ESO設備安全查核訓練

1、1會計學ESO設備安全查核訓練設備安全查核訓練n 引言引言 n Sign-Off制度簡介制度簡介 Level 1 查核查核 Level 2 查核查核 Level 3 查核查核n 常見查核缺失與重點常見查核缺失與重點焊道過深，管路強度減焊道過深，管路強度減弱。弱。焊道砂孔為泄漏點焊道砂孔為泄漏點。標準管路焊道表面光標準管路焊道表面光滑平整，無滑平整，無任何砂孔任何砂孔。tool safety review meetingvendor簡介機臺并說明安全設計相關證明文件完整性討論tool release前驗機前驗機- 確認是否符合安全規(guī)范- safety interlock功能測試洽談規(guī)格洽談規(guī)格A

2、UO機臺設備安全規(guī)范Guarantee Letter相關證明文件list設備工程師廠驗廠驗確認是否符合AUO機臺設備安全規(guī)范裝機裝機sign-off查核查核EQ 3 stage sign-off checklistPR Guarantee Letter設備工程師設備工程師corp. & site ESHPO設備工程師site ESH設備工程師設備工程師corp. & site ESH設備工程師site ESH項目式查核項目式查核(ex. small tool safety review)MOC確保裝機完確保裝機完成，符合法成，符合法規(guī)要求；規(guī)要求；避免裝機時避免裝機時或后續(xù)發(fā)生

3、或后續(xù)發(fā)生事故事故/ /隱患隱患。ESOEquipment Installation Sign-off執(zhí)行執(zhí)行ESO目的目的一、一、 使用使用110V110V以上電源之機臺設備以上電源之機臺設備; ; （除工作桌、個人電腦、臨時電器設備、檢測設備、施工設備等）（除工作桌、個人電腦、臨時電器設備、檢測設備、施工設備等）適用范圍適用范圍二、使用制程危害物質（二、使用制程危害物質（Hazardous Process MaterialHazardous Process MaterialHPMHPM） ( (國內(nèi)稱之為危險化學品之設備。國內(nèi)稱之為危險化學品之設備。) )【除除CDA&CDA&am

4、p;水之外的所有液水之外的所有液/ /氣體氣體】三、移機之設備，廠務三、移機之設備，廠務Hook-upHook-up；四、四、 自動化自動化/ /倉儲系統(tǒng)。倉儲系統(tǒng)。五五、 具有其它特殊危害之設備。具有其它特殊危害之設備。設備裝機負責工程師完成設備安全查核表單查核。追蹤廠務查核缺失改善。完成設備查核缺失改善。完成各項簽核流程。廠務部門完成廠務安全查核表單查核。提供各項簽核所需資料。完成廠務查核缺失改善。ESH稽核各階段之檢查執(zhí)行狀況。確認、核可各階段之查核已完成。協(xié)助供應特殊氣體、化學品前安全確認。送電送電/ /測試測試/ /供應供應非制程危非制程危害物質前需完成一階段害物質前需完成一階段。L

5、evel-1Level-1Level-2Level-2Level-3Level-3設備設備移交制程或制造移交制程或制造前需前需完成第三階段。完成第三階段。CDACDASOPSOPTrainingTraining供應供應制程危害物質制程危害物質前完成前完成第二階段第二階段。查核時機查核時機水電缺失分類說明缺失分類說明一、一、 A A類類：風險特別高，若不符合及易造成嚴重危風險特別高，若不符合及易造成嚴重危 害，未改善前不可送電害，未改善前不可送電/ /送氣送氣/ /使用學品；使用學品；二、二、B B類類：風險較高，若不符合佷可能造成危害，未風險較高，若不符合佷可能造成危害，未 提出改善對策前不可

