《傳感器》第4版—唐文彥—機(jī)械工業(yè)出版社—課后習(xí)題答案_第1頁(yè)
《傳感器》第4版—唐文彥—機(jī)械工業(yè)出版社—課后習(xí)題答案_第2頁(yè)
《傳感器》第4版—唐文彥—機(jī)械工業(yè)出版社—課后習(xí)題答案_第3頁(yè)
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1、第一章思考題與習(xí)題1、什么是傳感器的靜態(tài)特性?它有哪些性能指標(biāo)?答:輸入量為常量或變化很慢情況下,輸出與輸入兩者之間的關(guān)系稱為傳感器的靜態(tài)特性。 它的性能指標(biāo)有:線性度、遲滯、重復(fù)性、靈敏度與靈敏度誤差、分辨率與閾值、穩(wěn)定性、 溫度穩(wěn)定性、抗干擾穩(wěn)定性和靜態(tài)誤差(靜態(tài)測(cè)量不確定性或精度)2、傳感器動(dòng)特性取決于什么因素?答:傳感器動(dòng)特性取決于傳感器的組成環(huán)節(jié)和輸入量,對(duì)于不同的組成環(huán)節(jié)(接觸環(huán)節(jié)、模擬環(huán)節(jié)、數(shù)字環(huán)節(jié)等)和不同形式的輸入量(正弦、階躍、脈沖等)其動(dòng)特性和性能指標(biāo)不 同。2%FS,滿度值輸出為50mV,求可能出現(xiàn)的最大誤差5(以1/2和1/8時(shí)計(jì)算可能產(chǎn)生的百分誤差。并由此說(shuō)明使用3

2、、某傳感器給定相對(duì)誤差為mV計(jì))。當(dāng)傳感器使用在滿刻度的 傳感器選擇適當(dāng)量程的重要性。解:100% ;yFS?yFs 100% imVyFsi12yFS100%yFsi100%4%25yFS218yFSmyFS2100%100% 16%6.2584、有一個(gè)傳感器,輸入溫度(0c),試求該傳感器的時(shí)間常數(shù)T和靜態(tài)靈敏度k。已知:30dy/dt3y0.15x ;求:T = ? , k=?解:將 30dy/dt3y0.15x化為標(biāo)準(zhǔn)方程式為:10dy/dt y 0.05x與一階傳感器的標(biāo)準(zhǔn)方程:半y kx比較有:由此說(shuō)明,在測(cè)量時(shí)一般被測(cè)量接近量程(一般為量程的2/3以上),測(cè)得的值誤差小一些。其微

3、分方程為30dy/dt 3y 0.15x,其中y為輸出電壓(mV), x為10(s)k 0.05(mV/0C)5、已知某二階系統(tǒng)傳感器的自振頻率f0=20kHZ,阻尼比E =0.1,若要求傳感器的輸出幅值誤差小于3%,試確定該傳感器的工作頻率范圍。已知:f0=20kH Z, E =0.1。求:3%時(shí)的工作頻率范圍。解:二階傳感器頻率特性(P14-1 30式)2 f。式中:則有:k()k k()k1125.6 kHz7(12 2)2(2r22 2)2(2)23%00.12 2)2 (2 )23%3% 12 2)2 (2=3%)22 2)2 (2)20.031 亦 2 2)2 (2)20.03(1

4、 22)2(2)20.943(1 22)22(2)1.0631 1.962 24 40.9431 1.962 24 41,063(0.982 2)20.903(0.982 2'2)1.0230.982 20.95(1)0.982 21.011(21/0.97)2(1 J石2 2) 22 2)2 (2 )21/1.03由(1)式:0.982 20.950.982 20.95121.7kHz2173.7kHz由(2)式:0.980.982 2 1.0112 2 1.011176.3kHz2D173.7kHs176.3kHi217kHz即:21.7kHz173.7kHz176.3kHz取:則

5、有:21.7kHz21.7kHz/23.44kHz第二章思考題與習(xí)題1、何為金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)?怎樣利用這種效應(yīng)制成應(yīng)變片?答:(1)當(dāng)金屬絲在外力作用下發(fā)生機(jī)械變形時(shí),其電阻值將發(fā)生變化,這種現(xiàn)象稱為金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)。(2)應(yīng)變片是利用金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng),將金屬絲繞成柵形, 稱為敏感柵。并將其粘貼在絕緣基片上制成。把金屬絲繞成柵形相當(dāng)于多段金屬絲的串聯(lián)是為增大應(yīng)變片 電阻,提高靈敏度,2、什么是應(yīng)變片的靈敏系數(shù)?它與電阻絲的靈敏系數(shù)有何不同?為什么?答:(1)應(yīng)變片的靈敏系數(shù)是指應(yīng)變片安裝于試件表面,在其軸線方向的單向應(yīng)力作用下, 應(yīng)變片的阻值相對(duì)變化與試件表面上安裝應(yīng)變片區(qū)域的軸向應(yīng)變之

