光電課程設計

1、激光干涉法測量微位移的設計電科1104班 劉海濤 學號:201011911422 位移的量值范圍差異很大（在制造工業(yè)中nm-m-mm 直至數(shù)十米；秒分度以下或幾度至幾十度），檢測可以是接觸式或非接觸式，加之對檢測準確度、分辨力、使用條件等要求不同，因此有多種多樣的檢測方法。 隨著光學檢測元件和精密制造工藝的提高以及電子元器件的發(fā)展，伴隨計算機的更新?lián)Q代和工業(yè)自動控制技術的不斷進步，利用光電結合的方法是解決問題的有效途徑，如光柵碼盤、激光干涉法、三角法、光斑散射法，其測量精度高、反應速度快、易于實現(xiàn)數(shù)字化測量。在光學干涉測量法中，激光多普勒效應測量方法具有動態(tài)響應快、線性度好

2、、測量范圍大、精度高等許多獨特的優(yōu)點，得到了更加廣泛的應用，有很好的發(fā)展前景。為了滿足微位移測量的非接觸、高精度等要求本文設計、制作了一種基于激光多普勒效應的測微位移系統(tǒng)，和傳統(tǒng)的微位移測量儀器相比，其精度、誤差、靈敏度及穩(wěn)定度都有較大提高，并實現(xiàn)了對微位移的自動非接觸測量。干涉測量法是基于光波的干涉原理測位移的方法。激光的出現(xiàn)使干涉測量位移的應用范圍更加廣泛。其測量的基本原理是:由激光器發(fā)出的光經(jīng)分光鏡分為兩束，一束射向干涉儀的固定參考臂，經(jīng)參考反射鏡返回后形成參考光束；另一束射向干涉儀的測量臂，測量臂中的反射鏡隨被測物體表面的位移變化而移動，這束光從測量反射鏡后形成測量光束。測量光束和參考

3、光束的相互疊加干涉形成干涉信號。干涉信號的明暗變化密度與被測測位移成反比。因此，由光接收器件光電顯微鏡得到的明暗變化密度可以得出被測位移的值1。 干涉法原理簡單、構造容易，測量精度高，測量范圍大，適用于實時動態(tài)測量而被廣泛應用于位移測量。目前干涉測量按測量對象不同大致可分為全息干涉測量、散斑干涉測量和光柵位移激光多普勒測量。隨著科技的進步，對測量精度的要求越來越高，激光多普勒技術的非接觸、高精度測量的優(yōu)點使它得到蓬勃發(fā)展。激光多普勒測量有空間分辨率高、測量精度高、多普勒頻移與位移成線性關系、動態(tài)響應快，信號用光來傳遞，慣性極小，可以進行實時測量、激光多普勒測量是非接觸式測量，激光會聚

4、的干涉體積小，即是測量探頭在通常情況下對被測的流場和物體等沒有干擾等優(yōu)點。通過比較，確定以多普勒效應為基礎的激光干涉測量法為系統(tǒng)設計方案。光路部分任何形式的波傳播，由于波源、接收器、傳播介質(zhì)或中間反射器或散射體的運動，將使頻率發(fā)生變化，這種頻率變化稱作多普勒頻移。由被測物運動所散射的光的頻移應當作為一個雙重多普勒頻移來考慮。光源發(fā)射一束光入射到運動物體表面(如圖1所示)，運動物體相對于光源來說，相當于接收器，從光的多普勒效應考慮15，接收到的頻率將隨運動體的速度增加：fm=f0(1+ucos1C) (1)式中f0為光源輻射頻率，u為運動物體表面速度，1為入射光和運動方向夾角，c為真空中光速；運

