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29、3.2.4Ti02 和 Ag 摻雜的 Ti02 薄膜的 SEM 分析 3.2. 4.1Ti02 和 Ag 摻雜 Ti02 薄膜的表面形貌 SEM 分析不同溫度煅燒 Ti02 薄膜和 Ag 摻雜 Ti02 薄膜形貌可通過(guò)掃描電鏡(SEM 照片表征。圖 3.8 和圖 3-9 分別是鍍膜 3 次、不同煅燒溫度的 Ti02 薄膜和 Ag 摻雜 Ti02(Ag/Ti02 摩爾比為 10%薄膜的 SEM 照片。從圖3-9 中的形貌可以看出,薄膜結(jié)構(gòu)致密,基本沒(méi)有孔洞。a 圖可以明 顯看出在 300。C煅燒 I 小時(shí),薄膜組織中的 Ti02 顆粒尺寸相對(duì)較小且分布較均勻;b 圖、 c 圖、 d 圖和 e 圖
30、中雖然煅燒溫度,但顆粒尺寸長(zhǎng)大不明顯,且大小在十幾納米左 右,由此可見(jiàn),煅燒溫度 41*鼻!N B J 4 MtAGH 9XM MkS d It” 比 4LI MMM IkO, 代天 A- era i rue B4 4*M MTI9 7Kh lirnBR 刁A 并 nc余 n iuvraTJVKM9 . MA 4-MMT TMX R*tf*f UKBACi、 vrma w 代 bUK攵 (* 4 I M*: m.MiA 幟 Bfcn iir,inJ - * :: M 從 C協(xié) . RAHa MRMX WWt 枷 ! 冷 礙匕 6 和 4UI 41J -TTWh戈 5 叭釣 MK g it 皿)
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