基于光學測量的微米級位移測量方法設(shè)計00

1、基于光學測量的微米級微位移測量方法設(shè)計CONTENTS1應用背景與需求情況2工作原理及數(shù)學分析3實驗設(shè)計方案4重要參數(shù)指標5方案的優(yōu)缺點分析CONTENTS1應用背景與需求情況2工作原理及數(shù)學分析3實驗設(shè)計方案4重要參數(shù)指標5方案的優(yōu)缺點分析1.應用背景與需求情況 微位移測量是指對位移范圍在微米以及微米以下的物體移動范圍進行測量的方法。 目前能夠?qū)崿F(xiàn)納米級精度位移測量的方法主要有電學測量法、掃描顯微鏡法以及光學測量法。納米級精度位移測量電學測量法掃描顯微鏡法光學測量法請在此添加正文并根據(jù)需要調(diào)整字體大小，建議采用1.3倍行距和兩端對齊方式。1.應用背景與需求情況請在此添加正文并根據(jù)需要調(diào)整字體

2、大小，建議采用1.3倍行距和兩端對齊方式。請在此添加正文并根據(jù)需要調(diào)整字體大小，建議采用1.3倍行距和兩端對齊方式。11 段小艷, & 任冬梅. (2013). 激光干涉法微位移測量技術(shù)綜述. 計測技術(shù), 32(6), 1-5. CONTENTS2工作原理及數(shù)學分析1應用背景與需求情況3實驗設(shè)計方案4重要參數(shù)指標5方案的優(yōu)缺點分析2.工作原理及數(shù)學分析邁克爾遜干涉儀2.工作原理及數(shù)學分析CONTENTS1應用背景與需求情況2工作原理及數(shù)學分析4重要參數(shù)指標5方案的優(yōu)缺點分析3實驗設(shè)計方案CONTENTS1應用背景與需求情況2工作原理及數(shù)學分析3實驗設(shè)計方案5方案的優(yōu)缺點分析4重要參數(shù)指

3、標3.實驗設(shè)計方案2 Zhen, S., Chen, B., Yuan, L., Li, M., Liang, J., & Yu, B. (2010). A novel interferometric vibration measurement sensor with quadrature detection based on 1/8 wave plate. Optics & Laser Technology, 42(2), 362-365.3.實驗設(shè)計方案3 胡紅波, 于梅. 零差激光干涉儀正交相位誤差的分析J. 光電工程, 2012, 12期(12):55-62. DOI:

4、doi:10.3969/j.issn.1003-501X.2012.12.010.4.重要參數(shù)指標輸入：I/Q激光信號波長 1550nm線寬小于 2kHzPZT振動頻率1kHz帶通濾波器6002500Hz 精度0.3nm不確定度0.01nmCONTENTS1應用背景與需求情況2工作原理及數(shù)學分析4重要參數(shù)指標3實驗設(shè)計方案5方案的優(yōu)缺點分析5.方案的優(yōu)缺點分析優(yōu)點：采用簡單的光學構(gòu)造設(shè)置來產(chǎn)生I / Q信號，實驗裝置便于調(diào)節(jié)和控制； 反正切算法原理簡單，解調(diào)信號受到激光功率波動的影響較少。缺點： 光電接收器后的前置放大器只能用直流放大器，對激光器的頻率穩(wěn)定度和測量環(huán)境( 溫度、振動等) 要求很高，測量時不允許干涉儀兩臂的光強有較大變化。謝謝聆