn)品，微電子業(yè)以集成電路技術(shù)為核心，包括集成電路的設(shè)計、制造。以下針對芯片制造過程中的職業(yè)病危害因素進(jìn)行識別，并制定職業(yè)病危害防治要點(diǎn)及實(shí)行的職業(yè)病危害防護(hù)措施。一、主要原、輔材料芯片制造過程中，使用到的氣體及液體化學(xué)物質(zhì)種類較多且成分簡單， 部分化學(xué)物質(zhì)為高毒物品、致癌物，還有一部分特種化學(xué)物質(zhì)在我國尚未 有對應(yīng)的檢測方法及職業(yè)接觸限值。主要原、輔材料包括：氯、氟化物、氫氟酸、砷化氫、磷化氫、硫化氫、氨、一氧化碳、乙硼烷、溴化氫、氯化氫、二氧化碳、一氧化氮、硼

2、酸、氫氧化鈉、氫氧化鉀、硫酸、過氧化氫、乙酸、磷酸、異丙醇、乙二醇、丙酮、高純六氟化硫等。二、生產(chǎn)工序電子芯片制備工序流程，如圖1所示。集中： 給包含化學(xué)物質(zhì)的氣體注入超高溫的熱量，利用熱能誘發(fā)化學(xué)物質(zhì)的重新組合在硅片表面鍍膜。光刻： 利用光刻膠在硅片的指定位置進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)換作業(yè)。以便進(jìn)行后續(xù)的離子注入或干法、濕法刻蝕。離子注入： 半導(dǎo)體工程中形成晶體管及溝道時，在硅片特定位置注入離子。濕法工藝：與干法刻蝕類似。但是向硅片注入的不是氣體，而是化學(xué)溶液。另外，對硅片的特定位置，通過化學(xué)溶液的化學(xué)反應(yīng)去除硅片表面的愛護(hù)層或者光刻膠，進(jìn)行清洗。刻蝕： 為了在硅片上形成滿足不同要求的區(qū)域，需要注入包含化

3、學(xué)物質(zhì)的氣體及高頻等離子。利用氣體再反應(yīng)，進(jìn)行刻蝕的工程。薄膜： 利用熱或者光，給包含化學(xué)物質(zhì)的氣體增加能量將等離子附著在硅片表面。金屬化；為了在硅片上設(shè)置金屬連接線，把金屬物通過濺射方式固定在硅片表面，如物理氣相沉積。機(jī)械拋光 : 硅片表面平整度因各種刻蝕及沉積膜的緣由，變化較大。為此，會通過物理打磨，對硅片表面進(jìn)行平整處理。測試: 在半導(dǎo)體制作過程中，按先后挨次通過特殊儀器，對各工序內(nèi)硅片的正品及不良產(chǎn)品進(jìn)行檢測。三、職業(yè)病危害因素集中:磷化氫、砷化氫、氯化氫、氫氟酸、氟化物、乙硼烷、二氧化氮、噪聲；光刻：氟化物、乙酸乙酯、丙酮、噪聲、紫外輻射； 離子注入：X 射線、高頻電磁場、噪聲；清洗

4、：硫酸、異丙醇、氫氟酸、氟化物、硝酸、乙酸、磷酸、丙酮、二氧化碳、氫氧化鉀、過氧化氫、噪聲；刻蝕：氫氟酸、氟化物、磷酸、硝酸、乙酸、高純六氟化硫、氯氣、溴化氫、磷化氫、一氧化碳、乙硼烷、噪聲；薄膜；氨、乙二醇、噪聲； 金屬化：高頻電磁場、噪聲；化學(xué)、機(jī)械拋光：二氧化碳、過氧化氫、乙酸、噪聲。磷酸： 磷酸具有類似刺激性氣體的作用，可引起眼結(jié)膜刺激癥狀及呼吸道刺激癥狀，表現(xiàn)為流淚、流涕、咽痛、胸悶、咳嗽，重癥者可消滅化學(xué)性肺炎或肺水腫。磷化氫: 磷化氫屬于高毒類， 人接觸1.44.2 mg/m 3 磷化氫可聞到氣味，接觸10 mg/m 3、6 h消滅中毒癥狀，在409846 mg/m 3 ，吸入0

