傳感器原理及應(yīng)用-第1章-傳感器技術(shù)基礎(chǔ)

1、 第一章 傳感器技術(shù)基礎(chǔ)1.1 傳感器的定義、組成和分類(lèi)傳感器的定義、組成和分類(lèi)1.2 傳感器的基本特性傳感器的基本特性1.3 傳感器的選用原則傳感器的選用原則國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)（國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)（GB7665-87）中傳感器的定義：）中傳感器的定義： 傳感器：傳感器：能夠感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可能夠感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。用輸出信號(hào)的器件或裝置。 傳感器是測(cè)量裝置，能完成檢測(cè)任務(wù)； 輸入量是某一被測(cè)量，物理量、化學(xué)量、生物量等；輸出量是某種物理量，便于傳輸、轉(zhuǎn)換、處理、顯示等，可以是氣、光、電物理量，主要是電物理量； 輸出與輸入有對(duì)應(yīng)關(guān)系。傳感器名稱(chēng)：傳感器

2、名稱(chēng)：發(fā)送器、傳送器、變送器、檢測(cè)器、換能器、探測(cè)器發(fā)送器、傳送器、變送器、檢測(cè)器、換能器、探測(cè)器傳感器功用：傳感器功用：一感二傳，即感受被測(cè)信息，并傳送出去。一感二傳，即感受被測(cè)信息，并傳送出去。一、傳感器的定義一、傳感器的定義（Transducer/Sensor）1.1 傳感器的定義、組成和分類(lèi)工業(yè)測(cè)量工業(yè)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)輸出標(biāo)準(zhǔn)輸出信號(hào)信號(hào)能量轉(zhuǎn)換能量轉(zhuǎn)換敏感元件敏感元件：直接感受被測(cè)量，并輸出與被測(cè)量成確定關(guān)系直接感受被測(cè)量，并輸出與被測(cè)量成確定關(guān)系的某一物理量的元件。的某一物理量的元件。轉(zhuǎn)換元件轉(zhuǎn)換元件：敏感元件的輸出就是它的輸入，把輸入轉(zhuǎn)換成：敏感元件的輸出就是它的輸入，把輸入轉(zhuǎn)換成電路參

3、量。電路參量?；巨D(zhuǎn)換電路基本轉(zhuǎn)換電路：上述電路參數(shù)接入基本轉(zhuǎn)換電路（簡(jiǎn)稱(chēng)轉(zhuǎn)：上述電路參數(shù)接入基本轉(zhuǎn)換電路（簡(jiǎn)稱(chēng)轉(zhuǎn)換電路），便可轉(zhuǎn)換成電量輸出。換電路），便可轉(zhuǎn)換成電量輸出。二、傳感器的組成二、傳感器的組成1.1 傳感器的定義、組成和分類(lèi)（1）敏感元件）敏感元件直接感受被測(cè)量，并輸出與被測(cè)量成直接感受被測(cè)量，并輸出與被測(cè)量成確定關(guān)系的某一物理量的元件。確定關(guān)系的某一物理量的元件。二、傳感器的組成二、傳感器的組成1.1 傳感器的定義、組成和分類(lèi)彈性敏感元件彈性敏感元件實(shí)際上，有些傳感器很簡(jiǎn)單，有些則較復(fù)雜，大多數(shù)是實(shí)際上，有些傳感器很簡(jiǎn)單，有些則較復(fù)雜，大多數(shù)是開(kāi)環(huán)系統(tǒng)開(kāi)環(huán)系統(tǒng)，也有些是帶反饋的

4、也有些是帶反饋的閉環(huán)系統(tǒng)閉環(huán)系統(tǒng)。最簡(jiǎn)單的傳感器由一個(gè)敏感元件最簡(jiǎn)單的傳感器由一個(gè)敏感元件(兼轉(zhuǎn)換元件兼轉(zhuǎn)換元件)組成，感受被測(cè)量組成，感受被測(cè)量時(shí)直接輸出電量，如時(shí)直接輸出電量，如熱電偶熱電偶。二、傳感器的組成二、傳感器的組成（2 2）轉(zhuǎn)換元件轉(zhuǎn)換元件1.1 傳感器的定義、組成和分類(lèi)熱電偶熱電偶有些傳感器由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成，沒(méi)有轉(zhuǎn)換電路。例如：有些傳感器由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成，沒(méi)有轉(zhuǎn)換電路。例如：壓電式加速度傳感器，質(zhì)量塊是敏感元件，壓電片（塊）是轉(zhuǎn)換元壓電式加速度傳感器，質(zhì)量塊是敏感元件，壓電片（塊）是轉(zhuǎn)換元件。件。有些傳感器，轉(zhuǎn)換元件不只一個(gè)，要經(jīng)過(guò)若干次轉(zhuǎn)換。有些傳感器，轉(zhuǎn)換元

5、件不只一個(gè)，要經(jīng)過(guò)若干次轉(zhuǎn)換。二、傳感器的組成二、傳感器的組成（2 2）轉(zhuǎn)換元件轉(zhuǎn)換元件1.1 傳感器的定義、組成和分類(lèi)壓電式加速度傳感器壓電式加速度傳感器二、傳感器的組成二、傳感器的組成（2 2）轉(zhuǎn)換元件轉(zhuǎn)換元件1.1 傳感器的定義、組成和分類(lèi)被測(cè)非電量：被測(cè)非電量：外界壓力外界壓力敏敏 感感 元元 件：件：彈性體彈性體有用非電量：有用非電量：極板間距變化極板間距變化轉(zhuǎn)轉(zhuǎn) 換換 元元 件：件：平行板電容器平行板電容器有有 用用 電電 量：量：電容量電容量C二、傳感器的組成二、傳感器的組成（3 3）轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換電路1.1 傳感器的定義、組成和分類(lèi)轉(zhuǎn)換電路是傳感器的主要組成環(huán)節(jié)：轉(zhuǎn)換電路是傳感器

