中科科儀分子泵說明書

1、北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）分子泵安全使用說明在安裝與使用分子泵前，泵的安裝與操作人員都應仔細閱讀本使用說明書，并按照說明書中規(guī)定的條款安裝與操作，以免造成人員傷害與設備損壞。安全警示說明危險:表示為了防止危及人身安全，需要引起高度注意且必須遵守的事項；介警告:表示為了防止損傷或損壞泵，需要引起中度注意且必須遵守的事項；、心:表示為了使泵的使用效果最佳，需要引起輕度注意且需要遵守的事項。保修說明凡購買我公司生產(chǎn)的分子泵，從發(fā)貨之日起，用戶憑保修單可保修一年。凡屬下列情況之一的，不予保修:1）用戶未經(jīng)授權對產(chǎn)品私自拆卸；2）用戶保管或使

2、用不當（如撞擊、強放射性環(huán)境、強磁場環(huán)境等）；3）屬于用戶其他原因造成的損壞。免責聲明當用戶嚴格遵照本說明書中的規(guī)定安裝和使用時，KYKY分子泵是安全、方便和有效的。泵的操作人員必須仔細閱讀并嚴格遵守本說明書中的條款。由于用戶沒有仔細閱讀說明書、或未按照使用說明書的要求操作而造成的任何傷害和損失，KYKY將不負擔任何責任。本說明書僅作為信息使用，如遇改版，恕不另行通知。如本說明書與實際產(chǎn)品有所出入，本公司擁有最終解釋權。由本說明書引起、產(chǎn)生和包含的知識產(chǎn)權均屬KYKY所有。1概述1.1分類與特點本說明書所列分子泵，按口徑不同，從100mm到400mm（對應抽速從1101/s到35001/s）共

3、5個系列，12種泵。分子泵一般有兩種結構形式，一種是由動靜葉列組成的渦輪分子泵，一種是由渦輪級加牽引級構成的復合型分子泵。復合型分子泵的特點是使得分子泵高壓強區(qū)的抽速有所提高，另一特點是使得出口耐壓得到提高，因此可以適當減小前級泵的規(guī)格，可使用戶節(jié)省投資。根據(jù)分子泵軸承潤滑方式不同，分子泵有油潤滑、脂潤滑兩種。一般情況下，油潤滑分子泵需豎直安裝（F-100/110可以水平安裝），脂潤滑分子泵可以任意角度安裝。1.2主要用途及應用領域分子泵是用于對一個封閉的真空腔在分子流及接近分子流區(qū)域內(nèi)抽真空，不使用冷阱或擋板，也可以得到一個較高的真空。它廣泛的應用于表面分析、加速器技術、等離子體技術、電真空

4、器件的制造以及真空技術的各個領域。1.3型號組成及含意|!-/I特征代號2額定扌由速（l/s）高真空接口口徑特征代號1說明：特征代號1：“F”，表示渦輪分子泵；“FF”，表示復合分子泵。特征代號2：“F”，表示可以采用風冷的泵，區(qū)別于水冷;“N”，表示耐腐蝕泵；“C”等其他字母，表示產(chǎn)品或性能的改進相關性能參見各系列的技術說明。1.4工作條件分子泵只在分子流區(qū)域（渦輪泵、復合泵）或接近于分子流區(qū)域（復合泵）有由速（渦輪分子泵連續(xù)工作入口壓強要求小于等于IPa,復合分子泵連續(xù)工作入口壓強要求小于等于5Pa）,且要求前級排氣口壓強保持在lOPa以下，因此必須配置合理的前級泵，并使用與之相匹配的KY

5、KY分子泵控制器。_1LIa圖1-1分子泵的應用（真空系統(tǒng)原理圖）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）1.5裝箱單在打開包裝箱后，請仔細核對箱內(nèi)分子泵及其附件。表1-1裝箱單單位分子泵防護網(wǎng)使用說明書檢驗合格證保修卡CF銅墊圈CF接口專用保護氣體接口KF16盲板、卡箍耐腐蝕泵專用分子泵潤滑油油潤滑泵專用O圈支架（包括0圈）LF接口專用100系列、160系列、200系列中LF接口分子泵10卡鉗（LF專用）250系列400系列1.6配件選購配件是指安裝分子泵時，在需要的情況下需由用戶另外購買的配件：表1-2選購配件表序號名稱單位規(guī)格數(shù)量備注1*分

