鍍膜機(jī)常見(jiàn)故障及分析解決預(yù)防措施

1、鍍膜機(jī)常見(jiàn)故障及分析解決預(yù)防措施文檔編制序號(hào)：KK8UY-LL9IO69-TTO6M3-MTOL89-FTT688鍍膜機(jī)常見(jiàn)故障及分析解決預(yù)防措施 一.常見(jiàn)故障，問(wèn)題及解決方法下表對(duì)一些鍍膜時(shí)常見(jiàn)的故障、真空度問(wèn)題、及掉膜和膜質(zhì)問(wèn)題做了一些簡(jiǎn)單分析，并給予解決方案及預(yù)防措施.故障 占 八“故障現(xiàn)象故障原因解決及預(yù)防措施備注1.高壓和束流1.1.開(kāi)槍有高 壓，無(wú)束流1. 燈絲保險(xiǎn)燒斷2. 燈絲燒斷3. 南光槍槍體右邊 引線碰到槍體底坐1. 檢查燈絲保險(xiǎn)，饒斷則更 換2. 保險(xiǎn)正常則檢查燈絲更換 槍體.3. 調(diào)整引線與槍體底坐的間 距.在抽氣前檢查槍體.即高 立關(guān)壓1.2.開(kāi)高壓顯示 跳動(dòng)幅度大，

2、并 有束流跳動(dòng)1. 束流控制調(diào)在手 動(dòng)，電位器未歸零2. 槍體短路3. 高壓電極保護(hù)罩 或屏蔽碰到高壓引 線造成短路4. 電柜故障1. 電位器歸零.在預(yù)熔完后 應(yīng)將燈絲電位器歸零2. 將連接燈絲變壓器的高壓 引線取下（注意引線不能碰 到機(jī)器應(yīng)懸空）開(kāi)高壓，正 常則槍體或高壓電極保護(hù)罩 或屏蔽短路造成3. 放氣檢查電極保護(hù)罩或屏 蔽4. 檢修電柜立即 關(guān)高 壓1. 3.開(kāi)槍無(wú)高 壓，無(wú)束流1. 高壓保護(hù)不到位（偏轉(zhuǎn)真空.柜門）2. 高壓電路出問(wèn)題1. 檢查相應(yīng)的高壓保護(hù)2. 檢修高壓控制電路1.4.鍍膜時(shí)高壓 會(huì)下跌1真空繼電器燒壞2.高壓電路出問(wèn)題1. 更換真空繼電器2. 檢修高壓電路常見(jiàn)4號(hào)

3、 機(jī)1. 5.鍍膜時(shí)燈絲 突然很亮（束流 達(dá)到滿格）1. BT138可控硅被擊 穿2. 槍體短路1. 更換 BT1382. 檢查槍體常見(jiàn) 4號(hào) 機(jī)1.6有高壓，有 燈絲電流，無(wú)光1. 柵極片短路2. 掃描出問(wèn)題或掃 描線接反了1. 整理槍體2. 檢修掃描，正確連接掃描 線1. 7.束流上不 去，達(dá)不到以前 的水平（同樣功 率達(dá)不到以前的 速率）1. 燈絲位置不正或 變形2. 燈絲被氧化3. 連接槍體的各接 頭松動(dòng)4. 堆坍轉(zhuǎn)速太快5. 材料被污染6. 晶片被擋住1. 重新安裝或更換燈絲.為 了更好的對(duì)燈絲定形及延長(zhǎng) 燈絲使用壽命，在更換新燈 絲后應(yīng)對(duì)燈絲進(jìn)行預(yù)熱處理2. 更換燈幺幺.為防止燈絲