6、送電提出改善對策前不可送電/ /送氣送氣/ /使用化學品；使用化學品；三、三、C C類類：風險一般，若不符合不會影響第一、二階段的裝機安全查風險一般，若不符合不會影響第一、二階段的裝機安全查 核之進行；核之進行；（B B類及類及C C類項目缺失及不符合項目，須于機臺交機前修改完成；）類項目缺失及不符合項目，須于機臺交機前修改完成；）N NO O查查核核項項目目改改善善N NO O查查核核項項目目改改善善N NO O查核項目改善查核項目改善EQEQ提供機臺操作提供機臺操作手冊手冊1. 1.設備工程師向廠務提出裝機之電、氣設備工程師向廠務提出裝機之電、氣等需求，從環(huán)安領取表單；等需求，從環(huán)安領取表

7、單；2. 2.于機臺張貼查核證明；于機臺張貼查核證明；EQ Level-2EQ Level-2CheckCheckEQEQ機臺測試機臺測試SOPSOP建立建立1 1、裝機安全查核證明；、裝機安全查核證明；2 2、施工狀態(tài)表、施工狀態(tài)表 ( (表單貼至現(xiàn)場）表單貼至現(xiàn)場）裝機前裝機前Level-2Level-2EQ Level-3EQ Level-3CheckCheck流程流程Level-3Level-31 1、ESO Level-3 CheckESO Level-3 Check1. 1.資料包含各保養(yǎng)規(guī)范及測試資料；資料包含各保養(yǎng)規(guī)范及測試資料；2. 2.Level-3Level-3查核完畢后

8、，各項查核完畢后，各項數(shù)據(jù)、窗體數(shù)據(jù)、窗體送交環(huán)安部存查；送交環(huán)安部存查；步驟查核項目步驟查核項目備注備注FEFE進行進行HookupHookup工程工程EQEQ裝機測試裝機測試EQ Level-1EQ Level-1CheckCheck1 1、ESO Level-1 CheckESO Level-1 CheckFEFE；2 2、ESO Level-1 CheckESO Level-1 CheckEQEQ；1. 1.FEFE完成廠務端供電、氣、水；完成廠務端供電、氣、水；2. 2.各系統(tǒng)管理二次配檢查表；各系統(tǒng)管理二次配檢查表；3. 3.Turn Turn onon 有害能量、輻射、有害能量、

9、輻射、鐳射鐳射前前需完成所有需完成所有Level-1Level-1查核查核；Level-1Level-11 1、ESO Level-2 CheckESO Level-2 CheckFEFE；1 1、ESO Level-2 CheckESO Level-2 CheckEQEQ；1. 1.EQEQ提出申請并完成簽核；提出申請并完成簽核；Move-inMove-in前由前由EQEQ提出提出至至ESH & FEESH & FE移交制造移交制造/ /制程制程步步驟驟設備設備Move In/Move In/裝機前：裝機前：EQEQ須提出裝機需求至須提出裝機需求至FE & ESHFE

10、 & ESH，并于機臺定位后張貼，并于機臺定位后張貼【查核證明】&【施工狀態(tài)表】；一一.第一階段查核第一階段查核/Level-1：A 各廠務系統(tǒng)供應非HPM前完成二次配管路查核；B 完成電盤至設備端的接電，并符合Level-1之要求；C 完成消防設施的各項安全要求；D 廠務在領取表單后，于Hook-Up時開始自行填此表單。步步驟驟A A、廠房及建筑物的消防設備廠房及建筑物的消防設備1、建筑消防設施是否上線？2、自動撒水系統(tǒng)經(jīng)過測試功能是否正常？3、是否在機臺前后的走道上的天花板均裝置撒水頭以 涵蓋整個機臺?4、廠務火警警報探測器(偵煙/偵溫探測器)是否經(jīng)過測 試且功能正常?B.