6、子泵泵100系列體加熱器螺栓、螺母、墊圈M8X55M8X60*在需要的情況下是指：要獲得超高及以上真空,1624160系列200系列100系列中CF100高真空接口160系列中CF150高真空接口200系列中CF200高真空接口泵殼必須烘烤的情況等。北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）2技術說明2.1100系列渦輪分子泵技術說明100系列渦輪分子泵包括F-100/110、F-100/150兩種。表2-1100系列渦輪分子泵技術參數(shù)表型號抽氣速率（l/s）壓縮比極限壓強（Pa）F-100/110110F-100/150150N:108；H:5X

7、102226X10-6(DN100LF)6X10-8；6X10-7(DN100CF)排氣口法蘭KF25(DN25ISO-KF)進氣口法蘭軸承額定轉(zhuǎn)速（rpm）啟動時間（min）振動值（gm）建議前級泵（l/s）充油量（ml）安裝方式LF100(DN100ISO-K)、CF100普通軸承42300V20.122X6垂直或水平冷卻方式冷卻水溫度（C）泵體烘烤溫度（C）環(huán)境溫度（C）重量（kg）環(huán)境溫度532C時，風冷；540C時，水冷;251005408此極限為前級泵采用二級旋片泵加擴散泵或渦輪分子泵得出；此極限為水冷條件下的測試結果。北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)

8、展有限責任公司（KYKY）圖2-1F-100/110安裝簡圖圖2-2F-100/150安裝簡圖北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）型號抽氣速率（l/s）壓縮比極限壓強（Pa）額定轉(zhuǎn)速（rpm）啟動時間（min）軸承排氣口法蘭進氣口法蘭振動值（gm）建議前級泵（l/s）冷卻水溫度（C）泵體烘烤溫度（C）環(huán)境溫度（C）充油量（ml）安裝方式重量（kg）FF-160/500FFF-160/620CNFF-160/620CFF-160/700500600700N：

9、109；2H：6X1032N：109；H：6X10422N：109；2H：6X10626X10-6(DN160LF)6X10-7(DN160LF)6X10-8；6X10-7(DN160CF)6X10-8(DN160CF)240002700036000V5V6V4普通軸承陶瓷軸承（耐腐蝕泵需通保護氣體）KF40(DN40ISO-KF)LF160(DN160ISO-K)、CF1600.1脂潤滑任意角度192.2160系列復合分子泵技術說明160系列復合分子泵包括FF-160/500F、FF-160620C、FF-160620CN、FF-160/700四種泵。表2-2160系列復合分子泵技術參數(shù)表4

10、-8251005-40C(FF-160/500F可在5-32C時風冷)150豎直529此極限為前級泵采用二級旋片泵加擴散泵或渦輪分子泵得出；此極限為水冷條件下的測試結果；此極限為水冷條件下的測試結果；動靜葉片做耐腐蝕處理、潤滑油采用耐腐蝕潤滑油。北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）3丄F舸wKHn:J/Vkcneo丄1JS北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）圖2-4FF-160/620C安裝簡圖圖2-5FF-160/620CN安裝簡圖北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技

11、術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）圖2-6FF-160/700安裝簡圖北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）2.3200系列復合分子泵技術說明200系列復合分子泵包括：FF-200/1200C、FF-200/1300兩種泵。表2-3200系列復合分子泵技術參數(shù)表型號FF-200/1200CFF-200/1300抽氣速率（l/s）12001300壓縮比N：109；H：6X103

12、99十卩(THizpBH/Do1X10-6(DN200LF)6X10-6(DN200LF)極限壓強（Pa）1X10-7(DN200CF)6X10-8；6X10-7(DN200CF)額定轉(zhuǎn)速（rpm）2700024000啟動時間（min）V6軸承陶瓷軸承排氣口法蘭KF40(DN40ISO-KF)進氣口法蘭LF200(DN200ISO-K)、CF200振動值（m）0.1建議前級泵（l/s）15冷卻水溫度（C）25泵體烘烤溫度（C）100環(huán)境溫度（C）5-40充油量（ml）150脂潤滑安裝方式豎直5任意角度重量（kg）3929此極限為前級泵采用二級旋片泵加擴散泵或渦輪分子泵得出；此極限為水冷條件下的