4、氧 化在放氣前應(yīng)注意檢查關(guān)閉 燈絲電源開(kāi)關(guān)3. 擰緊各連接處.4. 調(diào)整堆坍轉(zhuǎn)速5. 取出被污染的材料或更換 新材料6. 調(diào)整晶片擋板位置.抽氣 應(yīng)檢17.電柜出問(wèn)題查晶片是否被擋7.檢修電柜1.8.阻蒸電流調(diào) 不上去1. 蒸發(fā)舟燒斷或松 掉造成接觸不良2. 空氣開(kāi)關(guān)跳閘3. 調(diào)節(jié)電流的電位 器壞了4. 銅電極與真空室 底板下的引線接觸 不良1. 更換蒸發(fā)舟或擰緊螺釘. 為了防止接觸不良，各電極 和壓塊應(yīng)清洗干凈.更換在 蒸發(fā)舟時(shí)應(yīng)將銅壓塊取下砂 干凈再安裝蒸發(fā)舟2. 打開(kāi)空氣開(kāi)關(guān)3. 更換電位器4. 清潔磨平接觸不良的地方 并擰緊螺釘1. 9.速率不穩(wěn)定1. 晶片失效2. 料面不好3. 功率

5、設(shè)置不合理4. 控制參數(shù)PID設(shè) 置不合理5. 燈絲接觸不好或 老化6. 高壓打火1. 選擇好的晶片，1.2槍的 速率要匹配2. 料要加平整，養(yǎng)成停站煙 的好習(xí)慣3. 預(yù)熔功率及最大功率設(shè)置 合理（最大功率為略大于蒸 發(fā)時(shí)所需功率）4. 設(shè)置合理的PID參數(shù)5. 緊固或更換燈絲6. 解決打火現(xiàn)象1. 10.高壓打火1. 槍體污染，雜物 掉入槍體2. 各接線處未擰緊3. 聚四氟套管太臟4. 槍體陽(yáng)極，柵極 變形5. 高壓電極太臟6. 屏蔽不佳或未屏7. 光斑位置不合 理，掃描狀態(tài)不好8. 2槍高壓干擾9. 材料污染有雜物10. 高壓打在10KV11. 預(yù)熔不夠充分12. 功率設(shè)置不合理1整理槍體

6、，在吹槍體時(shí)應(yīng) 用吸塵器邊吸使吹出的雜物 吸走不被落在槍體里2. 擰緊各連接處，使其接觸 良好3. 清洗或更換套管，應(yīng)定時(shí) 清洗4. 調(diào)整或更換陽(yáng)極，柵極片5. 更換高壓電極6. 調(diào)整屏蔽或加裝屏蔽7. 調(diào)整好光斑，檢查掃描8. 蒸鍍1槍時(shí)應(yīng)關(guān)閉2槍高 壓9. 將被污染的材料去除或更 換新材料10. 將高壓調(diào)在正確的檔位 （中檔8KV）.在觸摸屏上操作時(shí)（如調(diào)整圮璃轉(zhuǎn)速時(shí)）應(yīng) 注意是否誤碰到高壓調(diào)節(jié)檔 位11. 預(yù)熔時(shí)間及加的束流應(yīng) 合理（束流最后應(yīng)加到接近 鍍第一套時(shí)所需束流坯鍋轉(zhuǎn) 一到兩圈）12. 設(shè)置合理的功率，預(yù)熔功 率不應(yīng)太大,最大功率應(yīng)與 速率相匹配,注意在第一套 時(shí)速率較小時(shí)功率

7、的設(shè)置2.掃2. 1.光斑不能調(diào)1掃描引線或線圈1.檢查引線及線圈，引線間描和整短路不能碰在一起，抽氣前應(yīng)檢光斑2.整流橋擊穿查引線是否互相觸碰和松動(dòng)3.引線或線圈斷路2.更換整流橋4.遙控盒上的連線3.檢查引線及線圈松脫或電位器壞了4.接好連線或更換電位器2. 2光斑及掃描 狀態(tài)不好1. 燈絲變形2. 極靴位置不正3. 掃描頻率不合適4. 短路條多或少了， 位置不好5. 高壓檔位不對(duì)6. 掃描連接線有誤1更換燈絲2. 調(diào)整極靴位置.在拆下清 洗時(shí)要做好記號(hào)避免安裝時(shí) 位置不正3. 調(diào)整合適頻率，頻差和密 度4. 調(diào)整短路條的位置及數(shù)量5. 調(diào)整正確的高壓檔位6. 正確連接掃描線,維修時(shí) 應(yīng)做