5、動物體又相當于一個發(fā)射天線，把接收到的輻射波光源接收器21運動體發(fā)射出來，在2方向的接收器也因多普勒效應，收到頻率增高的光波信號為: f=fm1-ucos2c=f01+ucos1c1-ucos2c (2)式（2）中 1-ucos2C-1=1+ucos2C+（ucos2C）2+（ucos2C）3+因為在關心的速度范圍內(nèi)uc1,對上面的展開式取一級近似 1-ucos2C-1=1+ucos2C （3）把式（3）帶入（2）中得 f=fm1-ucos2c=f01+ucos1c1-ucos2c=f01+ucos1C1+ucos2C= f0(1+ucos1C+ucos2C+ucos1Cucos2C)忽略式中

6、的高次項，得 f=f01+uccos1+cos2 （4）所以速度為u的運動體產(chǎn)生的多普勒頻移為 df=f-f0=ucf0cos1+cos2=u0cos1+cos2 (5)用同樣方式可得到 df=uf0cos1+cos2 (6） 即當光源和接收器都在運動方向一側，并且運動物體與接收器做相向運動時，按收器接收的光頻率增加，波長減小。當光線垂直入射并接受回波信號時，即1=2=0，則 df=u0cos1+cos2=2u0 (7) d=uf0cos1+cos2=2uf0 對式(7)兩端時間積分得:St=Ft2 (8)式中St為被測物體位移量，F(xiàn)t為干涉條紋移動數(shù),系統(tǒng)只要檢測出條紋移動數(shù)就可以得出被測物

7、體的位移量。光信號檢測部分1 混頻技術光混頻技術即相干檢測技術，或稱為頻率調(diào)制技術。假設有兩列波，其中一列波表達式為E=E1cos1t+1另一列波表達式為E=E2cos2t+2，則合成波的振幅為 E=E1cos1t+1+E2cos2t+2 （9）式(9)中，E1，E2是兩入射波的振幅，1，1是兩入射波的角頻率，1，2是兩入射波的初相位。當相差1，2不是很大時，兩列波疊加后表現(xiàn)為駐波列，駐波的頻率是兩列入射波的頻率之差，相當于在載波上施加了一個調(diào)制信號。當這一疊加波輸入到平方律檢測器時，檢測器只能對合成波的強度起響應。根據(jù)式(9)有 E2=E1cos1t+1+E2cos2t+22 =E12cos

8、1t+12+E12cos1t+12+2E1E2cos1t+1cos2t+2 =E12cos1t+12+E12cos1t+12+E1E2cos1t+1t+1+2+E1E2cos1t-1t+1-2 (10)式(10)所示的信號經(jīng)過具有高頻截止功能的光電檢測器后，頻率高于1-2的信號都不能通過，式(10)中的前三項只能輸出其平均值。cost2的平均值是1/2 ， cos1-2t 的平均值是0，因此式(10)最終成為 E=E12+E222+E1E2cos1-2t+1-2 (11)放在光合成路徑中的光電檢測器，將產(chǎn)生調(diào)制在差拍頻率上的電信號。下圖給出了理論上光電檢測器輸出的信號波形圖。2 PIN光電二極

9、管光電二極管的光探測方式有兩種結構: 一是光伏模式,在這種模式下,光電二極管處于零偏狀態(tài),不存在暗電流Id ，有較低的噪聲，線性好，適合于比較精確的測量；二是光導模式，在這種模式下，需給光電二極管加反向偏置電壓，存在暗電流Id，由此會產(chǎn)生較大的噪聲電流，有非線性，通常應用在高速場合17。光電二極管的特點：(1)反向電流隨入射光照度的增加而變大,在一定反向電壓范圍內(nèi)，反向電流的大小幾乎與反向電壓無關；(2)在入射光照一定時，光電二極管相當于恒流源，其輸出電壓隨負載電阻增大而升高；(3)光電二極管的暗電流Id 很小，光電流IL 較大。光照下PIN光電二極管PN結的伏安特性為: I=I0eqvkT-

