2016重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項明確10個重點支持方向來源互聯(lián)網(wǎng)

1、2021重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項明確10個重點支持方向來源：互聯(lián)網(wǎng)導(dǎo)讀2月19日，科技部網(wǎng)站發(fā)布關(guān)于發(fā)布重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項2021年度指南的通知，本指南共設(shè)置了關(guān)鍵核心部件、高端通用科學(xué)儀器和專業(yè)重大科學(xué)儀器 3類任務(wù)， 下設(shè)10個重點方向，支持?jǐn)?shù)量不超過實施方案內(nèi)容的30%2月19日，科技部網(wǎng)站發(fā)布關(guān)于發(fā)布重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項2021年度指南的通知，本指南共設(shè)置了關(guān)鍵核心部件、高端通用科學(xué)儀器和專業(yè)重大科學(xué)儀器3類任務(wù)，下設(shè)10個重點方向，支持?jǐn)?shù)量不超過實施方案內(nèi)容的30%其中核心關(guān)鍵部件開發(fā)與應(yīng)用中包括：源部件、探測器與傳感器、分析別離與控制部件；高端通用儀器工程化及應(yīng)用開發(fā)包括

2、：分析儀器、物理性能測試儀器、電子測量儀器、計量儀器；專業(yè)重大科學(xué)儀器開發(fā)及應(yīng)用示范包括：支撐經(jīng)濟和產(chǎn)業(yè)開展的專業(yè)重大科學(xué)儀器、服務(wù)公益行業(yè)和民生改善的專業(yè)重大科學(xué)儀器、保障國家平安和公共平安的專業(yè)重大科學(xué)儀 器。此外，指南中還指出，工程成果是以市場前景廣泛的關(guān)鍵核心部件和重大科學(xué)儀器設(shè)備 產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用為目標(biāo)，一般的核心部件與科學(xué)儀器的原理和方法研究，商業(yè)化前景不明確的核心部件與儀器研制等工作，以及臨床醫(yī)療儀器、 生產(chǎn)設(shè)備、機械裝備、平臺建設(shè)等，不屬于本專項的支持方向。詳細(xì)內(nèi)容如下:“重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)重點專項2021年度申報指南科學(xué)儀器設(shè)備是科學(xué)研究和技術(shù)創(chuàng)新的基石，是經(jīng)濟社會開

3、展和國防平安的重要保障。為切實提升我國科學(xué)儀器設(shè)備的自主創(chuàng)新能力和裝備水平，促進產(chǎn)業(yè)升級開展，支撐創(chuàng)新驅(qū)國家科技方案管理部動開展戰(zhàn)略的實施，經(jīng)國家科技方案戰(zhàn)略咨詢與綜合評審特邀委員會、 際聯(lián)席會審議，“重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)重點專項作為 2021 年度啟動的專項之一，并正 式進入實施階段。一、指導(dǎo)原那么與主要目標(biāo)本專項堅持問題導(dǎo)向、 需求導(dǎo)向原那么， 緊扣我國科技創(chuàng)新、 經(jīng)濟社會開展對科學(xué)儀器設(shè) 備的重大需求， 充分考慮我國現(xiàn)有根底和能力，在繼承和開展 “十二五期間國家重大科學(xué) 儀器設(shè)備開發(fā)專項成果的根底上，堅持政府引導(dǎo)、企業(yè)主導(dǎo)，立足當(dāng)前、著眼長遠，整體推 進、重點突破的原那么， 以關(guān)鍵核心技

4、術(shù)和部件的自主研發(fā)為突破口， 聚焦高端通用科學(xué)儀器 設(shè)備和專業(yè)重大科學(xué)儀器設(shè)備的儀器開發(fā)、 應(yīng)用開發(fā)、 工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 帶動科學(xué) 儀器系統(tǒng)集成創(chuàng)新，有效提升我國科學(xué)儀器設(shè)備行業(yè)整體創(chuàng)新水平與自我裝備能力。通過本專項的實施，構(gòu)建“儀器原理驗證T關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)軟硬件T系統(tǒng)集成T應(yīng)用示范T產(chǎn)業(yè)化的國家科學(xué)儀器開發(fā)鏈條，完善產(chǎn)學(xué)研用融合、協(xié)同創(chuàng)新開展的成果轉(zhuǎn)化與合 作模式，激發(fā)行業(yè)、企業(yè)活力和創(chuàng)造力。強化技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品可靠性、穩(wěn)定性實驗，引入重 要用戶應(yīng)用示范、 拓展產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域， 大幅提升我國科學(xué)儀器行業(yè)可持續(xù)開展能力和核心競 爭力。本專項按照全鏈條部署、 一體化實施的原那么， 共設(shè)置了關(guān)鍵

5、核心部件、 高端通用科學(xué)儀 器和專業(yè)重大科學(xué)儀器 3 類任務(wù)，下設(shè) 10個重點方向，本指南為重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專 項 2021 年度指南，支持?jǐn)?shù)量不超過實施方案內(nèi)容的30%。二、總體要求1. 專項定位本專項充分利用國家科技方案 專項、基金或其他渠道， 已取得的相關(guān)檢測原理、 方法、技術(shù)或科研裝置，開展系統(tǒng)集成、應(yīng)用開發(fā)和工程化開發(fā)，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、“皮實耐用 和功能豐富的重大科學(xué)儀器設(shè)備產(chǎn)品， 并效勞科學(xué)研究和經(jīng)濟社會開展。 工程成果是 以市場前景廣泛的關(guān)鍵核心部件和重大科學(xué)儀器設(shè)備產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用為目標(biāo)一般的核心部件與科學(xué)儀器的原理和方法研究，商業(yè)化前景不明確的核心部件與儀器研

6、制等工 作，以及臨床醫(yī)療儀器、生產(chǎn)設(shè)備、機械裝備、平臺建設(shè)等，不屬于本專項的支持方向。2. 申報主體結(jié)合本專項的特點和定位， 如無特殊說明， 本指南所設(shè)工程均由有條件的企業(yè)牽頭申報。 鼓勵企業(yè)結(jié)合國家需求和自身開展需要， 聯(lián)合科研院所和高等學(xué)校的優(yōu)勢力量參與工程研發(fā) 工作 主要為企業(yè)提供所需的技術(shù)支撐 ，落實目標(biāo)任務(wù)明確、 產(chǎn)權(quán)和利益分配明晰的產(chǎn)學(xué)研 用結(jié)合機制。同時，要采取有效措施，切實發(fā)揮企業(yè)在專項中的技術(shù)創(chuàng)新決策、研發(fā)投入、 工程實施組織和成果轉(zhuǎn)化等方面的主體地位作用。3. 支持方式本專項每個指南方向下的工程可支持1 2 項，實施“后端資助機制。即，結(jié)合科學(xué)儀器開發(fā)的特點，以及我國科學(xué)儀

7、器產(chǎn)業(yè)開展實際，強化利益共享、風(fēng)險分擔(dān)機制，對企業(yè) 承當(dāng)?shù)墓こ蹋?實施專項經(jīng)費后端資助政策。 工程立項后， 前半段主要由承當(dāng)單位自籌經(jīng)費實 施，資助 20%的專項經(jīng)費 ; 經(jīng)中期評估確認(rèn)，工程進展順利、能夠到達預(yù)期目標(biāo)、科研管理 和工程經(jīng)費管理標(biāo)準(zhǔn)的工程，后半段再主要由專項經(jīng)費給予支持。4. 立項要求4.1 工程根本要求1國內(nèi)外需求迫切， 目標(biāo)儀器設(shè)備應(yīng)用單位明確且具有代表性， 相關(guān)原理、 方法或技術(shù) 已取得重要突破，能形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)和市場競爭力的核心部件與科學(xué)儀器產(chǎn)品。2目標(biāo)核心部件與儀器設(shè)備整體設(shè)計完整、 結(jié)構(gòu)清晰合理， 技術(shù)路線 含軟件開發(fā) 可行， 工程化方案、應(yīng)用開發(fā)方案可操作性