8、好記號(hào)3. 煙和 工轉(zhuǎn)3. 1堆坍轉(zhuǎn)動(dòng)不 靈或不轉(zhuǎn)1. 刪周邊間隙太 小2. 堆煙間隙有材料 （卡料）3. 軸承銹死4. 減速器出問(wèn)題5. 電機(jī)出問(wèn)題6. 防污底板頂?shù)脚?坍（2槍）7. 連接鍵脫落1. 調(diào)整堆坍周邊的間隙2. 清理間隙中的材料.注意 料不要加得太高，預(yù)熔時(shí)數(shù) 量不要加得太快，防止材料 飛濺掉入間隙里使堆坍卡住 或轉(zhuǎn)得不順暢3. 清洗或更換軸承.在打掃 真空室及洗機(jī)時(shí)應(yīng)將站坍下 面的料渣清除，防止料渣太 多影響軸承的性能4. 檢查減速器5. 維修或更換電機(jī)6. 調(diào)整好大門底板的位置 （稍高于牌）,關(guān)門時(shí)感到 異常（如較平時(shí)緊）應(yīng)檢查底 板及防污板的位置7. 重新安裝好鍵3. 2

9、工轉(zhuǎn)噪音大， 晃動(dòng)大1. 電機(jī)軸承壞了2. 大軸承干磨性能 下降3. 電機(jī)與減速箱連 接不好4. 傳動(dòng)齒輪磨損1. 更換電機(jī)軸承2. 清洗或更換大軸承3. 將電機(jī)與減速箱連接好4. 更換齒輪3. 3工轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)不了1. 電機(jī)損壞2. 電機(jī)與傳動(dòng)部分 的鍵脫落或磨損3. 傳動(dòng)的齒輪磨損4. 單向器壞了5. 電路出問(wèn)題1. 更換電機(jī)2. 重裝或更換鍵3. 更換齒輪4. 更換或維修單向器（2樓）5. 檢修電路3.4.工轉(zhuǎn)電壓調(diào) 不上，電壓顯示 指針跳動(dòng)大1. 調(diào)節(jié)電位器損壞2. 控制器出問(wèn)題3. 工轉(zhuǎn)傳動(dòng)不穩(wěn)4. 碳刷接觸不良5. 電壓表有問(wèn)題1. 更換電位器2. 檢修控制器3. 維修傳動(dòng)部分4. 整理碳

10、刷接觸面或更換5. 維修或更換電壓表4.閥 門4. 1.閥門打不開(kāi)1. 氣壓不夠2. 控制閥門的氣動(dòng) 閥有問(wèn)題3. 閥門間互鎖1. 調(diào)高氣壓到適當(dāng)位置2. 維修或更換氣動(dòng)閥3. 檢查與其互鎖的閥門.應(yīng) 注意閥門指示燈顯示關(guān)閉但 實(shí)際閥門并未關(guān)閉的現(xiàn)象4. 2.閥門打開(kāi)后 會(huì)自動(dòng)關(guān)閉1. 氣壓不夠2. 氣動(dòng)閥閥芯內(nèi)的 橡皮松脫1調(diào)高氣壓到合適位置2.更換閥芯或氣動(dòng)閥4. 3.放氣取膜， 放氣閥打不開(kāi)1. 髙閥沒(méi)關(guān)到位2. 放氣閥的氣動(dòng)閥 有問(wèn)題1. 檢查高閥沒(méi)關(guān)到位的原 因，不能強(qiáng)行手動(dòng)關(guān)閉2. 更換或維修氣動(dòng)閥5.真 空度5.1.在鍍膜過(guò)程 中真空度突然下 跌1. 高閥，預(yù)閥等閥門 自動(dòng)關(guān)閉2