11、B.電氣系統(tǒng)電氣系統(tǒng)1.廠務相關電源線路由分電盤至機臺端之聯(lián)機及連接點正確?2.供應電盤端己標示使用機臺、附屬設備編號與機臺主開關位置.3.機臺端電源標示包含位置、供應盤位置、供應回路編號,以及電盤開關編號和電壓.插座都標示有breaker編號及電盤編號。4.接地？緊急電力? 設備標示正確否?5.各管路的空間、標識（走向）是否完善？6.管路保壓是否完成？A A 設備連接端各標示須和電盤保持一致；設備連接端各標示須和電盤保持一致；B EMO&InterlockB EMO&Interlock的設置是否涵蓋整個操作區(qū)域；的設置是否涵蓋整個操作區(qū)域；C Turn onC Turn on

12、有害能量有害能量/ /輻射輻射/ /激光等之前，須完成所有激光等之前，須完成所有Level-1Level-1檢查；檢查；D D 設備應在自行安表單要求裝機的同時，關心廠務部分進展及安全要求。設備應在自行安表單要求裝機的同時，關心廠務部分進展及安全要求。 步步驟驟A.A.一般事項一般事項B.B.凈空凈空1.1. 所有相關管路源頭與銜接點，且于轉所有相關管路源頭與銜接點，且于轉彎點及穿墻前加管路標示清楚。彎點及穿墻前加管路標示清楚。2.2. 非非HPMHPM之管路于使用前是否經(jīng)過飽壓或之管路于使用前是否經(jīng)過飽壓或測漏測試確認管路無泄漏之疑慮測漏測試確認管路無泄漏之疑慮? ?1.1. 主機臺正面操作

13、區(qū)及主信道寬度主機臺正面操作區(qū)及主信道寬度須有一公尺。須有一公尺。2.2. 機臺及相關附屬設備之維修信道機臺及相關附屬設備之維修信道寬度至少須有寬度至少須有8080公分。公分。3.3. 機臺維修空間須足夠電盤或控制機臺維修空間須足夠電盤或控制盤門完全開啟。盤門完全開啟。C.C.電氣系統(tǒng)（電氣系統(tǒng)（EQEQ）漏電斷路保護1.1. 若有接若有接UPSUPS之設備，之設備，UPSUPS是否正確標示出其所是否正確標示出其所支持的機臺支持的機臺? ?2.2. 機臺及廠務電盤上方若有可能的機臺及廠務電盤上方若有可能的泄漏源泄漏源，電，電盤是否做好必要的保護措施盤是否做好必要的保護措施? ?3.3. 電線管

14、理是否適當電線管理是否適當? ? 如避免如避免絆倒、拉扯絆倒、拉扯電線電線, ,及維持良好的整潔。及維持良好的整潔。4.4. 有濕式制程或電氣組件相當有可能接觸到液有濕式制程或電氣組件相當有可能接觸到液體之機臺，是否有體之機臺，是否有漏電斷路器裝置漏電斷路器裝置，且此裝，且此裝置是否有置是否有合格認證合格認證? ?5.5. 易燃物品及設施易燃物品及設施: :相關設備裝于危險區(qū)或電氣相相關設備裝于危險區(qū)或電氣相關組件暴露于易燃物之霧氣中，其電氣用品應為關組件暴露于易燃物之霧氣中，其電氣用品應為防爆型。防爆型。D.D.緊急停機裝置緊急停機裝置1 1、EMOEMO是否有適當中英文標示是否有適當中英文

15、標示? ?2 2、EMOEMO的設置是否覆蓋整個操作區(qū)域的設置是否覆蓋整個操作區(qū)域? ?3 3、EMOEMO切斷此系統(tǒng)電力供應時是否含設備附屬切斷此系統(tǒng)電力供應時是否含設備附屬UPS?UPS?4 4、若己安裝若己安裝EMO EMO 防護蓋，此設置于緊急情況時仍可以掌握防護蓋，此設置于緊急情況時仍可以掌握跟壓按跟壓按? ?5 5、確認確認EMO EMO 復歸后不會重新激活此設備復歸后不會重新激活此設備? ?E.E.有害能量與防護有害能量與防護1.1.所有機械危害之所有機械危害之防護及標示防護及標示適當否適當否( (中、英文標示中、英文標示)? ()? (擠壓收縮、擠壓收縮、切斷、移動、往復運動切