6、比。, R/Rk (2 )實(shí)驗(yàn)表明,電阻應(yīng)變片的靈敏系數(shù)恒小于電阻絲的靈敏系數(shù)其原因除了粘貼層傳遞變 形失真外,還存在有恒向效應(yīng)。3、對(duì)于箔式應(yīng)變片,為什么增加兩端各電阻條的截面積便能減小橫向靈敏度?,其答:對(duì)于箔式應(yīng)變片,增加兩端圓弧部分尺寸較柵絲尺寸大得多(圓弧部分截面積大) 電阻值較小,因而電阻變化量也較小。所以其橫向靈敏度便減小。4、用應(yīng)變片測(cè)量時(shí),為什么必須采用溫度補(bǔ)償措施? 答:用應(yīng)變片測(cè)量時(shí),由于環(huán)境溫度變化所引起的電阻變化與試件應(yīng)變所造成的電阻變化幾 乎有相同的數(shù)量級(jí),從而產(chǎn)生很大的測(cè)量誤差,所以必須采用溫度補(bǔ)償措施。5、 一應(yīng)變片的電阻R=120 Q,k=2.05。用作應(yīng)變?yōu)?/p>

7、 800卩m/m的傳感元件。求 R和 R/R ;若電源電壓 U=3V,求初始平衡時(shí)惠斯登電橋的輸出電壓U0。已知:R=120 Q, k=2.05 , e =800 卩 m/m;U0=?求: R=?,A R/R= ?笑 U=3V 時(shí), 解:R/R32.05 8001.64 10 32.05 800 1200.1968解:初始時(shí)電橋平衡(等臂電橋)U01?-R?U4 R131.64 10 3 3 1.23mV 4?U R6、在材料為鋼的實(shí)心圓柱形試件上,沿軸線和圓周方向各貼一片電阻為片R1和R2,把這兩應(yīng)變片接入差動(dòng)電橋(參看圖 2-9a)。若鋼的泊松系數(shù)卩 的靈敏系數(shù)k=2,電橋電源電壓U=2V

8、 ,當(dāng)試件受軸向拉伸時(shí), 測(cè)得應(yīng)變片 R =0.48 Q ,試求電橋的輸出電壓 U0。U0 7?120Q的金屬應(yīng)變=0.285,應(yīng)變片Ri的電阻變化值已知:Ri= R2=120 求:U0=?解:又R2rTR1/R100040.0022000 m/m212 0.285 0.0020.00114設(shè):R1=R2 = R3=R4=R,對(duì)電橋若四臂電阻都變其輸出為:U0R1R4R2 R3U(R1R2)(R3R4)則有:U0(R1R1)(R4R4) (R2(1(尺R1 R2只2)(只3R3 R4R1R4 "R2R3R2)(R3R3) URJR2)(1 ) (1 )(1 R1 八R/ 'R

9、2 八R3 _ rT -R1R4R14 2R1R1R1R22R2R4R1R4R3R1 ? R4RT 瓦R42-2R3R4R2R3R2R3R2R3R2 ? R3R2R3R1R?R42上R2R2 R3昱rT本題:上R3R4R4U0R1R1R2R2)UR1 ? R3 rT R3R1 ? R4rT?R4UR2 ?R3R2 ?R4R2R3R2R4-(0.004R4R4R2R2R3)UR30.00114) 22.57mV7、金屬應(yīng)變片與半導(dǎo)體應(yīng)變片在工作原理上有何不同?答:金屬應(yīng)變片的工作原理是: 金屬應(yīng)變片在外力的作用下, 應(yīng)變片的幾何尺寸(長(zhǎng)度和截 面積)發(fā)生變化(機(jī)械形變)而引起應(yīng)變片的電阻改變,運(yùn)

10、用它們的對(duì)應(yīng)關(guān)系實(shí)現(xiàn)測(cè)量目的。 其靈敏系數(shù)(k- 1+2卩)主要是材料幾何尺寸變化引起的。半導(dǎo)體應(yīng)變片的工作原理是:半導(dǎo)體應(yīng)變片受到作用力后,應(yīng)變片的電阻率P發(fā)生變化,而引起應(yīng)變片的電阻值改變。 其靈敏系數(shù)(k= p / P £)主要是半導(dǎo)體材料的電阻率隨應(yīng) 變變化引起的。補(bǔ)充題:已知四個(gè)相同的應(yīng)變片,靈敏度為k,泊松系數(shù)為卩,在試件上粘貼如圖。接入電橋如圖(A) ( B) ( C) ( D)求:FL丄k FUb Uc Ud解:各應(yīng)變片電阻的相對(duì)變化1號(hào)應(yīng)變片:Ri2號(hào)應(yīng)變片:3號(hào)應(yīng)變片:4號(hào)應(yīng)變片:RiR2R2R3R3R4R4由式:UoR1R1R4R4R2R2對(duì)圖(a):UaR1J

11、UUk4對(duì)圖(b):(R1R1R4R4)UUk2對(duì)圖(c):R1R1R4R4R2顯)UR3UU4(k kR2410對(duì)圖(d):Ud4(R1R4R1R4R2R3R2R3)U U4(k k k k) 0所以:Uk2_Uk4Uk (12Uk4丄0U k 4第三章思考題與習(xí)題1、何謂電感式傳感器?它是基于什么原理進(jìn)行檢測(cè)的?答:電感式傳感器是利用電磁感應(yīng)原理將被測(cè)量轉(zhuǎn)換成線圈自感量或互感量的變換,量電路轉(zhuǎn)換為電壓或電流的變化量輸出的一種裝置。它是基于電磁感應(yīng)原理進(jìn)行檢測(cè)的。2、減小零殘電壓的有效措施有哪些?答:(1)盡量使兩個(gè)線圈對(duì)稱設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)使上下磁路對(duì)稱,制造時(shí)應(yīng)使上下磁性材料特性一致,磁筒、套挑選