6、的主要組成環(huán)節(jié)：因?yàn)椴簧賯鞲衅饕谕ㄟ^(guò)轉(zhuǎn)換電路后才能輸出電信號(hào)，因?yàn)椴簧賯鞲衅饕谕ㄟ^(guò)轉(zhuǎn)換電路后才能輸出電信號(hào)，從而決定了從而決定了轉(zhuǎn)換電路是傳感器的組成環(huán)節(jié)之一轉(zhuǎn)換電路是傳感器的組成環(huán)節(jié)之一。 1、按工作機(jī)理：、按工作機(jī)理：物理型、化學(xué)型、生物型等物理型、化學(xué)型、生物型等 2、按構(gòu)成原理：結(jié)構(gòu)型與物性型兩大類(lèi)、按構(gòu)成原理：結(jié)構(gòu)型與物性型兩大類(lèi) 3、根據(jù)能量轉(zhuǎn)換：能量控制型和能量轉(zhuǎn)換型傳感器、根據(jù)能量轉(zhuǎn)換：能量控制型和能量轉(zhuǎn)換型傳感器4、按照物理原理分類(lèi)：十種、按照物理原理分類(lèi)：十種5、按照用途分類(lèi)、按照用途分類(lèi) ：位移、壓力、振動(dòng)、溫度等傳感器位移、壓力、振動(dòng)、溫度等傳感器7、根據(jù)輸出信號(hào)：

7、、根據(jù)輸出信號(hào)：模擬信號(hào)和數(shù)字信號(hào)模擬信號(hào)和數(shù)字信號(hào) 6、根據(jù)轉(zhuǎn)換過(guò)程可逆與否、根據(jù)轉(zhuǎn)換過(guò)程可逆與否 ：?jiǎn)蜗蚝碗p向：?jiǎn)蜗蚝碗p向8、根據(jù)是否使用電源：有源傳感器和無(wú)源傳感器、根據(jù)是否使用電源：有源傳感器和無(wú)源傳感器 三、傳感器的分類(lèi)三、傳感器的分類(lèi)1.1 傳感器的定義、組成和分類(lèi)結(jié)構(gòu)型傳感器結(jié)構(gòu)型傳感器利用物理學(xué)中利用物理學(xué)中場(chǎng)的定律場(chǎng)的定律構(gòu)成構(gòu)成的，包括動(dòng)力場(chǎng)的運(yùn)動(dòng)定律，電的，包括動(dòng)力場(chǎng)的運(yùn)動(dòng)定律，電磁場(chǎng)的電磁定律等。物理學(xué)中的磁場(chǎng)的電磁定律等。物理學(xué)中的定律一般是以方程式給出的。對(duì)定律一般是以方程式給出的。對(duì)于傳感器，這些方程式就是許多于傳感器，這些方程式就是許多傳感器在工作時(shí)的數(shù)學(xué)模型。

8、傳感器在工作時(shí)的數(shù)學(xué)模型。這類(lèi)傳感器的特點(diǎn)：這類(lèi)傳感器的特點(diǎn)：傳感器的工作原理是以傳感傳感器的工作原理是以傳感器中元件相對(duì)位置變化引起場(chǎng)的器中元件相對(duì)位置變化引起場(chǎng)的變化為基礎(chǔ)，而不是以材料特性變化為基礎(chǔ)，而不是以材料特性變化為基礎(chǔ)變化為基礎(chǔ)。 三、傳感器的分類(lèi)三、傳感器的分類(lèi)_ _結(jié)構(gòu)型與物性型結(jié)構(gòu)型與物性型1.1 傳感器的定義、組成和分類(lèi)各種彈性敏感元件傳感器各種彈性敏感元件傳感器物性型傳感器物性型傳感器利用利用物質(zhì)定律物質(zhì)定律構(gòu)成的，如虎克定律、構(gòu)成的，如虎克定律、歐姆定律等。物質(zhì)定律是表示物質(zhì)某種客歐姆定律等。物質(zhì)定律是表示物質(zhì)某種客觀(guān)性質(zhì)的法則。這種法則，大多數(shù)是以物觀(guān)性質(zhì)的法則。這

9、種法則，大多數(shù)是以物質(zhì)本身的常數(shù)形式給出。這些常數(shù)的大小，質(zhì)本身的常數(shù)形式給出。這些常數(shù)的大小，決定了傳感器的主要性能。決定了傳感器的主要性能。物性型傳感器的性能隨材料的不同而物性型傳感器的性能隨材料的不同而異異。如光電管，利用了物質(zhì)法則中的外光。如光電管，利用了物質(zhì)法則中的外光電效應(yīng)，特性與涂覆在電極上的材料有著電效應(yīng)，特性與涂覆在電極上的材料有著密切的關(guān)系。又如所有半導(dǎo)體傳感器、所密切的關(guān)系。又如所有半導(dǎo)體傳感器、所有利用各種環(huán)境變化而引起的金屬、半導(dǎo)有利用各種環(huán)境變化而引起的金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、合金等性能變化的傳感器，都體、陶瓷、合金等性能變化的傳感器，都屬于物性型傳感器。屬于物性型傳感

10、器。 三、傳感器的分類(lèi)三、傳感器的分類(lèi)_ _結(jié)構(gòu)型與物性型結(jié)構(gòu)型與物性型1.1 傳感器的定義、組成和分類(lèi)半導(dǎo)體氣體傳感器半導(dǎo)體氣體傳感器能量控制型傳感器能量控制型傳感器在信息變化過(guò)程中，在信息變化過(guò)程中，傳感器將從傳感器將從被測(cè)對(duì)象獲取的信息能量用于調(diào)制或被測(cè)對(duì)象獲取的信息能量用于調(diào)制或控制外部激勵(lì)源，使外部激勵(lì)源的部控制外部激勵(lì)源，使外部激勵(lì)源的部分能量載入信息而形成輸出信號(hào)分能量載入信息而形成輸出信號(hào)。這類(lèi)傳感器必須由外部提供激勵(lì)這類(lèi)傳感器必須由外部提供激勵(lì)源，如電阻、電感、電容等電路參量源，如電阻、電感、電容等電路參量傳感器都屬于這一類(lèi)傳感器。傳感器都屬于這一類(lèi)傳感器?；陔娮钁?yīng)變效應(yīng)、

11、磁阻效應(yīng)、基于電阻應(yīng)變效應(yīng)、磁阻效應(yīng)、熱阻效應(yīng)、外光電效應(yīng)、霍爾效應(yīng)等熱阻效應(yīng)、外光電效應(yīng)、霍爾效應(yīng)等的傳感器也屬于此類(lèi)傳感器。的傳感器也屬于此類(lèi)傳感器。 三、傳感器的分類(lèi)三、傳感器的分類(lèi)_ _能量控制型和能量轉(zhuǎn)換型能量控制型和能量轉(zhuǎn)換型1.1 傳感器的定義、組成和分類(lèi)霍爾傳感器霍爾傳感器能量轉(zhuǎn)換型傳感器能量轉(zhuǎn)換型傳感器能量轉(zhuǎn)換型傳感器，又能量轉(zhuǎn)換型傳感器，又稱(chēng)稱(chēng)有源型或發(fā)生器型有源型或發(fā)生器型傳感器。傳感器。傳感器將從被測(cè)對(duì)象獲取的傳感器將從被測(cè)對(duì)象獲取的信息能量直接轉(zhuǎn)換成輸出信信息能量直接轉(zhuǎn)換成輸出信號(hào)能量號(hào)能量，主要由能量變換元，主要由能量變換元件構(gòu)成，不需要外電源。如件構(gòu)成，不需要外電

