濺射薄膜壓力變送器_第1頁
濺射薄膜壓力變送器_第2頁
濺射薄膜壓力變送器_第3頁
全文預覽已結束

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、濺射薄膜壓力傳感器濺射薄膜壓力芯體濺射薄膜壓力芯體利用離子束濺射薄膜技術結合先進的微電子工藝技術制造而成的不銹鋼彈性膜片。離子束濺射在合金材料上，在膜片上制作了組成惠斯登電橋的合金薄膜應變電阻，膜片變形使電阻的幾何尺寸和阻值發(fā)生改變，電橋輸出相應電信號。薄膜應變電阻與彈性體“融”為一體，組成全金屬型敏感元件，無任何粘貼劑和緊固件，可長期在-40125工作溫度下穩(wěn)定工作。濺射薄膜壓力芯體（合金薄膜壓力傳感器PPM-216A）具有準確度高，工作溫度范圍寬，溫漂小，高穩(wěn)定，高可靠，抗振動，抗沖擊，抗輻射的工作特性。濺射薄膜壓力芯體因使用微束脈沖亞弧焊和激光焊，具有防水、防潮功能，在各種惡劣的環(huán)境下能

2、長期穩(wěn)定的工作。濺射薄膜壓力芯體廣泛應用于航空、航天、交通、水利、電力、工程機械、汽車制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、醫(yī)療設備、食品加工等多種自控和測量行業(yè)。主要技術參數(shù)：ü 被測介質：氣體，液體及蒸氣；ü 壓力類型：表壓、絕壓、差壓可選；ü 量程：0120Mpa間任意可選；ü 供電電源：515VDC；ü 輸出：1.21.8mv/V；ü 綜合精度：±0.1%FS、±0.2%FS、±0.5%FS；ü 非線性：0.060.1%FS；ü 遲滯：0.020.05%FS；ü 重復性

3、：0.030.06%FS；ü 零點溫漂：±0.01%FS/；ü 靈敏度溫漂：±0.02%FS/；ü 輸出阻抗：1.53K；ü 絕緣電阻：1000M/100VDC；ü 工作溫度：4085125150可選；ü 過載能力：150%FS；ü 電氣連接：高溫引出線；ü 壓力連接：M10×1雙“O”圈密封或用戶指定；ü 接液材料：膜片：17-4PH過程連接件1Cr18Ni9Ti；ü 相對濕度：095%RH；ü 密封等級：IP65。濺射式壓力傳感器采用耐腐蝕不銹鋼制作成彈性體鋼杯，將壓力轉換為應變。利用離子束濺射技術在彈性膜片上分別淀積多層薄膜，采用干法刻蝕技術將NiCr膜刻蝕成電阻橋。流體壓力P1 （P2為大氣或真空）作用在彈性膜片上使膜片產生變形 ,電阻產生相應的變化, 電橋輸出與壓力成比例的電信號。主要技術特點ü 薄膜技術代替粘貼傳感器中的粘貼工藝, 消除了膠的影響，無蠕變、不老化。ü 耐蝕不銹鋼與被測量介質直接接觸，無須灌充油隔離。ü 彈性體和應變電阻材料都是

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論