靜電防護(hù)管制程序

1、XXXX 科 技 股 份 有 限 公 司編號頁次第 1 頁共 8 頁文件名稱：靜電防護(hù)管制程序版次一、制訂維護(hù)人員：職稱姓名日期 二、會審紀(jì)錄： 三、核準(zhǔn)：(本份文件修訂紀(jì)錄表共 1頁)XXXX科技股份有限公司文件修訂紀(jì)錄表窗體版次：A0文件編號文件名稱：靜電防護(hù)管制程序 修訂日期ADMC修訂內(nèi)容版次修訂者備注修訂種類：A：增加 D：減少 M：修改 C：章節(jié)XXXX 科 技 股 份 有 限 公 司編號頁次第 8 頁共 8 頁文件名稱：靜電防護(hù)管制程序版次一、目的：1.1 建立并定義本公司靜電敏感組件及靜電防護(hù)區(qū)域內(nèi)管制規(guī)范。1.2 提供一個適當(dāng)?shù)臏?zhǔn)則，以保護(hù)所有靜電敏感組件免于受到靜電放電損害

2、。1.3 確保所有人員進(jìn)入靜電防護(hù)區(qū)域人員明了靜電防護(hù)設(shè)備設(shè)施及正確觀念，特訂本管制程序期能靜電放電傷害降到最低。二、范圍：依據(jù)ANSI/ESD S20.20 進(jìn)行規(guī)范，凡屬本公司之靜電防護(hù)措施及靜電防護(hù)區(qū)域均適用。三、權(quán)責(zé)：3.1 組件敏感等級之判定：各產(chǎn)品設(shè)計(jì)研發(fā)處。3.2 組件敏感等級數(shù)據(jù)提供：各產(chǎn)品設(shè)計(jì)研發(fā)處及采購部。3.3 ESD量測設(shè)備量規(guī)儀器校正：質(zhì)量工程部。3.4 ESD教育訓(xùn)練導(dǎo)入：人力資源部。3.5 ESD日常作業(yè)量測： 靜電防護(hù)小組。3.6 ESD防護(hù)稽核驗(yàn)證：靜電防護(hù)小組/質(zhì)量管理部。3.7 供貨商ESD防護(hù)稽核：供貨商實(shí)地評鑒小組。 四、定義：4.1 ESD ：靜電放

3、電：物質(zhì)表面的正/負(fù)電分離所造成電位。4.2 E.P.A：靜電防護(hù)區(qū)：能限制靜電壓包含物料及設(shè)備的工作環(huán)境。4.3 ESDS：靜電放電敏感度：對組件特性產(chǎn)生改變，致使組件無法符合其特定特性下的ESD最低水平。4.4 HBM；人體模式：由人體的指尖接觸 ESDS 產(chǎn)品而放電。4.5 CDM；組件充電裝置模式：由組件本身放電至周圍對象。4.6 MM ；機(jī)械模式：由設(shè)備本體接觸 ESDS 產(chǎn)品而放電。4.7 C.G.P.；靜電防護(hù)區(qū)中一個共享的接地點(diǎn)。4.8 離子化：將中性空氣分子分離為帶正/負(fù)電的分子。4.9 ANSI/ESD S20.20：美國標(biāo)準(zhǔn)靜電防護(hù)規(guī)范。4.10 靜電防護(hù)小組：包括項(xiàng)目經(jīng)

4、理/總務(wù)/研發(fā)/生產(chǎn)/工程/品保/采購/倉管/RMA代表。五、ESD作業(yè)管制：5.1 接地系統(tǒng)：5.1.1 靜電地樁阻抗值小于 10，每年委外量測并出俱靜電接地阻抗測試報(bào)告。5.1.2 設(shè)備接地回路阻抗值小于1。所有生產(chǎn)設(shè)備之AC-INPUT必須為三插頭。有接地端之電源機(jī)器設(shè)備一律接地。用電表檔量測電源接電箱與接地線，并確認(rèn)是否導(dǎo)通。廠內(nèi)回路阻抗必須小于1，且每半年量測一次。記錄于設(shè)備接地量測記錄表(接地線顏色：AC電源接地線及儀器設(shè)備為綠色。)并符合表格1及政府電工法規(guī)之要求。表格1技術(shù)要求實(shí)施方案測試方式強(qiáng)制限定接地/等電位相連系統(tǒng)設(shè)備接地ANSI/ESD S6.1<1.0奧姆阻抗等