8、強 ; 工程質(zhì)量管理和產(chǎn)業(yè)化籌劃、企業(yè)資質(zhì)和能力、知 識產(chǎn)權(quán)和利益分配等非技術(shù)內(nèi)容可行。3擁有本領(lǐng)域的核心關(guān)鍵人才，且具有相關(guān)理論研究、設(shè)計、工程工藝、系統(tǒng)集成、應(yīng) 用研究以及產(chǎn)業(yè)化研究等相關(guān)方面結(jié)構(gòu)合理的人員隊伍。4對核心部件類工程： 原那么上承當(dāng)單位主營業(yè)務(wù)為核心部件生產(chǎn)企業(yè)， 工程實施后能夠 獲得全部自主知識產(chǎn)權(quán)， 技術(shù)就緒度到達 7級以上， 并在相關(guān)儀器主要生產(chǎn)企業(yè)得到廣泛應(yīng) 用，形成一定市場規(guī)模，產(chǎn)生直接經(jīng)濟效益。5對儀器整機類工程： 充分利用國家科技方案 專項、基金 或其它渠道， 已取得的相關(guān) 檢測原理、 方法、技術(shù)或科研裝置成果， 開展系統(tǒng)集成、 工程技術(shù)研究和應(yīng)用開發(fā)， 形成“

9、皮 實耐用、 功能豐富的重大科學(xué)儀器設(shè)備產(chǎn)品，并效勞科學(xué)研究和經(jīng)濟社會開展。 根據(jù)科學(xué) 儀器設(shè)備開發(fā)和應(yīng)用的自身規(guī)律， 每一個工程應(yīng)包括儀器開發(fā) 含軟件開發(fā) 、應(yīng)用開發(fā)、 工 程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)等類型工作。 除儀器設(shè)備開發(fā)單位外， 產(chǎn)業(yè)化單位、 應(yīng)用單位也應(yīng)從 工程設(shè)計開始， 全程參與工程的組織和實施工作。 工程實施三年后， 目標(biāo)儀器技術(shù)就緒度達 到 7 級以上，可形成一定市場規(guī)模，產(chǎn)生直接經(jīng)濟效益。4.2 企業(yè)承當(dāng)工程的根本要求(1) 在中國大陸境內(nèi)注冊，具有較強科學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化能力，運行管理標(biāo)準(zhǔn)， 具有獨立法人資格 ;(2) 經(jīng)高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)定或到達同等條件 ;(3) 工程與企業(yè)

10、重點開展方向相符 ;(4) 與工程參與單位具有前期合作根底 ;(5) 與工程參與單位事先簽署具有法律約束力的協(xié)議，明確任務(wù)分工、國撥經(jīng)費分配、 成果和識產(chǎn)權(quán)歸屬及利益分配機制 ;(6) 企業(yè)投入的自籌研發(fā)經(jīng)費與國撥經(jīng)費投入比例不低于1：1。投入的自籌研發(fā)經(jīng)費應(yīng)用于工程研發(fā)活動，而不得用于生產(chǎn)線、廠房等產(chǎn)業(yè)化能力建設(shè)。4.3 工程組織要求(1) 工程推薦單位要加強本部門、本地區(qū)、本行業(yè)領(lǐng)域科學(xué)儀器設(shè)備開展的頂層設(shè)計、 資源整合和扶持培育。(2) 工程推薦單位要組織工程牽頭單位，會同產(chǎn)、學(xué)、研、用等各方面，積極開展工程 設(shè)計和籌劃工作。在工程設(shè)計時，既要注重技術(shù)問題，也要注重工程化和產(chǎn)業(yè)化籌劃、

11、企業(yè) 資質(zhì)和能力以及知識產(chǎn)權(quán)和利益分配機制等非技術(shù)問題。(3) 工程推薦單位要催促工程承當(dāng)單位在工程提出時落實法人負(fù)責(zé)制、落實工程配套條件; 催促工程承當(dāng)單位聯(lián)合國內(nèi)外優(yōu)勢力量共同開展工程設(shè)計和實施。(4) 工程推薦單位在組織推薦過程中要充分發(fā)揮專家的咨詢作用。 除考慮技術(shù)可行性外， 還應(yīng)重點關(guān)注工程化和產(chǎn)業(yè)化籌劃、 企業(yè)資質(zhì)和能力以及知識產(chǎn)權(quán)和利益分配機制等非技術(shù) 內(nèi)容。在此根底上，擇優(yōu)向科技部推薦工程。三、主要任務(wù)1. 核心關(guān)鍵部件開發(fā)與應(yīng)用攻克源部件、 探測器與傳感器、 分析別離與控制部件等科學(xué)儀器核心部件的關(guān)鍵技 術(shù)，研究部件的核心關(guān)鍵材料以及生產(chǎn)工藝， 形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、 質(zhì)量穩(wěn)

12、定可靠的核心 關(guān)鍵部件。共性考核指標(biāo)： 目標(biāo)產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測試和異地測試， 技術(shù)就緒度到達 9 級，至少應(yīng) 用于 2 種類型儀器。承當(dāng)單位數(shù)不超過 6 個。優(yōu)化空心陰極燈結(jié)構(gòu)設(shè)計，研究合金陰極研制空心陰極燈性能測試特殊裝置， 研究開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 形成工程原那么上，每個工程下設(shè)任務(wù)數(shù)不超過 6 個，1.1 源部件1.1.1 光源(1) 高強度、高穩(wěn)定空心陰極燈研究內(nèi)容： 研發(fā)高強度、 高穩(wěn)定空心陰極燈， 材料組成及制作工藝， 改善空心陰極燈生產(chǎn)工藝， 影響噪聲、 同心度等關(guān)鍵指標(biāo)的因素及改善方法。化和產(chǎn)業(yè)化能力。為原子吸收光譜儀和原子熒光光譜儀等儀器提供核心部件?？己酥笜?biāo)：穩(wěn)定性

13、指標(biāo)，銅燈在 30 min 內(nèi)基線漂移 0.2%，其它元素?zé)粼?5 min 內(nèi)基線 漂移0.6%;普通元素?zé)舻氖褂脡勖? 6000 mA.h，易熔、易揮發(fā)元素?zé)? 4000 mA.h;改善空 心陰極燈性能，燈噪聲三±0.2% T，燈旋轉(zhuǎn)360。的能量偏移10%應(yīng)提出明確合理的可靠性指標(biāo)要求，工程完成時，目標(biāo)產(chǎn)品應(yīng)參照國家或行業(yè)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進行測試。創(chuàng)造專利3 項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年銷量到達 2 萬支。實施年限：不超過 3 年1.1.2 射頻源(1)ICP 射頻源研究內(nèi)容： 開發(fā) ICP 射頻源，研究大功率射頻自激發(fā)生、 頻率鎖相、功率調(diào)諧和高效散 熱技術(shù)，開發(fā)能夠有效的