13、測試結果;北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）0240.253圖2-7250系列1620286600、FF-250/1800三種。0/1gto20分g、FF-25FF|2.4250系列!o分子50體圖2-8FF-200/1300安裝簡圖型號F-250/1500FF-250/1600FF-250/180抽氣速率（l/s）150016001800壓縮比N：108；H：225X103極限壓強（Pa）6X10-61X10-6額定轉(zhuǎn)速（rpm）2100027000啟動時間（min）V8軸承普通軸承陶瓷軸承排氣口法蘭KF50(DN50ISO-KF)KF4

14、0(DN40ISO進氣口法蘭LF250(DN250ISO-K)振動值（m）0.1建議前級泵15冷卻水溫度（C）25泵體烘烤溫度100環(huán)境溫度（C）5-40充油量（ml）150脂潤滑安裝方式豎直5任意角度重量（kg）604742表2-4250充氣口：KF10(DN10ISO-KF)放氣口1。北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）圖2-9F-250/resc北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）圖2-11FF-2

15、50/1800安裝簡圖2.5400系列渦輪分子泵技術說明400系列渦輪分子泵包括F-400/3500渦輪分子泵。北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）表2-5400系列渦輪分子泵技術參數(shù)表北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）型號抽氣速率（l/s）3500壓縮比N:108；H:5X10222極限壓強（Pa）6X10-6排氣口法蘭LF100(DN100ISO-K)進氣口法蘭LF400(DN400ISO-K)軸承

16、陶瓷軸承啟動時間（min）18額定轉(zhuǎn)速（rpm）13500振動值（gm）0.5建議前級泵（l/s）30冷卻水溫度（C）25泵體烘烤溫度（C）80環(huán)境溫度（C）5-40充油量（ml）150安裝方式豎直5重量（kg）136F-400/3500圖2-12F-400/3500安裝簡圖北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司（KYKY）2.6與分子泵匹配的控制器表2-6分子泵與控制器對照表分子泵型號配用控制器F-100/110、F-100/150FD-110AFD-IFF-160/

17、500FFD-II500KFF-160/620CFD-II600HFF-160/620CNFD-I600KFF-160/700FD-I700KFF-200/1200CFD-I1200HFF-200/1300FD-I1300KF-250/1500FD-I1500KFF-250/1600FD-I1600HFF-250/1800FD-I1800KF-400/3500FD-3500KFD-III3運輸與保存3.1運輸分子泵出廠時，包裝在包裝箱里。在運輸過程中，要輕搬輕放，嚴禁強震、倒置、側(cè)放、雨淋、嚴寒和暴曬。3.2保存泵及控制器在開箱前應貯存在干燥、通風、沒有腐蝕性氣體的房屋內(nèi)，防止雨淋、嚴寒和暴曬

18、。貯存環(huán)境溫度：-20C+55C；相對濕度不超過95%。3.3搬動分子泵在打開包裝箱后搬動時，注意不能倒置或過大角度傾斜(不大于45)，并注意保護泵的高真空接口、前級接口、水嘴、控制器接口等易損壞部位。警告:僅在將泵放置于所要安裝的系統(tǒng)前時，打開泵的密封蓋；泵的前級接口、水嘴、控制器接口等突出部位不能作為搬運把手；搬運時，注意保護泵的高真空、前級接口，避免劃傷。4安裝4.1確認泵的主要用途分子泵只能用于將一個封閉腔室從分子流區(qū)域或接近分子流區(qū)域抽至更高真空；分子泵不能用于抽除液體或者帶有粉塵、固體顆粒的氣體；除了“N”型泵以外，其他任何分子泵不能用于抽除腐蝕性氣體，“N”型泵在抽除腐蝕性氣體時

19、，必須給軸承通保護氣體，且泵油使用KYKY提供的專用耐腐蝕分子泵油。警告：每種泵都只能使用本說明書中規(guī)定的與之匹配的控制器供電，如因此類使用不當造成的損失，本公司概不負責。4.2安裝環(huán)境條件泵體表面徑向和軸向磁場強度均不得大于3mT(30Gs)；分子泵可抗放射性強度為105rad；環(huán)境溫度為5-40C；空氣相對濕度：85%；電壓：22022V,頻率：50lHz；海拔：40h-i時，分子泵和前級泵可以同時啟動，此時分子泵相當于一個阻流閥，可有效防止前級泵油上返。當Sr/VW40h-i時，被抽容積過大，應先啟動前級泵，等系統(tǒng)壓強PW200Pa或PWe（Sr/6v）xi00Pa時，再啟動分子泵。啟動

