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文檔簡介
1、1 1精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 精美特鍍二廠精美特鍍二廠鍍膜營銷精英知識(shí)培訓(xùn)鍍膜營銷精英知識(shí)培訓(xùn)2 2精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 產(chǎn)品應(yīng)用產(chǎn)品應(yīng)用3 3精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 用于用于LCD或手機(jī)上的顯示玻璃,用濺射方法或手機(jī)上的顯示玻璃,用濺射方法 在玻璃上鍍?cè)诓A襄僆TO(Indium-Tin Oxide)等材質(zhì)等材質(zhì) 的單層或多層薄膜的產(chǎn)品的單層或多
2、層薄膜的產(chǎn)品 單層:TN/STN ITO、PDP ITO 多層:觸摸屏、PDP-Filter、P-TV Mirror,用于TFT的Cr鍍膜 ARAS Film應(yīng)用范圍應(yīng)用范圍 產(chǎn)品的應(yīng)用產(chǎn)品的應(yīng)用4 4精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 ITO 4.5ITO 4.5產(chǎn)品結(jié)構(gòu)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)5 5精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 ITO 10產(chǎn)品結(jié)構(gòu)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)6 6精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外
3、秘 手機(jī)行業(yè)電腦行業(yè)數(shù)碼行業(yè)光學(xué)鏡頭應(yīng)用領(lǐng)域 ITO 蓋板產(chǎn)品結(jié)構(gòu)蓋板產(chǎn)品結(jié)構(gòu)7 7精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 多樣化印刷蓋板效果珠光效果黑色效果七寸面板印刷白色效果 ITO 蓋板產(chǎn)品應(yīng)用蓋板產(chǎn)品應(yīng)用8 8精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 鍍膜原理鍍膜原理9 9精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 鍍膜分類鍍膜分類1010精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共
4、創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 鍍膜分類鍍膜分類1111精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 鍍膜分類比較鍍膜分類比較1212精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 沉積方法沉積方法 - 物理沉積 (Physical Vapor Deposition, PVD) - 化學(xué)沉積 (Chemical Vapor Deposition, CVD) 在沉積的過程中形成新的化合物 什么是什么是濺射濺射? 高能粒子撞擊固體表面時(shí),固體表面的原子與撞擊粒子彈性
5、或者非彈性沖突后,固體表面的組成原子從表面跳出的過程把靶材(陰極)分裂成原子,然后將原子沉積在玻璃面上靶材(陰極)基片(玻璃) 薄膜薄膜沉積沉積(濺射法濺射法)1313精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 首先把沉積物質(zhì)轉(zhuǎn)換成氣體,換句話說利用加速的離子沖突,使基礎(chǔ)物體從靶材中跳出的過程。 為了把濺射氣體(Ar:惰性氣體,與內(nèi)部物質(zhì)間的化學(xué)反應(yīng)最少,離子質(zhì)量比較合適)轉(zhuǎn)換成加速粒子,需要利用輝光放電形成等離子體,把Ar氣體離子化并在電場作用下加速成Ar+轟擊靶材,使靶材的粒子溢出。 為了形成等離子體,先要形成輝光(Glow)放