10、1-IL (12)式中，I0為PN結的反向飽和電流，V為包括外電壓和光電壓的實際結電壓；K為玻爾茲曼常數(shù)，T為探測器的工作溫度。由式子可以得出以IL為參量的伏安特性曲線，從圖中可以看出光電二極管的反向輸出電流與照強度成正比。它包括光電流IP，暗電流Id，結電阻Rd，結電容Cd的并聯(lián)。其中暗電流對應于工作電壓下沒有光照時的輸出電流，RS為串聯(lián)電阻，其值遠小于負載電阻RL，通?？梢院雎浴Ｔ趹脮r，要求光伏探測器工作在線性范圍內(nèi)，因此必須保證Rd>>RL>>RS，器件近似以短路方式工作。短路電流I與入射到探測器上的光功率P0成正比，并且不受工作溫度的影響。3 利用PIN光電二

11、極管檢查光信號光電二極管的輸出電流信號很小(在微安級)、信號頻率范圍大( 從直流到1 MHz方波)。為了提取有用信息，必須先將該電流信號變換為電壓信號，然后再進一步放大。為獲得最佳的效果，在電路設計時必須考慮高增益、低噪聲及寬頻帶的要求2。（1）提高響應度與輸出的線性PIN 光電二極管沒有內(nèi)部增益(即只有單位增益)，因此他對光的響應度是不高的。在單位增益中一個入射光子只產(chǎn)生一個電子的光電流。根據(jù)波長,其最高量子效率(轉換效率) 為92%。因此在使用時必須把光電二極管輸出的電信號放大。典型的光電轉換電路如上圖所示。電路中光電二極管工作于光導模式,可探測微弱的光，另外運算放大器可以獲得高達107或

12、更高的增益；因此，圖2.7可有效提高光響應度。實際上,這也是一個I-V 變換器,由于負反饋的原因,運算放大器的等效輸入阻抗為: Rin=Rf1+AVORidRf1+AVO (13)式中Rid是運算放大器的開環(huán)輸入阻抗，對場效應管輸入的情形， Rid>1010。AVO是開環(huán)放大倍數(shù), 一般AVO 大于106 ，將這些值代入式（13）可知Rin 的值很小，接近于0 （此時光電流與輻照光功率成良好的線性關系）。又由于運算放大器的開環(huán)輸入阻抗Rid很大(虛斷) ,光電二極管的電流都流入了反饋電阻,故運放的輸出電壓為 Vout=RfIs (14)其中Is是光電二極管的短路輸出電流,其值與輻照光功率

13、成正比,由此可見該電路的輸出電壓與入射光功率成良好線性關系。（2）降低噪聲光電二極管、電阻及運算放大器等器件都存在散粒噪聲、熱噪聲等。放大器在放大光電二極管輸出信號的同時將噪聲也放大了，從而影響系統(tǒng)的分辨率。反饋電阻Rf在輸出端造成的噪聲分量為: VnRf=RfRdKCf (15) 帶寬f=2fc=1/4RfCf可見，采用Rd較大的光電二極管，反饋電阻Rf 較小的運算放大電路將使輸出噪聲減小。隨著頻率的增加， Cf的作用開始表現(xiàn)出來， 信號電流的放大倍數(shù)開始下降，轉折頻率為1/2RfCf。而噪聲電壓與信號電流的幅頻特性完全不同。在直流段和較低頻率時噪聲電壓的放大倍數(shù)為 1+Rf/Rd隨著頻率的

14、增加，噪聲增益曲線首先由于Cj的作用開始升高，直至由于電容Cf 的作用而停止。在高頻段，噪聲增益被限定在1+Cj/Cf 。由此可見 Rd 越大， Cj 越小，噪聲的影響越小。加入Cf可限制高頻段的噪聲增益。另外由于運算放大器存在著失調(diào)電壓和失調(diào)電流，且隨溫度的變化而變化。雖然失調(diào)電壓和失調(diào)電流在電路調(diào)整時能加以補償，但是溫度漂移的影響將在電路的輸出端形成噪聲。為降低放大電路的輸出噪聲，需要選用輸入失調(diào)電壓溫漂及輸入失調(diào)電流溫漂都較小的運算放大器，同時選用Rd值大的光電二極管并盡量控制溫度變化范圍。（3）放大電路頻帶寬度與響應速度的提高光電檢測電路的響應速度與光電二極管、運算放大器及應用狀況有關

