潔凈室的潔凈度10萬(wàn)級(jí)

1、10萬(wàn)級(jí)潔凈室 潔凈室(Clean Room)，亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室，是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。 潔凈室(Clean Room)，亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒(méi)有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。 潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)

2、菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)

3、是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米 1000個(gè)以?xún)?nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。潔凈室要獲得良好的潔凈效果，不僅要著重采取合理的空調(diào)凈化措施，而且也要求工藝、建筑及其他專(zhuān)業(yè)采取相應(yīng)的措施:不但要有合理的設(shè)計(jì)，而且還要精心的符合規(guī)范的施工安裝，以及正確的使用潔凈室和科學(xué)的維護(hù)管理。為使?jié)?/p>

4、凈室獲得良好的效果，國(guó)內(nèi)外已有不少文獻(xiàn)從不同的角度作過(guò)闡述。實(shí)際上，不同專(zhuān)業(yè)之間很難做到理想地配合，而且設(shè)計(jì)者很難把握施工安裝質(zhì)量以及使用和管理情況，尤其后者。就潔凈室凈化措施而言，許多設(shè)計(jì)者，或者還有施工方，往往對(duì)其必要條件未予足夠重視，造成潔凈效果不理想。本文僅就潔凈室凈化措施中達(dá)到潔凈度要求的四個(gè)必要條件簡(jiǎn)要論述。一、送風(fēng)潔凈度     要保證送風(fēng)潔凈度符合要求，關(guān)鍵是凈化系統(tǒng)末級(jí)過(guò)濾器的性能和安裝。     凈化系統(tǒng)末級(jí)過(guò)濾器一般采用高效過(guò)濾器或亞高效過(guò)濾器。按我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)1規(guī)定高效過(guò)濾器效

5、率分四檔：A類(lèi)為99.9%，B類(lèi)為99.99%，C類(lèi)為99.999%，D類(lèi)為(對(duì)0.1 m粒子)99.999%(亦稱(chēng)超高效過(guò)濾器);亞高效過(guò)濾器2為(對(duì)0.5m粒子)9599.9%。效率越高，過(guò)濾器的價(jià)格也越貴。所以選擇過(guò)濾器時(shí)應(yīng)本著既要滿(mǎn)足送風(fēng)潔凈度要求，又要考慮經(jīng)濟(jì)合理。從潔凈度要求考慮，以低級(jí)別潔凈室選用低性能過(guò)濾器、高級(jí)別潔凈室選用高性能過(guò)濾器為原則。一般說(shuō)來(lái):100萬(wàn)級(jí)可選用高中效過(guò)濾器；低于1萬(wàn)級(jí)可選用亞高效或A類(lèi)高效過(guò)濾器;1萬(wàn)100級(jí)選用B類(lèi)過(guò)濾器;1001級(jí)選用C類(lèi)過(guò)濾器。二、氣流組織     潔凈室的氣流組織與一般

6、空調(diào)房間有所不同，它要求將最干凈的空氣首先送到操作部位，它的作用在于限制和減少對(duì)加工物的污染。為此，在設(shè)計(jì)氣流組織時(shí)應(yīng)考慮這些原則：盡量減少渦流，避免將工作區(qū)以外的污染帶入工作區(qū)；盡量防止灰塵的二次飛揚(yáng)以減少灰塵對(duì)工件的污染機(jī)會(huì)；工作區(qū)的氣流要盡量均勻，且其風(fēng)速要滿(mǎn)足工藝和衛(wèi)生要求，當(dāng)氣流向回風(fēng)口流動(dòng)時(shí)要使空氣中的灰塵能有效的帶走。根據(jù)不同的潔凈度要求，選擇不同的送、回風(fēng)方式。  三、送風(fēng)量或風(fēng)速     足夠的通風(fēng)換氣量是為了稀釋和排除室內(nèi)污染空氣，根據(jù)不同的潔凈度要求，當(dāng)潔凈室凈高較高時(shí)，適當(dāng)增加換氣次數(shù)。其中，100萬(wàn)