6、電。 輝光放電輝光放電:指電子密度為108-1012/、電子能為1-30eV左右的低溫等離子 體在持續(xù)的電流作用下產(chǎn)生發(fā)光的現(xiàn)象。 進(jìn)行過程進(jìn)行過程1414精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 什么叫等離子體什么叫等離子體? - 等離子體(等離子態(tài)、電漿、英文:Plasma):是一種電離的氣體,由于存在電 離出來的自由電子和帶電離子,具有很高的電導(dǎo)率,與電磁場存在極強(qiáng)的耦合作用。等離子態(tài)在宇宙中廣泛存在,常被看作物質(zhì)的第四態(tài) - 輝光放電生成及維持等離子體(輝光放電是低氣壓下的氣體放電) 等離子體等離子體1515精英薈萃,共創(chuàng)
7、美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 磁鐵的排列方向?yàn)榇盆F的排列方向?yàn)镹S N S N S極,形成左右對(duì)稱的靶材極,形成左右對(duì)稱的靶材消耗,但根據(jù)磁鐵排列及磁極之間的寬度,靶材消耗的寬度也不同消耗,但根據(jù)磁鐵排列及磁極之間的寬度,靶材消耗的寬度也不同 靶材上安裝磁鐵是為了使靶材周圍形成磁場來約束電子,并利用電子的密集化 來增加Ar氣體的離子化??梢蕴岣邽R射沉積速度,而且把電子約束在靶材周圍, 因此減少2次電子對(duì)基板的打入,導(dǎo)致的不必要的加熱及雜質(zhì)混合 跳出的靶材粒子沉積在基板玻璃上就形成我們需要的薄膜 真空泵 電源Gas 濺射沉積濺射沉積1
8、616精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 要沉積的物質(zhì)叫靶材,在真空室里注入Ar等惰性氣體后,在靶材上施加負(fù)電壓,Ar氣體體被激活形成等離子體。等離子體中的Ar+離子利用電引力移動(dòng)到陰極方向,這時(shí)靶材表面原子會(huì)跳出并沉積在玻璃基板上。這樣的過程,通過很多離子反復(fù)發(fā)生,叫濺射沉積濺射沉積。 濺射沉積濺射沉積1717精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 各式各樣的膜系金屬(NB, SIAL,CU)半導(dǎo)體(ITO)絕緣體+ 半導(dǎo)體(TiN, SiO2)純絕緣體(光
9、纖, Tio2, SiO2) 各式靶材各種基片完整的濺射工藝完整的濺射工藝1818精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 ITO鍍膜鍍膜玻璃玻璃的的定義定義- ITO是Indium Tin Oxide的縮寫,是In2O3-SnO2系列化合物的一種。其中I表示 In2O3,T表示SnO2,一般Sn(即Tin)的含量約為10%, 用濺射 的方法把材 質(zhì)鍍?cè)诓AО迳希?yīng)用在顯示器件上的玻璃叫ITO鍍膜玻璃。1) 特性特性- 透光率良好,電阻系數(shù)低。- 導(dǎo)電性及蝕刻性良好。- 以透明導(dǎo)電性薄膜及容易輕量化而擴(kuò)大應(yīng)用范圍。- 可以形成超
10、薄膜且再現(xiàn)性突出,所以可以鍍膜的物體很多。 2) ITO鍍膜玻璃的結(jié)構(gòu)鍍膜玻璃的結(jié)構(gòu) ITO 鍍膜的理解鍍膜的理解1919精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 具具有導(dǎo)電性的有導(dǎo)電性的材質(zhì):材質(zhì):1) 金 屬:通過自由電子的移動(dòng)具有導(dǎo)電性。2) 半導(dǎo)體:電子或者孔穴持有部分導(dǎo)電性。3) 絕緣體:滿帶的電子持有導(dǎo)電性,但幾乎沒有電子的移動(dòng),所以不導(dǎo)電。ITO具有導(dǎo)電性的具有導(dǎo)電性的原因原因 ITO是 In2O3 被 SnO2 置換,如同下面反應(yīng)式。 根據(jù)上面的反應(yīng)式實(shí)際起導(dǎo)電作用的是Sn和In置換過程中提供的電子。但是從 Sn
11、跳出來的電子不是在傳導(dǎo)帶上,而是在禁帶上,所以在導(dǎo)電方面幾乎沒有做貢獻(xiàn),因此 ITO 物質(zhì)不能導(dǎo)電。但是,ITO實(shí)際上按照下面的反應(yīng)式進(jìn)行導(dǎo)電。 按照上面的反應(yīng)式時(shí),一個(gè)原子的2個(gè)氧電子處于傳導(dǎo)帶可以導(dǎo)電。即,有氧離子空洞(vacancy)ITO才可以導(dǎo)電。(vacancy:是指1個(gè)到250個(gè)左右的原子躍居的空間;反面void是指數(shù)十萬個(gè)的原子躍居的空間。),所以ITO可以稱為n-型半導(dǎo)體。因此化學(xué)理論上ITO不能導(dǎo)電,實(shí)際導(dǎo)電的是氧離子稍微不足的非化學(xué)理論的ITO。 ITO 導(dǎo)電原因?qū)щ娫?020精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)
