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文檔簡介

1、【2】 Ch.5 典型線陣CCD圖像傳感器(P73;當(dāng)前熱門光電檢測(cè)與測(cè)量離不開圖像與圖像傳感,后者核心是CCD 、CMOS??佳校?5.1 單溝線陣CCDTCD1209D5.1.1 基本結(jié)構(gòu)(1)構(gòu)成:(右下圖4-17)每元一PN結(jié)(P底N阱結(jié))即光電DMOS電容(柵極下勢(shì)阱電荷充放電等效成電容量)構(gòu)成(等效電路)。 總2075元,有效元S1S2048共2048,前19、后8的遮蔽元消除兩端漏光形成的不完整信息,致圖像失真負(fù)面影響(P73圖5-1)(2)轉(zhuǎn)移柵控原理SH:圖5-2雖鄰柵壓高有勢(shì)阱,但中間SH低無阱,阻隔離左右兩包電荷流動(dòng)。后阱上一輪電荷出,SH跳高前阱電荷轉(zhuǎn)后阱。輸出:圖5-

2、1(兩相控)模移器末元輸出柵控CR2B跳低,電荷擠到輸出端檢測(cè)二極管D圖4-17、經(jīng)放大OS出。(2)電子束掃描/像敏單元構(gòu)成靶面,正面成像轉(zhuǎn)換,背面掃描讀?。?)電子束掃描/像敏單元構(gòu)成靶面,正面成像轉(zhuǎn)換,背面掃描讀取 SH高通?,一行各元光電轉(zhuǎn)換積分電荷并出轉(zhuǎn)到CCD模移器(圖5-1); SH低,模移器電荷OS串出(圖5-3,兩相控移;RS元同步控): 先延13虛元、16個(gè)啞元+ 3個(gè)不用元,再出20 48信元轉(zhuǎn)移電荷。最后D39作為行是否結(jié)束檢測(cè)信號(hào)。同時(shí),線陣積分下一行。 5.1.2 工作原理5.1.3 特性參數(shù):(1)光譜響應(yīng)特性(相對(duì)光譜靈敏度圖5-14),3005501100nm

3、。 不均勻性/PRNU定義: 50飽和曝光量下, 各元間輸出信號(hào)電壓差值U/各元輸出信號(hào)均值電壓U) 100% 或50飽和曝光量下,各相鄰元出電壓最大差值。(2)器件光電傳感靈敏度R定義 輸出電壓Uo/曝光量Hv (Hv=Evt)。 或用給定Uo時(shí)飽和曝光量SE(Qsat)衡量;Uo一旦給定, SE越小的器件,其靈敏度R越高。如1209D SE0.06lx.s。(3)動(dòng)態(tài)范圍DR定義 DR = 飽和曝光量 Qsat/QS/N=1(信噪比為1時(shí)的曝光量)。(不易計(jì)量) 或DR = 飽和輸出電壓 USAT/暗信號(hào)輸出電壓 UDARK(參數(shù)見表5-1,核算2000)5.1.4驅(qū)動(dòng)控制電路(1)脈沖產(chǎn)

4、生電路 現(xiàn)場可編程器件(FPGA):左半晶振與分頻器產(chǎn)生基本時(shí)鐘cp和緩沖脈沖,右半可變模(可編程)計(jì)數(shù)器輸出各種要求相位、時(shí)序的驅(qū)動(dòng)控制脈沖信號(hào)。(2)驅(qū)動(dòng)電路(1)基本結(jié)構(gòu) 642160122236元前后諸元又檢測(cè)暗流。2條存儲(chǔ)柵、轉(zhuǎn)移溝,2條模移器,下奇上偶,其它同上(2)工作原理(同上自閱)IC:右圖左上IC 74HC04P反相器,輸出需要的各功率驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)到CCD-1209D,再出OS視頻驅(qū)動(dòng)信號(hào)。VT:PNP型射隨器5.1.5 外形尺寸。5.2 典型雙溝道線陣TCD1206SUP (3)驅(qū)動(dòng)控制電路與信號(hào)波形 右圖左上反相器出各種控制信號(hào)接入1206,波形見下圖上半。VT1、VT

5、2為兩路PNP射隨器,其輸出OS為有效視頻信號(hào);DOS為輸出補(bǔ)償信號(hào)(次頁圖P79圖59)反映CCD暗(零像輸出)電流(因有復(fù)位脈沖作用下非像信號(hào)經(jīng)傳輸溝道電流,形成容性干擾)特性。 容性干擾須濾除OS、DOS受容性干擾相同,可利用差分放大器(高速視頻差放LF357)將二者的共模干擾相減去除。 HC周期同轉(zhuǎn)移脈沖SH,為2160元有效輸出的行同步控制脈沖。SP為與元輸出同步的采樣控制脈沖。 驅(qū)動(dòng)脈沖波形見次頁圖。(4)特點(diǎn) 驅(qū)動(dòng)簡便: 只需為74HC04反相器、提供TTL電源,1206CCD內(nèi)有電平轉(zhuǎn)換,滿足各部分不同電源需求。 傳感靈敏度高: )飽和曝光量CE=0.037(lxs),高于12