12、,線圈排列要均勻,松緊要一致,最好每層的匝數(shù)都相等。(2 )減小磁化曲線的非線性由于磁化曲線的非線性產(chǎn)生零殘電壓的高次諧波成分,材料或調(diào)整工作點(diǎn),使磁化過(guò)程在磁化曲線的線性區(qū)。(3)使振蕩變壓器二次側(cè)對(duì)稱,兩個(gè)二次電壓的相位相同在一次側(cè)線圈上并聯(lián)一個(gè)電容,并調(diào)整電容大小使兩個(gè)二次電壓的相位相同。3、渦流式傳感器有何特點(diǎn) ?它有哪些應(yīng)用:答:渦流式傳感器的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于進(jìn)行非接觸的連續(xù)測(cè)量,靈敏度較高,適應(yīng)性強(qiáng)。它的應(yīng)用有四個(gè)方面:(1)利用位移為變換量,可做成測(cè)量位移、厚度、振幅、振擺、轉(zhuǎn)速等傳感器,也可做成接近開關(guān)、計(jì)數(shù)器等;(2 )利用材料的電阻率作為變換量,可做成測(cè)量溫度、材質(zhì)判別

13、等傳感器;(3)利用磁導(dǎo)率作為變換量,可做成測(cè)量應(yīng)力、硬度等傳感器;(4)利用三個(gè)變換量的綜合影響,可做成探傷裝置。4、試比較渦流傳感器的幾種應(yīng)用電路的優(yōu)缺點(diǎn)?答:交流電橋電路:線性好、溫度穩(wěn)定性高,但存在零點(diǎn)殘余電壓?jiǎn)栴}及測(cè)量范圍較小;諧振電路:電路簡(jiǎn)單,靈敏度高,但線性度差及范圍更??;正反饋電路:測(cè)量范圍較大,是電 橋的2至3倍,但電路復(fù)雜。5、有一 4極感應(yīng)感應(yīng)同步器,設(shè) h=5mm、勵(lì)磁電流l1=35mA、f=400Hz,試求: 輸出信號(hào)的靈敏度 k ( mV/deg) =? 勵(lì)磁電壓u=?UbUcUAUdUA第四章)-2(1 )再由測(cè)磁蓋、磁芯要配所以選用磁化曲線為線性的磁芯0 =1

14、50、5 =0.15mm、r=6.5mm、Ni=N 2=900 匝,思考題與習(xí)題171、如何改善單組式變極距型電容傳感器的非線性?答:對(duì)于變極距單組式電容器由于存在著原理上的非線性,所以在實(shí)際應(yīng)用中必須要改善其非線性。改善其非線性可以采用兩種方法。(1)使變極距電容傳感器工作在一個(gè)較小的范圍內(nèi)(0.01卩m至零點(diǎn)幾毫米),而且最大應(yīng)小于極板間距5的1/5 1/10。(2)采用差動(dòng)式,理論分析表明,差動(dòng)式電容傳感器的非線性得到很大改善,靈敏度也提高一倍。4mm,兩極板2mm,求其2、單組式變面積型平板形線位移電容傳感器,兩極板相對(duì)覆蓋部分的寬度為的間隙為0.5mm,極板間介質(zhì)為空氣,試求其靜態(tài)靈

15、敏度?若兩極板相對(duì)移動(dòng)F/m電容變化量。(答案為0.07pF/mm,0.142pF )已知:b=4mm , 5 =0.5mm, e 0=8.85 x 10 I求:(1) k=?; (2)若 a=2mm 時(shí) C=?。解:如圖所示C 0ab 0(a a)bob3a 8.85 10 PF/mm 4mm 2mm 0.142 pF0.5mm. C 0.142 pF ccT I- /k 0.07pF/mma 2mm3、畫出并說(shuō)明電容傳感器的等效電路及其高頻和低頻時(shí)的等效電路。 答:電容傳感器的等效電路為:丄耳1_r其中:r :串聯(lián)電阻(引線、焊接點(diǎn)、板極等的等效電阻);L :分布電感(引線、焊接點(diǎn)、板極結(jié)

16、構(gòu)產(chǎn)生的);CP :引線電容(引線、焊接點(diǎn)、測(cè)量電路等形成的總寄生電容) C0 :傳感器本身電容;a)和圖(b):Rg :漏電阻(極板間介質(zhì)漏電損耗極板與外界的漏電損耗電阻) 低頻時(shí)等效電路和高頻時(shí)等效電路分別為圖HICb)4、設(shè)計(jì)電容傳感器時(shí)主要應(yīng)考慮哪幾方面因素答:電容傳感器時(shí)主要應(yīng)考慮四個(gè)幾方面因素:(1)減小環(huán)境溫度濕度等變化所產(chǎn)生的影響,保證絕緣材料的絕緣性能;(2)消除和減小邊緣效應(yīng);(3)減小和消除寄生電容的影響; (4 )防止和減小外界干擾。5、何謂“電纜驅(qū)動(dòng)技術(shù)”?采用它的目的是什么?答:電纜驅(qū)動(dòng)技術(shù),即:傳感器與測(cè)量電路前置級(jí)間的引線為雙屏蔽層電纜,其內(nèi)屏蔽層與信號(hào)傳輸線(