12、外秘對(duì)外秘 鍍鍍SIO2膜的必要性膜的必要性 ITO玻璃的原板玻璃是廉價(jià)的堿性玻璃,玻璃內(nèi)含有3wt%的 Na2O成分。 玻璃中的鈉離子移動(dòng)到表面碰到空氣后被大氣中的水分引起Na+的涌出。 涌出的Na+和水分中的OH+及大氣中CO2進(jìn)行復(fù)合化學(xué)反應(yīng),導(dǎo)致玻璃模糊。 Na+進(jìn)入ITO膜內(nèi)跟ITO膜中的氧氣進(jìn)行反應(yīng),導(dǎo)致電阻系數(shù)上升及產(chǎn)生其 他不良影響。 .為了防止Na+的涌出在玻璃基板和ITO薄膜之間鍍一層SIO2膜(200-300A) 2121精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 基板成份基板成份2222精英薈萃,共創(chuàng)美好明天
13、;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 什么是什么是 RF 濺射?濺射? 使用絕緣體電極,利用交流電源,周期性施加正負(fù)電壓在靶材表面不累計(jì)離子和電子的情況下,維持輝光放電的方法。.反面發(fā)生異物原因反面發(fā)生異物原因 RF電源周期性變化正負(fù)電壓的同時(shí),電子的流動(dòng)要流暢,而且以一定的狀態(tài)存在,但部分部件受污染后發(fā)生電阻差,所以電子會(huì)集中在一起,這樣會(huì)發(fā)生電擊現(xiàn)象并粘貼在部件上而形成污染源,當(dāng)該污染物粘貼到玻璃上時(shí),就形成了異物缺陷。.妨礙電子移動(dòng)的因素妨礙電子移動(dòng)的因素 - 陰極絕緣 - 框架絕緣 - 匹配 - 部件污染 RF濺射濺射2323精英薈萃,共創(chuàng)
14、美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 氧化物或者絕緣體作為靶材時(shí)DC濺射無法進(jìn)行,但RF濺射可以解決這種問題,特別是氬氣壓力低的時(shí)候也可以維持等離子體Plasma。 RF電源除了對(duì)金屬材質(zhì)進(jìn)行濺射外,也可以對(duì)非金屬、絕緣體、氧化物等材質(zhì)進(jìn)行濺射,主要使用13.56的高頻電源。DC DC 濺射濺射RF RF 濺射濺射 靶材材質(zhì)靶材材質(zhì)導(dǎo)體導(dǎo)體/絕緣體/非金屬 輝光放電的輝光放電的ArAr壓壓力力10-15mTorr2-5mTorr成膜速度成膜速度速度高,對(duì)Ar不敏感速度低,對(duì)Ar敏感在線方式濺射沉積 RF濺射特性濺射特性2424精英薈萃,共創(chuàng)
15、美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 基板介紹基板介紹2525精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 常規(guī)產(chǎn)品厚度:1.1mm,0.7mm,0.55mm, 0.5mm 0.4mm,0.3mm常規(guī)產(chǎn)品尺寸:14*14,14*16,14*17 300*320mm,300*350mm,300*360mm 370*400mm,370*470mm,400*500mm 基板分類基板分類堿 玻 璃 鈉鈣玻璃,用于TN及STN LCD。板硝子NSG,旭硝子Asahi, 中央硝子Central
16、 Glass,硼硅玻璃德國肖特 Schott鋁硅玻璃無堿硅酸鋁玻璃,主要用于TFT- LCD。美國康寧Corning ITO玻璃基板玻璃基板2626精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 ITO基板種類基板種類2727精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 基板成份基板成份白云石白云石2828精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 基板成份作用基板成份作用2929精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走
17、特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 基板成份作用基板成份作用3030精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 基板生產(chǎn)路線基板生產(chǎn)路線Cover Lens 原片3131精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 基板成型技術(shù)對(duì)比基板成型技術(shù)對(duì)比 生產(chǎn)工藝項(xiàng)目浮法技術(shù)窄縫下拉法溢流法玻璃種類鈉鈣硅玻璃鋁硅玻璃鈉鈣硅玻璃鋁硅玻璃硼硅玻璃鋁硅玻璃產(chǎn)能 T/D400-9005-205-20窯爐建筑所需空間大較小較小投資金額小中大建廠時(shí)間(月)1
