最新版-FSI清洗機(jī)培訓(xùn)教材

1、精選范本FSI清洗機(jī)培訓(xùn)教材、FSI清洗機(jī)介紹：二二、FSI組成及結(jié)構(gòu)功能：三、軟件操作介紹：四、程序以及輸出功能：五、流量控制：六、ChemicalAutofill功能介紹:七、常見(jiàn)故障以及維修方法：FSI清洗機(jī)介紹FSI用途：FSI用于圓片的表面清洗系統(tǒng)，可以去除顆粒、金屬離子以及剝離部分氧化膜；FSI設(shè)備全稱(chēng)：MERCURYMPSurfaceConditionDivisionSystem，F(xiàn)SI公司早期的SpraySystemProduct；FSI工作原理：在密圭寸的Chambe沖，圓片對(duì)稱(chēng)放在Turntable上，在Turntable的旋轉(zhuǎn)的同時(shí)利用N2把Chemical形成高霧化或者

2、低霧化噴灑在圓片表面，有兩個(gè)噴嘴：Spraypost和Side-bowlspraypost，達(dá)到去除顆粒、金屬離子以及剝離部分氧化膜的目的，然后用DIWater沖洗圓片表面，最后通過(guò)Turntable的高速旋轉(zhuǎn)（500rpm）以及N2Purge來(lái)使圓片的表面干燥。FSI用到的原料：主要有5種Chemical:H2SO4,HCLHF,NH4OHH2O2還有DIWater（去離子水）、N2和CDA（壓縮空氣）。FSI常用工藝菜單：B-CLEANS*P5/1,POLY-BCLNBP-BCLN安全措施：設(shè)備的每個(gè)部分都安裝有Interlock開(kāi)關(guān)，禁止工藝時(shí)打開(kāi)門(mén)、蓋子等組件，如果Interlock開(kāi)

3、關(guān)被打開(kāi)，則會(huì)使設(shè)備停機(jī)，工藝中斷；警告：工藝時(shí)禁止對(duì)FSI清洗機(jī)的任何部分進(jìn)行任何操作。設(shè)備學(xué)習(xí)參考資料：FSI清洗機(jī)操作規(guī)范；6”FSI清洗機(jī)PM操作規(guī)范；FSI組成及結(jié)構(gòu)功能FSI由五部分組成，各單元相互獨(dú)立:ElectronicConsol;ProcessConsol;CanisterConsol;BoosterPumpHellos52DIWaterHeater。（其中前兩部分放在白區(qū)，后三部分放在灰區(qū)）結(jié)構(gòu)及其功能：ElectronicConsol:監(jiān)視和控制程序的運(yùn)行，是系統(tǒng)的核心部分，內(nèi)部由7個(gè)抽屜構(gòu)成，可以拉出來(lái)，便于查看，主要有：286的單片機(jī)以及控制組件，Touchscre

4、en（觸摸式顯示屏），軟盤(pán)驅(qū)動(dòng)器，流量控制組件以及M管路的過(guò)濾器和壓力調(diào)節(jié)閥；ProcessConsol:主要由Cover、ProcessChamber、Motor、Turntable、下排管道、以及流量控制的FOLW1CKUP等，每次作業(yè)可以清洗6批圓片，門(mén)蓋安裝了Spraypost,在chamber壁上安裝了Side-bowlspraypost，這兩個(gè)Spraypost就是工藝時(shí)的酸液噴嘴。CanisterConsol:主要用于存放5種化學(xué)液，有兩個(gè)存放柜，每個(gè)柜中存放三個(gè)Canister，每個(gè)Canister連接四個(gè)管道，依次是：酸液輸入管道、酸液輸出管道、破裂閥連接管道、N2輸入管道（

5、通過(guò)22號(hào)閥實(shí)現(xiàn)加壓及釋放壓力），動(dòng)力課通過(guò)SDC供液系統(tǒng)統(tǒng)一供應(yīng)化學(xué)溶液，每次工藝結(jié)束，系統(tǒng)發(fā)個(gè)自動(dòng)灌酸指令“50”，酸液從動(dòng)力管道灌到酸桶Canister中，工藝時(shí)再?gòu)乃嵬爸邪阉嵋簤旱紺hambe中。BoosterPump:DIWater增壓系統(tǒng)，動(dòng)力提供的DIWater壓力不能滿(mǎn)足FSI的需求，所以增加了增壓泵，由兩個(gè)增壓泵和兩個(gè)過(guò)濾器構(gòu)成，當(dāng)系統(tǒng)壓力達(dá)不到要求時(shí)，增壓泵開(kāi)始工作。Hellos52DIWaterHeater:用于DIWater的加熱，由主機(jī)和一個(gè)監(jiān)視器構(gòu)成，監(jiān)視器放置在ElectronicConsol的頂部,目的是為了DIWater加熱器的工作狀態(tài)。三、件操作介紹:FSI