12、源。如基于基于壓電效應(yīng)、熱電效應(yīng)、壓電效應(yīng)、熱電效應(yīng)、內(nèi)光電效應(yīng)內(nèi)光電效應(yīng)等的傳感器都屬等的傳感器都屬于此類(lèi)傳感器。于此類(lèi)傳感器。 三、傳感器的分類(lèi)三、傳感器的分類(lèi)_ _能量控制型和能量轉(zhuǎn)換型能量控制型和能量轉(zhuǎn)換型1.1 傳感器的定義、組成和分類(lèi)光電傳感器光電傳感器按照物理原理分類(lèi)：按照物理原理分類(lèi)：電參量式傳感器：電阻式、電感電參量式傳感器：電阻式、電感式、電容式等；式、電容式等； 磁電式傳感器：磁電感應(yīng)式、霍磁電式傳感器：磁電感應(yīng)式、霍爾式、磁柵式等；爾式、磁柵式等； 壓電式傳感器：聲波傳感器、超壓電式傳感器：聲波傳感器、超聲波傳感器；聲波傳感器； 光電式傳感器：一般光電式、光光電式傳感器

13、：一般光電式、光柵式、激光式、光電碼盤(pán)式、光導(dǎo)柵式、激光式、光電碼盤(pán)式、光導(dǎo)纖維式、紅外式、攝像式等；纖維式、紅外式、攝像式等；氣電式傳感器：電位器式、應(yīng)變氣電式傳感器：電位器式、應(yīng)變式；式； 三、傳感器的分類(lèi)三、傳感器的分類(lèi)1.1 傳感器的定義、組成和分類(lèi)熱電式傳感器：熱電偶、熱熱電式傳感器：熱電偶、熱電阻；電阻； 波式傳感器：超聲波式、微波式傳感器：超聲波式、微波式等；波式等；射線(xiàn)式傳感器：熱輻射式、射線(xiàn)式傳感器：熱輻射式、射線(xiàn)式；射線(xiàn)式；半導(dǎo)體式傳感器：霍耳器件、半導(dǎo)體式傳感器：霍耳器件、熱敏電阻；熱敏電阻；其他原理的傳感器：差動(dòng)變其他原理的傳感器：差動(dòng)變壓器、振弦式等。壓器、振弦式等。

14、有些傳感器的工作原理具有兩種以上原理的復(fù)合形式，如不少有些傳感器的工作原理具有兩種以上原理的復(fù)合形式，如不少半導(dǎo)體式傳感器，也可看成電參量式傳感器。半導(dǎo)體式傳感器，也可看成電參量式傳感器。 傳感器特性：傳感器特性：主要是指輸出與輸入之間的關(guān)系。主要是指輸出與輸入之間的關(guān)系。傳感器輸出與輸入關(guān)系可用微分方程來(lái)描述。傳感器輸出與輸入關(guān)系可用微分方程來(lái)描述。理論上，將微分方程中的一階及以上的微分項(xiàng)取為零時(shí)，理論上，將微分方程中的一階及以上的微分項(xiàng)取為零時(shí)，即得到靜態(tài)特性。即得到靜態(tài)特性。因此，傳感器的靜態(tài)特性只是動(dòng)態(tài)特性的一個(gè)特例。因此，傳感器的靜態(tài)特性只是動(dòng)態(tài)特性的一個(gè)特例。動(dòng)態(tài)特性：動(dòng)態(tài)特性：當(dāng)

15、輸入量隨時(shí)間較快地變化時(shí)，輸當(dāng)輸入量隨時(shí)間較快地變化時(shí)，輸出與輸入之間關(guān)系稱(chēng)為動(dòng)態(tài)特性。出與輸入之間關(guān)系稱(chēng)為動(dòng)態(tài)特性。靜態(tài)特性：靜態(tài)特性：當(dāng)輸入量為常量，或變化極慢時(shí)，當(dāng)輸入量為常量，或變化極慢時(shí)，輸出與輸入之間關(guān)系稱(chēng)為靜態(tài)特性。輸出與輸入之間關(guān)系稱(chēng)為靜態(tài)特性。1.2 傳感器的基本特性傳感器的輸出與輸入具有確定的對(duì)應(yīng)關(guān)系最好呈傳感器的輸出與輸入具有確定的對(duì)應(yīng)關(guān)系最好呈線(xiàn)性關(guān)系線(xiàn)性關(guān)系。但一般情況下，輸出輸入不會(huì)符合所要求的線(xiàn)性關(guān)系，同時(shí)由于但一般情況下，輸出輸入不會(huì)符合所要求的線(xiàn)性關(guān)系，同時(shí)由于存在遲滯、蠕變、摩擦、間隙和松動(dòng)等各種因素以及外界條件的存在遲滯、蠕變、摩擦、間隙和松動(dòng)等各種因素以

16、及外界條件的影響，使輸出輸入對(duì)應(yīng)關(guān)系的唯一確定性也不能實(shí)現(xiàn)。影響，使輸出輸入對(duì)應(yīng)關(guān)系的唯一確定性也不能實(shí)現(xiàn)?？紤]了這些情況之后，傳感器的輸出輸入互相作用大致如圖考慮了這些情況之后，傳感器的輸出輸入互相作用大致如圖所示。所示。傳感器除了描述輸出輸入關(guān)系的特性之外，還有與使用條件、傳感器除了描述輸出輸入關(guān)系的特性之外，還有與使用條件、使用環(huán)境、使用要求等有關(guān)的特性。使用環(huán)境、使用要求等有關(guān)的特性。1.2 傳感器的基本特性沖擊與振動(dòng)沖擊與振動(dòng)穩(wěn)定性穩(wěn)定性( (零漂零漂) )傳感器傳感器溫度溫度供電供電各種干擾穩(wěn)定性各種干擾穩(wěn)定性溫漂溫漂分辨力分辨力電磁場(chǎng)電磁場(chǎng)線(xiàn)性線(xiàn)性滯后滯后重復(fù)性重復(fù)性靈敏度靈敏度