17、即電纜芯線)通過(guò) 1 : 1放大器而為等電位, 從而消除了芯線與內(nèi)屏蔽層之 間的電容。由于屏蔽線上有隨傳感器輸出信號(hào)等大變化的電壓,因此稱為“驅(qū)動(dòng)電纜”。采用“電纜驅(qū)動(dòng)技術(shù)”的目的是減小或消除寄生電容的影響。6、畫出電容式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖,并說(shuō)明其工作原理。答:電容式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖為:3rn51i-n4A面AeW1111其中:1、5為兩個(gè)固定極板;2為殼體;3為支撐彈簧片;4質(zhì)量塊;A面和B面為固定在 質(zhì)量塊上的電容器的極板。當(dāng)測(cè)量垂直方向上直線加速度時(shí),傳感器的殼體2固定在被測(cè)振動(dòng)體上, 振動(dòng)體的振動(dòng)使殼體相對(duì)質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng),因而與殼體固定在一起的兩固定極板1、5相對(duì)質(zhì)量塊4運(yùn)

18、動(dòng),致使上固定極板5與質(zhì)量塊4的A面組成的電容器 Cx1以及下固定極板與質(zhì)量塊 4的B面組 成的電容器 Cx2隨之改變,一個(gè)增大,一個(gè)減小,它們的差值正比于被測(cè)加速度,而實(shí)現(xiàn) 測(cè)量加速度的目的。7、什么是電容式集成傳感器?它有何特點(diǎn)?答:運(yùn)用集成電路工藝把電容敏感元件與測(cè)量電路制作在一起構(gòu)成電容式集成傳感器。她的核心部件是一個(gè)對(duì)被測(cè)量敏感的集成電容器。集成電容傳感器的特點(diǎn)是: 體積小、輸出阻抗小、可批量生產(chǎn)、重復(fù)性好、靈敏度高、工作溫度范圍寬、功耗低、寄生電容小等特點(diǎn)。補(bǔ)充題:已知差動(dòng)式極距型電容傳感器,原始極距5 0=0.25mm ,極板直徑D=38.2mm ,采用電橋作轉(zhuǎn)換電路,傳感器兩電

19、容分別串接R=5.1K Q的電阻作為電橋兩臂,另兩臂為固定電容C=0.001卩F,電橋供電電壓為 U=60V,頻率f=400Hz,求:傳感器靈敏度;動(dòng)極板位 移S =10卩m時(shí),輸出電壓有效值為多大。已知:5 o=O.25mm ; D=38.2mm ; R=5 .1K Q; C=0.001 卩 F; U=60V ; f=400Hz ;§ =10 卩 m。求:k=?; U0=?解:C02S(D/2)2同理:Z2則有:所以:(D /2)20(D/2)2100(D/2)2U0(D /2)2乙乙Z2Zj_ZD(Zi Z2)(Z3乙 Z21j C0CCo(R(D/2)2()20()30(ZiZ

20、i) Z4(Zi(Z2Z2)Z3UZ2)(Z3 乙)1j C0Z4R疋 )-7(0&1j C0CC0C j C0 1C/C0Zi) Z4 (Z2(Z1(Z1 Z2)(Z3 Z4)Cr)丄(R 1 j C0j cr j c '122(R j C/j CCr"C022三j Co U14(R 717)C/C;(j R 1/C0)U2( R)2 (1/C0)2 C(j R 1/C0)U22( RC0)1Uo不 R】)2 1U,C0U2C/( RC0)2100j( RC0)2 1則:Uo0& RC。)210.25mm、400Hz 5.10.4615V /mm 461.5

21、V /mu0j2 fR 0(D/2)2/ 02160V103(8.85 10 9F / mm) (38.2mm/2)2/0.25mm21U00/ RC0)2 1U k461.5V/m 10 10 6m 4.615 10 3V4.615mVv19第五章思考題與習(xí)題1、簡(jiǎn)述磁電感應(yīng)式傳感器的工作原理。磁電感應(yīng)式傳感器有哪幾種類型?N匝線線圈中所產(chǎn)生的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì) e答:磁電感應(yīng)式傳感器是以電磁感應(yīng)原理為基礎(chǔ)的,根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)定律可知,圈在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)切割磁力線或線圈所在磁場(chǎng)的磁通量變化時(shí), 的大小取決于穿過(guò)線圈的磁通0的變化率,即:de Ndt根據(jù)這個(gè)原理,可將磁電感應(yīng)式傳感器分為恒定磁通式和變磁

22、通式兩類。2、某些磁電式速度傳感器中線圈骨架為什么采用鋁骨架?答:某些磁電式速度傳感器中線圈采用鋁骨架是因?yàn)榫€圈在磁路系統(tǒng)氣隙中運(yùn)動(dòng)時(shí),鋁骨架中感應(yīng)產(chǎn)生渦流,形成系統(tǒng)的電磁阻尼力,此阻尼起到衰減固有振動(dòng)和擴(kuò)展頻率響應(yīng)范圍的 作用。3、何謂磁電式速度傳感器的線圈磁場(chǎng)效應(yīng),如何補(bǔ)償? 答:線圈磁場(chǎng)效應(yīng)是指磁電式速度傳感器的線圈中感應(yīng)電流產(chǎn)生的磁場(chǎng)對(duì)恒定磁場(chǎng)作用, 使其變化。如公式e BIN ov知,由于B的變化而產(chǎn)生測(cè)量誤差。補(bǔ)償方法通常是采用補(bǔ)償線圈與工作線圈串接,來(lái)抵消線圈中感應(yīng)電流磁場(chǎng)對(duì)恒定磁場(chǎng)的影響。)20NBI4、為什么磁電感應(yīng)式傳感器在工作頻率較高時(shí)的靈敏度,會(huì)隨頻率增加而下降? 答:

23、由理論推到可得傳感器靈敏度與頻率關(guān)系是:v(2 )20kvNBI (/)20這種傳感器的靈敏度是隨振動(dòng)頻率變化;當(dāng)振動(dòng)頻而近似為常數(shù);當(dāng)振動(dòng)當(dāng)振動(dòng)頻率低于傳感器固有頻率時(shí),率遠(yuǎn)大于固有頻率時(shí), 傳感器的靈敏度基本上不隨振動(dòng)頻率而變化,頻率更高時(shí),線圈阻抗增大,傳感器靈敏度隨振動(dòng)頻率增加而下降。5、變磁通式傳感器有哪些優(yōu)缺點(diǎn)?答:變磁通式傳感器的優(yōu)點(diǎn)是對(duì)環(huán)境條件要求不高,能在-150 +900C的溫度條件下工作,而不影響測(cè)量精度,也能在油、水霧、灰塵等條件下工作。缺點(diǎn)主要是它的工作頻率下限較高,約為50Hz,上限可達(dá)100kHz,所以它只適用于動(dòng)態(tài)量測(cè)量,不能測(cè)靜態(tài)量。6、什么是霍爾效應(yīng)?霍爾式

24、傳感器有哪些特點(diǎn)?答:金屬或半導(dǎo)體薄片置于磁場(chǎng)中,當(dāng)有電流流過(guò)時(shí)。 在垂直于電流和磁場(chǎng)的方向上將產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì),這種物理現(xiàn)象稱為霍爾效應(yīng)?;魻杺鞲衅鞯奶攸c(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、堅(jiān)固、頻率 響應(yīng)寬(從直流到微波)、動(dòng)態(tài)范圍(輸出電動(dòng)勢(shì)的變化范圍)大、無(wú)觸點(diǎn)、使用壽命長(zhǎng)、 可靠性高、易于微型化和集成化。但它的轉(zhuǎn)換率較低,溫度影響大,在要求轉(zhuǎn)換精度較高時(shí) 必須進(jìn)行溫度補(bǔ)償。7、 某霍爾元件 I、b、d尺寸分別為 1.0cmX 0.35cm x 0.1cm,沿I方向通以電流 l=1.0mA , 在垂直于lb面方向加有均勻磁場(chǎng) B=0.3T,傳感器的靈敏度系數(shù)為 22V/A - T,試求其輸出 霍爾電動(dòng)勢(shì)及載

25、流子濃度。已知:IX b X d= 1.0cm x 0.35cm x 0.1cm; I=1.0mA ; B=0.3T ; kH=22V/A - T ;UH=?; n= ?如圖求: 解:而:UhUhkHkJB22 1.033100.36.6 10 V1nedn= nk H ed122 1.6 10 19 0.1 10 3 2.84 10 1/m8、試分析霍爾元件輸出接有負(fù)載 的條件。Rl時(shí),禾U用恒壓源和輸入回路串聯(lián)電阻R進(jìn)行溫度補(bǔ)償U(kuò)h Rl26如圖,設(shè):to時(shí),靈敏系數(shù)kH0 ;輸入電阻Ri0 ;輸出電阻Roo。t時(shí),靈敏系數(shù)kHt ;輸入電阻 兩者關(guān)系為:Rio ;輸出電阻Rot。kHtk

26、H 0 (1t)RtRio(1t)RotRoo(1t)因?yàn)椋篣HkH IB ;而:IV /(R R)所以:UHVl沁RoRlVBkH Rl(Ro Rl)(R Ri)Vl不隨溫度t變化的條件是:VloVLt而:VitVBRl kH 0 (1即有:Vl0Rl Roo(1t)RVBRLkHo(RlRoo)( RRio )VBRLkHo(1t)RlRoo(1t)R Rio(1t)t)Rio(1t)VBRlWo(Rl Roo)(R Rio)(RlRO0)(R Ri0)(R Rio)Roo (Rl ROo)Rio ROoRio t若忽略Ro的影響,即Roo=0,則有:Ri09、試說(shuō)明霍爾式位移傳感器的輸出

27、Uh與位移x成正比關(guān)系。答:因?yàn)榛魻栯妷簽椋篣H kHIB場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)即:B k1x。則有:Uh,若I 一定,而使霍爾元件在一個(gè)沿空間均勻梯度的磁kH Ik1x kx,所以霍爾式位移傳感器的輸出Uh與位移X成正比關(guān)系。10、霍爾式速度傳感器和磁電感應(yīng)式速度傳感器相比,各有哪些特點(diǎn)。答:霍爾式速度傳感器能測(cè)量慢速運(yùn)動(dòng)物體的速度。另外它的信號(hào)處理電路通常也集成在一起封裝的,無(wú)需外加信號(hào)處理電路,提高了抗干擾能力, 并且,大多數(shù)霍爾式速度傳感器輸出的是數(shù)字信號(hào),所以它與數(shù)字邏輯、微機(jī)及PLC兼容。而磁電感應(yīng)式速度傳感器不適合于測(cè)量低速運(yùn)動(dòng)的物體。其輸出為模擬信號(hào),若要輸出數(shù)字信號(hào)需要附加處理電路,另外,

