NikonVM3020使用方法

1、1. 觀察基板，選擇起始點(diǎn)第一個(gè)起始點(diǎn)一定要選擇一個(gè)圖形獨(dú)特的點(diǎn)，并且周圍無(wú)類似的圖形。如圖1中的基板，可以選擇十字架或者方塊。圖2中就只能選擇左上方的“L”型，不能選擇方形。如果選擇方形，基板在底座上放置的位置如果有偏移，容易識(shí)別到到旁邊的另一顆基板。 注：該機(jī)器識(shí)別PR的亮度，選擇時(shí)最好選擇獨(dú)立的圖形，周圍無(wú)相識(shí)的圖形。不要選擇WB焊線的點(diǎn)，否則在以后建立多層芯片疊層的產(chǎn)品時(shí)，一旦焊線，該P(yáng)R就無(wú)法使用。2. 根據(jù)圖紙的設(shè)計(jì)要求，找到每個(gè)測(cè)量點(diǎn)如圖所示，F(xiàn)LASH die的位置要求基板的中心偏移與芯片的中心偏移為X：226um，Y：0um基板的中心點(diǎn)為與的中心。芯片的中心可以取芯片兩個(gè)對(duì)角

2、的中心。另外還要取芯片邊緣的1條直線，用來(lái)測(cè)量角度，因此需要在芯片上取3個(gè)點(diǎn)，分布于芯片的3個(gè)直角。手動(dòng)測(cè)量程序的建立方法1. 點(diǎn)擊“”新建一個(gè)測(cè)量的文件。2. 將機(jī)器的坐標(biāo)重置為原始坐標(biāo)。點(diǎn)擊“”，彈出“”，點(diǎn)擊“”。3. 建立列數(shù)的坐標(biāo)例如：MCP162產(chǎn)品為18列3.1 用操作桿移動(dòng)到第1列第1ea的十字架中心，使用最小的放大倍率（變焦選項(xiàng)進(jìn)行調(diào)節(jié)）進(jìn)行觀察，光線使用內(nèi)圈即可。（光線根據(jù)基板的類型有所不同，以看清基板的圖形為準(zhǔn)。）3.2 點(diǎn)擊“”，再點(diǎn)擊“”，再單擊鼠標(biāo)右鍵，可以看到“0”變成“1”， 如下圖3.3 點(diǎn)擊“”，命名為“01”，表示第1列的坐標(biāo)。3.4 移動(dòng)操作桿到第2列，

3、按照3.23.3的方法，記錄下第2列的坐標(biāo)。3.5 依此類推，將18列坐標(biāo)全部建好。4. 建立坐標(biāo)軸我們需要在基板上找兩個(gè)點(diǎn)，這兩個(gè)點(diǎn)拉一條直線，該直線就是x軸或者y軸。如下兩個(gè)圖片，是第1列和第2列的兩個(gè)相同位置的點(diǎn)，只要選擇2個(gè)點(diǎn)，就可以利用2個(gè)點(diǎn)建立一條直線，該直線就作為后續(xù)測(cè)量的坐標(biāo)軸X軸。4.1 先建立第1列的第1點(diǎn)的坐標(biāo)4.1.1 將基板移動(dòng)到第1列第1顆基板，選擇“”，從瀏覽記錄中選擇“01”，點(diǎn)擊確定。4.1.2 選擇“（圖形記憶）”，將該圖形框進(jìn)去 4.1.3 點(diǎn)擊“設(shè)置”4.1.4 相似度至少大于600，模式選擇“”。4.1.5 點(diǎn)擊確定。4.1.6 點(diǎn)擊鼠標(biāo)右鍵，圖形中心

4、會(huì)顯示紅色4.1.7 點(diǎn)擊“輸入”，彈出一個(gè)窗口，點(diǎn)擊確定。4.1.8 程序列中就自動(dòng)生成了第1條程序。4.1.9 點(diǎn)擊“”，4.1.10 彈出“”4.1.11 選中程序列的第1條程序。4.1.12 點(diǎn)擊確定4.1.13 程序列中新增1行程序代碼4.1.14 點(diǎn)擊“”4.1.15 點(diǎn)擊鼠標(biāo)右鍵，機(jī)器自動(dòng)做一次聚焦。4.1.16 再點(diǎn)擊“輸入”，再點(diǎn)擊“確定”4.1.17 程序中就新增1行程序代碼。4.1.18 點(diǎn)擊“”，（原點(diǎn)z設(shè)置）。4.1.19 選中程序列的第3條程序。4.1.20 點(diǎn)擊確定，新增1條程序代碼4.1.21 將鏡頭的放大倍率放到。4.1.22 先利用聚焦的功能，建立一次聚焦的