17、輸入輸入誤差因素誤差因素外界影響外界影響輸出輸出傳感器特性，通過(guò)傳感器本身的改善來(lái)加以抑制，傳感器特性，通過(guò)傳感器本身的改善來(lái)加以抑制，也可以對(duì)外界條件加以限制。也可以對(duì)外界條件加以限制。衡量傳感器特性衡量傳感器特性的主要技術(shù)指標(biāo)的主要技術(shù)指標(biāo)1.2 傳感器的基本特性1.2 傳感器的基本特性傳感器的輸出輸入關(guān)系或多或少地存在非線(xiàn)性。在不考慮遲滯、傳感器的輸出輸入關(guān)系或多或少地存在非線(xiàn)性。在不考慮遲滯、蠕變、不穩(wěn)定性等因素的情況下，蠕變、不穩(wěn)定性等因素的情況下，靜態(tài)特性數(shù)學(xué)模型可用下列多項(xiàng)式靜態(tài)特性數(shù)學(xué)模型可用下列多項(xiàng)式代數(shù)方程表示代數(shù)方程表示：式中式中 y輸出量；輸出量； x輸入量；輸入量；

18、a0零點(diǎn)輸出；零點(diǎn)輸出； a1理論靈敏度；理論靈敏度； a2、a3、 、 an非線(xiàn)性項(xiàng)系數(shù)。各項(xiàng)系數(shù)不同，決定了特性曲線(xiàn)非線(xiàn)性項(xiàng)系數(shù)。各項(xiàng)系數(shù)不同，決定了特性曲線(xiàn)的具體形式。的具體形式。y=a0+a1x+a2x2+a3x3+anxn1.2 傳感器的基本特性一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性1.2 傳感器的基本特性1ya x2424.ya xa x35135.ya xa xa x2012.nnyaa xa xa x靜態(tài)特性曲線(xiàn)靜態(tài)特性曲線(xiàn)一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性1.2 傳感器的基本特性一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性靜態(tài)校準(zhǔn)曲線(xiàn)靜態(tài)校準(zhǔn)曲線(xiàn)在標(biāo)準(zhǔn)工作狀態(tài)下，利用一定

19、精度等級(jí)的校準(zhǔn)設(shè)備，對(duì)傳感器進(jìn)在標(biāo)準(zhǔn)工作狀態(tài)下，利用一定精度等級(jí)的校準(zhǔn)設(shè)備，對(duì)傳感器進(jìn)行行測(cè)試，即可得到輸出輸入數(shù)據(jù)。將這些數(shù)據(jù)列成表格，測(cè)試，即可得到輸出輸入數(shù)據(jù)。將這些數(shù)據(jù)列成表格，再畫(huà)出各被測(cè)量值（正行程和反行程）對(duì)應(yīng)輸出平均值的連線(xiàn)，即為再畫(huà)出各被測(cè)量值（正行程和反行程）對(duì)應(yīng)輸出平均值的連線(xiàn)，即為傳感器的傳感器的靜態(tài)校準(zhǔn)曲線(xiàn)。 其中，其中， (Lmax )最大非線(xiàn)性偏差；最大非線(xiàn)性偏差；YFS 滿(mǎn)量程輸出。滿(mǎn)量程輸出。線(xiàn)性度（又稱(chēng)為線(xiàn)性度（又稱(chēng)為“非線(xiàn)性誤差非線(xiàn)性誤差”），是傳感器的輸出與輸入之間），是傳感器的輸出與輸入之間數(shù)量關(guān)系的線(xiàn)性程度，是表征輸出數(shù)量關(guān)系的線(xiàn)性程度，是表征輸出校

20、準(zhǔn)曲線(xiàn)與其擬合直線(xiàn)之間的校準(zhǔn)曲線(xiàn)與其擬合直線(xiàn)之間的吻合（或偏離）程度的指標(biāo)。吻合（或偏離）程度的指標(biāo)。非線(xiàn)性誤差的大小是以一定的擬合直線(xiàn)為基準(zhǔn)直線(xiàn)而得出來(lái)的。非線(xiàn)性誤差的大小是以一定的擬合直線(xiàn)為基準(zhǔn)直線(xiàn)而得出來(lái)的。擬合直線(xiàn)不同，非線(xiàn)性誤差也不同。所以，選擇擬合直線(xiàn)的主要出發(fā)擬合直線(xiàn)不同，非線(xiàn)性誤差也不同。所以，選擇擬合直線(xiàn)的主要出發(fā)點(diǎn)，應(yīng)是獲得最小的非線(xiàn)性誤差。另外，還應(yīng)考慮使用是否方便，計(jì)點(diǎn)，應(yīng)是獲得最小的非線(xiàn)性誤差。另外，還應(yīng)考慮使用是否方便，計(jì)算是否簡(jiǎn)便。算是否簡(jiǎn)便。一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性1 1、線(xiàn)性度、線(xiàn)性度1.2 傳感器的基本特性max100%LFSYY maxY1

21、.2 傳感器的基本特性理論擬合理論擬合 端點(diǎn)連線(xiàn)擬合端點(diǎn)連線(xiàn)擬合 一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性1 1、線(xiàn)性度、線(xiàn)性度最小二乘擬合法最小二乘法擬合最小二乘法擬合y=kx+b若實(shí)際校準(zhǔn)測(cè)試點(diǎn)有若實(shí)際校準(zhǔn)測(cè)試點(diǎn)有n個(gè)，則第個(gè)，則第i個(gè)校準(zhǔn)個(gè)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)與擬合直線(xiàn)上相應(yīng)值之間的殘差為數(shù)據(jù)與擬合直線(xiàn)上相應(yīng)值之間的殘差為i=yi-(kxi+b)min2112niiiniibkxy最小二乘法擬合直線(xiàn)的原理就是使最小二乘法擬合直線(xiàn)的原理就是使 為最小值，即為最小值，即 對(duì)對(duì)k k和和b b一階偏導(dǎo)數(shù)等于零，求出一階偏導(dǎo)數(shù)等于零，求出b b和和k k的表達(dá)式。的表達(dá)式。2i2i一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳

22、感器的靜態(tài)特性1 1、線(xiàn)性度、線(xiàn)性度1.2 傳感器的基本特性設(shè)擬合直線(xiàn)方程：即得到k和b的表達(dá)式為022iiiixbkxyk0122bkxybiii22iiiiiixxnyxyxnk222iiiiiiixxnyxxyxb系數(shù)系數(shù)k和和b代入擬合直線(xiàn)方程，即可得到擬合直線(xiàn)，然后求出殘差的代入擬合直線(xiàn)方程，即可得到擬合直線(xiàn)，然后求出殘差的最大值最大值Lmax用以計(jì)算非線(xiàn)性誤差。用以計(jì)算非線(xiàn)性誤差。一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性1 1、線(xiàn)性度、線(xiàn)性度1.2 傳感器的基本特性最小二乘法擬合最小二乘法擬合max100%HFSHy 遲滯誤差的另一名稱(chēng)叫遲滯誤差的另一名稱(chēng)叫回程誤差。檢測(cè)回程誤差時(shí)

