LED檢測方案推薦

1、1會計學(xué)LED檢測方案推薦檢測方案推薦2接觸式表面粗測定機測定顕微鏡白色干渉計原子間力顕微鏡10nm100nm1um10um100um1mm10mm100mm1nm10nm100nm1um10um100um1mm10mm100mm高度平面激光顯微鏡最大視野2.5mm、最大高度測量范圍10mm0.1m300m之間高度的測量是測量的極致范圍牛牛文庫文檔分享3牛牛文庫文檔分享4牛牛文庫文檔分享5推薦理由方案二u優(yōu)點1、傳統(tǒng)實驗室配套方案，行業(yè)認(rèn)知度高。2、X-RAY做透視時，清晰度高于紅外顯微鏡。u缺點1、總體投入過大。2、設(shè)備種類繁多，要求多名負(fù)責(zé)人員配合。3、部分設(shè)備檢測內(nèi)容有穿插，需要一個對所

2、有設(shè)備都了解的總負(fù)責(zé)人。4、后期維護及耗材投入很高。牛牛文庫文檔分享6檢測項目詳細說明-LED行業(yè)牛牛文庫文檔分享7檢查項目1、晶體結(jié)構(gòu)分布狀態(tài)（實驗室檢查項目）2、拋光片表面拋光程度基材原料環(huán)節(jié)牛牛文庫文檔分享8目前隨著工藝的完善，國內(nèi)外拋光片用高倍顯微鏡已無法區(qū)分出來，只能使用分辨率更高的激光共聚焦或原子力顯微鏡檢查。但原子力顯微鏡無法完成快速高分辨率檢查。牛牛文庫文檔分享9激光共聚焦測量顯微鏡力顯微鏡市場價格約18萬美元鑒定型檢查高倍微分干涉顯微鏡市場價格約1.6萬美元原子力顯微鏡市場價格約18萬美元原子力查找拋光片上的劃移線時非常的慢很困難。牛牛文庫文檔分享10高倍顯微鏡只能看出晶體分

3、布狀態(tài)，無法區(qū)分腐蝕的類型。激光共聚焦可通過三維圖分析。牛牛文庫文檔分享11高倍微分干涉顯微鏡市場價格約1.6萬美元激光共聚焦測量顯微鏡市場價格約18萬美元鑒定型檢查原子力顯微鏡市場價格約18萬美元（不含成分分析）腐蝕坑屬于微小孔。使用電鏡，樣品表面噴金有可能破壞孔洞結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致誤判。牛牛文庫文檔分享12晶圓處理環(huán)節(jié) 牛牛文庫文檔分享13高倍顯微鏡只能平面檢查（如下圖），某些細節(jié)觀察需通過三維的激光或電鏡圖像去分析。（如有圖牛牛文庫文檔分享14高倍微分干涉顯微鏡市場價格約1.6萬美元激光共聚焦測量顯微鏡力顯微鏡市場價格約18萬美元特殊部位觀察電子顯微鏡市場價格約18萬美元（不含成分分析）牛牛文庫

4、文檔分享15圖形檢測目前高品質(zhì)LED使用激光共聚焦檢查，避免臺階儀無法精確定位問題和測量顯微鏡不能高精度測高問題。牛牛文庫文檔分享16u圖形檢測測量顯微鏡市場價格約4萬美元激光共聚焦測量顯微鏡市場價格約18萬美元臺階儀市場價格約2萬美元鑒定型檢查牛牛文庫文檔分享17牛牛文庫文檔分享18立體顯微鏡市場價格約0.6萬美元牛牛文庫文檔分享19晶圓針測環(huán)節(jié) 牛牛文庫文檔分享20 目前主流實用高倍顯微鏡通過平面圖像間接判斷真痕深度，激光測量顯微鏡除了能實現(xiàn)高倍顯微鏡工作外，還能滿足高端產(chǎn)品直接測量真痕深度的要求。牛牛文庫文檔分享21激光共聚焦測量顯微鏡力顯微鏡市場價格約18萬美元針痕深度直接測量高倍微分

5、干涉顯微鏡市場價格約1.6萬美元通過針痕的平面尺寸間接判斷針痕深度牛牛文庫文檔分享22構(gòu)裝工序環(huán)節(jié)牛牛文庫文檔分享23牛牛文庫文檔分享24立體顯微鏡市場價格約0.6萬美元檢查前一道過程中是否有劃傷和異物。確認(rèn)切割狀態(tài)。測試顯微鏡市場價格約4萬美元。超視野檢查。牛牛文庫文檔分享25確認(rèn)貼片是否偏離框架位置牛牛文庫文檔分享26立體顯微鏡市場價格約0.6萬美元牛牛文庫文檔分享27測金球高 測金球直徑 測金線高度牛牛文庫文檔分享28測試顯微鏡市場價格約4萬美元。測高、測金球。激光共聚焦測量顯微鏡力顯微鏡市場價格約18萬美元可兼容測量功能牛牛文庫文檔分享29露金線 未露金線牛牛文庫文檔分享30高倍微分干

6、涉顯微鏡市場價格約1.6萬美元牛牛文庫文檔分享31X射線顯微鏡（X-RAY）市場價格約8萬美元紅外高倍觀察顯微鏡市場價格約4萬美元穿透式觀察牛牛文庫文檔分享32立體顯微鏡市場價格約0.6萬美元產(chǎn)品測試及工藝改進高倍微分干涉顯微鏡市場價格約1.6萬美元激光共聚焦測量顯微鏡力顯微鏡市場價格約18萬美元可兼容測量功能牛牛文庫文檔分享33LED產(chǎn)品應(yīng)用立體顯微鏡市場價格約0.6萬美元牛牛文庫文檔分享34接觸式表面粗測定機測定顕微鏡白色干渉計原子間力顕微鏡10nm100nm1um10um100um1mm10mm100mm1nm10nm100nm1um10um100um1mm10mm100mm高度平面激光

7、顯微鏡最大視野2.5mm、最大高度測量范圍10mm0.1m300m之間高度的測量是測量的極致范圍牛牛文庫文檔分享35接觸式表面粗測定機測定顕微鏡白色干渉計原子間力顕微鏡10nm100nm1um10um100um1mm10mm100mm1nm10nm100nm1um10um100um1mm10mm100mm高度平面激光顯微鏡最大視野2.5mm、最大高度測量范圍10mm0.1m300m之間高度的測量是測量的極致范圍牛牛文庫文檔分享36高倍顯微鏡只能平面檢查（如下圖），某些細節(jié)觀察需通過三維的激光或電鏡圖像去分析。（如有圖牛牛文庫文檔分享37 目前主流實用高倍顯微鏡通過平面圖像間接判斷真痕深度，激光測量顯微鏡除了能實現(xiàn)高倍顯微