7、級(jí)潔凈室的通風(fēng)量是按高中效凈化系統(tǒng)考慮7，其余均按高效凈化系統(tǒng)考慮；當(dāng)10萬(wàn)級(jí)潔凈室高效過(guò)濾器集中布置在機(jī)房或系統(tǒng)末端采用亞高效過(guò)濾器時(shí)，可適當(dāng)提高換氣次數(shù)10-20%。  四、靜壓差     潔凈室維持一定的正壓是保證潔凈室不受或少受污染、以維持設(shè)計(jì)潔凈度等級(jí)必不可少地條件之一。即便是負(fù)壓潔凈室，它也必須有不低于它潔凈度級(jí)別地相鄰房間或套間維持一定地正壓，負(fù)壓潔凈室的潔凈度才能得以維持。     潔凈室正壓值是指門(mén)窗全部關(guān)閉狀態(tài)下，室內(nèi)靜壓大于室外靜壓的數(shù)值。它是通過(guò)凈化系

8、統(tǒng)送風(fēng)量大于回風(fēng)量和排風(fēng)量的方法來(lái)達(dá)到。為了保證潔凈室正壓值，送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)機(jī)最好聯(lián)鎖，系統(tǒng)開(kāi)啟時(shí)先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī)，再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī);系統(tǒng)關(guān)閉時(shí)先關(guān)排風(fēng)機(jī)，再關(guān)回風(fēng)機(jī)和送風(fēng)機(jī)，以防止?jié)崈羰以谙到y(tǒng)開(kāi)啟和關(guān)閉時(shí)受到污染。 對(duì)于一個(gè)潔凈室來(lái)說(shuō)，以上四個(gè)必要條件必須同時(shí)得到滿(mǎn)足，才能保證潔凈度達(dá)到要求并具備應(yīng)有的抗污染干擾能力。潔凈度級(jí)別塵粒最大允許數(shù)/立方米塵粒最大允許數(shù)/2.83升0.5m5m0.5m5m100級(jí)3,520291001000級(jí)35,200293100010,000級(jí)352,0002,9309968100,000級(jí)3,520,00029,3009,96283300,000

9、級(jí)10,560,00087,90029,8852491000,000級(jí)35,200,000293,00099,616829 潔凈級(jí)別塵埃最大允許數(shù)/ m3微生物最大允許數(shù)相當(dāng)于ISO分級(jí)0.5mm5mm浮游菌/m3沉降菌/皿100級(jí)3,500051ISO 5級(jí)10,000級(jí)350,0002,0001003ISO 7級(jí)100,000級(jí)3,500,00020,00050010ISO 8級(jí)300,000級(jí)10,500,00060,000 15 ISO 9級(jí)ISO14644分級(jí)最高濃度極限（顆粒數(shù)/m3）近似對(duì)應(yīng)傳統(tǒng)規(guī)格0.1mm0.2mm0.3mm0.5mm1.0mm5

10、.0mmISO 1級(jí)102    ISO 2級(jí)10024104  ISO 3級(jí)1,000237102358 1級(jí)ISO 4級(jí)10,0002,3701,02035283 10級(jí)ISO 5級(jí)100,00023,70010,2003,52083229100級(jí)ISO 6級(jí)1,000,000237,000102,00035,2008,3202931,000級(jí)ISO 7級(jí)   352,00083,2002,93010,000級(jí)ISO 8級(jí)   3,520,000832,00029,300100,000級(jí)ISO 9級(jí)   35,200,0008,320,000293,000潔凈度級(jí)別懸浮粒子最大允許數(shù)/立方米(a)靜態(tài)(b)動(dòng)態(tài)(b)0.5m (d)5m0.5m(d)5mA級(jí)35001(e)35001(e)B級(jí)(c)35001(e)3500002000C級(jí)(c)3500002000350000020000D級(jí)(c)3