23、，可選擇幾。檢測(cè)回程誤差時(shí)，可選擇幾個(gè)測(cè)試點(diǎn)。對(duì)應(yīng)于每一輸入信號(hào)，傳感器正行程及反行程中輸出信個(gè)測(cè)試點(diǎn)。對(duì)應(yīng)于每一輸入信號(hào)，傳感器正行程及反行程中輸出信號(hào)差值的最大者即為回程誤差。號(hào)差值的最大者即為回程誤差。 傳感器在正傳感器在正( (輸入量增大輸入量增大) )反（輸入反（輸入量減?。┬谐讨休敵鲚斎肭€(xiàn)不重合稱(chēng)量減?。┬谐讨休敵鲚斎肭€(xiàn)不重合稱(chēng)為遲滯為遲滯。遲滯特性一般是由實(shí)驗(yàn)方法測(cè)。遲滯特性一般是由實(shí)驗(yàn)方法測(cè)得。遲滯誤差一般以滿(mǎn)量程輸出的百分得。遲滯誤差一般以滿(mǎn)量程輸出的百分?jǐn)?shù)表示，即數(shù)表示，即一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性2 2、遲滯、遲滯1.2 傳感器的基本特性式中式中 正反行

24、程間輸出的最大差值。正反行程間輸出的最大差值。 maxHRmax1正行程的最大重復(fù)性偏差正行程的最大重復(fù)性偏差 Rmax2反行程的最大重復(fù)性偏差反行程的最大重復(fù)性偏差檢測(cè)時(shí)也可選取幾個(gè)測(cè)試點(diǎn)，對(duì)檢測(cè)時(shí)也可選取幾個(gè)測(cè)試點(diǎn)，對(duì)應(yīng)每一點(diǎn)多次從同一方向趨近。應(yīng)每一點(diǎn)多次從同一方向趨近。%100/maxFSRRy重復(fù)性是指?jìng)鞲衅髟谕还ぷ鳁l件下，重復(fù)性是指?jìng)鞲衅髟谕还ぷ鳁l件下，輸入量按同一方向連續(xù)多次變動(dòng)時(shí)，所輸入量按同一方向連續(xù)多次變動(dòng)時(shí)，所得特性曲線(xiàn)之間不一致的程度。得特性曲線(xiàn)之間不一致的程度。重復(fù)性重復(fù)性誤差誤差可用正反行程中最大偏差表示：可用正反行程中最大偏差表示：獲得輸出值系列獲得輸出值系列

25、yi1，yi2，yi3，yin ，算出，算出標(biāo)準(zhǔn)差標(biāo)準(zhǔn)差，此時(shí)，此時(shí)（23）可）可作為重復(fù)性偏差作為重復(fù)性偏差Ri，也可以在幾個(gè)，也可以在幾個(gè)Ri中取出最大值中取出最大值Rmax作為重復(fù)性誤差：作為重復(fù)性誤差：%100/)32(FSRy一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性3 3、重復(fù)性、重復(fù)性1.2 傳感器的基本特性因此，傳感器輸出曲線(xiàn)的因此，傳感器輸出曲線(xiàn)的斜率斜率就是靈敏度。線(xiàn)性特性的傳就是靈敏度。線(xiàn)性特性的傳感器，特性曲線(xiàn)的斜率處處相同，靈敏度感器，特性曲線(xiàn)的斜率處處相同，靈敏度K是一常數(shù)，與輸入是一常數(shù)，與輸入量大小無(wú)關(guān)。量大小無(wú)關(guān)。K=y/x傳感器輸出的變化量傳感器輸出的變化量y

26、與引起該變化量的與引起該變化量的輸入變化量輸入變化量x之比即為靜態(tài)靈敏度，表達(dá)式為之比即為靜態(tài)靈敏度，表達(dá)式為一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性4 4、靈敏度與靈敏度誤差、靈敏度與靈敏度誤差1.2 傳感器的基本特性 量綱相同時(shí)：靈敏度量綱相同時(shí)：靈敏度增益增益放大倍數(shù)放大倍數(shù) 靜態(tài)特性曲線(xiàn)（直線(xiàn)）的線(xiàn)斜率越大，其靈敏度越高。靜態(tài)特性曲線(xiàn)（直線(xiàn)）的線(xiàn)斜率越大，其靈敏度越高。一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性4 4、靈敏度與靈敏度誤差、靈敏度與靈敏度誤差1.2 傳感器的基本特性 非線(xiàn)性傳感器的靈敏度為一變量，非線(xiàn)性傳感器的靈敏度為一變量，即輸入輸出特性曲線(xiàn)上某點(diǎn)的斜率，且即輸入輸出特性

27、曲線(xiàn)上某點(diǎn)的斜率，且靈敏度雖時(shí)間輸入量變化而變化。靈敏度雖時(shí)間輸入量變化而變化。K=dy/dx分辨力用絕對(duì)值表示。分辨力用絕對(duì)值表示。在傳感器輸入零點(diǎn)附近的分辨在傳感器輸入零點(diǎn)附近的分辨力稱(chēng)為力稱(chēng)為閾值閾值。 分辨力是指?jìng)鞲衅髂軝z測(cè)到的分辨力是指?jìng)鞲衅髂軝z測(cè)到的被測(cè)輸入量的最小變化量被測(cè)輸入量的最小變化量x 。有些傳感器，當(dāng)輸入量連續(xù)變有些傳感器，當(dāng)輸入量連續(xù)變化時(shí)，輸出量只作階梯變化，則分化時(shí)，輸出量只作階梯變化，則分辨力就是輸出量的每個(gè)辨力就是輸出量的每個(gè)“階梯階梯”所所代表的輸入量的大小。代表的輸入量的大小。一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性5 5、分辨力與閾值、分辨力與閾值1.2