15、系: 光電二極管的響應速度與他的有效工作區(qū)有關。有效工作區(qū)小的器件響應速度快。不同的運算放大器響應速度不同，要提高電路的響應速度，需要選擇合適的運算放大器。在應用電路方面，光導模式的響應速度比光伏模式快。另外負載的大小與性質(zhì)對響應速度也有影響。負載電阻越大，響應速度越慢。因此為提高電路的響應速度及帶寬，除了選擇合適的元器件外，還應在電路設計方面采取相關措施。系統(tǒng)的硬件結構系統(tǒng)硬件主要由光路部分，光信號檢測部分，信號調(diào)理部分，計數(shù)處理及辯向部分，信號處理部分，顯示部分組成。下圖給出了整個系統(tǒng)的硬件結構框圖。1光源的選擇和一般光源相比，激光有以下四個特點：(1)亮度高由于激光的發(fā)射能力強和能量的高

16、度集中，所以亮度很高，它比普通光源高億萬倍，比太陽表面的亮度高幾百億倍。亮度是衡量一個光源質(zhì)量的重要指標，若將中等強度的激光束經(jīng)過會聚，可在焦點處產(chǎn)生幾千到幾萬度的高溫。 (2)方向性性好激光發(fā)射后發(fā)散角非常小，激光射出20公里，光斑直徑只有20-30厘米，激光射到38萬公里的月球上，其光斑直徑還不到2公里。 (3)單色性好 光的顏色由光的波長決定，不同的顏色，是不同波長的光作用于人的視覺而反映出來的。激光的波長基本一致，譜線寬度很窄，顏色很純，單色性很好。(4)相干性好相干性是所有波的共性，但由于各種光波的品質(zhì)不同，導致它們的相干性也有好壞之分。普通光是自發(fā)輻射，不會產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。激光不同于

17、普通光源，它是受激輻射，具有極強的相干性。氦氖氣體激光器的激光波長為0.632um，很接近光電二極管的峰值響應波長的光譜靈敏度。與其他激光器相比，用相同功率光束照明時，將得到較大的輸出信號。而且該激光器的制造技術比較成熟，結構簡單、使用方便、價格便宜，故選用氦氖氣體激光器作為光源3。系統(tǒng)光路結構示意圖2 光信號檢測電路光電檢測前置放大電路在直流情況下，該反饋由C2斷開，此時放大器的開環(huán)增益是兩個放大器開環(huán)增益的乘積。合理的設置R4/R3比值有減小噪聲帶寬的功效。圖中R2是為了補償R1過大造成的直流誤差。R2上的Cp是為了去除它上面的雜散噪聲。C1的確定要根據(jù)截至頻率fc-3dB=1/2RC來計

18、算。運算放大器選用了高輸入阻抗的OPA627。3信號調(diào)理電路由于信號中含有頻率成分較多噪聲的低頻成分，因此采用帶通濾波器濾除噪聲，提高信噪比。系統(tǒng)運用有源高通濾波器，其中有源濾波器成本低，質(zhì)量可靠及寄生影響小，設計和調(diào)整過程簡便，阻帶衰減速度比無源濾波器快，因而有源高通濾波器更適合該系統(tǒng)低頻濾波如圖。系統(tǒng)高通濾波電路選擇C1=C2=C3=C4=20pf。取R1=5k, R2=15k, R3=51k, R5=4.7k。截至頻率Fc=1R1R2C1C2*12=1R3R5C3C4*12=0.92M考慮信號帶寬要求設置增益為A=（-60/40）×（-60/40）=9/4推動放大電路設計成反相