20、冷卻系統(tǒng)水冷泵應接通冷卻水（水壓不足，分子泵控制器自動報警），風冷泵啟動風扇；通保護氣體根據(jù)被抽腐蝕氣體濃度確定保護氣體流量，一般1220sccm,但在抽強腐蝕性氣體時，應適當加大流量。啟動心：確認前級泵工作正常；分子泵每次啟動時，按下分子泵控制器面板上的“啟動（Start）”按鈕即可。對于脂潤滑型分子泵，初次使用或長期閑置（一般3個月以上）重新使用時，建議用戶執(zhí)行以下操作：啟動分子泵，待控制器顯示分子泵達到額定轉(zhuǎn)速時，按下“停止（Stop）”按鈕。當分子泵完全停機后，等待10分鐘左右，重新啟動分子泵。執(zhí)行以上啟停操作2到3次，以后即可每次正常啟動分子泵；詳細操作請參看“分子泵控制器使用說明書

21、”。加速正常的分子泵加速時間應小于等于技術參數(shù)表中所列加速時間，如果軸承磨損或系統(tǒng)有漏，加速時間將延長。用戶在使用中應注意觀察，發(fā)現(xiàn)異常及時停泵，并由有經(jīng)驗的技術人員查找異常原因。5.3烘烤在空氣濕度較大地區(qū)，獲得10-4Pa真空,一般情況下，設計合理的真空系統(tǒng)，要獲得10-4Pa以下的真空,不必烘烤;獲得10-5Pa的真空，只需烘烤除泵以外空系統(tǒng)的其它部件;但對于獲得超高真空，則包括分子泵在內(nèi)的真空系統(tǒng)所有部件需要同時充分烘烤;同時電離真空規(guī)管必須充分除氣，以保證測量數(shù)據(jù)的準確性。烘烤應在分子泵運轉(zhuǎn)情況下進行。烘烤溫度見技術參數(shù)表。烘烤時間根據(jù)系統(tǒng)及泵的污染程度和預期達到的極限壓強確定。倉危

22、險：烘烤時，加熱器和泵殼溫度接近loor，身體任何部分直接接觸都將造成傷害。/警告：烘烤溫度應嚴格控制，過高會造成分子泵渦輪葉片變形而損壞。5.4運行警告：轉(zhuǎn)子是高速運轉(zhuǎn)的部件，且與泵殼的間隙很小，因此，分子泵在運行中泵體外部過大的撞擊或振動以及被抽空間突然大氣量的沖擊、外界堅硬物體掉入泵中都將導致泵損壞。如果用戶有特殊要求，請咨詢生產(chǎn)廠家。5.5停機介危險：當時用分子泵抽除腐蝕性氣體時,關泵前，必須從保護氣體接口充入干燥氮氣或惰性氣體至少一小時，流量為12-20sccm。按下分子泵控制器面板上的“停止（stop）”鍵，分子泵逐漸停止轉(zhuǎn)動。詳細說明請參見控制器使用說明書。關閉前級泵；關閉冷卻水

23、或風扇；/S警告：a）用“停止（stop）”鍵停泵，而不要切斷控制器開關！“停止（stop）”鍵是利用控制器的“剎車”功能使泵逐漸停轉(zhuǎn)，突然斷電將降低軸承壽命。待控制器上的頻率指示燈閃爍時，再切斷控制器。b）分子泵停轉(zhuǎn)后，應該立即關閉冷卻水，以免在泵內(nèi)形成冷凝水。心:按下“停止（stop）”鍵后，在泵停穩(wěn)之前，對泵充氣能減輕前級泵油上返，但泵腔壓升太快將對軸系帶來附加壓力，降低軸承壽命。5.6停機后充氣對分子泵停機后再進行充氣，應使泵內(nèi)壓強逐步達到大氣壓。真空系統(tǒng)停止工作時，一般應將分子泵充氣到大氣狀態(tài)，以免前級對分子泵及真空室造成污染KYKY所生產(chǎn)的分子泵，除特殊訂制，或特殊型號，一般不帶有