5、電位相連接ANSI/ESD S6.1<1.0 X 109奧姆阻抗5.1.2.1 靜電接地與設(shè)備接地電位壓差須<150mv以減少壓差對靜電放電之影響，并將量測點(diǎn)及數(shù)值記錄于靜電接地阻抗測試報(bào)告。5.1.2.2 當(dāng)設(shè)備更新后或送修重新安裝時(shí)，須再進(jìn)行設(shè)備接地量測確認(rèn)。5.1.3 靜電接地靜電接地線檢查方式：以靜電連續(xù)監(jiān)控設(shè)備監(jiān)控，并確認(rèn)是否正常。廠內(nèi)回路阻抗必須小于25，藍(lán)色靜電線接地需與設(shè)備接地線隔離。連續(xù)監(jiān)控器顯示綠燈且無警報(bào)聲響為合格，當(dāng)超出上限值時(shí)，連續(xù)監(jiān)控器產(chǎn)生紅燈警示且有警報(bào)聲響，廠區(qū)主管立即通報(bào)靜電防護(hù)小組及總務(wù)人員處理。5.1.4 人員接地人員接地要求產(chǎn)品合格檢驗(yàn)認(rèn)證檢

6、驗(yàn)手腕帶系統(tǒng)測試方式要求限定測試方式要求限定ANSI/ESD S1.1(5.11章)<3.5 X 107奧姆ESD TR53(手腕帶章節(jié))<3.5 X 107奧姆5.1.4.1 靜電環(huán)廠區(qū)同仁需每日固定上下午各量測紀(jì)錄一次，非廠區(qū)同仁每日量測一次，進(jìn)出廠區(qū)搭配量測門禁管制。檢查方式：將腕上靜電環(huán)與靜電接線間電阻值約(900K3.5×107)靜電環(huán)測試器顯示綠燈表示合格，若靜電環(huán)功能失效時(shí)，則須重新調(diào)整或立即更換新品。5.1.4.2 靜電鞋廠區(qū)同仁需每日固定上下午各量測紀(jì)錄一次，非廠區(qū)同仁每日量測一次，進(jìn)出廠區(qū)搭配量測門禁管制。檢查方式：以靜電環(huán)/導(dǎo)電鞋測試器，顯示綠燈(9

7、00K3.5×107)與 LO-FAIL之紅燈表示合格，若顯示導(dǎo)電鞋功能失效時(shí)，請先確認(rèn)鞋底清潔及襪子材質(zhì)是否阻隔，并再次量測。若依舊失效，則立即換新。5.1.4.3 靜電服靜電服材質(zhì)必須以導(dǎo)電纖維編織而成，可防止靜電產(chǎn)生，并可將靜電安全消散釋放。于每次新品購入時(shí)，須進(jìn)行抽驗(yàn)(或供貨商檢附證明)，以確認(rèn)靜電服之纖維有無斷線造成無法達(dá)到靜電釋放之情形發(fā)生。5.1.5 導(dǎo)電地板表面阻抗值在1.0X104 1.0X109。導(dǎo)電地板須搭配導(dǎo)電鞋使用，每半年定期量測一次導(dǎo)電地板阻抗值及保養(yǎng)清潔打臘后量測。5.2 靜電放電保護(hù)區(qū)(EPA)溫濕度管制要求(1)研發(fā)零件拆焊區(qū)(2)RMA(3)實(shí)驗(yàn)室