28、 傳感器的基本特性l 傳感器漂移是指在一定工作條件下，保持輸入量不變，傳傳感器漂移是指在一定工作條件下，保持輸入量不變，傳感器輸出量隨時(shí)間發(fā)生緩慢變化，此現(xiàn)象成為漂移。即傳感器輸出量隨時(shí)間發(fā)生緩慢變化，此現(xiàn)象成為漂移。即傳感器輸出存在與被測(cè)輸入量無(wú)關(guān)的、不需要的變化。感器輸出存在與被測(cè)輸入量無(wú)關(guān)的、不需要的變化。一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性 6 6、漂移、漂移1.2 傳感器的基本特性l 產(chǎn)生原因：產(chǎn)生原因：傳感器自身結(jié)構(gòu)參數(shù)老化傳感器自身結(jié)構(gòu)參數(shù)老化測(cè)試過(guò)程中環(huán)境發(fā)生變化測(cè)試過(guò)程中環(huán)境發(fā)生變化測(cè)試時(shí)先將傳感器置于一定溫度測(cè)試時(shí)先將傳感器置于一定溫度(如如20)，將其輸出調(diào)至零點(diǎn)或，

29、將其輸出調(diào)至零點(diǎn)或某一特定點(diǎn)，使溫度上升或下降一定的度數(shù)某一特定點(diǎn)，使溫度上升或下降一定的度數(shù)(如如5或或10)，再讀出輸，再讀出輸出值，前后兩次輸出值之差即為出值，前后兩次輸出值之差即為溫度穩(wěn)定性誤差。溫度漂移是指?jìng)鞲衅鬏敵隽侩S著環(huán)境溫度的變化而變化，又稱(chēng)為是指?jìng)鞲衅鬏敵隽侩S著環(huán)境溫度的變化而變化，又稱(chēng)為溫度穩(wěn)定性。溫度穩(wěn)定性。溫度穩(wěn)定性誤差用溫度每變化若干溫度穩(wěn)定性誤差用溫度每變化若干的絕對(duì)誤差或相對(duì)誤差表示，的絕對(duì)誤差或相對(duì)誤差表示，每每引起的傳感器誤差又稱(chēng)為引起的傳感器誤差又稱(chēng)為溫度誤差系數(shù)溫度誤差系數(shù)。1.2 傳感器的基本特性%100TYSFmax溫漂滿(mǎn)量程輸出。溫度變化范圍；輸出最

30、大偏差；SFYTmax一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性 6 6、漂移、漂移2111niiyn取取2和和3值即為傳感器的值即為傳感器的靜態(tài)誤差靜態(tài)誤差。(23)100%FSy靜態(tài)誤差的求取方法：把全部輸出數(shù)據(jù)與擬合直線(xiàn)上對(duì)應(yīng)值的殘靜態(tài)誤差的求取方法：把全部輸出數(shù)據(jù)與擬合直線(xiàn)上對(duì)應(yīng)值的殘差，看成是隨機(jī)分布，求出其標(biāo)準(zhǔn)偏差，即差，看成是隨機(jī)分布，求出其標(biāo)準(zhǔn)偏差，即靜態(tài)誤差是指?jìng)鞲衅髟谌砍虄?nèi)任一點(diǎn)的輸出值與理論值的偏離靜態(tài)誤差是指?jìng)鞲衅髟谌砍虄?nèi)任一點(diǎn)的輸出值與理論值的偏離程度。程度。yi各測(cè)試點(diǎn)的殘差；各測(cè)試點(diǎn)的殘差； n一測(cè)試點(diǎn)數(shù)。一測(cè)試點(diǎn)數(shù)。一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性7

31、7、靜態(tài)誤差、靜態(tài)誤差1.2 傳感器的基本特性與精確度有關(guān)指標(biāo)：精密度、準(zhǔn)確度與精確度有關(guān)指標(biāo)：精密度、準(zhǔn)確度準(zhǔn)確度：準(zhǔn)確度：說(shuō)明傳感器輸出值與真值的說(shuō)明傳感器輸出值與真值的偏離程度偏離程度。準(zhǔn)確度是系統(tǒng)誤差大小的。準(zhǔn)確度是系統(tǒng)誤差大小的標(biāo)志，準(zhǔn)確度高意味著系統(tǒng)誤差小。標(biāo)志，準(zhǔn)確度高意味著系統(tǒng)誤差小。準(zhǔn)確度高不一定精密度高。準(zhǔn)確度高不一定精密度高。精密度：精密度：說(shuō)明測(cè)量傳感器輸出值的說(shuō)明測(cè)量傳感器輸出值的分散性分散性，即對(duì)某一穩(wěn)定的被測(cè)量，由同，即對(duì)某一穩(wěn)定的被測(cè)量，由同一個(gè)測(cè)量者，用同一個(gè)傳感器，在相當(dāng)短的時(shí)間內(nèi)連續(xù)重復(fù)測(cè)量多次，一個(gè)測(cè)量者，用同一個(gè)傳感器，在相當(dāng)短的時(shí)間內(nèi)連續(xù)重復(fù)測(cè)量多次

32、，其測(cè)量結(jié)果的分散程度。精密度是隨機(jī)誤差大小的標(biāo)志，精密度高，其測(cè)量結(jié)果的分散程度。精密度是隨機(jī)誤差大小的標(biāo)志，精密度高，意味著隨機(jī)誤差小。注意：意味著隨機(jī)誤差小。注意：精密度高不一定準(zhǔn)確度高。精密度高不一定準(zhǔn)確度高。一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性8 8、精確度、精確度1.2 傳感器的基本特性精確度是精密度與準(zhǔn)確度兩者的總和精確度是精密度與準(zhǔn)確度兩者的總和，精確度高表示精密度，精確度高表示精密度和準(zhǔn)確度都比較高。和準(zhǔn)確度都比較高。（a）準(zhǔn)確度低且精密度低）準(zhǔn)確度低且精密度低 （b）準(zhǔn)確度低而精密度高）準(zhǔn)確度低而精密度高 （c）精確度高）精確度高在測(cè)量中我們希望得到精確度高的結(jié)果。在測(cè)

33、量中我們希望得到精確度高的結(jié)果。 一、傳感器的靜態(tài)特性一、傳感器的靜態(tài)特性8 8、精確度、精確度1.2 傳感器的基本特性精確度示意圖精確度示意圖二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性1.2 傳感器的基本特性水溫水溫T熱電偶熱電偶環(huán)境溫度環(huán)境溫度T T0 0 T TT T0 0被測(cè)量隨時(shí)間變化的形式千變?nèi)f化，工程上在被測(cè)量隨時(shí)間變化的形式千變?nèi)f化，工程上在研究動(dòng)態(tài)特研究動(dòng)態(tài)特性時(shí)常根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)輸入特性來(lái)考慮傳感器的響應(yīng)特性，確定評(píng)定性時(shí)常根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)輸入特性來(lái)考慮傳感器的響應(yīng)特性，確定評(píng)定動(dòng)態(tài)特性的指標(biāo)。動(dòng)態(tài)特性的指標(biāo)。動(dòng)態(tài)特性：傳感器對(duì)隨時(shí)間變化的輸入量的響應(yīng)特性。動(dòng)態(tài)特性：傳感器對(duì)隨時(shí)間變化的輸入