14、降低等離子體電勢的全固態(tài)自激式電感耦合等離子體射頻源; 實施ICP 射頻源的工程化和工藝化開發(fā)，形成可靠的產(chǎn)品，解決相關(guān)國產(chǎn)儀器對高性能射頻源關(guān) 鍵部件需求的難題?？己酥笜?biāo)：工作頻率 27.12 MHz，頻率穩(wěn)定度土 0.02%,功率輸出0.61.6 kW 可調(diào)。創(chuàng)造專利 3項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項。工程驗收后三年內(nèi)年銷量到達 1 00只以上。實施年限：不超過 3 年(2) 雙相射頻源研究內(nèi)容： 開發(fā)雙相射頻源， 研究雙相射頻源高精度驅(qū)動與高穩(wěn)定反響、 過載保護電路、 輔助激發(fā)信號耦合與雙相射頻電源數(shù)字控制技術(shù)， 開發(fā)能夠精密驅(qū)動線性離子阱的雙相射頻 高壓電源 ; 實施雙相射頻源的工程化和工藝化開發(fā)

15、，形成穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，有效解決相關(guān)國 產(chǎn)儀器對高性能雙相射頻源關(guān)鍵部件的需求?？己酥笜?biāo)：射頻高壓最大 2 kVpp，頻率0.92 MHz,輔助信號帶寬 50 kHz450 kHz; 射頻高壓最大10 kVpp,頻率1 M1.2 MHz輔助信號帶寬10 k550 kHz。創(chuàng)造專利3項, 技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年銷售到達 100 套。實施年限：不超過 3 年1.1.3 新型質(zhì)譜離子源研究內(nèi)容：研究敞開式離子化新技術(shù)，研制新型電噴霧、介質(zhì)阻擋放電、激光/ 氣體輔助噴霧和高度集成化敞開式的離子源， 開展新離子化應(yīng)用方法開發(fā)和數(shù)據(jù)庫構(gòu)建， 實施新離 子源的工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，滿足原位實時快速

16、分析、單細(xì)胞分析、質(zhì)譜成像分析、超痕量 樣品分析需求，推動我國質(zhì)譜離子化技術(shù)與裝置的跨越式開展?？己酥笜?biāo)： 形成 6 種以上具有自主知識產(chǎn)權(quán)的新型敞開式質(zhì)譜離子源產(chǎn)品， 有力支撐食 品平安、 環(huán)境應(yīng)急、 新藥研發(fā)、 現(xiàn)場快檢、 生物研究、 質(zhì)譜成像、 公共平安等質(zhì)譜檢測應(yīng)用。 形成敞開式質(zhì)譜離子源工藝化、產(chǎn)業(yè)化基地，實現(xiàn)批量生產(chǎn)。創(chuàng)造專利3項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項。工程驗收后三年內(nèi)年銷售到達 40 套以上。實施年限：不超過 3 年有關(guān)說明：每個工程形成 5種以上不同的離子源產(chǎn)品。1.2 探測器與傳感器1.2.1 光探測器1 光電倍增管研究內(nèi)容： 開發(fā)側(cè)窗型、 端窗型光電倍增管， 研究側(cè)窗型、端窗型光

17、電倍增管的結(jié)構(gòu)設(shè) 計，優(yōu)化陰極材料及倍增極材料配方和制作工藝， 研究包括激活工藝、 封裝工藝等在內(nèi)的各 環(huán)節(jié)生產(chǎn)工藝， 探究影響光電倍增管靈敏度、 暗電流、 響應(yīng)時間等關(guān)鍵性能的因素及改良方 法，進行工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，為分析儀器、輻射測量儀器、高能物理研究、石油測井及軍 用設(shè)備提供關(guān)鍵部件?？己酥笜?biāo)：陽極光照靈敏度?300 A/lm典型值;最大暗電流50 nA30分鐘后;增益106。創(chuàng)造專利 3 項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年銷售到達 500 支。實施年限：不超過 3 年2 太赫茲探測器研究內(nèi)容： 研制基于柵控二維電子氣的新型室溫太赫茲探測器， 突破場效應(yīng)混頻探測器 芯片及其模塊制

18、造的關(guān)鍵技術(shù)， 實現(xiàn)全國產(chǎn)化。 建立定量化的場效應(yīng)混頻探測器模型和模擬 仿真技術(shù) ; 從外延材料、天線設(shè)計、阻抗匹配到模塊化集成實現(xiàn)場效應(yīng)混頻探測器的優(yōu)化設(shè) 計; 開發(fā)納米柵極及其低漏電率的工藝制備技術(shù); 研究二維電子氣場效應(yīng)閾值電壓的調(diào)控技術(shù)，研制兩端結(jié)構(gòu)的高靈敏度太赫茲場效應(yīng)混頻探測器。考核指標(biāo)：研制成 0.11.1 THz波段內(nèi)系列化的室溫太赫茲場效應(yīng)混頻探測器芯片及其模塊，滿足室溫下高靈敏度的太赫茲波探測需求。 0.11 、0.22、0.34、0.65 和 0.90 THz 探測器芯片的等效噪聲功率小于10 pW/Hz1/2;響應(yīng)度大于2800 V/W;帶寬大于80 GHz;響應(yīng)時間小

19、于 100 ns; 硅透鏡和波導(dǎo)喇叭集成的兩種探測器模塊。 創(chuàng)造專利 3項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項。 工程驗收后三年內(nèi)年銷售到達 100套。實施年限：不超過 3 年1.2.2 輻射探測器研究內(nèi)容：攻克高密度快衰減無機閃爍晶體生長及陣列加工制備、PIPS 探測器的高阻硅材料研制、 吸收區(qū)結(jié)構(gòu)設(shè)計及漏電流工藝控制等關(guān)鍵技術(shù)， 建立輻射探測器成套的完整生 產(chǎn)、測試工藝，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)的高性能 高能量分辨率、高空間分辨率、高時間分 辨率、高可靠性輻射探測器系列產(chǎn)品，開展工程化和產(chǎn)業(yè)化研究，形成批量生產(chǎn)能力，為 醫(yī)療診斷儀器、工業(yè)無損探測儀器和核輻射環(huán)境檢測儀器提供核心關(guān)鍵部件?？己酥笜?biāo)： 輻射探測器實現(xiàn)

20、國產(chǎn)化和批量生產(chǎn)， 根本滿足我國科學(xué)儀器和工業(yè)應(yīng)用對輻射探測器的需要。閃爍晶體探測器光輸出?45000 ph/MeV;衰減時間w 100 ns;密度?6.5g/cc;能量分辨率w 9%66keV;陣列規(guī)格：4X 416X 16;PIPS輻射探測器靈敏面積 13 mrm暗電流小于2 nA;擊穿電壓大于100 V。位置靈敏型閃爍探測器像素面積1 mmK 1 mm6 mmx 6 mm;暗電流500 nA;脈沖恢復(fù)時間50 ns;幾何填充因子60%;PDE在380 nm550 nm范 圍內(nèi)最小值不小于 30%;批量生產(chǎn) 90%以上產(chǎn)品雪崩電壓偏差 ±0.2 V; 雪崩電壓隨溫度變化 系數(shù)50

21、 mV/C ;后脈沖0.5%;微像素間串?dāng)_10%;本征位置分辨率w 0.5 mm能量分辨率能量 分辨率w 12%662 keV時間分辨率w 300 ps。X射線成像探測器靈有效靈敏面積?100 x 100mrl, CMO讀出工藝;X射線空間分辨率?15 lp/mm能量響應(yīng)范圍：30160 keV。創(chuàng)造專利 3 項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年銷售到達 1000 支。實施年限：不超過 3 年1.2.3 物理量探測器(1) 超高溫溫度和壓力傳感器研究內(nèi)容：攻克信號背景噪聲抑制、高速動態(tài)光譜采集、高精度信號反演等關(guān)鍵技術(shù)， 研究超高溫環(huán)境下工作材料試驗、結(jié)構(gòu)設(shè)計、 加工制作工藝、 校準(zhǔn)與標(biāo)定