19、放大，主要由集成運放及外圍元件組成4。主放電路的設計要考慮帶寬、功耗、噪聲、響應速率等各方面因素, 本設計里選用了一款超低失真、低噪聲、高壓擺率的運算放大器。它是一種較理想的應用于寬動態(tài)范圍、高精度、高速環(huán)境下的運算放大器。由前置放大輸出的電信號約為幾十毫伏。為滿足后續(xù)整形器的閥值電壓設置放大倍數(shù)為200倍，本電路選用AD8045集成運放，管腳如圖其單位增益帶寬是1GHZ，在增益200的條件下帶寬完全滿足要求。C4、C5、C6、C7為了去除電源的抖動波紋的退耦電容。主運放電路根據(jù)系統(tǒng)測位移的原理知道，需將濾波放大輸出信號整形為方波以便后續(xù)計數(shù)器進行計數(shù)再送入單片機處理。整形的實現(xiàn)是通過門限比較

20、器實現(xiàn)的。系統(tǒng)采用常用有施密特觸發(fā)器的六反相器74LS14。4 計數(shù)處理電路本部分由4片4位可預置數(shù)同步計數(shù)器（異步清零）74LS161、數(shù)據(jù)鎖存器74HC573、反向器40106組成。這部分的作用是將測量信號和基準信號的計數(shù)值鎖存到鎖存器以及通過反向器的進位信號產(chǎn)生中斷記錄進位數(shù)供單片機讀取從而進行數(shù)據(jù)處理。5 信號處理部分及顯示本部分由單片機AT89S52和162 LCD液晶顯示器組成。核心是單片機AT89S52，數(shù)據(jù)的處理，控制計數(shù)器清零，數(shù)據(jù)選擇器，鎖存器鎖存及液晶顯示器顯示位移等都由單片機完成。系統(tǒng)軟件的設計單片機開發(fā)中除必要的硬件外，同樣離不開軟件，編寫的匯編語言源程序要變?yōu)镃PU

21、可以執(zhí)行的機器碼有兩種方法，一種是手工匯編，另一種是機器匯編，目前已極少使用手工匯編的方法了。機器匯編是通過匯編軟件將源程序變?yōu)闄C器碼，用于MCS-51單片機的匯編軟件有早期的A51，隨著單片機開發(fā)技術的不斷發(fā)展，從普遍使用匯編語言到逐漸使用高級語言開發(fā)單片機的開發(fā)軟件也在不斷發(fā)展，Keil軟件是目前最流行開發(fā)MCS-51系列單片機的軟件。1 系統(tǒng)程序流程圖系統(tǒng)單片機AT89S52配合硬件電路完成數(shù)據(jù)的自動采集，計算處理，顯示位移的任務。系統(tǒng)程序流程圖系統(tǒng)啟動首先執(zhí)行啟動檢測程序即檢測兩路信號（參考信號和測量信號）是否頻率相等。如果檢測到頻率不等說明測量已啟動然后執(zhí)行位移測量程序，采集數(shù)據(jù)，計

22、算得出位移值，最后通過LCD顯示程序顯示位移值。測量程序包括數(shù)據(jù)采集，數(shù)據(jù)分析計算，辯向測量等。系統(tǒng)軟件流程圖如上圖。2 啟動檢測程序 程序執(zhí)行過程中首先進行系統(tǒng)初始化，包括對LCD的顯示模式、清屏，設定定時器0的工作模式和裝初值以及開啟外部中斷0等等。當初始化完畢之后，系統(tǒng)程序進入判斷測量是否開始，即進入一個比較函數(shù)，該函數(shù)先通過P3.1對計數(shù)器清零，一段時間后通過P1、P0口讀取計數(shù)值，然后通過P3.0置高選擇另一路信號（即測量信號）同樣清零，相同時間后讀取計數(shù)值，將兩值想比較，如果相等表示測量未啟動，因為測量信號相對參考信號未發(fā)生頻移；如果不相等代表測量已經(jīng)開始執(zhí)行下一步，同時啟動定時器