5、.5 1 h可致死。急性中毒早期主要表現(xiàn)為神經(jīng)系統(tǒng)和呼吸系統(tǒng)癥狀。中樞神經(jīng)系統(tǒng)障 礙有頭痛、頭暈、乏力、失眠、精神不振、煩躁、復(fù)視、共濟(jì)失調(diào)。嚴(yán)峻 者表現(xiàn)為意識障礙、昏迷、抽搐等。呼吸系統(tǒng)表現(xiàn)有鼻咽發(fā)干、咽部充血、咳嗽、氣短、胸悶、發(fā)紺，嚴(yán)峻者消滅肺水腫。此外，早期消滅血壓降低甚至休克。心肌受損較為多見。腎臟損害一般較輕，少數(shù)病人尿中檢出 紅、白細(xì)胞，個別嚴(yán)峻者消滅少尿，急性腎功能衰竭。氯化氫：接觸氯化氫氣體或鹽酸煙霧后快速消滅眼和上呼吸道刺激癥狀，眼瞼紅腫，結(jié)膜充血水腫，鼻、咽部有燒灼感及紅腫，甚至發(fā)生喉痙攣、喉頭水腫，嚴(yán)峻者則引起化學(xué)性肺炎和肺水腫。皮膚受氯化氫氣霧刺激后，暴露部位可發(fā)生皮

6、炎，局部潮紅、痛癢，或消滅丘疹及水泡。眼和皮膚直接接觸處可發(fā)生灼傷。砷化氫:砷化氫屬于高毒類。 主要經(jīng)呼吸道吸入， 吸入后除少部分以原形隨呼氣排出外，95%以上快速進(jìn)入血液，與紅細(xì)胞結(jié)合，形成砷-血紅蛋白復(fù)合物與砷的氧化物。 急性砷化氫中毒潛伏期短， 一般不超過24 h。潛伏期越短，病情越嚴(yán)峻。輕度中毒一般在接觸砷化氫后約10h消滅癥狀，表現(xiàn)出急性溶血和急性腎臟損害，其臨床表現(xiàn)：頭痛、頭暈、惡心、嘔吐、腹痛，畏寒發(fā)熱，黃疸，輕度貧血，尿色暗紅呈醬紫色，腎區(qū)痛等。氯氣：對眼、呼吸道黏膜有刺激作用。急性中毒： 輕度者有流淚、咳嗽，咳少量痰，胸悶，消滅氣管和支氣管炎的表現(xiàn) ； 中度中毒 ： 發(fā)生支氣

7、管肺炎或間質(zhì)性肺水腫，病人除有上述癥狀外，消滅呼吸困難、輕度紫紺等；重度者發(fā)生肺水腫、昏迷和休克，可消滅氣胸、縱隔氣腫等并發(fā)癥；吸入極高濃度的氯氣，可引起迷走神經(jīng)反射性心跳驟?；蚝眍^痙攣而發(fā)生“電擊樣”死亡。皮膚接觸液氯或高濃度氯，在暴露部位可有灼傷或急性皮炎。慢性影響：長期低濃度接觸，可引起慢性支氣管炎、支氣管哮喘等；可引起職業(yè)性痤瘡及牙齒酸蝕癥。氫氟酸 ：屬高毒類。吸入至肺部后，短時間內(nèi)幾乎全部被吸取，快速進(jìn)入血循環(huán)，約75%與血紅蛋白結(jié)合而運(yùn)轉(zhuǎn)，少部分氟離子也可穿過毛細(xì)血管壁到達(dá)組織或器官。急性中毒：消滅流淚、流涕、噴嚏、閉塞。吸入高濃度時，鼻、喉、胸骨后灼傷感，嗅覺丟失，咳嗽、聲嘶，嚴(yán)

8、峻時眼結(jié)膜、鼻黏膜、口腔黏膜頑固性潰瘍，鼻衄，甚至鼻中隔穿孔，引起支氣管炎和支氣管肺炎，更嚴(yán)峻時可引起中毒性肺水腫。對氫氟酸灼傷和吸入中毒者必需嚴(yán)密觀看，由于可在幾小時后突然病情加重，呼吸困難，心跳停止而死亡。眼接觸高濃度氫氟酸后，局部苦痛并快速形成白色假膜樣混濁，如處理不準(zhǔn)時可引起角膜穿孔。慢性影響 ：長期接觸低濃度氟化氫可引起牙酸蝕癥、 牙齦出血， 干燥性鼻炎、 鼻衄，嗅覺減退及咽喉炎， 慢性支氣管炎。六氟化硫： 純品無毒，但產(chǎn)品中如混雜低氟化硫、氟化氫，特殊是十氟化硫，則毒性增加。硝酸： 硝酸具有強(qiáng)氧化劑與硝化劑作用，對皮膚黏膜有猛烈腐蝕性。硝酸煙或濃硝酸蒸氣被吸取后，可馬上引起上呼吸道