11、. 擴(kuò)散泵斷相或跳 閘3. 斑坍卡料強(qiáng)行轉(zhuǎn) 動(dòng)造成漏氣1. 檢查氣壓是否正常，正常 則是相應(yīng)的閥門問(wèn)題，一般 為氣動(dòng)閥的閥芯松脫2. 合上閘刀，斷相表現(xiàn)為三 相指示燈有一或兩個(gè)燈不 亮，更換電爐盤3. 維修站坍，當(dāng)卡料時(shí)不能 強(qiáng)行轉(zhuǎn)站5. 2.低真空突然 抽不動(dòng)1. 機(jī)械泵摻氣閥沒(méi) 關(guān)2. 真空室門壓到東 西3. 并路閥（旁通閥）, 截止閥自動(dòng)關(guān)閉4. 機(jī)械泵出問(wèn)題5. 羅茨泵出問(wèn)題6. 管道漏氣7. 機(jī)械泵上的機(jī)放 閥漏氣8. 真空室漏氣1關(guān)閉摻氣閥2. 檢查大門密封.關(guān)門抽氣 時(shí)應(yīng)檢查大門是否壓到東西 或密封圈上有雜物3. 檢查相應(yīng)的閥門及控制閥 門的氣動(dòng)閥和氣壓4. 維修機(jī)械泵5. 維修

12、羅茨泵6. 維修管道7. 更換或維修機(jī)放閥8. 按5. 4步驟檢漏5. 3抽氣慢1.真空室太臟，沒(méi)換1.更換防污板或清洗真空室防污板2.清洗擴(kuò)散泵（大約一年洗2.擴(kuò)散泵太久沒(méi)洗一次）3.擴(kuò)散泵出氣口擋3.調(diào)整擋油板油板被吸起4.給機(jī)械泵摻氣或換油4.機(jī)械泵沒(méi)摻氣5.調(diào)節(jié)真空表基準(zhǔn)或更換真5.真空測(cè)量表基準(zhǔn)空表不準(zhǔn)6.檢修機(jī)械泵，羅茨泵6.機(jī)械泵，羅茨泵有問(wèn)題47. 真空室暴露在大 氣時(shí)間過(guò)長(zhǎng)或玻片 未烘干8. 漏氣7. 盡量減少敞大氣時(shí)間，玻 片應(yīng)完全烘干8. 按5. 4步驟檢漏5. 4.真空度低1. 真空表測(cè)量不準(zhǔn)2. 真空規(guī)管測(cè)量口 被百葉窗擋住3. 真空室大門沒(méi)關(guān) 好4. 真空泵出問(wèn)題5

13、. 管道漏氣6. 動(dòng)密封如堆竭,工 轉(zhuǎn)，觀察窗,擋板等 密封漏氣7. 洗機(jī)或維修時(shí)動(dòng) 過(guò)的部件或附近有 松動(dòng)8. 堵頭沒(méi)裝好9. 通了水的如牌, 工轉(zhuǎn),探頭等地方有 漏點(diǎn)10. 高閥，低閥氣缸 漏氣11. 金屬焊縫漏1審檢直牢表2關(guān)閉高閥,若此時(shí)真空室 真空度比較穩(wěn)定，則放氣調(diào) 整百葉窗的位置3. 用酒精注射大門密封看真 空度變化，如有變化則放氣 整理真空室門密封4. 維修或更換真空泵5. 維修管道6. 更換或重裝動(dòng)密封 快速連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)看真空度是否 有較大的變化，有則是該轉(zhuǎn) 動(dòng)部動(dòng)密封有問(wèn)題7. 檢查動(dòng)過(guò)的部件及附近， 確認(rèn)后緊固8. 用酒精注射堵頭,若真空 度有變化則緊固或重裝該堵 頭9. 通

14、過(guò)用高壓氣來(lái)沖水管看 真空度是否有變化,有則檢 查水路10. 通過(guò)開(kāi)關(guān)高閥，低閥或用 酒精注射閥門確認(rèn)后更換閥 體或密封圈11. 用酒精注射各焊縫來(lái)確 認(rèn)是否有漏,有則補(bǔ)焊焊縫6.掉 膜問(wèn) 題6. 1.掉膜1. 真空室或玻片潮 濕（更換防污板 后）2. 玻片沒(méi)洗干凈3. 更換新玻片，玻片 上有油污4. 真空度低5. 打火嚴(yán)重,造成膜 厚不均勻引起應(yīng)力 大6. 真空室有油污7. 蒸發(fā)速率過(guò)高8. 脫膜劑鍍得過(guò)多9. 擴(kuò)散泵返油造成 高閥蓋及冷井處有 油污1. 烘烤玻片及防污板的時(shí)間 要適當(dāng)2. 用干凈的布清洗好玻片， 清洗時(shí)應(yīng)認(rèn)真仔細(xì)3. 先用洗潔精清洗干凈玻 片，再用清水將玻片沖洗干 凈4.