23、0和定時器1。WS=0; 數(shù)據(jù)選擇參考信號j0=P1;k0=P0; j1=P1; k1=P0; 讀取P1、P0計數(shù)值 ee=cc; 讀取進位值 q=k0+j0*256+dd*256*256; 計算參考信號10ms內(nèi)總的計數(shù)值 r=k1+j1*256+ee*256*256; 計算測量信號10ms內(nèi)總的計數(shù)值 if(r-q)<3) 判斷是否啟動 bb=1; 定義相應變量值 else bb=2;3 位移測量程序定時器0是為了記錄從測量開始到實時的時間以便計算出t時間內(nèi)測量信號與參考信號的計數(shù)差值即還原系統(tǒng)的位移值。定時器1是為了在設定的時間內(nèi)執(zhí)行比較程序診斷系統(tǒng)是否停止測量，如果沒有停止繼續(xù)跳

24、回主程序執(zhí)行測量，如果已停止，則跳出到循環(huán)檢測是否啟動程序以待下一次啟動繼續(xù)測量。外部中斷0是記錄測量過程中進位的次數(shù)，以便完整的處理計數(shù)值還原位移量。while(bb=2) 查詢變量值判斷測量已啟動； gao=1; di=1; TMOD=0x01; 設置定時器0的工作模式為1； TH0=(65536-50000)/256; 根據(jù)定時時間裝初值高八位； TL0=(65536-50000)%256; 根據(jù)定時時間裝初值低八位； EA=1; 開總中斷； ET0=1; 開定時器0中斷； TR0=1; 啟動定時器0； ET1=1; 開定時器1中斷； TR1=1; 啟動定時器1； gao=0; 鎖存數(shù)據(jù)

25、； di=0; j=P1; k=P0; 讀取端口計數(shù)值； write_com(0x80); 動態(tài)顯示時須先清屏； a=(j*256+k+cc*256*256-(ff*50)*q/2)*0.5*0.0006328;位移4 測量辯向程序在微位移的實際測量過程中，由于需要或外界振動等干擾，可能會使被測物體產(chǎn)生正、反兩個方向的位移，在這種情況下若只采用單一的測量程序將會帶來測量誤差。因此，必須對被測物體位移方向進行判斷并作出相應數(shù)據(jù)處理。系統(tǒng)通過定時器1中斷判斷測量信號的頻率與參考信號的頻率大小。如果頻率低于參考信號表示被測物相反移動了，則系統(tǒng)應相應作出數(shù)據(jù)處理。 s=P1; 讀取中斷此時得數(shù)據(jù)高八位

26、； t=P0; 讀取低八位； w=cc; 讀取進位值； gao=1; di=1; delay(2); gao=0; di=0; u=P1; 延時2ms后再次讀取計數(shù)值； v=P0; if(u*256+v+cc*256*256-s*256-t-w*256*256)-q)<0) 判斷是否反向； bx=1; 定義一個變量值返回；通過系統(tǒng)軟件實現(xiàn)辯向測量大大減小了硬件電路的復雜性。5 LCD顯示程序單片機采集數(shù)據(jù)處理將計數(shù)值還原為位移量之后須將位移值通過LCD顯示。單片機操作LCD時須根據(jù)一定的時序，圖為162LCD寫操作時序圖。在顯示數(shù)據(jù)之前，須初始化設置LCD的工作模式，顯示光標，數(shù)據(jù)指針以