18、8-2415-1815-18拉出方向水平垂直向下垂直向下成型介質(zhì)液態(tài)錫鉑合金流孔漏板可供溢流的熔融幫浦成型原理錫液與玻璃液的密度差熔窯的拉引量,留孔開口大小和下拉速度玻璃液溢流量和下拉速度熔融方式天然氣、重油、電輔助加熱電加熱、天然氣電加熱、天然氣厚度范圍(mm)0.3-25mm0.03-1.1mm0.4-2.5mm面積大小大面積中小面積中大面積后續(xù)加工程度一面需要處理兩面都需要處理不需要處理代表廠家信義、浙玻、洛玻旭硝子電氣硝子康寧、板硝子3232精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 主要產(chǎn)品型主要產(chǎn)品型號(hào)號(hào)比重比重kg/m
19、3厚度厚度(mm)應(yīng)變點(diǎn)應(yīng)變點(diǎn)C膨脹系數(shù)膨脹系數(shù)*10-7(30-380C)鋼性鋼性康寧Eagle 20002.3700.667035.5AN-6352.77-63548電氣硝子OA-102.511-65136.6中央硝子NA-352.50.765036.76930實(shí)測值-2.50.765032-377000國內(nèi)超薄-2.5-500 基板性能對(duì)比基板性能對(duì)比3333精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 浮法流程浮法流程3434精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外
20、秘 浮法流程浮法流程3535精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 溢流法法流程溢流法法流程3636精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 采用一長條型的熔融幫浦(Fusion Pump),將熔融的玻璃膏輸送到該熔融幫浦的中心,再利用溢流的方式,將兩股向外溢流的玻璃膏于該幫浦的下方處再結(jié)合成超薄平板玻璃。 利用這種成型技術(shù)同樣需要借重模具,因而熔融幫浦模具也面臨因受機(jī)械應(yīng)力變形、維持熔融幫浦水平度及如何將熔融玻璃膏穩(wěn)定打入熔融幫浦中的問題。因?yàn)槔靡缌魅廴诜ǖ某尚?/p>
21、技術(shù)所作成的超平板玻璃,其厚度與玻璃表面的質(zhì)量是取決于輸送到熔融幫浦的玻璃膏量、穩(wěn)定度、水平度、幫浦的表面性質(zhì)及玻璃的引出量。 熔融溢流技術(shù)可以產(chǎn)出具有雙原始玻璃表面的超薄玻璃基材,相較于浮式法(僅能產(chǎn)出的單原始玻璃表面)及流孔下拉法(無法產(chǎn)出原始玻璃表面),可免除研磨或拋光等后加工制程,同時(shí)在平面顯示器制造過程中,也不需注意因同時(shí)具有原始及與液態(tài)錫有接觸的不同玻璃表面,或和研磨介質(zhì)有所接觸而造成玻璃表面性質(zhì)差異等 溢流法法流程溢流法法流程3737精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 流孔下引法制程每日能生產(chǎn)520公噸厚度0.
22、031.1的超薄平板玻璃,因鉑金屬無法承受較高的機(jī)械應(yīng)力,因此一般大多采用鉑合金所制成的模具,不過因其在承受外力時(shí)流孔常會(huì)變形,導(dǎo)致厚度不均勻及表面平坦度無法符合規(guī)格需求為其缺點(diǎn)。該法系以低黏度的均質(zhì)玻璃膏導(dǎo)入鉑合金所制成的流孔漏板(SlotBushing)槽中,利用重力和下拉的力量及模具開孔的大小來控制玻璃之厚度,其中溫度和流孔開孔大小共同決定玻璃產(chǎn)量,而流孔開孔大小和下引速度則共同決定玻璃厚度,溫度分布則決定玻璃之翹曲,以流孔下引法技術(shù)拉制超薄平板玻璃如圖所示。 流孔下引法必須要在垂直的方向上進(jìn)行退火,如果將其轉(zhuǎn)向水平方向則可能會(huì)增加玻璃表面與滾輪的接觸及因水平輸送所產(chǎn)生的翹曲,導(dǎo)致不良率
23、大增。這樣的顧慮使得熔爐的建造必須采用挑高的設(shè)計(jì),同時(shí)必須精確的考慮退火所需要的高度,使得工程的難度大幅增加,同時(shí)也反映在建廠成本上。 窄縫下拉法流程窄縫下拉法流程3838精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 基板分類基板分類按基板類型分按基板類型分TNSTNSSTNTN原片只切割磨邊不拋光STN普通等級(jí)型拋光原片SSTN特殊等級(jí)型拋光原片高阻面電阻大于30/口 低阻面電阻30/口 觸摸屏400 /口STN是Super Twisted Nematic的縮寫3939精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好