22、方法，解決超高溫 環(huán)境下溫度、 壓力和振動參數(shù)原位測量問題， 研究超高溫環(huán)境下溫度和壓力傳感器靜態(tài)和動 態(tài)特性測試技術(shù)， 開發(fā)高性光路系統(tǒng)、 信號采集系統(tǒng)以及溫度反演軟件等， 解決長期制約我 國燃煤燃?xì)忮仩t、 航空發(fā)動機等試驗參數(shù)原位測量問題， 為我國自主研制航空發(fā)動機、 高超 發(fā)動機、重型燃?xì)廨啓C等先進能源動力系統(tǒng)提供有力支撐?？己酥笜?biāo)：對于高溫溫度傳感器，溫度測量范圍一501800 C,響應(yīng)時間200 ms,綜合精度土 5%;對于高溫壓力傳感器考核指標(biāo)，工作溫度范圍一501200 C,頻響范圍：0200 Hz，壓力測量范圍 0400 kP，綜合精度土 5%( 50500 C )、±

23、; 10%(5001200 C ); 對于高溫振動傳感器工作溫度范圍 01200 C，頻響范圍01 MHz,振動測量量程10 g。 創(chuàng)造專利 3項,技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項。工程驗收后三年內(nèi)年銷售到達 1000套。實施年限：不超過 3 年(2) 高端應(yīng)變式傳感器研究內(nèi)容：攻克應(yīng)變式傳感器多因素耦合計量特性仿真設(shè)計理論; 研究高性能彈性體、應(yīng)變計、粘貼劑及傳感器生產(chǎn)工藝 ; 研究高穩(wěn)定度傳感器檢測技術(shù) ; 形成自主知識產(chǎn)權(quán)的高端 應(yīng)變式傳感器及其檢測技術(shù)。 并在此根底上進行產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 滿足我國力學(xué)量值傳遞、 航空 航天臺架測試、 工業(yè)生產(chǎn)過程控制等領(lǐng)域?qū)α鞲衅鞯男枨螅?打破關(guān)鍵領(lǐng)域國外產(chǎn)品的壟斷， 為

24、中國制造 2025 提供測量技術(shù)支撐?？己酥笜?biāo)：量程為1 kN2 MN,應(yīng)用于國內(nèi)量值傳遞領(lǐng)域的參考標(biāo)準(zhǔn)傳感器或傳遞標(biāo) 準(zhǔn)傳感器，技術(shù)指標(biāo)到達國際先進水平。線性w0.01% FS;重復(fù)性w 0.002% FS;復(fù)現(xiàn)性w0.005% FS;長期穩(wěn)定度w 0.005%/年FS實現(xiàn)量值傳遞等領(lǐng)域使用的高端傳感器的產(chǎn)業(yè)化；促進傳感器產(chǎn)品質(zhì)量的提高。創(chuàng)造專利 3項， 軟件著作權(quán) 3 項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項。工程驗收后 三年內(nèi)年銷售到達 50套。實施年限：不超過 3 年(3) 精密位置傳感器研發(fā)內(nèi)容：針對高端數(shù)控機床、3D打印、幾何量計量、精密轉(zhuǎn)臺等應(yīng)用需求，開發(fā)大量程、高精度金屬光柵， 突破金屬光柵納米壓印

25、成型工藝、 新型光柵結(jié)構(gòu)、 高性能光柵讀數(shù)、 光柵校準(zhǔn)和誤差補償?shù)汝P(guān)鍵技術(shù)， 實現(xiàn)大量程、 高精度長度測量與高精度動態(tài)角度測量等性 能，在航空航天、機器人、機床等行業(yè)開展示范應(yīng)用，在此根底上開展工程化研發(fā)，開發(fā)具 有自主知識產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn)高精度金屬光柵， 替代國外進口， 為我國先進制造及制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級 提供關(guān)鍵部件?？己酥笜?biāo)：平面光柵精度土 0.5卩m/m創(chuàng)造專利3項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項。工程驗收后三年 內(nèi)年銷售到達 200 個。實施年限：不超過 3 年1.2.4 化學(xué)生物傳感器研究內(nèi)容： 攻克基于紅外特征分子光譜、 集成光學(xué)免疫傳感以及電化學(xué)測量的關(guān)鍵技術(shù);研究高特異性、 高親和力植物激素識別分子的方

26、法和技術(shù)， 并建立相應(yīng)的生物傳感測定技術(shù);研究基于基因工程生物放大原理的特異型生物傳感器、主要植物激素的高靈敏生物傳感器， 建立特定結(jié)構(gòu)分子的識別元件庫。 建成基于傳感器的成套高靈敏在線測量系統(tǒng)， 滿足研究大 氣、環(huán)境、疾病等領(lǐng)域二次污染形成機理研究和生物醫(yī)學(xué)研究的需求?？己酥笜?biāo)：針對含氮化合物N20等大氣氣體檢測支持多檔量程，在010 ppm量程，分辨率到達 0.001 ppm ，氣體類檢測穩(wěn)定運行時間不少于 3 年，期間免校準(zhǔn) ; 基于免疫或核酸 適配體的電、光、磁傳感器，針對血液或體液特定分子開展快速檢驗，如甲胎蛋白、肌紅蛋 白等標(biāo)志物等特診分子， 特征分子體系不少于 30 種標(biāo)志物 ;

27、 基于基因工程生物放大原理的新 型生物傳感器，實現(xiàn)不少于 10種腫瘤標(biāo)志物等特定生物分子目標(biāo)檢測 ;10 種主要植物激素 的高靈敏生物傳感器。創(chuàng)造專利 3 項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年銷售到達 500 套。實施年限：不超過 3 年1.3 分析別離與控制部件1.3.1 光柵研究內(nèi)容： 開發(fā)體光柵， 研究寬光譜基底材料的配方及制備工藝技術(shù)、 高效率體全息曝 光記錄技術(shù)、 高損傷閾值技術(shù)和熱定影技術(shù)， 研究高光譜選擇性和高角度選擇性的體全息光 柵性能優(yōu)化與制作工藝。 進行工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 為激光器行業(yè)、 精密制造行業(yè)和國防工 業(yè)提供核心關(guān)鍵部件?？己酥笜?biāo)： 完成體光柵在 3 種以上典

28、型儀器的集成應(yīng)用示范， 衍射效率 >95%，適用光譜2 范圍400 nm2600 nm,光譜透過率>90%損傷閾值20 J/cm。創(chuàng)造專利3項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年銷售到達 80 套。實施年限：不超過 3 年1.3.2 泵(1) 高精度超高壓液相泵研究內(nèi)容： 開發(fā)高精度超高壓液相泵, 研究耐高壓泵的制作工藝, 攻克降低流量脈動和 死體積的關(guān)鍵技術(shù), 研究影響產(chǎn)品可靠性的因素, 開展工程化和產(chǎn)業(yè)化研究, 形成批量生產(chǎn) 能力,為國產(chǎn)超高壓液相色譜儀開展提供核心關(guān)鍵部件?？己酥笜?biāo)：最大工作壓力? 100 MPa(1 mL/min流速);流量準(zhǔn)確度w 1.0%;流量精度w0