16、斷、移動、往復運動) )2.2.所有機械臂所有機械臂移動范圍適當圍籬且有防護移動范圍適當圍籬且有防護? ?3.3.高低溫危害防護及標示適當否高低溫危害防護及標示適當否( (溫度大于溫度大于6060之熱表面、冷凍劑之熱表面、冷凍劑) )。4.4.電氣危害之防護及標示適當否電氣危害之防護及標示適當否? (? (直流電直流電5050伏特、交流電伏特、交流電3030伏特伏特) )己確認之危害位置己確認之危害位置Identify hazard locations:Identify hazard locations:( (之前相同機臺己查核此項者可免填，資料見機臺名稱之前相同機臺己查核此項者可免填，資料見

17、機臺名稱) )機械危害機械危害Mechanical hazards:Mechanical hazards:熱危害熱危害Thermal hazards:Thermal hazards:其它危害其它危害Other hazards:Other hazards:F.F.雷射雷射1 1、雷射分類等級雷射分類等級: : All laser classes: Class _All laser classes: Class _注注1 1:Class 1 指正常操作下有雷射發(fā)生但不造成傷害性。注注2 2:3b 之雷射若眼睛直視會造成傷害。包括反射光之光束，正常狀況下，3b雷射之擴散光不會造成傷害。注注3 3:分

18、類4之電射不但直視及反射光會造成傷害。而且擴散光亦會造成傷害.此類電射可能會造成皮膚如冋火灼傷之危害。2 2、電射系統(tǒng)己由機臺制造商確認符合相關國際標準，且在此機臺電射系統(tǒng)己由機臺制造商確認符合相關國際標準，且在此機臺外側有明顥的合格標示外側有明顥的合格標示3 3、雷射光源附近己加防護外罩雷射光源附近己加防護外罩，張貼危險警示標幟。張貼危險警示標幟。5 5、所有與雷射相關之安全聯(lián)鎖皆功能正常所有與雷射相關之安全聯(lián)鎖皆功能正常? ?6 6、己降低窗口孔之雷射危害等級至己降低窗口孔之雷射危害等級至Class 1 Class 1 以下以下? ?F.F.雷射雷射7、有使用分類3b或4之雷射否? 若有完

19、成下列問題:a.a.密閉性密閉性b.b.安全聯(lián)鎖安全聯(lián)鎖. .包括電力供應包括電力供應. .c.c.防護區(qū)己告示防護區(qū)己告示d.d.提供鎖匙控制之開關提供鎖匙控制之開關e.e.可拆缷之維修控制儀表板亦有安全聯(lián)鎖。可拆缷之維修控制儀表板亦有安全聯(lián)鎖。f.f.人員接觸分類人員接觸分類3b3b或或4 4 之電射作業(yè)時，機臺本身是否之電射作業(yè)時，機臺本身是否有防護屏障或人員有配戴防護器具或有雷射劑量監(jiān)控有防護屏障或人員有配戴防護器具或有雷射劑量監(jiān)控。g.g.警示系統(tǒng)己運作否警示系統(tǒng)己運作否? ?h.h.有開放性光束暴露之可能性時，雷射區(qū)己公告成管有開放性光束暴露之可能性時，雷射區(qū)己公告成管制區(qū)域制區(qū)域

20、? ?i.i.己指定且使用適當光學密度之眼部防護具己指定且使用適當光學密度之眼部防護具? ?j.j.員工操作開放性光束己接受安全使用訓練員工操作開放性光束己接受安全使用訓練? ?G.G.輻射輻射1.1.是否有放射源是否有放射源? (? (如果有的話，請與如果有的話，請與ESHESH單位聯(lián)絡單位聯(lián)絡) )2.2.所有與輻射相關之安全聯(lián)鎖皆功能正常所有與輻射相關之安全聯(lián)鎖皆功能正常? ?3.3.輻射相關警告標示己張貼完成輻射相關警告標示己張貼完成? ?4.4.輻射必要之阻絕擋板皆設置正常輻射必要之阻絕擋板皆設置正常? ?紫外光源紫外光源5.5.如果有害的存在的話，此光源是否被隔絕或以安全連如果有害