8、(4)收料室(5)生產(chǎn)廠區(qū)均屬靜電放電保護(hù)區(qū)，溫濕度須管制在室溫?cái)z氏20度以上30度以下，濕度30%RH70%RH。(零件倉等區(qū)域濕度規(guī)定為30%RH60%RH)5.2.1 工作場所的管制卷標(biāo)標(biāo)記：貼有如下圖示之工作場所，則為E.P.A區(qū)，所有人員進(jìn)入此區(qū)域必需遵守E.P.A的防護(hù)要求來進(jìn)行作業(yè)。張貼在人員進(jìn)入靜電放電保護(hù)區(qū)之前可清楚地看到的地方。 靜電放電保護(hù)區(qū)可以是一個單獨(dú)的工作臺或整個房間或整座建筑。限完成了相應(yīng)的靜電放電培訓(xùn)的人員，才能進(jìn)入靜電放電保護(hù)區(qū)，未經(jīng)培訓(xùn)的人員(供貨商/客戶)進(jìn)入靜電放電保護(hù)區(qū)時(shí)，應(yīng)由受過培訓(xùn)的人員陪同。作業(yè)人員采坐姿作業(yè)及無導(dǎo)電地板作業(yè)區(qū)一律須佩帶使用靜電環(huán)

9、。5.2.2 靜電敏感區(qū)內(nèi)靜電電壓的管制標(biāo)準(zhǔn)(EOS/ESD STM5.1、ESD DS5.3.1)靜電敏感區(qū)內(nèi)靜電電壓的管制標(biāo)準(zhǔn)為H.B.M模式100V以下。5.2.3 人員進(jìn)入EPA區(qū)需依據(jù)規(guī)定進(jìn)行防護(hù)作業(yè)。5.2.3.1 靜電敏感區(qū)內(nèi)作業(yè)人員之防護(hù)配備A. 靜電防護(hù)基本認(rèn)知B. 靜電服C. 靜電鞋 D. 靜電環(huán)E. 所有使用于此工作站內(nèi)的機(jī)器，須有共同的接地系統(tǒng)。5.2.3.2 產(chǎn)品的運(yùn)輸、存放在運(yùn)輸和存放ESDS產(chǎn)品時(shí)應(yīng)使用防靜電袋、防靜電貨架、防靜電推車和防靜電周轉(zhuǎn)箱。防靜電貨架必須鋪防靜電墊并接地。運(yùn)輸用的防靜手推車和轉(zhuǎn)運(yùn)車的表面必須為防靜電材質(zhì)并接地。推車的輪子必須是導(dǎo)電輪或使用

10、金屬鏈條拖地接地。單板移動搬運(yùn)時(shí)需使用防靜電包材將產(chǎn)品包覆。5.2.4 靜電敏感組件的分類靜電敏感組件等級區(qū)分，主要是依照HBM 模式進(jìn)行分類。所有半成品之靜電壓分類，則依據(jù)工程中心所展出零件ESDS敏感等級進(jìn)行歸類。HBM ESDS Component ClassificationClassVoltage Range0< 2501A250 to < 5001B500 to < 10001C1000 to < 200022000 to < 40003A4000 to < 80003B 80005.2.5 絶緣體在E.P.A區(qū)域規(guī)范為了減少電場感應(yīng)所導(dǎo)致的帶電

11、器件破壞模式，靜電放電控制方案應(yīng)包含對制程中所必要的絕緣材料的處理計(jì)劃。如果電場超過2000伏/英寸，應(yīng)采取下列的步驟中的一個：A. 將絕緣體與靜電放電敏感器件分開30厘米(12英寸)的距離。B. 使用離子風(fēng)扇電荷中和。所有的離子風(fēng)扇，必須是能夠自我中和其所釋放出來的正負(fù)離子，而離子風(fēng)扇的使用與否，由靜電防護(hù)小組來決定。當(dāng)移動一個靜電敏感組件至一個沒有導(dǎo)電地板保護(hù)的區(qū)域時(shí)，須使用靜電防護(hù)袋。5.2.6 ESD防護(hù)檢驗(yàn)規(guī)范A. 新品依ESD新品量測規(guī)范作業(yè)。B. 符合性查證依ESD定期量測規(guī)范作業(yè)。C. 量測時(shí)，需作讀值記錄，并貼合格卷標(biāo)方式實(shí)施。D. 治具工具需為靜電消散材或?qū)щ姴馁|(zhì)。E. 靜