29、.06% RSD;定條件下連續(xù)運行 1000 h不漏液；死體積小于微升級別。滿足超高相液相色譜 梯度分析需求，故障率低。創(chuàng)造專利 3 項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年銷售到達 100 套。實施年限：不超過 3 年(2) 精密微量注射泵研究內(nèi)容： 開發(fā)精密微量注射泵， 研究微量流體流量控制的準(zhǔn)確性及穩(wěn)定性的方法， 研 究制作工藝及制作材料， 開展可靠性設(shè)計與測試， 為流動注射分析儀、 液相色譜儀、質(zhì)譜儀 等提供關(guān)鍵部件，滿足多種實驗需求?？己酥笜?biāo)：流量范圍為0.0150 mL;準(zhǔn)確度0.5%;精度0.05% CV;不漏液，耐腐蝕。創(chuàng)造專利 3項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項。工程驗收后三年內(nèi)年銷售到達

30、 500套。實施年限：不超過 3 年1.3.3 流量控制部件研究內(nèi)容： 開發(fā)高精度、 高穩(wěn)定性、 反控能力強的電子流量控制系統(tǒng)， 研究流量控制精 度及準(zhǔn)確性的影響因素， 攻克關(guān)鍵材料、 關(guān)鍵零部件、算法等方面的關(guān)鍵技術(shù)，研究改善流 量及壓力穩(wěn)定時間的方法。提升國產(chǎn)氣相色譜儀智能化程度及性能?？己酥笜?biāo)：流量及壓力穩(wěn)定時間w5 s;流量控制精度w 0.001 psi;滿量程偏差w 5%具備溫度補償功能。創(chuàng)造專利 3 項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年銷售到達 500 套。實施年限：不超過 3 年1.3.4 自動進樣器研究內(nèi)容： 開發(fā)高可靠、 高性能自動進樣器， 研究產(chǎn)品制作工藝， 研究影響質(zhì)

31、量可靠性 的因素和保障措施， 開發(fā)頂空進樣、 固相微萃取、 吹掃捕集、 在線過濾、 富集和分析等功能。 為質(zhì)譜、色譜等化學(xué)分析儀器、生命科學(xué)儀器配套?？己酥笜?biāo)：進樣重復(fù)性 RSD0.2%樣品殘留0.01%，定位精度優(yōu)于0.2 mm。創(chuàng)造專利3 項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年銷售到達 100 套。實施年限：不超過 3 年1.3.5 樣品前處理儀研究內(nèi)容：攻克在線提取、濃縮凈化、蒸餾別離的多元自動化控制、在線聯(lián)機、微痕量破碎等前處理關(guān)鍵技術(shù)，研制智能加樣、加載、別離、液面分層感應(yīng)、色度識別、微流控等 關(guān)鍵部件和模塊， 開發(fā)農(nóng)、 食產(chǎn)品平安、 環(huán)保等領(lǐng)域的樣品前處理的往復(fù)式在線數(shù)控提取儀、

32、 多道自動濃縮儀、程序消解儀、微流控核酸提取儀、 高通量微量破碎儀、DNA富集“磁力槍 及多功能集成處理系統(tǒng)， 軟件研究基于高精度激光光衍射算法， 實現(xiàn)單元獨立控制和多元集 成控制，到達破碎、消解、提取及濃縮等操作全程自動化，開展工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，可與 液相色譜、氣相色譜、質(zhì)譜、定量PCR儀、基因測序儀等聯(lián)機匹配?？己酥笜?biāo)：研發(fā)前處理儀器不少于 10 種，實現(xiàn)色度識別數(shù)字化，高壓制樣、富集等一 體化， 多道處理連續(xù)化。 回收率、重復(fù)性等技術(shù)指標(biāo)符合相關(guān)分析方法標(biāo)準(zhǔn)要求， 滿足食品 平安、環(huán)保、生物技術(shù)等領(lǐng)域樣品前處理快速、高通量、自動化需求。創(chuàng)造專利3 項，軟件著作權(quán) 3 項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3

33、項。工程驗收后三年內(nèi)銷售到達500 套。實施年限：不超過 5 年2. 高端通用儀器工程化及應(yīng)用開發(fā)攻克分析儀器、物理性能測量儀器、電子測量儀器和計量儀器開發(fā)的關(guān)鍵技術(shù)。 共性考核指標(biāo)：目標(biāo)產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測試和異地測試，技術(shù)就緒度不低于8 級。原那么上，每個工程下設(shè)任務(wù)數(shù)不超過 8 個，承當(dāng)單位數(shù)不超過 10 個。2.1 分析儀器2.1.1 基于射線類的顯微成像儀研究內(nèi)容：攻克多能譜光子計數(shù)X射線成像、多模態(tài) X射線成像、X射線成像探測器封裝和集成工藝等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)基于多能譜光子技術(shù) X射線的圖像重建算法和處理軟件，形成具有自主只是產(chǎn)權(quán)、 功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠的基于射線類顯微成像儀。 并

34、在此技術(shù)上開 展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 解決小型化和產(chǎn)品化問題， 形成工程化和產(chǎn)業(yè)化能力， 實現(xiàn)生 物體內(nèi)器官和組織的深度、密度、體積等參數(shù)快速采集和全方位成像或結(jié)構(gòu)件的顯微成像， 為核醫(yī)學(xué)研究、工業(yè)無損探測和平安檢查等領(lǐng)域提供技術(shù)支撐?？己酥笜?biāo)：分辨率優(yōu)于 3.6 lp/mm，最高計數(shù)率108/mnfe,多能譜甄選閾值 8能區(qū)，單2系統(tǒng)成像面積400 mm,并可擴展拼接，單系統(tǒng)像素單元256X 256像素尺寸100卩m創(chuàng)造專利 3 項，軟件著作權(quán) 3 項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)產(chǎn)值到達 1.5 億元。實施年限：不超過 5 年2.1.2 高分辨熒光顯微成像儀研究內(nèi)容：攻克光切面成

35、像、動態(tài)成像、熒光標(biāo)記與共定位、三維空間復(fù)原、定量或半 定量分析、單分子熒光探測、熒光漂白后恢復(fù)技術(shù) ; 以及高速高精度掃描控制技術(shù)。研制復(fù) 眼照明、高精度 Z 軸調(diào)焦、微分干預(yù)、熒光濾色塊、平場復(fù)消色差物鏡等關(guān)鍵部件和模塊。 開發(fā)四維全自動分析測量軟件。 形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、 功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠的高分辨 熒光微分干預(yù)顯微鏡。 進行工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 實現(xiàn)對活體組織微觀結(jié)構(gòu)、 各種腫瘤細(xì)胞 的顯微成像，為細(xì)胞組學(xué)、基因組學(xué)、蛋白組學(xué)、腫瘤學(xué)等研究提供技術(shù)支撐。考核指標(biāo)： 具有復(fù)眼照明、 高精度調(diào)焦、 微分干預(yù)、 圖像分析， 四維全自動分析等功能， 平場復(fù)消色差物鏡，最高100倍，數(shù)值