6、的自動(dòng)控制是通過(guò)286結(jié)構(gòu)的單片機(jī)來(lái)控制的，由于沒(méi)有硬盤(pán)及ROM只有NVM（非易失存儲(chǔ)器），所以程序就保存在軟盤(pán)上，通過(guò)軟盤(pán)驅(qū)動(dòng)器來(lái)讀取程序，而且啟動(dòng)時(shí)要插入啟動(dòng)軟盤(pán)，啟動(dòng)結(jié)束后再插入程序軟盤(pán)。至于顯示器用的是Touchscreen（觸摸式顯示屏），這種顯示器可以用手指直接點(diǎn)擊，這樣就不需要鍵盤(pán)了。軟件的結(jié)構(gòu)介紹，主界面視圖下圖所示：Name:vprocessnameTemp:XXXSpeed:XXXrpmSec:XXXTime:XX:XXStep:XXOutputsXX,XX,XX0-OtherstatusSelectProcess2-SpecialFunctions3-ClearAlarm

7、s0-otherstatus:按“0”后可以進(jìn)入另一界面，在工藝時(shí)可以瀏覽工藝菜單的每一步內(nèi)容；1-SelectProcess:按“1”后可以進(jìn)入程序界面，用方向鍵選取菜單，按“Enter”確認(rèn)。SpecialFunctions:按“2”后可以進(jìn)入特殊功能界面（為了安全起見(jiàn)該功能設(shè)有密碼），在這里面可以編輯所有的Recipe,可以進(jìn)入維修模式，可以看到所有報(bào)警信息等功能。ClearAlarms:按“3”后可以進(jìn)入報(bào)警界面，輸入密碼按“Enter”確認(rèn)后就可以消除報(bào)警了。四、程序以及輸出功能：FSI在生產(chǎn)中常用到的就四個(gè)菜單：B-CLEANS*P5/1，POLY-BCLJNBP-BCLN程序是由

8、特定數(shù)字組成的程序代碼，下面舉例說(shuō)明程序的結(jié)構(gòu)：StepTimeSpeedOutput62050021,22,437906022,31,43,44,45,220,250程序就由上面一些特定的數(shù)字構(gòu)成，其中：Step表示步驟；Time-表示當(dāng)前步驟的工藝時(shí)間；Speed表示Turntable的轉(zhuǎn)速，最高轉(zhuǎn)速為500轉(zhuǎn)/分；Output-輸出功能指令，參考輸出功能代碼表（如下表示）；OUTPUTFUNCTIONOutputDescriptionIncompatibleOutputs*Chemical21,26,37,38,46,47,48,50,91,96,97,989BlanketHeater1

9、0ChemicalHeater11Drain#1-N/012,13,14,85,8612Drain#2-N/C11,13,14,85,8613Drain#3-N/C11,12,14,85,8614Drain#4-N/C11,12,13,85,8619(Reserved)21SolutionLinePurgeChemicals,37,38,91,10022CanisterPressure5026ManifoldBypassChemicals,10029(Reserved)31LowAtomizer3232HighAtomizer3134ColdChamberRinse3636ChamberDry

10、34,9137ColdLineRinseChemicals,21,91,10038HotLineRinseChemicals,21,91,10039(Reserved)41ColdDiMix42SBRinseAtomizer43BypassShuttoff44HotDiBypass45PlenumRinse46WaferDryChemicals,47,48,91,10047ColdWaferRinseChemicals,46,91,10048HotWaferRinseChemicals,46,91,10049(Reserved)50ProgrammedAutofillChemicals,22,

11、10059User-Defined69User-Defined71FillRecirc1Tank72FillRecirc1Tank73Unused74RecircManifoldOn/Off75Recirc1PumpOn76Recirc1Loop77Recirc1DrainOpen78Recirc1DrainClosed79User-Defined81Recirc2PumpOn82Recirc2Loop83Recirc2DrainOpen84Recirc2DrainClosed85Drain#5-N/C11,12,13,14,8686Drain#6-N/C11,12,13,14,8589Use

