真空鍍膜操作規(guī)程_第1頁
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文檔簡介

1、真空鍍膜操作規(guī)程準備:1、開啟設備總電源,穩(wěn)壓器,確認三相供電電壓正常:370440V;2、開啟電容補償器;3、確認水池冷卻水水量充足(見浮標尺)打開循環(huán)水泵;4、根據(jù)工藝要求, 確定是否需要啟動冷水機以及啟動幾臺冷水 機;啟動前應確認冷水機入口水壓 -3kg ,內(nèi)部增壓泵旋轉(zhuǎn)正常, 可采用自動或手動方式啟動;5、確認各部分冷卻水循環(huán)系統(tǒng)完好, 確認擴散泵循環(huán)水工作正常,緊急冷卻系統(tǒng)準備就緒;6、確認工藝氣體氣壓不低于 20 個大氣壓7、裝基膜:A 、 領膜:鍍膜工按生產(chǎn)任務單要求,從凈化室中領到基膜 時,應立即檢查該膜是否合格,有無花紋、斑點、劃傷、污 跡,收卷是否整齊等直接觀測到的問題,如

2、有應立即向生產(chǎn) 主管報告,以決定是否采用;B、裝軸:操作時必須帶手套,將合格的基膜放在專用膜托 架上,取一對尺寸相同的軸安裝好,安裝時請注意膜的正反 面,確認一切準備就緒了, 即可吊裝。 吊裝時必須輕拿輕放, 嚴禁碰撞,必須保持基膜水平,以免膜打滑引起螺紋狀;C、裝膜:確認冷輥無冷凝水后,即可裝膜,裝膜時不要對 著膜講話,以保持膜面干凈。注意不要碰透過率分析儀的探 頭,裝膜時應保證膜在冷輥的中心;D、按任務書車速要求設置鍍膜速度、張力;E、試卷:引膜完成后,手動預卷幾圈 ,打開張力控制器, 啟動冷輥、收卷、卷膜(其中ITO膜卷1 2m,前檔膜和建 筑膜卷20m )。仔細觀察膜是否走正,啟動是否

3、容易,冷輥 是否與膜同步,走速是否平穩(wěn),膜是否變形、起皺、劃傷等 等,并及時處置,最后用記號筆在放料端畫起始標志線;8、按生產(chǎn)任務書要求確認各靶位、布氣系統(tǒng)、電源配置正確,靶材量充足,確認無其他物品遺忘在真空室內(nèi)或小車上,關閉 真空室; 抽真空1、擴散泵預加熱(約需 40 分鐘):啟動維持泵,確認運轉(zhuǎn)正 常后,打開維持閥(燈亮),逐一打開擴散泵;2、低抽:確認真空室門已關閉啟動計算機,進入鍍膜系統(tǒng)監(jiān) 控程序,充氣閥關閉,啟動機械泵( 1 、 2),確認機械泵正常運 行后,開預抽閥, 五分鐘后打開復合真空計, 打開羅茨泵開關,(當真空達到 1500Pa 時,羅茨泵允許信號燈(紅燈)亮,再延遲 2

4、5 秒后,羅茨泵自動啟動);3、高抽:當羅茨泵啟動五分鐘后,打開熱偶真空計,當真空度達 到 5Pa 時,開高閥允許信號燈(紅燈)亮,此時確認擴散泵預 熱已完成(加熱 40 分鐘或油窗油面達到規(guī)定位置 情況下), 關閉預抽閥,依次打開各前級閥,關維持閥、關維持泵。依次 打開各路高閥,確認到位開關燈亮, 開始高抽。真空度進入 10-2Pa 后,打開電離真空計測量高真空,直到工藝規(guī)定的背景真空, 真空進入6x10-3Pa后,打開靶電源總開關及透過率分析儀預熱, 與計算機系統(tǒng)完成通訊連接;三、鍍膜:1、確認已達背景真空,關閉電離真空計,打開冷輥、隔離槽、 靶電源、冷卻水,確認工作正常;2、打開所需各路

5、供氣電磁閥,抽取殘留雜質(zhì)氣體,確認 到達背景真空,按工藝要求設置各路氣體流量,打開總氣閥、 減壓閥、 氣體控制器開關, 用中真空計觀察工藝氣體總壓, 穩(wěn) 定后進行透過率分析儀初始化整定(此時需關閉真空室照明 燈);3、鍍膜:啟動傳動系統(tǒng), 確認收放卷工作正常, 按靶 1靶 5 依次設置各 靶鍍膜功率,關照明燈,觀察記錄透過率變化情況,開照明燈, 觀察鍍膜后剩余反射光、外觀、顏色、質(zhì)量是否符合工藝要求, 在穩(wěn)定工作的情況下,做好工藝記錄,不斷巡查設備運轉(zhuǎn)狀況,合理處置各種隨機問題,鍍膜結束時,依次關閉傳動、靶電源, 工藝氣體、冷卻水、(擴散泵水除外),依次關閉各路高閥, 啟動維持泵,開維持閥,依次關各路前級閥、羅茨泵、機械泵、 各真空測量儀,對冷輥升溫,如不繼續(xù)鍍膜,關閉擴散泵,保 持冷卻水,降溫 3 小時后,關維持閥和維持泵;四、恢復大氣壓力:確認冷輥高于露點溫度后,打開充氣閥,充氣完成后,打開真 空室門;五、質(zhì)量檢驗:在收卷一側壓緊輥處用記號筆標記鍍膜終止位置橫 線,對鍍膜質(zhì)量進行必要的觀測檢驗記錄;六、卸膜:將鍍膜剩余引膜收卷完畢,用吊車小心將成品膜吊裝到專用托 架上,送交凈化室;七、分卷、分切、入庫保存;八、包裝、出庫、運輸;九、特別提示:當

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