24、明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 TN-LCDTN=TwistNematic扭曲向列型扭曲角為90TN-LCD特點(diǎn)特點(diǎn)結(jié)構(gòu)簡單、技術(shù)難度相對(duì)低結(jié)構(gòu)簡單、技術(shù)難度相對(duì)低成本低成本低90 TN基板玻璃應(yīng)用基板玻璃應(yīng)用4040精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 STN-LCDSTN=SuperTwistNematic超扭曲向列型扭曲角為180270STN-LCD特點(diǎn)特點(diǎn)扭曲角度的增加,使下列性能得到改善:扭曲角度的增加,使下列性能得到改善:顯示對(duì)比度提高顯示容量增加視角變寬對(duì)電阻相當(dāng)敏感,基片需要拋光對(duì)電阻相當(dāng)敏感,基片需
25、要拋光高容量顯示要求高容量顯示要求ITO的電阻低,膜要厚的電阻低,膜要厚180270黃綠模式、藍(lán)模式、灰模式 STN基板玻璃應(yīng)用基板玻璃應(yīng)用4141精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 TFT-LCDTFT=ThinFilmTransistor薄膜晶體管每一個(gè)點(diǎn)陣都由薄膜晶體管來控制TFT-LCD特點(diǎn)特點(diǎn)TFT的引入使產(chǎn)品的顯示容量顯著提高:的引入使產(chǎn)品的顯示容量顯著提高:可以在VGA、XVGA等模式下工作用于筆記本電腦的顯示屏需要在玻璃基片上制作數(shù)量龐大的需要在玻璃基片上制作數(shù)量龐大的TFT多次鍍膜和多次光刻多次鍍膜和多次光
26、刻生產(chǎn)工序很多,必須極嚴(yán)格控制質(zhì)量生產(chǎn)工序很多,必須極嚴(yán)格控制質(zhì)量 TFT基板玻璃應(yīng)用基板玻璃應(yīng)用4242精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 ITO玻璃簡要生產(chǎn)工藝流程如下:玻璃簡要生產(chǎn)工藝流程如下:TN型玻璃不需經(jīng)此流程 生產(chǎn)流程生產(chǎn)流程4343精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 手機(jī)蓋板介紹手機(jī)蓋板介紹蓋板玻璃即保護(hù)玻璃,通常叫做coverlens,蓋板玻璃作為觸控器件的一個(gè)重要組成部件,其主要任務(wù)是:保護(hù)LCD、透光性能好、裝飾觸控器件外觀等作用。其
27、主要性能有:極好的表面光潔度;極高的表面硬度和超強(qiáng)的抗劃傷能力;較好的表面強(qiáng)度;精確地尺寸控制;具有幾號(hào)的視覺效果;表面硬度高,耐劃傷,透光度好。4444精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 手機(jī)蓋板生產(chǎn)流程手機(jī)蓋板生產(chǎn)流程CNC強(qiáng)化拋光/LP絲印/鍍膜鍍膜清洗/檢驗(yàn) 對(duì)玻璃產(chǎn)品外形、開槽、打孔加工工藝 對(duì)玻璃產(chǎn)品強(qiáng)化、表面應(yīng)力加工對(duì)玻璃產(chǎn)品表面光潔度、平整度進(jìn)行加工對(duì)玻璃產(chǎn)品油墨遮蓋、LOGO印刷加工,鍍膜鍍膜 對(duì)玻璃產(chǎn)品進(jìn)行清潔、檢驗(yàn)判定良品出貨工作出貨4545精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美
28、好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 手機(jī)蓋板常用玻璃介紹手機(jī)蓋板常用玻璃介紹4646精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 ITOITO玻璃基本參數(shù)玻璃基本參數(shù)4747精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 規(guī)格長寬厚度垂直度1.1mm0.2mm0.05mm0.10%0.7mm0.2mm0.05mm0.10%0.55mm0.2mm0.05mm0.10%0.50mm0.2mm0.05mm0.10%0.4mm0.2mm0.05mm0.10%DL百分表垂直度垂直
29、度=D/L*100% 取L=300mm為宜。 基片尺寸參數(shù)基片尺寸參數(shù)4848精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 基板標(biāo)示角基板標(biāo)示角因供應(yīng)商不同,切角位置及尺寸不同。大多數(shù)在右上角5:2比例無堿玻璃和DT玻璃 3:3或4:4比例 入廠檢的目的入廠檢的目的 C1 = 角部正常倒角(mm) C2 = 角部標(biāo)示倒角(mm)5.05.01.51.5c1c1研磨面研磨面浮法方向c1c2c50.5-2.00.5-2.00.5-2.00.5-2.00.5-2.00.5-2.02.02.01.51.5浮法方向識(shí)別角2*5mm相同角1.5*