36、孔徑大于1.4，分辨率0.2卩m創(chuàng)造專利3項，軟件著作權(quán) 3 項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達 3000 萬元。實施年限：不超過 5 年2.1.3 小型高靈敏度低能射線納米尺度三維成像儀器研究內(nèi)容： 攻克超高靈敏度低能射線探測、 超高增益光信號采集、 系統(tǒng)小型化等關(guān)鍵技 術(shù)，研制激光等離子體低能量射線發(fā)生器、探測器等關(guān)鍵部件，開發(fā)組織深度、密度、體積 等信息的快速采集軟件系統(tǒng)，構(gòu)建相關(guān)數(shù)據(jù)庫，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能完備、質(zhì)量穩(wěn) 定可靠的小型化、靈敏度高、分辨率高、 成像速度快的低能射線納米尺度三維成像儀。 開展 工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 應(yīng)用于生物體內(nèi)器官、 組織的空間結(jié)構(gòu)、

37、物理性質(zhì)等信息的快速采集、 分析和融合?？己酥笜?biāo)：可實現(xiàn)單光子級別檢測，光電信號增益大于106，在2D成像時間低于30 s、3D成像時間低于15 min的情況下分辨率優(yōu)于 50 nm。創(chuàng)造專利3項，軟件著作權(quán)3項。項 目驗收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達 5000 萬元。實施年限：不超過 5 年2.1.4 高分辨共軛激光顯微斷層成像儀研究內(nèi)容：攻克共軛激光顯微高分辨及快速成像關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)高靈敏度弱光探測器、 高精度掃描機電平臺等關(guān)鍵部件和模塊， 開發(fā)超快響應(yīng)速度、 超高探測效率、 超寬光譜探測 范圍的探測系統(tǒng)。開發(fā)相關(guān)軟件系統(tǒng)和數(shù)據(jù)庫，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能完備、質(zhì)量穩(wěn) 定可靠的高分辨共軛激光顯微斷

38、層成像儀，實現(xiàn)該儀器圖像分辨率和成像速度的同時提高， 滿足對活體組織結(jié)構(gòu)動態(tài)、定量、三維的顯微觀測需求?？己酥笜?biāo)：光電探測靈敏度到達單光子級別、光譜有效探測范圍350 nm850 nm、光探測效率60%成像響應(yīng)時間 80 ns、成像速度300幀/秒、平面分辨率 0.15卩m軸向分辨 率10 n m 。創(chuàng)造專利 3項，軟件著作權(quán) 3項。工程驗收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達 5000萬元。實施年限：不超過 5 年2.2 物理性能測試儀器2.2.1 差式掃描量熱儀研究內(nèi)容： 攻克寬幅變溫與控溫、高溫磁場耦合、 磁環(huán)境精密測量、微型加熱與樣品固 定等關(guān)鍵技術(shù)， 研制寬幅變溫控溫和磁熱電耦合等關(guān)鍵部件， 開展磁場

39、環(huán)境熱分析儀器 綜合集成， 開發(fā)溫度和磁場精確控制、信號傳輸補償與校正、 數(shù)據(jù)分析等軟件，豐富儀器功 能，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠的差式掃描量熱儀。 并在此技術(shù)上開 展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 解決寬幅變溫差式掃描量熱儀器的工程化和產(chǎn)業(yè)化問題， 形成 可商業(yè)化、 通用型熱分析儀器的系列化開展， 滿足特征溫度、 反響熱、 熔融與結(jié)晶、 結(jié)晶度、 熱穩(wěn)定性、 固化、 玻璃化轉(zhuǎn)變、 比熱、 質(zhì)量變化、 熱膨脹系數(shù)、 反響動力學(xué)等參數(shù)測量要求， 為精密測量和制造行業(yè)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。考核指標(biāo)：溫度范圍100 K973 K;溫度重復(fù)性土 0.1 K;溫度準(zhǔn)確度0.1 K;升/降溫速

40、 率 0.01 K/min 50 K/min 。創(chuàng)造專利 3項，軟件著作權(quán) 3項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項。工程驗收后 三年內(nèi)年產(chǎn)值到達 1000 萬元。實施年限：不超過 5 年2.2.2 高精度數(shù)字散斑干預(yù)檢測儀研究內(nèi)容： 研究超光滑、 超精密、 超高溫零部件形貌和誤差以及相關(guān)材料的力學(xué)性能測 量、測試方法及儀器設(shè)備， 攻克三維特征高精度動態(tài)重構(gòu)、 全息干預(yù)條紋的高精度數(shù)值衍射 算法和基于散斑技術(shù)的超高溫下材料性能測試等關(guān)鍵技術(shù)， 研制相干與非相干照明光源、 定 向加熱激光、動態(tài)加載、 數(shù)據(jù)采集處理等關(guān)鍵部件和模塊，開發(fā)軟件豐富儀器功能，形成具 有自主知識產(chǎn)權(quán)、 功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠的高精度數(shù)字散

41、斑干預(yù)檢測儀， 并在此技術(shù)上開 展產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 實現(xiàn)常溫和超高溫對被測物體的位移、 變形、 振動及材料力學(xué)特性等參量的 高精度動態(tài)無損檢測。研究數(shù)字散斑干預(yù)及散斑結(jié)構(gòu)視覺三維測量系統(tǒng)的集成 ; 不同溫度下 光測手段和材料高溫本構(gòu)關(guān)系 ; 數(shù)字散斑傳感器的精密標(biāo)定 ; 為不同條件下材料力學(xué)性能精 密測量和精密制造行業(yè)提供技術(shù)支撐?？己酥笜?biāo)：測量靈敏度小于50 nm;測量面積大于200 mnX 200 mm測量速度大于20 Hz;實現(xiàn)常溫和超高溫材料力學(xué)特性的測量 ; 支持多相機同步測量，三維數(shù)據(jù)自動拼接。工程完 成時產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測試，技術(shù)就緒度到達 8 級，創(chuàng)造專利 3 項，軟件著作權(quán) 3

42、項，技術(shù) 標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)預(yù)計年產(chǎn)值到達 2000 萬元。實施年限：不超過 5 年2.2.3 超光滑外表無損檢測儀研究內(nèi)容： 研究多幅重疊干預(yù)條紋的相位別離算法， 形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、 功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠的超光滑外表無損檢測儀。 并在此技術(shù)上開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 解決 質(zhì)量可靠性和產(chǎn)品化問題， 形成工程化和產(chǎn)業(yè)化能力。 開展新型連續(xù)變波長激光器在相位移 中的應(yīng)用研究， 實現(xiàn)非透明物體超光滑外表及具有多層超光滑平行反射面透明物體的納米級 外表形貌高精密測量，滿足現(xiàn)代工業(yè)對大面積外表形貌和厚度變化測量的需要，為LED光伏和半導(dǎo)體制造行業(yè)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐?？己酥笜?biāo)：口徑

43、尺寸?120 mm;測量精度到達 RM& 20 nm;測量重復(fù)精度 RM$ 10 nm。 創(chuàng)造專利 3項，軟件著作權(quán) 3項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項。工程驗收后三年內(nèi)產(chǎn)值到達 2億元。實施年限：不超過 5 年2.2.4 精密光學(xué)器件在線檢測儀研究內(nèi)容： 攻克尖端光學(xué)器件的精密間距測量、 偏心檢測與光學(xué)像質(zhì)評價技術(shù)。 探索鏡 片間隙的非接觸式測量方法，實現(xiàn)在線的鏡片間距高精度測量與引導(dǎo)裝調(diào); 研究快速高精度 的光學(xué)器件自動偏心測量方法 ; 開展波前測量與波前標(biāo)定方法研究，形成基于波前像差的光 學(xué)像質(zhì)判定算法。 根據(jù)大型光學(xué)鏡面、 高數(shù)值孔徑顯微物鏡、 樹脂壓印鏡片等至少三種應(yīng)用 場景的需求， 開發(fā)