34、量的響應(yīng)特性。u正弦變化的輸入正弦變化的輸入u階躍變化的輸入階躍變化的輸入u線(xiàn)性輸入線(xiàn)性輸入標(biāo)準(zhǔn)輸入有三種：標(biāo)準(zhǔn)輸入有三種：經(jīng)常使用的是前兩種：經(jīng)常使用的是前兩種：正弦和正弦和階躍階躍變化的輸入變化的輸入。二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性1.2 傳感器的基本特性描述傳感器動(dòng)態(tài)特性的一般微分方程：描述傳感器動(dòng)態(tài)特性的一般微分方程： y y輸出量；輸出量； x x輸入量；輸入量； t t時(shí)時(shí)間；間；a a0 0， a a1 1， ，a an n常系數(shù)；常系數(shù)； b b0 0， b b1 1， ，b bm m常常系系數(shù)數(shù) 輸出量對(duì)時(shí)間輸出量對(duì)時(shí)間t t的的n n階導(dǎo)數(shù)階導(dǎo)數(shù) 輸入量對(duì)時(shí)間輸入

35、量對(duì)時(shí)間t t的的m m階導(dǎo)數(shù)階導(dǎo)數(shù)nndtyd/mmdtxd/二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性1 1、數(shù)學(xué)模型數(shù)學(xué)模型1.2 傳感器的基本特性研究線(xiàn)性系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)特性，研究線(xiàn)性系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)特性，主要是分析數(shù)學(xué)模型的輸入量主要是分析數(shù)學(xué)模型的輸入量x x與輸出量與輸出量y y之間的關(guān)系，通過(guò)之間的關(guān)系，通過(guò)求解微分方程，可知?jiǎng)討B(tài)性能求解微分方程，可知?jiǎng)討B(tài)性能指標(biāo)。指標(biāo)。xbdtdxbdtxdbdtxdbyadtdyadtydadtydammmmmmnnnnnn0111101111線(xiàn)性定常系統(tǒng)（特性不隨時(shí)線(xiàn)性定常系統(tǒng)（特性不隨時(shí)間改變的線(xiàn)性系統(tǒng)），間改變的線(xiàn)性系統(tǒng)），數(shù)學(xué)模型數(shù)學(xué)模型為高階常

36、系數(shù)線(xiàn)性微分方程為高階常系數(shù)線(xiàn)性微分方程，即，即xbyadtdyadtydannn001二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性1 1、數(shù)學(xué)模型數(shù)學(xué)模型1.2 傳感器的基本特性)()()()()()(001tkxtydttdytxbtyadttdya)()();()(00tkxtytxbtya 理想的動(dòng)態(tài)特性，無(wú)論被測(cè)量理想的動(dòng)態(tài)特性，無(wú)論被測(cè)量x(t)如何隨時(shí)間變化，輸出都不會(huì)失如何隨時(shí)間變化，輸出都不會(huì)失真，在時(shí)間上也無(wú)任何滯后，真，在時(shí)間上也無(wú)任何滯后，零階系零階系統(tǒng)又稱(chēng)為比例系統(tǒng)統(tǒng)又稱(chēng)為比例系統(tǒng)。 實(shí)際應(yīng)用時(shí)改寫(xiě)為第二式，實(shí)際應(yīng)用時(shí)改寫(xiě)為第二式，傳感器的時(shí)間常數(shù)，傳感器的時(shí)間常數(shù)，k

37、k靜態(tài)靈靜態(tài)靈敏度或放大系數(shù)。敏度或放大系數(shù)。 時(shí)間常數(shù)具有時(shí)間的量綱，時(shí)間常數(shù)具有時(shí)間的量綱，反映傳感器的慣性大小；靜態(tài)靈反映傳感器的慣性大??；靜態(tài)靈敏度則說(shuō)明靜態(tài)特性。敏度則說(shuō)明靜態(tài)特性。 一階系統(tǒng)又稱(chēng)為慣性系統(tǒng)。一階系統(tǒng)又稱(chēng)為慣性系統(tǒng)。實(shí)際應(yīng)用時(shí)改寫(xiě)為第二式，實(shí)際應(yīng)用時(shí)改寫(xiě)為第二式，k傳感器的靜態(tài)靈敏度或放傳感器的靜態(tài)靈敏度或放大系數(shù)，大系數(shù)，傳感器的阻尼系傳感器的阻尼系數(shù)，數(shù)，n 固有頻率。固有頻率。二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性1 1、數(shù)學(xué)模型數(shù)學(xué)模型1.2 傳感器的基本特性)()()(2)()()()()(2222001222tkxtydttdydttydtxbtyadt

38、tdyadttydannn根據(jù)二階微分方程特征方根據(jù)二階微分方程特征方程根的性質(zhì)不同，二階系統(tǒng)又程根的性質(zhì)不同，二階系統(tǒng)又可分為：可分為： 二階慣性系統(tǒng)二階慣性系統(tǒng)特點(diǎn)：特征方程的根為兩特點(diǎn)：特征方程的根為兩個(gè)負(fù)實(shí)根，相當(dāng)于兩個(gè)一階系個(gè)負(fù)實(shí)根，相當(dāng)于兩個(gè)一階系統(tǒng)串聯(lián)。統(tǒng)串聯(lián)。 二階振蕩系統(tǒng)二階振蕩系統(tǒng)特點(diǎn)：特征方程的根為一特點(diǎn)：特征方程的根為一對(duì)帶負(fù)實(shí)部的共軛復(fù)根。對(duì)帶負(fù)實(shí)部的共軛復(fù)根。定義：定義：在線(xiàn)性或線(xiàn)性化定常在線(xiàn)性或線(xiàn)性化定常系統(tǒng)中，動(dòng)態(tài)特性的系統(tǒng)中，動(dòng)態(tài)特性的傳遞函數(shù)傳遞函數(shù)是是指初始條件為指初始條件為0時(shí)，系統(tǒng)輸出量時(shí)，系統(tǒng)輸出量的拉氏變換與輸入量的拉氏變換的拉氏變換與輸入量的拉氏