12、電放電保護(hù)區(qū)(EPA)檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)如下表： 5.2.7 靜電防護(hù)系統(tǒng)認(rèn)證檢驗(yàn)計(jì)劃1. 確保各單位能夠落實(shí)執(zhí)行靜電放電管制的要求及靜電防護(hù)系統(tǒng)監(jiān)測成立靜電防護(hù)小組，負(fù)責(zé)相關(guān)業(yè)務(wù)維護(hù)及推動。靜電防護(hù)小組需針全公司靜電防護(hù)管制進(jìn)行監(jiān)督，執(zhí)行年度ESD靜電防護(hù)計(jì)劃并執(zhí)行稽核作業(yè)，并于執(zhí)行過程時(shí)填寫于內(nèi)部稽核查檢表。且需將異常發(fā)現(xiàn)于管理審查會議中提出。若發(fā)生不符合事項(xiàng)時(shí)，依據(jù)異常與矯正預(yù)防措施程序進(jìn)行改善追蹤。進(jìn)行供貨商(委外加工廠)評鑒時(shí)，除依據(jù)供貨商管制程序執(zhí)行外，仍需針對該廠對于ESD防護(hù)能力進(jìn)行了解及稽核。2. 產(chǎn)品認(rèn)證檢驗(yàn)計(jì)劃：依5.2.6 ESD防護(hù)檢驗(yàn)規(guī)范執(zhí)行。5.3 包裝 5.3.1 靜電放

13、電保護(hù)包裝應(yīng)符合合同，采購訂單、制圖或其他文件。如果上述檔未作特殊說明，根據(jù)ANSI/ESD S541，對靜電放電保護(hù)區(qū)內(nèi)外的靜電放電包裝作出定義。5.3.2 采購靜電敏感組件一定要要求供貨商裝入具有導(dǎo)電材之容器或靜電消散包裝內(nèi)，被動組件若為靜電敏感者，其料卷也應(yīng)使用導(dǎo)電材與靜電消散材之包裝。5.3.3 包裝管須為抗靜電，如導(dǎo)電材質(zhì)，且包覆于導(dǎo)電袋或?qū)щ姾?，則可單獨(dú)運(yùn)送或裝入標(biāo)準(zhǔn)紙箱內(nèi)。管子兩端塞子及針狀物也必須是抗靜電或?qū)щ姴牧稀?.3.4 每半年針對重復(fù)性使用之抗靜電材料或?qū)щ姴牧希鐑Υ娣胖孟?、隔板、抗靜電泡棉、導(dǎo)電料盒等，予以確認(rèn)其是否仍在規(guī)格內(nèi)，否則應(yīng)停止重復(fù)使用該材料或更換新品。5

14、.3.5 電子板半成品包裝時(shí)，需使用防靜電包裝，并貼有ESDS敏感組件卷標(biāo)貼紙，外箱以紙質(zhì)材料為主。5.4 人員訓(xùn)練 : 靜電防護(hù)訓(xùn)練內(nèi)容為有關(guān)靜電防護(hù)之知識和方法：5.4.1 新進(jìn)人員及在職人員靜電防護(hù)訓(xùn)練依員工教育訓(xùn)練管制程序執(zhí)行。5.4.2 經(jīng)QC稽核連續(xù)2次以上(含)過失者，單位主管得專對該員提出重新訓(xùn)練。5.4.3 靜電防護(hù)小組每年除基礎(chǔ)防護(hù)課程外須再針對ANSI/ESD S20.20及靜電防護(hù)管制程序、ESD新品量測規(guī)范及ESD定期量測規(guī)范等ESD量測技術(shù)稽核相關(guān)課程進(jìn)行復(fù)訓(xùn)。5.5 標(biāo)記靜電放電敏感物體，系統(tǒng)或包裝的標(biāo)記應(yīng)符合客戶合同，采購訂單、制圖或其他文件。當(dāng)合同、采購訂單、制圖或其他文件未對靜電放電敏感物體、系統(tǒng)或包裝的標(biāo)記，未作特殊說明，使用單位在建立靜電放電控制方