44、一體式的綜合測量儀器設(shè)備， 并在國內(nèi)高端的光學(xué)加工車間、 國家質(zhì)檢系 統(tǒng)、規(guī)?；墓鈱W(xué)元器件生產(chǎn)線，開展應(yīng)用示范， 為精密光學(xué)加工、器件性能檢測和尖端物 鏡裝調(diào)，提供儀器支撐?？己酥笜?biāo)：口徑尺寸100m m間距測量精度優(yōu)于 800nm;偏心測量精度優(yōu)于100 nm;波前測 量精度RM& 15nm,測量重復(fù)精度 RM& 7nm;創(chuàng)造專利10項，軟件著作權(quán)3項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)2 項。工程驗收后三年內(nèi)，年產(chǎn)值到達 3000 萬元，年銷量到達 100 臺。實施年限：不超過 5 年2.3電子測量儀器2.3.1 高性能多功能矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀研究內(nèi)容： 攻克多端口微波網(wǎng)絡(luò)幅頻和相頻特性測量、 半導(dǎo)體

45、功率器件非線性特性測量、 多端口網(wǎng)絡(luò)誤差修正算法、測量校準(zhǔn)與量值溯源等關(guān)鍵技術(shù) ; 研制多通道大動態(tài)范圍低溫漂 混頻、 高隔離度定向耦合、超寬帶低相位噪聲鼓勵信號發(fā)生、寬頻帶開關(guān)倍頻濾波、寬帶同軸機械和電子校準(zhǔn)件等關(guān)鍵部件和模塊 ;開發(fā)多端口網(wǎng)絡(luò)誤差修正算法、非線性網(wǎng)絡(luò)模型、 時域和頻域分析等測試軟件，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠、 不同頻段 不同端口數(shù)量組合的系列化微波矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀。并在此技術(shù)上開展工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 解決質(zhì)量可靠性和產(chǎn)品化問題， 形成工程化和產(chǎn)業(yè)化能力， 實現(xiàn)對微波毫米波網(wǎng)絡(luò)的S 參數(shù)、X 參數(shù)、噪聲系數(shù)、混頻器件變頻損耗、信號頻譜等參數(shù)進行高精度測量

46、，為相控陣?yán)走_、 移動通信、 衛(wèi)星通信、 衛(wèi)星導(dǎo)航、 電子偵察與電子對抗等電子設(shè)備科研生產(chǎn)提供關(guān)鍵技術(shù)支 撐。考核指標(biāo)：頻率范圍 100 kHz67 GHz;測試端口數(shù)量 2和4;系統(tǒng)動態(tài)范圍 80128 dB; 具備機械和電子校準(zhǔn)件、頻譜分析、噪聲系數(shù)測試、混頻器測量等附件或功能。創(chuàng)造專利3項，軟件著作權(quán) 3 項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達 2000 萬元。實施年限：不超過 5 年2.3.2 無線通信信道模擬與監(jiān)測分析儀研究內(nèi)容： 攻克空中接口性能測試與比擬、 大多普勒頻偏及頻偏變化率模擬、 長傳輸時 延模擬、 終端運動時延變化模擬、 多天線通信終端多維度無線信道模擬、 無

47、線通信信道自動 監(jiān)測等關(guān)鍵技術(shù)， 研制移動通信復(fù)雜傳輸環(huán)境模擬、 衛(wèi)星測控與通信信道模擬、 電子對抗環(huán) 境模擬等關(guān)鍵部件和模塊，開發(fā)路徑衰減、吸收損耗、遮擋衰落、多徑衰落、多普勒頻移、 傳輸時延、 群時延、 多通道天線陣列相位等多種無線信道傳輸特性模擬軟件， 形成具有自主 知識產(chǎn)權(quán)、 功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠的無線傳輸信道模擬與監(jiān)測分析儀。 并在此技術(shù)上開展 工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 解決質(zhì)量可靠性和產(chǎn)品化問題， 形成工程化和產(chǎn)業(yè)化能力， 實現(xiàn) 無線傳輸信道傳輸特性定量模擬和多種環(huán)境條件無線信道傳輸特性遍歷模擬，為移動通信、 衛(wèi)星通信、衛(wèi)星導(dǎo)航、電子對抗等電子系統(tǒng)科研生產(chǎn)和工程建設(shè)提供關(guān)鍵技術(shù)

48、支撐?？己酥笜?biāo)：工作頻段 1 MHz- 18 GHz通道數(shù)8;測試帶寬125 MHz;每個信道衰落路徑 48 個。創(chuàng)造專利 3 項，軟件著作權(quán) 3 項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達 2000 萬元。實施年限：不超過 5 年2.3.3 時域電磁干擾測量監(jiān)測分析儀研究內(nèi)容： 攻克大動態(tài)寬帶信號高速采樣、 多通道并行采樣數(shù)據(jù)動態(tài)重構(gòu)、 寬帶信號并 行數(shù)字檢波等關(guān)鍵技術(shù)， 研制高速、 寬帶時域電磁干擾測量監(jiān)測儀，開發(fā)實時接收、分析等 軟件，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的時域電磁干擾測量監(jiān)測分析儀。 并在此技術(shù)上開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 解決質(zhì)量可靠性和產(chǎn)品化問題，

49、形成工程化和 產(chǎn)業(yè)化能力，為大型水面艦艇中復(fù)雜電磁環(huán)境效應(yīng)快速測量評估提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。考核指標(biāo)：頻率范圍 25 Hz-3.6 GHz、25 Hz-7 GHz、25 Hz-26.5 GHz; 分辨率帶寬 符合CISPR16-1 1和GJB 151B的分辨率帶寬；實時分析帶寬?40MHz;30 MHz1 GHz頻段 的測試速度較傳統(tǒng)電磁干擾測量接收機提升千倍以上 ;環(huán)境適應(yīng)性、電磁兼容性和平安性均 滿足GJB3947A 2021中對三級設(shè)備的相關(guān)要求。創(chuàng)造專利3項，軟件著作權(quán)3項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達 2000 萬元。實施年限：不超過 5 年2.4 計量儀器研究內(nèi)容： 研

50、究寬帶大電流測量儀， 攻克寬頻帶超大電流傳感和校準(zhǔn)技術(shù)， 研究寬頻帶 大電流溯源方法，研發(fā)高精度寬頻帶大電流計量儀器及校準(zhǔn)裝置，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、 功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的寬帶大電流計量儀。 在此根底上， 開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 滿足我國高鐵、冶金、電力和國防軍工等行業(yè)對寬頻帶大電流高精度測量應(yīng)用和溯源需求， 為精密測量和制造行業(yè)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐?？己酥笜?biāo)：交流和直流大電流測量范圍 100 kA300 kA，不確定度0.2%0.5%, k=2 , 帶寬?10 kHz。寬頻帶電流頻率測量范圍 50 Hz2.5 kHz1 MHz電流測量范圍10 A2 kA, 不確定度：1E 51E 2,

51、 k=2。創(chuàng)造專利3項，軟件著作權(quán)3項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)3項。工程驗 收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達 2000 萬元。實施年限：不超過 5 年有關(guān)說明：非企業(yè)牽頭申報,參與企業(yè)自籌資金與國撥總經(jīng)費投入比例不低于1： 1。3. 專業(yè)重大科學(xué)儀器開發(fā)及應(yīng)用示范重點支持支撐經(jīng)濟和產(chǎn)業(yè)開展、 效勞公益行業(yè)和民生改善、 保障國家平安和公共平安的 3 類專業(yè)重大科學(xué)儀器。共性考核指標(biāo)：目標(biāo)產(chǎn)品應(yīng)通過可靠性測試和異地測試,技術(shù)就緒度不低于8 級。原那么上,每個工程下設(shè)任務(wù)數(shù)不超過 8 個,承當(dāng)單位數(shù)不超過 10個。3.1 支撐經(jīng)濟和產(chǎn)業(yè)開展的專業(yè)重大科學(xué)儀器3.1.1 工業(yè)過程在線分析檢測儀器研究內(nèi)容：研發(fā)石油、化工、制藥、