30、1.5mm4949精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 基板倒角基板倒角代碼代碼尺寸要求尺寸要求C C0.05 - 0.4mm0.05 - 0.4mmR R0.2 - 0.8mm0.2 - 0.8mmP P0.1 - 0.6mm0.1 - 0.6mmCRPW0.05mm W 0.4mm,45角角 W0.05mm W 1.2mm 曲面半徑曲面半徑 R 50mmC型型R型型5050精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 平整度可用平整度可用h/1表示,意思為在長度為
31、表示,意思為在長度為L的范圍內(nèi),表面最高點(diǎn)與最的范圍內(nèi),表面最高點(diǎn)與最低點(diǎn)的差值為低點(diǎn)的差值為hLh玻璃微玻璃微觀表面觀表面玻璃厚度玻璃厚度特殊拋光(特殊拋光(SSTN)(/20mm)普通拋光(普通拋光(STN)(/20mm)非拋光非拋光(TN)(/20mm)1.1mmRt400Rt500Rt15000.7mmRt600Rt800Rt20000.5/0.55mmRt800Rt1000Rt25000.4mmRt1000Rt1200Rt3000 基片平坦度參數(shù)基片平坦度參數(shù)5151精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 基片平坦度參
32、數(shù)基片平坦度參數(shù)5252精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 基片平坦度參數(shù)基片平坦度參數(shù)5353精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 LhITO膜面向上計(jì)算方法:Warp=h/L*100%玻璃厚度(mm)1.10.70.5/0.550.4翹曲度(%)0.10%0.12%0.15%0.20%玻璃鍍膜后不允許有S形變形。 基片翹曲度參數(shù)基片翹曲度參數(shù)5454精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘
33、基板垂直度基板垂直度:用用a/L表示表示(如圖如圖) 用來描述玻璃基板四條邊互相垂直的程度用來描述玻璃基板四條邊互相垂直的程度La通常通常a/L0.1% 基片垂直度基片垂直度5555精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 距邊緣5mm以內(nèi)的區(qū)域。國家標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的是距邊緣3mm以內(nèi)的區(qū)域。(國內(nèi)幾大主要LCD廠家如天馬、信利的接收標(biāo)準(zhǔn)都是5mm) 基片有效使用面積基片有效使用面積5656精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 ITO層面電阻/膜厚/透過率 產(chǎn)品型號(hào)I
34、TO膜厚透過率(T%)面電阻(/口)膜層反射色酸刻時(shí)間150180A30A88%100150/30秒100220A30A87%7090/30秒80250A50A87%6080/40秒60300A50A85%4060/60秒50350A50A84%3750/60秒45400A50A83%3545/60秒40450A50A82%3040/60秒30700A75A81%2030/80秒25750A100A81%2025白色100秒20800A100A81%1520亮白色100秒171000A100A82%1216黃色120秒151150A100A83%1115深黃色120秒101800A100A87
35、%710藍(lán)色200秒72000A150A82%67青綠色250秒52800A200A85%45紫色300秒 ITO基本參數(shù)基本參數(shù)5757精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 ITO厚膜產(chǎn)品顏色示意圖厚膜產(chǎn)品顏色示意圖顏色:淡黃色黃色淺紅色紅色紫紅色紫色蘭紫色藍(lán)色青色綠色黃色紫藍(lán)色紅紫色膜厚(A):900110012501300140015001650185020002200250028003000面電阻(ohm):20171512109.5987.57654.5透光率(%):8082868788888785807882858