28、 磁電感應(yīng)式速度傳感器可以應(yīng)用于較高溫度的環(huán)境,工作溫度超過(guò)300度,而前者工作溫度范圍較小。第六章思考題與習(xí)題1、什么是壓電效應(yīng)?當(dāng)在某些電介質(zhì)的極化方向上施加電場(chǎng), 當(dāng)外加電場(chǎng)散去,這些變形和應(yīng)力也隨答:沿著一定方向?qū)δ承╇娊橘|(zhì)加力而使其變形時(shí),在一定表面上產(chǎn)生電荷,當(dāng)外力取消, 又重新回到不帶電狀態(tài), 這一現(xiàn)象稱為正壓電效應(yīng)。這些電介質(zhì)在一定方向上產(chǎn)生機(jī)械變形或機(jī)械壓力, 之消失,此即稱為逆壓電效應(yīng)。2、為什么壓電傳感器不能測(cè)量靜態(tài)物理量? 答:壓電元件送入放大器的輸入電壓Uimd 33 FmJ1 2R2(Cf Cc Ci)2由上式可知,用當(dāng)作用在壓電元件上的力是靜壓力(3=0 )時(shí),前

29、置放大器輸入電壓等于零。因?yàn)殡姾删蜁?huì)通過(guò)放大器的輸入電阻和傳感器本身的泄漏電阻漏掉。所以壓電傳感器不能測(cè)量靜態(tài)物理量。3、壓電式傳感器中采用電荷放大器有何優(yōu)點(diǎn)?為什么電壓靈敏度與電纜長(zhǎng)度有關(guān)?而電荷 靈敏度與電纜長(zhǎng)度無(wú)關(guān)?答:P115補(bǔ)充題:1、有一壓電晶體,其面積為 20mm2,厚度為10mm,當(dāng)受到壓力p=10MPa作用時(shí),求產(chǎn)生 的電荷及輸出電壓:零度X切的縱向石英晶體;利用縱向效應(yīng)之 BaTiO3 (壓電陶瓷)。5 =10mm,P =10MPa,已知:S=20 mm2, 求: Q=?, V= ?解:又diiFd11 PSQ/Cadii PS4.62Q/(10而:d1110c0 rS)

30、Q )TTs2.31 10 12(c/ N)而:r4.5、08.85 10-12(F/m)解Q/Ca5797.8(V)d33 Fd33PS而:d 3390 1012(c/N)宀33 PS3.8 10同上:又Q/CaQ/(亠馬而:-12r 1200、08.85 10(F/m)Q/Ca1788.3(V)因:k()R(Ca Cc C i )J12R2(Ca Cc Ci)2高頻響應(yīng)時(shí):*kk( )1而:*kLk(*k)5%則:k()R(Ca Cc Ci)J12R2(Ca Cc Ci)2其中:RRa RiRi 106CaCcCi4050 pF ;L2 fL解得:fLLC2-119.5Hz解依據(jù)教材p11

31、3(6-15)式95%2、某壓電晶體的電容為1000pF;Kq=2.5C/cm,Cc=3000pF,示波器的輸入阻抗為1M Q和并聯(lián)電容為50pF,求;壓電晶體的電壓靈敏度;最低頻率時(shí)多少?如頻率為測(cè)量系統(tǒng)的高頻響應(yīng)如系統(tǒng)允許的測(cè)量幅值誤差為5%,可測(cè)10HZ,允許誤差為5%,用并聯(lián)方式,電容值是多少?已知:Ca 1000 pF; kq2.5C/N ; Cc 3000 pF; R 1M ; Ci 50pF求: kv ? 高頻響應(yīng),kv Um( L 5% 時(shí),fLC ? f 10Hz, L 5%,并聯(lián)電容Ci 解)/FmkVkq /CakV 2.5 109(V/N)解依據(jù)教材p113(6-14)

32、式kvUm( )/Fmd 33Ca Cc Ci;而:kq Q/F d33F/Fd33kvkqCa Cc Ci6.17 1O8(V/N)解因:Lk k( )5%k則:k()R(Ca Cc Ci)95%&2R2(Ca Cc Ci)2其中:Ra / Ri10Hz,Ri 1062 f解得:C CaCc C 48447 pF5pC/g,電2V,試求該3、用石英晶體加速度計(jì)及電荷放大器測(cè)量機(jī)器的振動(dòng),已知:加速度計(jì)靈敏度為 荷放大器靈敏度為 50mV/pC,當(dāng)機(jī)器達(dá)到最大加速度值時(shí)相應(yīng)的輸出電壓幅值為 機(jī)器的振動(dòng)加速度。已知:ka=5pC/g, kq=50mV/pC,Vomax=2V求:amax=

33、 ?解:因?yàn)?kaQ/a; kqV0/Q則有:V0kakqa所以:amaV0maxC8g4、石英晶體壓電式傳感器,面積為1cm2,厚度為1mm,固定在兩金屬板之間,用來(lái)測(cè)量通過(guò)晶體兩面力的變化。材料的彈性模量是 9X 1010 Pa,電荷靈敏度為2pC/N,相對(duì)介電常數(shù) 是5.1,材料相對(duì)兩面間電阻是1014Q。一個(gè)20pF的電容和一個(gè)100M Q的電阻與極板相5 =1mm,E=9 x 1010 Pa,kq=2 pC/N, s r=5.1,Ra=1014 Q,Ci=20 pF, Q,F(xiàn)=0.01sin(103t) N,F(xiàn)max=0.01 N,o =103max= ?連。若所加力F=0.01si