39、變換之比。之比。輸出量：響應(yīng)函數(shù)；輸出量：響應(yīng)函數(shù)；輸入量：激勵(lì)函數(shù)。輸入量：激勵(lì)函數(shù)。0101)()()(asasabsbsbsHsXsYnnmmY(s) 傳感器輸出量的拉氏變換式；傳感器輸出量的拉氏變換式； X(s) 傳感器輸入量的拉氏變換式。傳感器輸入量的拉氏變換式。二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性2 2、傳遞函數(shù)、傳遞函數(shù)1.2 傳感器的基本特性拉氏變換：拉氏變換：0)()(0)(0dtetysYtyttS；時(shí)，當(dāng)js拉氏變換自變量：拉氏變換自變量：為收斂因子，為收斂因子，為角頻率。為角頻率。初值為初值為0時(shí)，傳感器數(shù)學(xué)模時(shí)，傳感器數(shù)學(xué)模型進(jìn)行拉氏變換，即可得出系統(tǒng)型進(jìn)行拉氏變

40、換，即可得出系統(tǒng)的傳遞函數(shù)的傳遞函數(shù)H(s)傳遞函數(shù)求法：傳遞函數(shù)求法：一定常系統(tǒng)，微分一定常系統(tǒng)，微分方程中各階導(dǎo)數(shù)用相應(yīng)方程中各階導(dǎo)數(shù)用相應(yīng)S變量替換。變量替換。單位階躍輸入信號(hào)單位階躍輸入信號(hào)二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性3 3、動(dòng)態(tài)特性指標(biāo)動(dòng)態(tài)特性指標(biāo)（1 1）瞬態(tài)（時(shí)間）響應(yīng)）瞬態(tài)（時(shí)間）響應(yīng)1.2 傳感器的基本特性一階系統(tǒng)一階系統(tǒng)輸入輸入輸出輸出)0(0)0(1)(tttx一階傳感器系統(tǒng)的瞬態(tài)響應(yīng)一階傳感器系統(tǒng)的瞬態(tài)響應(yīng)時(shí)域動(dòng)態(tài)性能指標(biāo)：時(shí)域動(dòng)態(tài)性能指標(biāo)： 時(shí)間常數(shù)時(shí)間常數(shù)：傳感器輸出上升傳感器輸出上升到穩(wěn)態(tài)值的到穩(wěn)態(tài)值的63.2%所需的時(shí)間。所需的時(shí)間。 延遲時(shí)間延遲時(shí)

41、間td：傳感器輸出達(dá)到傳感器輸出達(dá)到穩(wěn)態(tài)值的穩(wěn)態(tài)值的50%所需的時(shí)間。所需的時(shí)間。 上升時(shí)間上升時(shí)間tr：傳感器輸出達(dá)到傳感器輸出達(dá)到穩(wěn)態(tài)值的穩(wěn)態(tài)值的90%所需的時(shí)間。所需的時(shí)間。單位階躍輸入信號(hào)單位階躍輸入信號(hào)二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性3 3、動(dòng)態(tài)特性指標(biāo)動(dòng)態(tài)特性指標(biāo)（1 1）瞬態(tài)（時(shí)間）響應(yīng)）瞬態(tài)（時(shí)間）響應(yīng)1.2 傳感器的基本特性)0(0)0(1)(tttx 峰值時(shí)間峰值時(shí)間tp： 傳感器輸出響應(yīng)曲傳感器輸出響應(yīng)曲線(xiàn)達(dá)到第一個(gè)峰值所需的時(shí)間。線(xiàn)達(dá)到第一個(gè)峰值所需的時(shí)間。 超調(diào)量超調(diào)量：傳感器輸出超過(guò)穩(wěn)態(tài)傳感器輸出超過(guò)穩(wěn)態(tài)值的最大值。值的最大值。 衰減比衰減比d：衰減振蕩響應(yīng)

42、曲線(xiàn)的衰減振蕩響應(yīng)曲線(xiàn)的第一個(gè)峰值與第二個(gè)峰值之比。第一個(gè)峰值與第二個(gè)峰值之比。 二階傳感器系統(tǒng)的瞬態(tài)響應(yīng)二階傳感器系統(tǒng)的瞬態(tài)響應(yīng)時(shí)域動(dòng)態(tài)性能指標(biāo)：時(shí)域動(dòng)態(tài)性能指標(biāo)：二階系統(tǒng)二階系統(tǒng)輸入輸入輸出輸出傳感器輸入正弦信號(hào)：傳感器輸入正弦信號(hào)：二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性3 3、動(dòng)態(tài)特性指標(biāo)動(dòng)態(tài)特性指標(biāo)（2 2）頻率響應(yīng)）頻率響應(yīng)1.2 傳感器的基本特性tXxsin傳感器輸出信號(hào)：傳感器輸出信號(hào)：)sin(tYy響應(yīng)函數(shù)（傳遞函數(shù)）：響應(yīng)函數(shù)（傳遞函數(shù)）：jjtjtjeAeXYXeYejXjYjH)()()()()(幅值幅值)()( AA相位相位幅頻特性幅頻特性相頻特性相頻特性頻率響應(yīng)特

43、性指標(biāo)頻率響應(yīng)特性指標(biāo) ：二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性3 3、動(dòng)態(tài)特性指標(biāo)動(dòng)態(tài)特性指標(biāo)（2 2）頻率響應(yīng)）頻率響應(yīng)1.2 傳感器的基本特性 通頻帶通頻帶0.707：傳感器在對(duì)數(shù)傳感器在對(duì)數(shù)幅頻特性曲線(xiàn)上幅值衰減幅頻特性曲線(xiàn)上幅值衰減3dB時(shí)所對(duì)時(shí)所對(duì)應(yīng)的頻率范圍。應(yīng)的頻率范圍。 工作頻帶工作頻帶0.95或或0.90：當(dāng)傳當(dāng)傳感器的幅值誤差為感器的幅值誤差為5%或或10%時(shí)時(shí)其增益保持在一定值內(nèi)的頻率范圍。其增益保持在一定值內(nèi)的頻率范圍。頻率響應(yīng)特性指標(biāo)頻率響應(yīng)特性指標(biāo) ：二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性二、傳感器的動(dòng)態(tài)特性3 3、動(dòng)態(tài)特性指標(biāo)動(dòng)態(tài)特性指標(biāo)（2 2）頻率響應(yīng)）頻率響應(yīng)1.2 傳感器的基本特性 相位誤差：相位誤差：在工作頻帶范圍在工作頻帶范圍內(nèi)，實(shí)際輸出與所希望的無(wú)失真輸內(nèi)，實(shí)際輸出與所希望的無(wú)失真輸出間的相位