21、的存在的話，此光源是否被隔絕或以安全連銷防護銷防護? ?6.RF/6.RF/微波源是否己被鑒定并標示微波源是否己被鑒定并標示? ?7.7.RFRF是否是否接地接地? ?5 R1.5R60R60Level-2Level-2： 廠務廠務：A 提供氣體/化學品需求確認單所需資料；B 完成氣體/化學品供應所需要求。 （未使用化學危險物品，不需進行（未使用化學危險物品，不需進行Level-2Level-2的查核）的查核） 步步驟驟設備設備：A 提出氣體/化學品需求單；B 完成氣體/化學品需求確認單簽核流程； Level-2Level-2： A A、開孔等均已做好防火填塞；、開孔等均已做好防火填塞；B B

22、、洗眼器的設置，并加以標示；、洗眼器的設置，并加以標示；C C、有無偵測及有無偵測及ERCERC監(jiān)控；監(jiān)控；D D、機臺之消防設備是否完善；機臺之消防設備是否完善；E E、通風、排氣系統(tǒng)是否完善；、通風、排氣系統(tǒng)是否完善；F F、化學廢液、廢棄物質處置是否得當；化學廢液、廢棄物質處置是否得當；G G、氣體化學品傳送系統(tǒng)是否完善；氣體化學品傳送系統(tǒng)是否完善；管路偵測防火填塞消防設施廢棄處理傳送系統(tǒng)A A、機臺操作或維修、機臺操作或維修? ? 若是，這些局限空間之入口是否有標示若是，這些局限空間之入口是否有標示? ?B B、機臺之消防設備，并聯(lián)至、機臺之消防設備，并聯(lián)至ERCERC；C C、安全相

23、關之連鎖裝置是否完善；、安全相關之連鎖裝置是否完善；D D、個人防護裝備有無配備齊全；、個人防護裝備有無配備齊全；E E、通風、排氣有無完善；、通風、排氣有無完善；F F、MSDSMSDS及應急設施；及應急設施；消防設備連鎖裝置個人防護應急措施Level-3Level-3： 設備：設備： 完成設備各項SOP的建立，其SOP及附帶表單中須包含Level-3中所規(guī)范的內(nèi)容要求。步步驟驟Level-3 Level-3 查核重點查核重點設備安全保養(yǎng)（設備安全保養(yǎng)（PM）程序）程序設備安全操作（設備安全操作（Operation）程序）程序相關人員已受教育訓練相關人員已受教育訓練各階段查核缺失及不符合項目

24、各階段查核缺失及不符合項目已改善完成已改善完成已建立操作保養(yǎng)規(guī)范？已建立操作保養(yǎng)規(guī)范？與機臺操作保養(yǎng)相關的特殊危害訊息已納入操作保養(yǎng)規(guī)范之中？與機臺操作保養(yǎng)相關的特殊危害訊息已納入操作保養(yǎng)規(guī)范之中？PMPM規(guī)范文件已明確定義所有必要之上鎖或標示事項？規(guī)范文件已明確定義所有必要之上鎖或標示事項？操作保養(yǎng)規(guī)范有明確定義穿戴之個人防護具（操作保養(yǎng)規(guī)范有明確定義穿戴之個人防護具（PPEPPE）？）？操作保養(yǎng)規(guī)范有適當說明緊急停機開關（操作保養(yǎng)規(guī)范有適當說明緊急停機開關（EMOEMO）和安全聯(lián)鎖之功能）和安全聯(lián)鎖之功能? ?Level-3 查核查核項項1.1. 所有所有LEVEL 1LEVEL 1、2

25、2待改善項目均經(jīng)工安工程師簽名確認完成？待改善項目均經(jīng)工安工程師簽名確認完成？2.2. 員工已接受個人防護用具的訓練，包含使用方式與挑選合適的員工已接受個人防護用具的訓練，包含使用方式與挑選合適的個人防護用具個人防護用具? ?3.3. 員工已接受危害通識訓練？包含各化學品之危害及標示方式？員工已接受危害通識訓練？包含各化學品之危害及標示方式？4.4. 物質安全資料表備置于現(xiàn)場？物質安全資料表備置于現(xiàn)場？5 5、保養(yǎng)規(guī)范有保養(yǎng)規(guī)范有明訂以下要求明訂以下要求： 緊急停機開關（緊急停機開關（EMOEMO）和安全聯(lián)鎖至少一年測試一次，或當）和安全聯(lián)鎖至少一年測試一次，或當 維修過程使緊急停機開關（維修