9、黏膜刺激癥狀，嚴(yán)峻者可發(fā)生喉痙攣和水腫，消滅窒息。硝酸蒸氣中，除其本身外，混有各種氮氧化物，其中主要是二氧化氮，其次是一氧化氮。氮氧化物急性中毒表現(xiàn)為呼吸道刺激癥狀，可引起肺水腫。硫酸：屬于中等毒類。對皮膚、黏膜等組織有猛烈的刺激和腐蝕作用。蒸氣或霧可引起結(jié)膜炎、結(jié)膜水腫、角膜混濁，以致失明；引起呼吸道刺激，重者發(fā)生呼吸困難和肺水腫；高濃度引起喉痙攣或聲門水腫而窒息死亡?？诜笠鹣罒齻灾聺冃纬?；嚴(yán)峻者可能有胃穿孔、腹膜炎、腎損害、休克等。皮膚灼傷輕者消滅紅斑，重者形成潰瘍，愈后瘢痕收縮影響功能。濺入眼內(nèi)可造成灼傷， 甚至角膜穿孔、 全眼炎以致失明。乙酸：屬于低毒類。急性中毒：吸入蒸氣

10、對鼻、喉和呼吸道有刺激性， 吸入極高濃度，可引起遲發(fā)性腎水腫。對眼有猛烈刺激作用。皮膚接觸，輕者消滅紅斑，重者引起化學(xué)灼傷。誤服濃乙酸，口腔和消化道可產(chǎn)生糜爛，重者可因休克而致死。慢性影響：長期接觸乙酸蒸氣，可引起眼瞼水腫、結(jié)膜充血、慢性鼻炎、咽炎、支氣管炎。長期反復(fù)測試，可致皮膚干燥、脫脂和皮炎。乙酸乙酯 ：屬低毒類，對黏膜有中度的刺激作用和中度的麻醉作用。急性中毒：接觸高濃度可引起眼、呼吸道刺激癥狀，有時可致角膜混濁。重復(fù)長時間接觸，中樞神經(jīng)系統(tǒng)消滅進(jìn)行性麻醉作用。持續(xù)高濃度吸入，可致肺水腫和呼吸麻痹及肝、腎充血。誤服者可引起惡心、嘔吐、腹痛、腹瀉等。有致敏作用， 因血管神經(jīng)障礙而致牙齦出

11、血；可導(dǎo)致濕疹樣皮炎。慢性影響：長期接觸本品有時可導(dǎo)致繼發(fā)性貧血、白細(xì)胞增多等。氫氧化鉀： 具有強(qiáng)腐蝕性和刺激性。粉塵刺激眼和呼吸道，腐蝕鼻中隔。皮膚和眼直接接觸可引起灼傷；誤服可造成消化道灼傷，黏膜糜爛、出血，休克。異丙醇屬微毒類。皮膚接觸，少數(shù)人可產(chǎn)生接觸性皮炎。有因涂擦以異丙醇為基質(zhì)的軟膏而引起異丙醇致死性中毒的報道。誤服后可引起流涎、面紅、胃黏膜刺激、嘔吐、頭痛、低血壓、昏迷和休克癥狀。有飲用0.4 L而引起死亡的病例。一氧化碳： 急性一氧化碳中毒是我國發(fā)病和死亡人數(shù)最多的急性職業(yè)中毒。輕度中毒者消滅猛烈頭痛、頭暈、心跳、眼花、惡心、嘔吐、煩躁、步態(tài)不穩(wěn)、四肢無力，以及輕度至中度意識障

12、礙，但無昏迷，檢查時無陽 性體征。離開中毒場所，吸入新穎空氣后癥狀漸漸完全恢復(fù)。中度中毒者 除上述癥狀外，還有皮膚黏膜呈櫻紅色，脈快、煩躁、步態(tài)不穩(wěn)，淺至中 度昏迷，準(zhǔn)時移離中毒場所，并經(jīng)搶救后可漸漸恢復(fù)，一般無明顯并發(fā)癥 或后遺癥。重度中毒者，意識障礙嚴(yán)峻，患者深度昏迷或植物狀態(tài)。常見瞳孔縮小，肌張力增加，頻繁抽搐，大小便失禁。經(jīng)過樂觀治療，多數(shù)重度中毒者仍可完全恢復(fù)。少數(shù)消滅植物狀態(tài)的患者，表現(xiàn)為意識丟失，睜眼不語，去大腦強(qiáng)直，預(yù)后不良。氮氧化物： 水溶性小，對上呼吸道黏膜刺激作用弱，主要作用于深部呼吸道。急性中毒：急性氮氧化物中毒是以呼吸系統(tǒng)急性損害為主的全身性疾病。一般在吸入氮氧化物幾