36、3面電阻透光率膜厚(A)膜厚/電阻/透光率對(duì)應(yīng)關(guān)系圖透光率面電阻(ohm/口)90015002200300028004.591002500 ITO基本參數(shù)基本參數(shù)5858精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 在波長為在波長為550nm的光波照射下,具有的光波照射下,具有SI02阻檔阻檔層玻璃的透過率不小于層玻璃的透過率不小于80%,其主要取決于玻,其主要取決于玻璃材料、璃材料、ITO厚度和折射率厚度和折射率 透過率定義:透過率定義:透過玻璃的光通量透過玻璃的光通量T2與入射光通量與入射光通量T1之比的百分率之比的百分率Tt=T
37、2/T1X100% ITO透過率透過率5959精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 電阻電阻:如圖如圖d為膜厚,為膜厚,I為電流,為電流,L1為膜厚在電流方向上的長度,為膜厚在電流方向上的長度,L2為膜層在垂為膜層在垂直電流方向的長度,直電流方向的長度,為導(dǎo)電膜的體電阻率。為導(dǎo)電膜的體電阻率。和和d可以認(rèn)為是不變的可以認(rèn)為是不變的定值,當(dāng)定值,當(dāng)L1=L2時(shí),為正方形的膜層,無論方塊大小如何,其電阻率時(shí),為正方形的膜層,無論方塊大小如何,其電阻率為定值為定值/ d,這就是方塊電阻的定義,即,這就是方塊電阻的定義,即R= / d
38、L2L1dIR=L1/(dL2) ITO電阻電阻6060精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 ITO膜層穩(wěn)定性膜層穩(wěn)定性熱穩(wěn)定性: R /R300% 30010 ,加熱30分鐘自然冷卻。B. 耐堿性:R /R110% 602 、10wt%的NaOH中浸5分鐘。C. 耐磨性:膜層無脫落 用PE橡皮(文具用)施加1Kg的力磨擦ITO膜層表面100次。D. 粘附性:膜層無脫落 將3M-610膠帶貼于ITO上并排除空氣,放置10秒后沿垂直方向快速拉 起。測算公式:R /R=試驗(yàn)后電阻 / 試驗(yàn)前電阻 ITO成品中鉛、汞、鎘、六價(jià)鉻、多
39、溴聯(lián)苯(PBB)和多溴二苯醚(PBDE)六種有害物質(zhì)的含量應(yīng)符合歐盟RoHS指令要求。6161精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 準(zhǔn)確描述ITO產(chǎn)品的基本要素 基板類型:是TN還是STN,客戶是否指定供應(yīng)商。 電阻值: 電阻在15 /口及以下時(shí),還要說明膜層反 射色或提供上下極限色樣。 玻璃尺寸:? 包裝方式:是墊紙還是隔條?木箱還是紙箱? ITO產(chǎn)品基本要素產(chǎn)品基本要素6262精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 ITOITO玻璃異常玻璃異常LCDLCD的
40、影響的影響基板中的鈉離子發(fā)生滲透字肥基板的平整度較差排骨彩虹(肋條彩虹)基板的粗糙度較差涂膜的均勻性;點(diǎn)狀彩虹面電阻不均蝕刻易發(fā)生斷短路玻璃表面較臟內(nèi)污,短斷路ITO測射不均上下短路翹曲度差LCD生產(chǎn)中定位不準(zhǔn)表面?zhèn)邸愇?、氣泡LCD顯示效果異常磨邊倒角粗糙制程中易破損 ITO玻璃異常影響玻璃異常影響6363精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 生產(chǎn)流程生產(chǎn)流程6464精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 切磨大原片進(jìn)料NG報(bào)告供應(yīng)商處理進(jìn)料檢驗(yàn)切割OKOK
41、NG調(diào)整切割尺寸調(diào)整磨邊倒角尺寸磨邊倒角OKNG過程檢驗(yàn)成品抽檢OKNG報(bào)廢NG入庫OK工藝抽檢工藝抽檢拋光報(bào)廢領(lǐng)料NG表觀檢驗(yàn)拋光OKNGNG入庫OK成品抽檢平整度檢驗(yàn)OK工藝抽檢鍍膜卸片OK入庫OKNG包裝OKNG過程檢驗(yàn)OK鍍膜清洗復(fù)檢裝籃NG報(bào)廢裝架裝片NG上片檢查成品抽檢調(diào)整工藝OKNG品質(zhì)檢查報(bào)廢領(lǐng)料 ITO玻璃生產(chǎn)流程玻璃生產(chǎn)流程6565精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 線線制造商制造商日期日期清洗清洗鍍膜鍍膜清洗清洗鍍膜鍍膜4#4#TEC (韓國)Leybold (德國)200319965#5#TEC (韓