26、過程使緊急停機開關（EMOEMO）和安全連鎖失效時需重新）和安全連鎖失效時需重新 測試？測試？6 6、操作保養(yǎng)規(guī)范有明操作保養(yǎng)規(guī)范有明訂機臺緊急關機程序訂機臺緊急關機程序、第一時問點應變程、第一時問點應變程 序及其它緊急應變措施（如泄漏處理，停電處理等）？序及其它緊急應變措施（如泄漏處理，停電處理等）？7 7、輻射機臺之輻射機臺之PMPM規(guī)范包括規(guī)范包括輻射泄漏檢測輻射泄漏檢測，至少一年一次，或護，至少一年一次，或護 蓋被移走或連鎖裝置失效時作測漏？蓋被移走或連鎖裝置失效時作測漏？8 8、員工已接受個人員工已接受個人防護用具的訓練防護用具的訓練，包含使用方式與挑選合適，包含使用方式與挑選合適

27、的個人防護用具的個人防護用具? ?9 9、是否有抽風系統(tǒng)是否有抽風系統(tǒng)失效警報之緊急應變程序失效警報之緊急應變程序？1010、維修保養(yǎng)操作規(guī)范是否已維修保養(yǎng)操作規(guī)范是否已建立有電之作業(yè)程序建立有電之作業(yè)程序？ 如有程序書是否包括下列項目：如有程序書是否包括下列項目： a.a.最高潛在危害類型最高潛在危害類型； b.b.降低潛在危害類別的步驟？降低潛在危害類別的步驟？ c.c.哪些危害類型已被降低哪些危害類型已被降低( (指有電作業(yè)時的危害指有電作業(yè)時的危害) )最終之查核最終之查核Exhaust上缺少標示上缺少標示 不必要之標示需移除不必要之標示需移除開口過大需加護蓋防護開口過大需加護蓋防護管

28、路開孔應密封管路開孔應密封!管路材質錯誤管路材質錯誤 管路施工不確實管路施工不確實(如雙如雙套管、套管、exhaust管等管等) 機臺外觀無任何危害警告標示機臺外觀無任何危害警告標示 但事實上里頭有但事實上里頭有robot機械夾傷和電氣危害機械夾傷和電氣危害雖維修門有interlock，但人員可能由下方鉆入Breaker 端子及礙子無絕緣防護Area sensor防護區(qū)不足高架作業(yè)需有防墜措施高架作業(yè)需有防墜措施EMOEMO無法斷電無法斷電EMOEMO蓋過高蓋過高( (中文化）中文化） Sensor &InterlockSensor &Interlock不完善不完善阻擋安全指示

29、標識阻擋安全指示標識使用化學品機臺防爆使用化學品機臺防爆電器不全電器不全維修空間狹窄維修空間狹窄n 引言引言 n Sign-Off制度簡介制度簡介 Level 1 查核查核 Level 2 查核查核 Level 3 查核查核n 常見查核缺失與重點常見查核缺失與重點確保裝機完確保裝機完成，符合法成，符合法規(guī)要求；規(guī)要求；避免裝機時避免裝機時或后續(xù)發(fā)生或后續(xù)發(fā)生事故事故/ /隱患隱患。ESOEquipment Installation Sign-off執(zhí)行執(zhí)行ESO目的目的缺失分類說明缺失分類說明一、一、 A A類類：風險特別高，若不符合及易造成嚴重危風險特別高，若不符合及易造成嚴重危 害，未改善前不可送電害，未改善前不可送電/ /送氣送氣/ /使用學品；使用學品；二、二、B B類類：風險較高，若不符合佷可能造成危害，未風險較高，若不符合佷可能造成危害，未 提出改善對策前不