CDA及制程真空簡介

1、 壓縮乾燥空氣及壓縮乾燥空氣及製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)廠務四處空調課廠務四處空調課 第一單元第一單元壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)系統(tǒng)目的系統(tǒng)目的 提供低含水量之壓縮潔淨空氣提供低含水量之壓縮潔淨空氣需求設備需求設備 離心式空氣壓縮機離心式空氣壓縮機(螺旋式空氣壓縮機螺旋式空氣壓縮機) 吸附式乾燥機吸附式乾燥機(冷凍式乾燥機冷凍式乾燥機) 微粒子過濾器微粒子過濾器品質要求品質要求(各廠需求略有不同各廠需求略有不同) 系統(tǒng)末端壓力高於系統(tǒng)末端壓力高於7.0kg/cm2 空氣露點溫度低於空氣露點溫度低於-70(水份含量低於水份含量低於0.12ppm) 微粒數(shù)少於微

2、粒數(shù)少於10顆顆/ft3 壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓力單位壓力單位 inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、 Bar (105 Pa)、Torr大氣壓力大氣壓力 1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi =101,325Pa=1.01Bar=760Torr絕對壓力絕對壓力 錶壓力錶壓力+大氣壓力大氣壓力壓力換算壓力換算 1kg/cm2=14.7/1.033=14.2psi 壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)風量單位風量單位 CMM(m3/min)、CMH(m3/hr)、CFM(ft3/min)單位換

3、算單位換算 1CMM(m3/min)=1m3/(1/60hr)=60CMH =(3.28ft)3/min=35.3CFM特定風量條件特定風量條件 Standard Condition(SCMM)：1atm、20、65%R.H Normal Condition(NCMM)：1atm、0、0%R.H壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)Standard&Normal風量轉換風量轉換 理想氣體定律理想氣體定律 (P1*V1)/T1=(P2*V2)/T2 P：絕對壓力絕對壓力 T：絕對溫度絕對溫度Standard&Normal風量轉換範例風量轉換範例 100SCMM= NCMM 理想氣體定律

4、理想氣體定律 (1.033kg/cm2*100SCMM)/(20+273) =(1.033kg/cm2* NCMM)/(0+273) Ans：93.17NCMM Q(Standard) Q(Normal)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣處理流程壓縮乾燥空氣處理流程壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)離心式空氣壓縮機離心式空氣壓縮機壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)離心式空氣壓縮機離心式空氣壓縮機 冷 凝 水 橈 性 接 頭 油 過 濾 器 油 溫 控 制 閥 油 冷 卻 器主 油 泵 油 加 熱 器 油 箱 旁 通 閥 過 濾 網(wǎng) 油 空 氣 水 後 冷 卻 器中 間 冷 卻 器中 間冷

5、 卻 器 輔 油 泵進 口 空 氣 過 濾 器 和 消 音 器進 口 調 節(jié) 導 葉 止 回 閥 排 油 氣 風 扇 及 過 濾 器壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)IGV&BOV壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)乾燥機元件介紹乾燥機元件介紹壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)乾燥機元件介紹乾燥機元件介紹氣動控制閥件氣動控制閥件壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)乾燥機溫度乾燥機溫度/壓力錶壓力錶(機械式機械式)入口壓力入口壓力出口壓力出口壓力A桶槽壓力桶槽壓力 B桶槽壓力桶槽壓力冷卻壓力冷卻壓力A桶槽溫度桶槽溫度B桶槽溫度桶槽溫度排氣出口溫度排氣出口溫度壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)乾燥機溫度

6、乾燥機溫度/壓力錶壓力錶(機械式機械式)Inlet PressureLeft Chamber PressureA桶槽桶槽B桶槽桶槽Outlet PressurePurgeRight Chamber PressureMoisture Indicator1.藍色藍色正常正常2.粉紅粉紅含水含水壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)乾燥機溫度乾燥機溫度/壓力錶壓力錶(機械式機械式)B桶槽桶槽冷卻壓力冷卻壓力壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)乾燥機溫度乾燥機溫度/壓力控制開關壓力控制開關(電子式電子式)加熱溫度加熱溫度控制開關控制開關(維持維持200)加熱器溫度加熱器溫度保護開關保護開關(370)B桶槽高溫切

7、換桶槽高溫切換保護開關保護開關(50)A桶槽高溫切換桶槽高溫切換保護開關保護開關(50)空氣出口溫度空氣出口溫度監(jiān)視點監(jiān)視點A桶槽建壓桶槽建壓壓力開關壓力開關(45psi)B桶槽建壓桶槽建壓壓力開關壓力開關(45psi)加熱結束溫度加熱結束溫度控制開關控制開關(80)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)Cycle Time(22hr) 單一桶槽依續(xù)完成吸附與再生過程之總時間單一桶槽依續(xù)完成吸附與再生過程之總時間吸附過程吸附過程(11hr) 乾燥粒吸收壓縮空氣所含水份之程序乾燥粒吸收壓縮空氣所含水份之程序再生過程再生過程(11hr) 洩壓程序洩壓程序(8min)：洩除欲再生桶槽保有之壓力洩除欲再生桶