42、國)Comtecs (韓國)20012001 生產(chǎn)設(shè)備生產(chǎn)設(shè)備 -. 超聲波清洗設(shè)備:超聲波清洗設(shè)備:2條線條線(4#、5#) -. 濺射式鍍膜設(shè)備:濺射式鍍膜設(shè)備:2條線條線( 4#、5#) 清洗清洗/鍍膜流程鍍膜流程玻璃干燥玻璃干燥干燥槽干燥槽玻璃漂洗玻璃漂洗洗滌槽洗滌槽玻璃清洗玻璃清洗清洗劑槽清洗劑槽清洗程序清洗程序框架退火框架退火退火退火框架鍍框架鍍ITO膜膜ITO 鍍膜鍍膜框架鍍框架鍍SiO2膜膜SiO2 鍍膜鍍膜框架預(yù)熱框架預(yù)熱預(yù)熱預(yù)熱鍍膜程序鍍膜程序 鍍膜二廠設(shè)備現(xiàn)狀鍍膜二廠設(shè)備現(xiàn)狀6666精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光
43、道對(duì)外秘對(duì)外秘 清洗定義及目的清洗定義及目的 清洗工序在各種顯示器件制作工程中是非常重要的部分之一。特別是玻璃基板鍍膜之前的清洗質(zhì)量與鍍膜后的成品質(zhì)量有著非常重要的相關(guān)性,所以在鍍膜之前對(duì)玻璃基板要進(jìn)行高清潔度的清洗。微粒的存在會(huì)引起ITO薄膜的斷線;有機(jī)物的殘留也會(huì)降低膜的粘貼度。微粒的大小是根據(jù)LCD的格柵寬度范圍而變化,電阻越低的STN產(chǎn)品,需要對(duì)微粒的管理越嚴(yán)格 什么是清洗?什么是清洗? 清洗的目的?清洗的目的? 清洗是指清除工件表面上液體和固體的污染物,使工件表面達(dá)到一定的潔凈程度。清洗過程是清洗介質(zhì)、污染物、工件表面三者之間的相互作用,是一種復(fù)雜的物理、化學(xué)作用的過程。清洗不僅與污
44、染物的性質(zhì)、種類、形態(tài)以及粘附的程度有關(guān),與清洗介質(zhì)的理化性質(zhì)、清洗性能、工件的材質(zhì)、表面狀態(tài)有關(guān),還與清洗的條件如溫度、壓力以及附加的超聲振動(dòng)、機(jī)械外力等因素有關(guān)。因此,選擇科學(xué)合理的清洗工藝,必須進(jìn)行工藝分析6767精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 清洗的清洗的10大種類大種類浸洗清洗:浸洗清洗:在清洗槽中加入清洗液,將被洗物浸漬其中的清洗方式。由于僅靠清洗液的化學(xué)作用清洗,所以洗滌能力弱,需要時(shí)間長。循環(huán)清洗液。噴氣噴氣:在清洗槽內(nèi)安裝噴氣管(多個(gè)吸管),用汽體將清洗液噴射到被洗物上的清洗方式。噴流清洗噴流清洗:從槽
45、的側(cè)面將清洗液在液相中噴出,靠輕的攪拌力(物理作用)促進(jìn)清洗。洗滌能力比浸漬清洗強(qiáng)。刷洗刷洗:在清洗腔室安裝刷子,工件有專門的支承或夾具,在清洗劑浸漬或淋潤的同時(shí),主要靠刷子與工件的機(jī)械磨擦力進(jìn)行清洗,作為初級(jí)清洗效果直接。超聲波清洗:超聲波清洗:在清洗槽內(nèi)安裝超聲波振子,產(chǎn)生超聲波能量(數(shù)千個(gè)大氣壓的沖擊波),將被洗物全部清洗的方式。噴淋清洗噴淋清洗:在清洗槽內(nèi)安裝噴淋管,在氣相中將清洗液噴射到被清洗物上,壓力不足2/c減壓清洗:減壓清洗:在清洗槽內(nèi)產(chǎn)生負(fù)壓,由于減壓,洗滌劑能較好地滲透到被洗物的縫隙之間。若和超聲波作用,清洗效果會(huì)大大增強(qiáng)。噴霧清洗噴霧清洗:安裝噴霧管,在氣相中將洗滌噴附到
46、被清洗物上的清洗方式。壓力2-20/c旋轉(zhuǎn)筒清洗:旋轉(zhuǎn)筒清洗:在槽內(nèi)安裝旋轉(zhuǎn)裝置,同時(shí)旋轉(zhuǎn)筒體攪拌被清洗物。多與噴流、超聲波洗滌組合使用。拋動(dòng)清洗拋動(dòng)清洗:在槽內(nèi)安裝拋動(dòng)機(jī)構(gòu),裝入被洗物,使之在洗滌槽內(nèi)上下運(yùn)動(dòng),多與噴流、超聲波洗滌組合使用。6868精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 術(shù)語定義術(shù)語定義-1 R/O 水水 -.指利用逆滲透法的膜分離方法制造的水。 -.用于一次清洗,使用量最多。 逆滲透法:指利用半透膜和靜水壓從鹽溶液里分離出像水一樣的溶劑。溶劑的流向是 向著濃度高的方向流動(dòng),所以溶劑通過半透膜向鹽溶液移動(dòng),當(dāng)系統(tǒng)達(dá)到平行時(shí)的靜 水壓叫做滲透壓。 DI 水水 -. 去離子水,除去離子成分的用水。 -. 清洗工序的必須用水,對(duì)于去除異物的附著、玻璃的腐蝕、洗劑成分的活性劑起著很 好的溶解作用。 UDI 水水 -. 超純水,比DI水更高等級(jí)的超純水。6969精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道精英薈萃,共創(chuàng)美好明天;創(chuàng)新發(fā)展,走特色陽光道對(duì)外秘對(duì)外秘 超聲波超聲波 - 超出聽覺范圍的頻率,約1620,因?yàn)榘l(fā)生共振而引起清洗的要素。 超聲波聲壓超聲波聲壓 -
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