34、n(103t)N,求;兩極板間電壓峰一峰值;晶體厚度的最大變化。已知:S=1cm2,Ri=100M 求: Vop-p=?解由圖知CiR, %U0 (Ga Gi) j (Ca Ci)?而:IdQ"dT所以:U0QJ(Ga Gi)22(Ca Ci)2則:U0mJ(Ga G)2Qm2(CaCi)2又因:QmkqFm2 0.010.02pC則有: 解Vop-p=2Uom=1.5mV因?yàn)?F/S則有:FES即有:FmES所以:max2FmES2.21012m第七章思考題與習(xí)題1、光電式傳感器常用光源有哪幾種,哪些光源可用作紅外光源?答:光電式傳感器常用光源有自然光源和人造光源,人造光源包括熱輻

35、射光源、 氣體放電光源、電致發(fā)光光源和激光光源??勺鳛榧t外光源的有白熾燈、Nd : YAG固體激光器、氦氖激光器、半導(dǎo)體激光器和染料激光器等。2、光電式傳感器常用接收器件有哪幾種,各基于什么原理各有什么特點(diǎn)?答:光電式傳感器常用接收器件按原理可分為熱探測(cè)器和光子探測(cè)器兩類。熱探測(cè)器是基 于光輻射與物質(zhì)相互作用的熱效應(yīng)。它其特點(diǎn)是:對(duì)波長(zhǎng)沒(méi)有選擇性(具有寬廣和平坦的光譜響應(yīng)),只與接收到的總能量有關(guān),適應(yīng)于紅外探測(cè)。而光子探測(cè)器是基于一些物質(zhì)的光 電效應(yīng),即利用光子本身能量激發(fā)載流子。其特點(diǎn)是:具有一定的截止波長(zhǎng),只能探測(cè)短于 這一波長(zhǎng)的光線,但它們的響應(yīng)速度快,靈敏度高,使用廣泛。MOS光敏單

36、元和讀出移3、電荷藕合器件有哪幾種,各有那幾部分組成? 答:電荷藕合器件有線陣電荷耦合器件和面陣電荷耦合器件。它由 位寄存器組成。4、電荷藕合器件中的信號(hào)電荷是如何傳輸?shù)??答:以典型的三相CCD為例說(shuō)明CCD電荷轉(zhuǎn)移的基本原理。三相 CCD是由每三個(gè)柵為一 組的間隔緊密的 MOS結(jié)構(gòu)組成的陣列。每相隔兩個(gè)柵的柵電極連接到同一驅(qū)動(dòng)信號(hào)上,亦 稱時(shí)鐘脈沖。三相時(shí)鐘脈沖的波形如下圖所示。在t1時(shí)刻,$1高電位,$2 $3低電位。此t2時(shí)刻,$1 $2為高電位,$3為低電位,則 0 1下面存儲(chǔ)有電荷,則 $1勢(shì)阱的實(shí)際深度比 $2下轉(zhuǎn)移,直到兩個(gè)勢(shì)阱中具有同樣多的電荷。$1 $2下的兩個(gè) $2電極下面

37、的勢(shì)t3時(shí)刻,$2仍時(shí)$1電極下的表面勢(shì)最大,勢(shì)阱最深。假設(shè)此時(shí)已有信號(hào)電荷(電子)注入,則電荷就被 存儲(chǔ)在$1電極下的勢(shì)阱中。勢(shì)阱的空阱深度相同,但因 阱淺,$1下面的電荷將向?yàn)楦唠娢唬? 3仍為低電位,而 01由高到低轉(zhuǎn)變。此時(shí) 01下的勢(shì)阱逐漸變淺,使 01下的 剩余電荷繼續(xù)向 0 2下的勢(shì)阱中轉(zhuǎn)移。t4時(shí)刻,0 2為高電位,01、0 3為低電位,0 2下面的 勢(shì)阱最深,信號(hào)電荷都被轉(zhuǎn)移到0 2下面的勢(shì)阱中,這與t1時(shí)刻的情況相似,但電荷包向右移動(dòng)了一個(gè)電極的位置。當(dāng)經(jīng)過(guò)一個(gè)時(shí)鐘周期T后,電荷包將向右轉(zhuǎn)移三個(gè)電極位置,即一個(gè)柵周期(也稱一位)。因此,時(shí)鐘的周期變化,就可使 CCD中的電荷

38、包在電極下被轉(zhuǎn) 移到輸出端,其工作過(guò)程從效果上看類似于數(shù)字電路中的移位寄存器。5、簡(jiǎn)述利用CCD進(jìn)行工件尺寸測(cè)量的原理及測(cè)量系統(tǒng)的組成。的裝置中,有:答:利用CCD進(jìn)行工件尺寸測(cè)量的原理是根據(jù)工件成像輪廓覆蓋的光敏單元的數(shù)量來(lái)計(jì)算 工件尺寸數(shù)據(jù)。如果在光學(xué)系統(tǒng)放大率為1/ML (Nd2d)M32d相鄰光敏單元中心距離(± 2d為圖像末式中:L 工件尺寸;N 覆蓋的光敏單元數(shù); 端兩個(gè)光敏單元之間可能的最大誤差)。CCD測(cè)量系統(tǒng)由光學(xué)系統(tǒng)、圖像傳感器和微處理機(jī)等組成。 6、試述用一維PSD進(jìn)行距離測(cè)量的原理。答:一維PSD結(jié)構(gòu)圖如下:入射光點(diǎn)由于橫向光電效應(yīng),當(dāng) PSD工作在反向偏壓狀