5、參數(shù)。方法同4.1.1420，生產(chǎn)2條程序代碼“5,6”4.1.23 再利用“”圖形記憶，記憶一次該圖形，方法同4.1.213，生產(chǎn)2條程序代碼“7,8”4.1.24 選擇“”取第一個(gè)點(diǎn)，要求此處的“”調(diào)節(jié)為 “0” 或者“90”或者“180”或者“270”。要求綠色的線條放于白色的圖形內(nèi)，紅色的線條放外部。4.1.25 點(diǎn)擊鼠標(biāo)右鍵，點(diǎn)擊彈出窗口中的確定。新生成1條程序代碼。4.1.26 X軸坐標(biāo)的第1個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)建立完畢。4.2 找到第2列的第1點(diǎn)的相同位置的坐標(biāo)4.2.1 移動(dòng)操作桿到第2列的第1顆基板4.2.2 后續(xù)操作和4.1相同，生產(chǎn)程序代碼1014。4.3 建立坐標(biāo)軸4.3.1 點(diǎn)擊

6、“”，選擇兩個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)4.3.2 點(diǎn)擊確定，生成1條程序代碼，4.4 坐標(biāo)軸建立完畢。4.5 再建立一條直線。點(diǎn)擊“”，選擇兩個(gè)點(diǎn)。4.6 直線建立完畢。5. 根據(jù)圖紙的設(shè)計(jì)要求，找到基板上的2個(gè)測(cè)量點(diǎn)，5.1 先找基板上的第一個(gè)點(diǎn)：。5.1.1 方法與前面相同，先建好1720共4條程序代碼5.1.2 點(diǎn)擊“”，將十字架的中心移動(dòng)到圖紙?jiān)O(shè)計(jì)的位置。5.1.3 點(diǎn)擊鼠標(biāo)右鍵，再點(diǎn)擊輸入，在彈出的對(duì)話框中再點(diǎn)擊確定。5.1.4 生成1條手動(dòng)測(cè)量的代碼。5.2 再找基板上的第2個(gè)點(diǎn)：。方法同5.1。5.3 取兩個(gè)點(diǎn)的中點(diǎn)。5.3.1 點(diǎn)擊“”，取兩個(gè)點(diǎn)的中點(diǎn)。6. 根據(jù)圖紙的設(shè)計(jì)要求，找到die上的3

7、個(gè)測(cè)量點(diǎn)。6.1 第1個(gè)測(cè)量點(diǎn)：6.26.3 第2個(gè)測(cè)量點(diǎn)：6.4 第3個(gè)測(cè)量點(diǎn)：6.5 取芯片的中點(diǎn)：7. 測(cè)量芯片中點(diǎn)與基板中點(diǎn)的距離，就是要測(cè)試的XY值。點(diǎn)擊“”，選中2個(gè)中點(diǎn)，生成一條程序代碼“”8. 此時(shí)需要將第7個(gè)步驟中的測(cè)試數(shù)據(jù)導(dǎo)入到excel中8.1 點(diǎn)擊如下8.2 選中第44條程序代碼，備注填入X，數(shù)據(jù)選中“”，和“”。8.3 彈出的窗口中按照如下填寫，表示X數(shù)值輸出到excel中的第2行第1列。8.4 點(diǎn)擊確定后，生成1條代碼X的數(shù)值輸出完成現(xiàn)在要輸出Y的數(shù)值，方法相同，只需要更改一下行列數(shù)。X Y的數(shù)值計(jì)算完成之后，就需要計(jì)算角度角度的計(jì)算就需要利用基板的直線與芯片的直線來(lái)計(jì)算基板的直線：直接利用已經(jīng)建立好的第16條代碼芯片的直線：利用芯片上的2點(diǎn)，第37和42條代碼拉一條直線再找兩條直線的交點(diǎn)，再輸出交點(diǎn)的角度即可。9. 點(diǎn)擊“”運(yùn)行，選中 ，再?gòu)棾龅?/p>