52、能源、冶金、礦產(chǎn)、有色等重要流程工業(yè)的生產(chǎn)過 程產(chǎn)物及排放物的在線監(jiān)測技術(shù), 燃料、 原料、材料等物質(zhì)的物理與化學(xué)轉(zhuǎn)化過程的樣品在 線快速采樣、 高壓快速反響測試、 在線無損檢測、 產(chǎn)物高速別離分析及多組分高頻檢測技術(shù), 并研制形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、 功能先進、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠的流程工業(yè)生產(chǎn)及物質(zhì)轉(zhuǎn)化過程的 在線分析檢測及監(jiān)測儀器 ; 開發(fā)儀器應(yīng)用方法,實施儀器產(chǎn)品與系統(tǒng)的工程化,實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化 應(yīng)用?？己酥笜?biāo)： 到達相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn), 通過可靠性測試, 技術(shù)就緒度 8 級以上,其中工業(yè)過程產(chǎn)物在線監(jiān)測分析下限 1 ppm、系統(tǒng)響應(yīng)時間<0.1 s;物質(zhì)轉(zhuǎn)化在線顆粒采樣 <0.5 g、高壓

53、反響測試適用50 atm壓力、產(chǎn)物在線高速別離分析適用 20 ppb1000 ppm濃度、多組分高 頻檢測數(shù)據(jù)輸出頻率 >100 Hz 并適用 1 0個組分。創(chuàng)造專利 3項，軟件著作權(quán) 3 項，技術(shù)標(biāo) 準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年銷售到達 50 套。實施年限：不超過 5 年3.1.2 油氣探測與管道檢測儀器和設(shè)備研究內(nèi)容：攻克陣列側(cè)向測量、巖性密度測量、油氣管道測量、陣列感應(yīng)測量、在保護 套中的懸掛、 井下大功率高可靠電源、 井下儀器測量信息與地面儀器信息的匹配技術(shù)， 并集 成補償中子測量、 聲波測量、 井徑測量、 連斜測量、 三參數(shù)測量等測井技術(shù)， 進行軟件開發(fā)， 豐富儀器功能， 形

54、成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、 功能健全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的油氣探測儀器，并在此 技術(shù)上開展工程化開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 為石油、 天然氣、 頁巖氣等勘探領(lǐng)域提供關(guān)鍵技術(shù)支 撐?？己酥笜?biāo)：工作環(huán)境溫度一 25175 C,工作壓力w 140 Mpa;儀器供電連續(xù)工作時間不 小于30小時;數(shù)據(jù)采集與存儲，存儲間隔每幀250 MS適應(yīng)412英寸井眼，可任選鉆桿輸送泵出存儲和電纜輸送方式，同時具備裸眼井測井、套管井固井質(zhì)量測井功能。創(chuàng)造專利3項，軟件著作權(quán) 3 項，技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達 2000 萬元。實施年限：不超過 5 年3.2 效勞公益行業(yè)和民生改善的專業(yè)重大科學(xué)儀器3.2.1 燃煤電廠超

55、低排放監(jiān)測儀器研究內(nèi)容： 針對燃煤電廠超低排放監(jiān)測需求， 研制基于光譜技術(shù)的氣態(tài)污染物在線監(jiān)測 系統(tǒng)，實現(xiàn)低濃度SO2 NOx等氣態(tài)污染物精確測量；攻克SO3的采樣和前處理關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)SO3以及硫酸霧在線監(jiān)測系統(tǒng)；研制基于光散射與3射線技術(shù)融合的顆粒物監(jiān)測系統(tǒng)以及 低濃度顆粒物手工采樣設(shè)備，實現(xiàn)低濃度顆粒物的快速、準(zhǔn)確測量以及手工比對?？己酥笜?biāo)：SO2量程范圍075 mg/ni, NOx量程范圍0100 mg/nf,線性誤差三± 2%F.S., 24小時零漂三± 2%F.S.;SO3量程范圍0100 ppm;最低檢出限0.5 ppm;顆粒物檢測限w 0.1 mg/m3,響

56、應(yīng)時間w 15 s，測量準(zhǔn)確性w± 10%顆粒物手工采樣器測量范圍010 mg/m3;形成技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)體系并實現(xiàn)年產(chǎn) 100臺套以上的生產(chǎn)能力。創(chuàng)造專利 3項，軟件著作權(quán) 3項， 技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3 項。工程驗收后三年內(nèi)年銷售到達 400 套。實施年限：不超過 5 年3.2.2 水中半揮發(fā)性有機物自動監(jiān)測儀器研究內(nèi)容：針對地表水 / 飲用水中半揮發(fā)性有機物，采用固相微萃取、自動富集與熱解 析技術(shù)，研制開發(fā)固相微萃取攪拌材料、自動萃取與熱解析裝置、 GC-檢測器別離單元，定性、定量自動檢測水中半揮發(fā)性有機物和農(nóng)藥殘留; 通過系統(tǒng)集成，開發(fā)水中半揮發(fā)性有機物自動監(jiān)測儀器 ; 通過在水質(zhì)自動監(jiān)測系統(tǒng)

57、及實驗室檢測示范應(yīng)用，建立水中半揮發(fā)性有機 物自動監(jiān)測技術(shù)方法體系?？己酥笜?biāo)：實現(xiàn)?地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)? (GB3838 2002)中至少 24 種半揮發(fā)性有機物 監(jiān)測因子的連續(xù)自動監(jiān)測；準(zhǔn)確度w 10%線性?0.99，檢出限w 0.5卩g/L ,重復(fù)性w 1%; 形成技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)體系并實現(xiàn)年產(chǎn) 100臺套以上的生產(chǎn)能力。創(chuàng)造專利 3項，軟件著作權(quán) 3項， 技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 3項。工程驗收后三年內(nèi)年產(chǎn)值到達 2000萬元。實施年限：不超過 5 年3.2.3 大氣顆粒物源識別在線分析儀研究內(nèi)容： 研究大氣顆粒物特征提取和源識別在線測量方法， 攻克高靈敏度和高比照度 的弱散射信號檢測提取、 多維信息實時同步處理、 散射顆粒特異性分析、 多維信息組合分類 等關(guān)鍵技術(shù)。 研制多角度高吸收氣密散射室、 多參量同步偏振數(shù)據(jù)檢測器、 高精度流量測量 及控制單元、溫濕度動態(tài)補償采樣單元、微弱電信號提取及放大等關(guān)鍵部件和模塊; 開發(fā)大氣顆粒物散射仿真模型和演化、 反演顆粒物特定屬性和群分布特性等算法， 以及顆粒物光學(xué) 識別經(jīng)驗數(shù)據(jù)庫的顆粒物分類辨識軟件， 形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、 功能健全、 質(zhì)量穩(wěn)定可靠 的大氣顆粒物源辨識在線分析儀。 開展工程化和產(chǎn)業(yè)化開發(fā)， 應(yīng)用于大氣污染防治、 高污染 產(chǎn)業(yè)