8、槽保有之壓力 加熱程序加熱程序(240min max)：加溫移除乾燥粒子所含水份加溫移除乾燥粒子所含水份 冷卻程序冷卻程序(410min max)：冷卻乾燥粒以恢復吸附能力冷卻乾燥粒以恢復吸附能力 建壓程序建壓程序(15min)：建立再生完成桶槽之壓力建立再生完成桶槽之壓力壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)工作流程工作流程吸附過程吸附過程入口閥入口閥(桶槽切換時作動桶槽切換時作動)A桶排氣閥桶排氣閥(OFF)B桶排氣閥桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)B桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)吸附桶槽吸附桶槽待機桶槽待機桶槽建壓閥建壓閥(OFF)桶槽切換依據(jù)桶槽切換依據(jù)1.偵濕器作動偵濕器作動(7

9、.513kHz)2.時間控制時間控制(11hr)B桶槽高溫切換桶槽高溫切換保護開關保護開關(50)A桶槽高溫切換桶槽高溫切換保護開關保護開關(50)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)再生過程再生過程洩壓程序洩壓程序(8min)入口閥入口閥A桶排氣閥桶排氣閥(OFF)B桶排氣閥桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥桶洩壓閥(ON)B桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)洩壓桶槽洩壓桶槽吸附桶槽吸附桶槽建壓閥建壓閥(OFF)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)再生過程再生過程加熱程序加熱程序(240min max)入口閥入口閥A桶排氣閥桶排氣閥(ON)B桶排氣閥桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)B桶洩壓閥桶洩壓閥

10、(OFF)加熱桶槽加熱桶槽吸附桶槽吸附桶槽建壓閥建壓閥(OFF)加熱溫度加熱溫度控制開關控制開關(維持維持200)加熱器溫度加熱器溫度保護開關保護開關(370)加熱結束溫度加熱結束溫度控制開關控制開關(80)1.鼓風機啟動鼓風機啟動2.加熱器啟動加熱器啟動壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)再生過程再生過程冷卻程序冷卻程序(410min max)入口閥入口閥A桶排氣閥桶排氣閥(ON)B桶排氣閥桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)B桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)冷卻桶槽冷卻桶槽吸附桶槽吸附桶槽建壓閥建壓閥(ON)35壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)再生過程再生過程建壓程序建壓程序(15min)

11、入口閥入口閥A桶排氣閥桶排氣閥(OFF)B桶排氣閥桶排氣閥(OFF)A桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)B桶洩壓閥桶洩壓閥(OFF)建壓桶槽建壓桶槽吸附桶槽吸附桶槽建壓閥建壓閥(ON)35A桶槽建壓桶槽建壓壓力開關壓力開關(45psi)B桶槽高溫切換桶槽高溫切換保護開關保護開關(50)A桶槽高溫切換桶槽高溫切換保護開關保護開關(50)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)壓縮乾燥空氣系統(tǒng)微粒子補捉原理微粒子補捉原理氣流慣性/衝擊粒子粒子粒子欄截擴散/靜電粒子運動路徑粒子運動路徑 第二單元第二單元製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)系統(tǒng)目的系統(tǒng)目的 移除系統(tǒng)內氣體、創(chuàng)造具真空度之空間移除系統(tǒng)內氣體、創(chuàng)造具真空度之

12、空間需求設備需求設備 真空機真空機 (真空泵真空泵)品質要求品質要求(各廠略有不同各廠略有不同) 系統(tǒng)末端真空度高於系統(tǒng)末端真空度高於25.0 inHg製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)壓力單位壓力單位 inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、 Bar (105 Pa)、Torr大氣壓力大氣壓力 1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi =101,325Pa=1.01Bar=760Torr絕對壓力絕對壓力 錶壓力錶壓力+大氣壓力大氣壓力真空度真空度 負壓力單位負壓力單位or壓力單位壓力單位(vac)製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)流程圖真空系統(tǒng)流程圖製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)真空機組成真空機組成製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)真空機工作流程真空機工作流程空空 氣氣 部部 份份潤滑油部份潤滑油部份製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)真空機錶件真空機錶件/圖控點圖控點/附屬元件附屬元件製程真空系統(tǒng)製程真空系統(tǒng)真空機真空機入口導引閥入口導引閥真空開關設定：下限真空開關設定：下限-26.0inHg 上限上限-28.0inHg設備啟動設備啟動(真空度小於真空度小於26.0inHg vac)真空度大於真空度大於26.0inHg(vac) 小