27、及清屏等。lcden=0; 開始使能置低；write_com(0x38); 設置16X2顯示，5X7點陣，8位數(shù)據(jù)接口；write_com(0x0e); 開顯示，顯示光標，光標不閃爍；write_com(0x06); 寫數(shù)據(jù)后地址自動加一，整屏不移動；write_com(0x01); 清屏；write_com(0x80); 設置地址指針為0；LCD時序圖在顯示數(shù)據(jù)時，因為系統(tǒng)設定精確度為10um ，須保留小數(shù)點后5位，暫定系統(tǒng)的測量范圍小于100m，則顯示時須根據(jù)不同數(shù)據(jù)范圍控制小數(shù)點的顯示位置。即當數(shù)據(jù)小于10時，小數(shù)點在第二位顯示；當數(shù)據(jù)大于10小于100時小數(shù)點在第三位顯示。a=a*10

28、0000; a為位移值，將a值擴大10萬倍方便計數(shù)各數(shù)據(jù)位值b=(long int)a)/100000; 確定個位值；c=(long int)a)%100000/10000; 確定小數(shù)點后第一位值；d=(long int)a)%10000/1000; 確定小數(shù)點后第二位值；e=(long int)a)%1000/100; 確定小數(shù)點后第三位值；f=(long int)a)%100/10; 確定小數(shù)點后第四位值；g=(long int)a)%10; 確定小數(shù)點后第五位值；write_dataa(b+48); 顯示第一位；write_data('.'); 顯示小數(shù)點；write_d

29、ata(c+48); 顯示第三位；write_data(d+48); 顯示第四位；write_data(e+48); 顯示第五位；write_data(f+48); 顯示第六位；write_data(g+48); 顯示第七位；在顯示數(shù)據(jù)時，因為LCD包括計算機信息交互都是以ASCII碼顯示的，查閱ASCII碼表實際數(shù)字和顯示數(shù)字之間相差48，所以寫數(shù)據(jù)時須在值上加上48。仿真調(diào)試與分析1 前置放大調(diào)試仿真時用1.5MHZ，500uA電流代替PIN光電二極管輸出電流，設置參數(shù)（詳見系統(tǒng)硬件前置放大部分）時須考慮到微弱信號的漂移和噪聲影響較大故前置放大不宜過大。通過前置放大電路的放大和I-V轉換，

30、輸出如圖電壓波形。輸出的電壓峰峰值為47.442mv，波形正常無失真。前置放大輸出波形2濾波電路調(diào)試選擇C1=C2=C3=C4=20pf。取R1=5k,R2=15k,R3=51k,R5=4.7k。理論截至頻率Fc=1R1R2C1C2*12=1R3R5C3C4*12=0.92M考慮后續(xù)放大整形設置增益為A=（60/40）×（60/40）=9/4調(diào)試時取輸入波形電壓為30mv，下降3dB時的波形電壓峰峰值應為30×2×9/4×0.707=95.445mv,調(diào)試輸入波形的頻率直到此電壓值得截至頻率為：Fc=0.776M滿足系統(tǒng)高通濾波要求。高通濾波截至頻率截至

31、頻率時輸出波形3主放大電路和整形電路調(diào)試整形前波形因為整形74LS14的閥值電壓是1.6V，所以考慮主放大電路的增益設置為200倍，此時AD8045在信號通帶內(nèi)，放大輸出信號為7.008V滿足整形輸入。如圖5.4為信號整形前，圖5.5為信號整形后方波。整形后波形4 單片機AT89S52及LCD液晶顯示仿真調(diào)試Keil對系統(tǒng)編程，程序初始化設置LCD顯示光標但不閃爍，顯示地址自動加一且整屏顯示不移動；測量未開始時LCD不顯示，測量開始時實時顯示測量位移，精確小數(shù)點后五位即分辨率為10um。Keil調(diào)試生成HEX文件， 將該文件調(diào)入proteus仿真單片機AT89S52中，并設置兩個相同同頻率輸入信號，顯示位移如圖。測量未啟動時LCD