24、充氣接口。充氣方式一般有以下三種情況：a）耐腐泵帶有保護氣體接口，停機后可延時關閉此接口，使分子泵逐漸升壓至大氣狀態(tài)。若此時同時使用真空室上面的充氣閥，注意應延時一段時間開啟充氣閥，以使得泵腔壓力高于真空室壓力，這樣可阻止真空室內(nèi)的腐蝕性氣體、固體顆粒物等進入泵腔。b）利用真空室上的充氣閥。分子泵停機后，打開充氣閥（分子泵與腔室間若有閥門應在開啟狀態(tài)），注意應盡量放慢充氣速度，以免真空室內(nèi)的固體顆粒物進入泵腔。c）在前級泵與分子泵之間設置充氣閥。充氣注意應放慢充氣速度，以免前級的油蒸氣及固體顆粒物進入泵腔。警告：泵腔壓力不能高于一個大氣壓。/小心：泵停止運行后，如果長期處于真空狀態(tài)，軸承處的油

25、蒸汽會反擴散到泵入口側(cè)，污染其高真空端及真空腔體。充氮氣或干燥空氣可明顯縮短下次抽極限時間。通過在泵與真空腔之間設置閥門，使真空室長時間保持真空狀態(tài)，而不要使分子泵長時間保持真空狀態(tài)。特殊環(huán)境下使用泵6.1隔振如果被抽系統(tǒng)振動較大，應使用隔振器，以減少振動對分子泵造成的損壞。6.2強磁場屏蔽泵在強磁場中運行時，旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將產(chǎn)生渦電流而發(fā)熱，消弱鋁材料的強度。因此，要求加在分子泵上的徑向和軸向磁場強度均不得大于3mT（3OGs）。在大于3mT的環(huán)境中使用泵應使用導磁材料屏蔽。6.3電磁干擾分子泵及其控制器在運行中將對環(huán)境產(chǎn)生電磁場，但電磁強度符合國際標準。在特殊應用場合（如醫(yī)療儀器等），用戶可以

26、向生產(chǎn)廠家索取技術證明。6.4強放射性限制大多數(shù)材料在強放射性環(huán)境下，都將改變其性能，尤其是有機材料（如泵油、密封圈）及半導體組件。為防止泵的意外損壞，分子泵運行環(huán)境中放射性強度應小于105rad。日常維護與維修危險：泵在通電狀態(tài)下，泵體任何導體部分都可能帶電，在對泵進行任何維護及維修工作之前，必須首先切斷控制器；警告：a）拆泵必須由經(jīng)過培訓的專業(yè)人員操作，嚴禁未經(jīng)授權私自拆泵。b）分子泵經(jīng)過精密的動平衡校驗，擰松螺釘或增減墊片等任何操作都將導致嚴重的動不平衡。如發(fā)生該類問題請將泵返回廠家，重新校驗。7.1更換潤滑油7.1.1100系列渦輪分子泵新泵初次運行1000小時后，即應更換潤滑油；通常

27、，經(jīng)過初次換油后，正常運行的泵一年換油一次；更換潤滑油方法：泵體上下軸承處，各有一個注油孔和一個出油孔，將兩個注油孔（位置偏上）和兩個出油孔（位置偏下）螺釘卸下，水平擱置泵，使注油孔朝上，用注射器將大約2X6m1的油分別注入兩個油孔內(nèi)，從另一側(cè)流出的油不得再用。將4個M5油孔專用螺釘擰好，用吸油紙吸凈泵殼上殘余的油，即完成潤滑油更換。心警告：安裝油孔螺釘時，注意螺釘上的黑色O形密封圈應擰緊、壓實，避免漏氣。7.1.2口徑大于等于160的泵新泵初次運行1000小時后，即應更換潤滑油；常規(guī)運行中，分子泵一年內(nèi)運行時間少于4000小時的，一年更換一次；一年內(nèi)運行時間多于4000小時的，每運行4000小時必須換油一次。如果泵經(jīng)常烘烤或大負載工作或耐腐泵，觀察到潤滑油混濁或明顯變色，則需立即更換潤滑油；更換潤滑油的方法：1）松開泵底部緊固油池的固定螺釘，取下油池，倒出油池內(nèi)的廢油；2）使用中性洗滌劑刷洗油池，注意要將雜質(zhì)和污物清理干凈，然后擦干（充分擦干，不能留有水珠）；3）重新注油方法與新泵注油方法相同，見4.3.7。告：更換下來廢棄的潤滑油按當?shù)胤煞ㄒ?guī)處理。7.2清洗泵如果排除真空系統(tǒng)漏氣或真空腔體污染嚴重等原因，在對泵長時間烘烤后仍不能恢復其真空性能，則斷定泵已被污染，必須對泵進行清洗。分子泵只能由KYKY公司或KY