15、檢漏5. 解決打火現(xiàn)象6. 清洗真空室7. 降低速率到合適位置8. 減少脫膜劑的厚度9. 擦洗高閥蓋及冷井.給擴(kuò) 散泵加熱時(shí)間不能少于90 分鐘.6. 2.周一掉膜嚴(yán) 重且膜質(zhì)不好1. 洗機(jī)時(shí)產(chǎn)生的一 些粉塵在抽氣時(shí)飛 到玻片上2. 洗機(jī)時(shí)的潮氣及 防污板的潮氣未干1 用酒精仔細(xì)擦干凈真空室2.延長(zhǎng)轟擊時(shí)間，防污板應(yīng) 徹底烘干后才裝入真空室7.膜 質(zhì)7.1.膜質(zhì)發(fā)黑不 亮澤1. U5材料鍍少了（有 時(shí)有銀灰色）2. 2槍光斑能量太散 （掃描頻率有問(wèn)題）3. U3材料鍍多了（膜 質(zhì)稀爛）4. 2槍圮坍位置不合 適5. U5材料太舊或氧 化6. 真空度低1. 適當(dāng)增加U5厚度2. 調(diào)節(jié)光斑和掃描頻

16、率3. 適當(dāng)減少U3厚度4. 將2槍堆竭位置移到適當(dāng)位置5. 更換新料6. 檢查真空度7. 2.膜發(fā)銀1. U5材料鍍多了2. 跳程序或假速率 造成U5材料沒(méi)鍍上 或鍍少3. U3材料蒸發(fā)過(guò)快 造成U5沒(méi)鍍上或鍍 少1. 適當(dāng)減少U5厚度2. 發(fā)現(xiàn)時(shí)應(yīng)適當(dāng)加鍍一些 U5,在鍍2. 6層時(shí)應(yīng)特別注 意有無(wú)此現(xiàn)象3. 鍍U3材料時(shí)速率不要過(guò) 高,鍍完U3材料時(shí)應(yīng)稍微停 頓5秒再鍍U57. 3.膜質(zhì)發(fā)硬， 打卷1. 玻片太臟2. 玻片表面光潔度 差3. U3材料鍍的過(guò)少1. 仔細(xì)清洗玻片，玻片放入 真空室經(jīng)抽氣未使用應(yīng)更換 或清洗后才能使用應(yīng)打掃 完真空室衛(wèi)生后再裝玻片， 減少污染2. 更換好的玻片

17、3. 適當(dāng)增加U3厚度慎控儀 S.厚制8. 1.晶片失效1晶片使用壽命已 到2. 晶片壓贊損壞3. 連接探頭的各接 觸點(diǎn)接觸不良4. 探頭冷卻水過(guò)小 或水溫過(guò)高5. 探頭擋板碰到工1更換好的晶片在用超聲 波清洗晶片時(shí)應(yīng)注意打晶片 的時(shí)間及方法，延長(zhǎng)晶片的 使用壽命2. 更換晶片壓贊.在取壓贊 時(shí)應(yīng)輕拿輕放3. 整理各連接處4. 調(diào)大探頭冷卻水流量或開(kāi) 啟冷凍機(jī)降水溫，水溫小于 28度5. 調(diào)在探頭擋板與工轉(zhuǎn)的距 離8. 2.開(kāi)始鍍膜控 制儀無(wú)工作1. 程序清零2. 沒(méi)選擇到鍍膜程1. 重新設(shè)置程序在操作膜 厚控制儀時(shí)動(dòng)作不應(yīng)過(guò)快， 控制儀要有良好的接地2. 選擇好鍍膜程序.在調(diào)程 序時(shí)應(yīng)注意光