39、態(tài)時(shí)(公用極3正電壓),流經(jīng)電極1、2的電流I1和I2與入射光的強(qiáng)度和入射光點(diǎn)的位置有關(guān)。如下式:IiIi-(1212(1XA)I0L2-Xa)I0由上兩式得:XaI2 I1 LI2 I1式中:XA為入射光點(diǎn)位置;L為PSD的長(zhǎng)度。 顯然,通過(guò)11與I2可確定入射光點(diǎn)位置 XA。e c表達(dá)式,計(jì)算水(n=1.33)與空氣(n1)分界面7、利用由斯乃爾定律推導(dǎo)出的臨界角 的e c的值。n 1=1.33已知:n0=1 ;求:e c= ?解:n1 sinno sin而: e /=900, e = e cc arcsin( no / nJarcsi n(1/1.33)48.75°8、求 n1

40、=1.46, n 2=1.45 的光纖的 NA 已知:n1=1.46; n2=1.45 ; n0=1 求:NA=?;解:值;若外部的n0=1,求最大入射角e c =?解:e m= ?# 2 2、1/2g n2)(2.13 2.10)1/20.173NA no sin cNAnoSin cc arcsin 出 9.96°no9、光纖傳感器有哪幾種調(diào)制方式 ?答:光纖傳感器有 3種調(diào)制方法,即:光強(qiáng)度調(diào)制型、光相位調(diào)制型和光偏振態(tài)調(diào)制型。10、利用光纖傳感器進(jìn)行位移測(cè)量的方法有哪些?簡(jiǎn)述其工作原理。答:利用光纖傳感器進(jìn)行位移測(cè)量主要有反射方式和瞬逝波方式兩種方法。反射式光纖傳感器工作原理

41、是從發(fā)射光纖出射的光經(jīng)被測(cè)物表面直接或間接反射后, 接收光纖傳到光電器件上,光量隨反射面相對(duì)光纖端面的位移而變化而實(shí)現(xiàn)測(cè)量位移的目 的。瞬逝波光纖傳感器工作原理是兩光纖端面斜切,端面對(duì)光纖軸線有相同角度, 斜面拋光,以便光線再接收光纖頭內(nèi)形成全反射。當(dāng)兩光纖距離較遠(yuǎn)時(shí), 沒(méi)有光通過(guò)斜切面耦合到接收光纖。但是,當(dāng)兩斜切面非常接近時(shí),由于光是一種電磁波,全內(nèi)反射時(shí)雖然沒(méi)有光能進(jìn)入相鄰介質(zhì),但電磁波卻能進(jìn)入相鄰介質(zhì)一定的深度,此電磁波就稱為瞬逝波。所以,當(dāng)兩切 面距離小于光波波長(zhǎng)時(shí),將有部分光透過(guò)間隙耦合到接收光纖,距離越近,耦合能量越大, 根據(jù)此原理,可制成光纖位移傳感器。標(biāo)尺光柵、 其中一塊用作

42、標(biāo)尺光柵, 它 ,兩者刻線面相11、試述光柵式傳感器的基本工作原理。答:光柵式傳感器是利用光柵的莫爾條紋進(jìn)行測(cè)量測(cè)。光柵式傳感器一般由光源、指示光柵和光電器件組成。 測(cè)量時(shí)取兩塊光柵常數(shù)相同的光柵,組成光柵副。將其置于光源和透鏡形成的平行光束的光路 則在近似垂直于柵線方向上顯現(xiàn)出比柵距寬很多的明 莫爾條紋近似沿柵線經(jīng)電路處理后用計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù),可得可以移動(dòng)(或固定不動(dòng)),另一塊用作指示光柵,它固定不動(dòng)(或可以移動(dòng)) 對(duì),中間留有很小的間隙相疊合, 中,若兩光柵柵線之間有很小的夾角, 暗相間的莫爾條紋,當(dāng)標(biāo)尺光柵沿垂直于柵線方向每移過(guò)一個(gè)柵距時(shí), 方向移過(guò)一個(gè)條紋間距。 用光電器件接收莫爾條紋信號(hào),

43、 到標(biāo)尺光柵移過(guò)的距離,實(shí)現(xiàn)測(cè)量位移的目的。將其置于光源和透鏡形成的平行光12、莫爾條紋是如何形成的?它有哪些特性? 答:把兩光柵刻線面相對(duì), 中間留有很小的間隙相疊合,束的光路中,若兩光柵柵線之間有很小的夾角,則由于兩光柵的柵線相互擋光作用的結(jié)果, 在近似垂直于柵線方向上顯現(xiàn)出比柵距寬很多的明暗相間的莫爾條紋。莫爾條紋具有運(yùn)動(dòng)有嚴(yán)格對(duì)應(yīng)關(guān)系、位移放大作用和誤差平均效應(yīng)等特點(diǎn)。13、試分析為什么光柵式傳感器有較高的測(cè)量精度?14、 長(zhǎng)、圓光柵各有哪些種莫爾條紋?那些事常用的?10-6s ,15、用四只光敏二極管接受長(zhǎng)光柵的莫爾條紋信號(hào),如果光敏二極管的響應(yīng)時(shí)間為 光柵的柵線密度為 50線1mm,試計(jì)算長(zhǎng)光柵所允許的運(yùn)動(dòng)速度。16、 與單頻激光干涉儀相比較,說(shuō)明雙頻激光干涉儀有哪些特點(diǎn)?17、激光

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