13、小時至72h發(fā)病。輕者表現(xiàn)為胸悶、咳嗽，伴輕度頭暈、心悸、惡心、乏力等癥狀，眼結(jié)膜和鼻咽部輕度充血。慢性影響：長期接觸低濃度的氮氧化物，可引起支氣管炎和肺水腫。四、職業(yè)病危害防護(hù)措施（一）防毒措施芯片制造過程中使用的化學(xué)物質(zhì)種類較多，應(yīng)實(shí)行的防毒措施包括：使用氣態(tài)化學(xué)物質(zhì)的反應(yīng)艙和使用液態(tài)化學(xué)物質(zhì)的設(shè)備應(yīng)設(shè)置安全聯(lián)鎖，以便在事故狀態(tài)下，切斷氣體、液體向生產(chǎn)設(shè)備的供應(yīng)，避開泄漏； 使用氨、氯氣、氟化氫等高毒類化學(xué)物質(zhì)的工作場所，應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)，其事故排風(fēng)裝置的排風(fēng)口應(yīng)設(shè)在安全處，遠(yuǎn)離門、窗及進(jìn)風(fēng)口和人員經(jīng)常 停留或經(jīng)常通行的地點(diǎn)；事故通風(fēng)氣流組織應(yīng)避開通風(fēng)短路，系統(tǒng)手動開啟的開關(guān)應(yīng)設(shè)置在門外不易

14、受污染的區(qū)域。腐蝕性或毒性特種氣體可接受氣瓶柜或閥門和管道輸送的形式，輸送管道可接受雙層套管，閥門接受隔膜閥?；瘜W(xué)物質(zhì)分發(fā)裝置與生產(chǎn)設(shè)備之間用于輸送氣體的管道，可接受焊接方式連接或雙套管愛護(hù)，并在使用前進(jìn)行泄漏測試。氣體分發(fā)裝置應(yīng)設(shè)計為密閉設(shè)備，并配備強(qiáng)制排風(fēng)系統(tǒng)，排風(fēng)系統(tǒng)與廢氣噴淋處理設(shè)施相連。在氣體分發(fā)裝置的排風(fēng)口處應(yīng)安裝氣體探測裝置、聯(lián)鎖關(guān)閉裝置等。反應(yīng)艙清洗和維護(hù)過程中應(yīng)設(shè)計固定式局部排氣系統(tǒng)和移動式排風(fēng)系統(tǒng)，依據(jù)生產(chǎn)工藝及物料內(nèi)容，在工作場所設(shè)置淋浴洗眼器、現(xiàn)場急救用品、應(yīng)急撤離通道。生產(chǎn)線產(chǎn)生的酸性氣體、堿性廢氣和有機(jī)廢氣等有毒有害氣體，要設(shè)置獨(dú)立的收集、處理和排放系統(tǒng)?；瘜W(xué)品須接

15、受罐裝或瓶裝密閉裝運(yùn)；儲存酸、堿等腐蝕性物質(zhì)的房間或地面應(yīng)做防腐處理，并設(shè)置槽泄漏排放、事故收集池。液體化學(xué)物質(zhì)、氣體化學(xué)物質(zhì)應(yīng)分類分別儲存，密閉輸送。含氟廢水、酸性廢水、堿性廢水、含氨含氟廢水、有機(jī)廢水、含銅 廢水的儲存及處理裝置易接受密閉的槽體；依據(jù)廢水的種類及處理藥劑的種類，要在相應(yīng)的工作場所設(shè)置有毒物質(zhì)泄漏報警系統(tǒng)、事故噴淋設(shè)施、事故排風(fēng)系統(tǒng)。（二）防噪、防震驚措施生產(chǎn)廠房的空調(diào)潔凈系統(tǒng)可通過選用低噪聲設(shè)備及加裝消聲器、隔聲罩、建筑隔聲圍護(hù)結(jié)構(gòu)、隔聲門窗、消聲通風(fēng)窗等，以降低作業(yè)人員接觸噪聲或振動的強(qiáng)度。（三）防電磁輻射措施產(chǎn)生電磁輻射的設(shè)備主要有等離子化學(xué)氣相沉積機(jī)、物理氣相沉積機(jī)等設(shè)備的射頻發(fā)生器等。反應(yīng)艙應(yīng)設(shè)置安全聯(lián)鎖，包括射頻連接器聯(lián)鎖、射頻發(fā)生器愛護(hù)罩聯(lián)鎖、反應(yīng)艙觀看窗口射頻聯(lián)鎖等。電子設(shè)備制造業(yè)易發(fā)生職業(yè)性溶劑中毒、重金屬中毒，如三氯乙烯中毒、正己烷中毒、甲苯中毒，鉛及其化合物中毒，汞及其化合物中毒、鎘及