18、標(biāo)是否在對(duì)應(yīng) 的鍍膜程序上8. 3.手動(dòng)遙控盒 不受控1. 連接控制儀的接 頭沒(méi)接好2. 遙控盒上的按鍵 的接線脫焊1. 接好接頭2. 焊好接線.在用遙控時(shí)應(yīng) 注意連線不要用力過(guò)大拉扯 連線9其 他9.1.開(kāi)槍鍍膜時(shí) 發(fā)現(xiàn)膜厚儀上沒(méi) 速率顯示1. 晶片被擋住2. 槍擋板未打開(kāi)3. 高壓沒(méi)開(kāi)1. 放氣整理.關(guān)門抽氣時(shí)應(yīng) 檢查晶片是否被擋2. 修理?yè)醢?. 打開(kāi)高壓64.束流控制調(diào)在手 動(dòng)4.將束流控制調(diào)的自動(dòng)9. 2.槍擋板打不 開(kāi)1. 氣壓不夠2. 控制擋板的氣動(dòng) 閥壞了3. 氣缸與擋板軸的 連接鍵或螺釘脫落1. 調(diào)高氣壓到合適位置2. 維修或更換氣動(dòng)閥3. 重新裝上鍵或螺釘二.一些基礎(chǔ)知識(shí)及

19、注意事項(xiàng)和應(yīng)急措施1膜厚控制儀1.1. 控制參數(shù)Soakpower 1預(yù)熔功率1約為蒸發(fā)功率的一半Soakpower2預(yù)熔功率2也稱預(yù)蒸鍍功率略小于最大功率Maxpower最大功率DepRate蒸發(fā)速率FinalThk膜厚（波長(zhǎng)）Soaktime預(yù)熔時(shí)間Risetime功率上升時(shí)間Density材料密度1. 2.檢測(cè)膜厚原理通過(guò)改變探頭上晶片的頻率（由于膜的蒸發(fā)改變了其重量，所以其震動(dòng)頻率發(fā)生變 化）來(lái)計(jì)算膜厚，而探頭所處的位置和工具因數(shù)的設(shè)置都影響到測(cè)試精度，探頭的位 置和測(cè)試膜厚的關(guān)系如?。海?）探頭高了，測(cè)試得到的厚度實(shí)際得到的膜厚（玻片上厚度）（2）.探頭低了，測(cè)試得到的厚度實(shí)際得到的

20、膜厚（玻片上厚度）（3）.1具因數(shù)調(diào)高,相當(dāng)于探頭位置降低，所以膜厚要增加2. 膜和材料間的關(guān)系2.1. U5吸收雜光，影響膜質(zhì)和亮度.鍍的過(guò)多，膜會(huì)發(fā)銀;鍍的過(guò)少,膜發(fā)黑，不亮澤,有銀色;沒(méi)鍍上，則為銀白2. 2. U3脫膜劑，影響膜質(zhì).鍍的過(guò)多，膜質(zhì)稀爛，易脫落;鍍的過(guò)少，膜會(huì)打卷，發(fā)硬2. 3. Si02決定顏色2. 4. U6基層，影響膜的鮮艷度和亮度3. 均勻性3.1. 徑向均勻性：同一玻片上部與下部的不均勻，與光斑的調(diào)節(jié)、材料的料面、堆坍轉(zhuǎn) 速和轉(zhuǎn)向、玻片的曲率有關(guān)3. 2.重復(fù)均勻性：同一鍋膜的每一套間的不均勻，與真空度的高低、操作者看顏色有關(guān)3. 3.整體均勻性：同一套膜四塊玻片上的均勻性，與光斑的穩(wěn)定性、工轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速和蒸發(fā) 速率的匹配、真空度的高低、徑向均勻性有關(guān)4. 燈絲問(wèn)題4.1. 放氣時(shí)要記住關(guān)燈絲電源，以免氧化燈絲4. 2.初次使用或更換新燈絲，應(yīng)進(jìn)行燈絲預(yù)熱定型處理，以防燈幺幺加熱過(guò)快變形.預(yù)熱時(shí)，高壓關(guān)閉,直接加熱燈絲，緩慢加燈絲電流，由兒安培加至15A時(shí)，維持3-5分鐘4. 3.燈絲安裝a. 燈絲不宜太高或太低:太高會(huì)造成光斑不可調(diào)，容易打爛柵極和陽(yáng)極片；太