12、r-Defined91LowPressurePurgeChemicals,21,36,37,38,46,47,48,5092LowFlowRinse93DiverttoPlenum94User-Defined95User-Defined96SBPurgeChemicals,97,9897SBColdWaferRinse9698SBHotWaferRinse96100HotDIMix21,26,37,38,46,47,48,50100XHELIOS52Outputs102XIRChemicalHeaterOutputs11XXOutputFunctionsforGeneralizedAnalog

13、Inputs12XXOutputFunctionsforGeneralizedDiscreteInputs200XOutputFunctionsforVariable0-10VdcOutputs100-DIWATER230-HCL400-HF220-H2SO4250-H2O2760-NH4OH備注:五、流量控制系統(tǒng)對(duì)流量控制主要通過(guò)以下幾部分來(lái)實(shí)現(xiàn)：Flowpickup、DAC、ADC、E/P、ManifoldValve等；流量控制的原理圖如下圖示：ChemicalFlow原理分析：在每種溶液的管道中安裝了Flowpickup,對(duì)流過(guò)的液體進(jìn)行流量分析并且把流量從物理量轉(zhuǎn)變到模擬電信號(hào)，然后通

14、過(guò)ADC轉(zhuǎn)換器把模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)，通過(guò)比較器與菜單設(shè)定值進(jìn)行比較，得出一個(gè)數(shù)字信號(hào)偏差量，然后在通過(guò)DAC轉(zhuǎn)換器把數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)變到模擬信號(hào)，然后把模擬信號(hào)送到E/P（電信號(hào)和壓力的轉(zhuǎn)換器），通過(guò)E/P把電信號(hào)轉(zhuǎn)換成壓力信號(hào)，最終通過(guò)壓力來(lái)控制ManifoldValve的開(kāi)啟大小，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)流量控制。六、ChemicalAutofill功能介紹:由于每個(gè)程序都使用Chemical的量比較大，所以在程序的最后增加了Autofill的指令代碼“50”，每一個(gè)Recipe結(jié)束后，系統(tǒng)將通過(guò)液面?zhèn)鞲衅鱽?lái)檢查酸痛的液面狀態(tài)，若傳感器顯示不滿(mǎn)，則打開(kāi)電磁閥，酸液被灌CANISTEREXHAUSTCHEMI

15、CALCHEMICALINNIN180SENSOR匚SENSORBLJRS7DISKTV22BURSTDISK2SEMSDR匚SENSORfr口啊vae入酸桶中，直到傳感器檢測(cè)到液面已滿(mǎn)。下圖是Autofill的簡(jiǎn)圖：設(shè)備在噴完Chemical后，TV22號(hào)閥關(guān)閉，Canister中的氣體通過(guò)TV22的Exhaust管道釋放壓力，其中TV22是兩位三通閥，在工藝時(shí)，22號(hào)電磁閥打開(kāi)，虛線(xiàn)所示管道中的氣體使TV22工作于下位，N2進(jìn)入Canister,當(dāng)壓力增大到一定時(shí)，酸液通過(guò)管道輸送到Chamber中。若在此過(guò)程中Canister壓力過(guò)高，達(dá)到45個(gè)psi，則BurstDisk破裂，壓力被釋

16、放掉，則工藝中斷，并出現(xiàn)流量超規(guī)范報(bào)警，如果壓力到達(dá)60個(gè)psi，則Canister的蓋子會(huì)破裂，這樣就其到雙保險(xiǎn)所用了。如果酸液出現(xiàn)OverFlow的現(xiàn)象，貝卩，存放柜中的傳感器會(huì)檢測(cè)到，發(fā)出OverFlow報(bào)警，從而停止Autofill功能，起到安全保護(hù)作用。七、常見(jiàn)故障以及維修方法：在實(shí)際設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，F(xiàn)SI清洗機(jī)主要會(huì)出現(xiàn)三種故障報(bào)警，現(xiàn)已經(jīng)編寫(xiě)成OCAP文件，根據(jù)報(bào)警提示正確處理問(wèn)題，盡量在最短時(shí)間內(nèi)將設(shè)備恢復(fù)，下面附加的是三張故障分析OCAP流程圖供參閱。1、FSI清洗機(jī)工藝時(shí)chemicaI流量超規(guī)范報(bào)警處理OCAP流程圖:流量超規(guī)范報(bào)警NOYESNONO更換破裂閥YES更換兩位三通NOYESNOYES通知EE通知?jiǎng)恿φn恢復(fù)動(dòng)力條件旋緊桶蓋若桶蓋破裂則更換EP或MAINFIED閥是否正常檢查動(dòng)力條件是否正常酸桶是否密封YES破裂閥是否正常工