6、09D-0.06(lxs )? ; )或光電轉(zhuǎn)換靈敏度輸出電壓45V/(lxs)(每單位曝光量),低于1208 AP-110V/(lxs ); 動(dòng)態(tài)范圍1700,大大高于1208AP-400。 廣泛用于要求較高的各種尺寸測(cè)量領(lǐng)域。 光譜響應(yīng):(右上圖) 紫外5501100nm。 溫度特性與積分時(shí)間: 溫升引起暗流增加,可通過差放抑制,故溫度特性較好 圖513中UOST曲線平坦。 圖514中,暗電壓(暗信號(hào)輸出電壓/飽和輸出電壓)100%隨積分時(shí)間加長上升:因?yàn)榉e分也對(duì)暗電流(壓)積分,時(shí)間加長,引起的熱激發(fā)載流子積累,故暗信號(hào)影響升。(5)特性參數(shù)(表5-2) 高靈敏度、大動(dòng)態(tài)范圍;因雙溝道轉(zhuǎn)

7、移的差異,增加不均勻性,其不均勻性弱于單溝道。5.3具有積分時(shí)間調(diào)整功能的線陣CCD5.3.1 TCD1205D(1)基本結(jié)構(gòu) 22腳雙列直插2048有效元。上下2排積分存儲(chǔ)柵過渡,ICG為高時(shí)其存儲(chǔ)電容被光生電流充電、積累。故控制ICG脈寬相位,就調(diào)整了曝光時(shí)間。(2)基本原理與時(shí)序工作原理類同1206;不同處:多出ICG可調(diào)電子快門(FPGA改變其前沿相位) ;由RS引入BT信號(hào),視頻輸出時(shí)寬t4(參見圖5-18)被延長,輸出更穩(wěn)定、有效。也可每行周期內(nèi)設(shè)2個(gè)SH脈沖,二者所夾時(shí)間為積分時(shí)間;可對(duì)后一個(gè)SH調(diào)相讀出,故積分時(shí)間被調(diào)。(3)特性參數(shù)與1206相似,但靈敏度較高,動(dòng)態(tài)范圍較小(

8、400),適合光電數(shù)字掃描輸入,不適合掃圖。5.3.2 IL-P1型線陣CCD 加拿大DALSA公司產(chǎn)品,速度高、信噪比高,光積分時(shí)間可調(diào),廣泛用于拍攝高速運(yùn)動(dòng)圖像,及其數(shù)據(jù)采集。(1)基本結(jié)構(gòu)與工作結(jié)構(gòu):4096元、2相控制的雙溝道器件。PR為光積分控制脈沖。工作原理:(略講)電源種類多,使用不便,但性能好。(2)積分時(shí)間調(diào)整PR低電平期t2為曝光積分時(shí)間,t2前沿可調(diào),最大TSH即t1。高速圖像t2短,要補(bǔ)光。(3)特性參數(shù)光譜響應(yīng):峰660nm,長波靈敏度較高,短波較差。(圖5-26)積分特性:圖5-27中參變量e(3個(gè)參數(shù)值)為輻照;積分時(shí)間短時(shí)(如高速運(yùn)動(dòng)),要求光照EV強(qiáng)。動(dòng)態(tài)范圍

9、: 2600參數(shù)表如右。 5.4 有采樣保持功能的線陣CCDTCD1500C(1)基本結(jié)構(gòu):原理類同以上模塊,多出采保模塊(OS2)。(2)驅(qū)動(dòng)器(下圖5-30上部晶振等產(chǎn)生基本CP信號(hào),下部產(chǎn)生CCD需要的各信號(hào))與波形:OS2/1為有/無采保電路輸出波形。(3)特性參數(shù) 峰響:3005501000nm 光電轉(zhuǎn)換特點(diǎn):積分時(shí)間t2可調(diào)前頁 分辨率:77對(duì)線(pl)/mm 其它特性(表5-5) 第二課 作 業(yè) 5.1; 5.2; 5.8; 5.10; *5.13。 本課小結(jié) 1、單溝線陣CCDTCD1209D:結(jié)構(gòu),原理,參數(shù),驅(qū)動(dòng); 2、典型雙溝道線陣TCD1206SUP:結(jié)構(gòu),原理,參數(shù),

10、驅(qū)動(dòng)波形與特點(diǎn); 3、具有積分時(shí)間調(diào)整功能的線陣CCD:(1)TCD1205D;(2) IL-P1型線陣CCD; 4、有采樣保持功能的線陣CCDTCD1500C:基本結(jié)構(gòu),驅(qū)動(dòng)器與波形:,特性參數(shù)。 作 業(yè)(未及時(shí)發(fā)教材者) 5.1 設(shè)TCD1209D的驅(qū)動(dòng)頻率為2MHz,試計(jì)算TCD1209D的最短積分時(shí)間;當(dāng)光照靈敏度31V/(lxs)時(shí),求使其飽和所需的最低照度。 5.2 上題條件下,又知TCD1209D動(dòng)態(tài)范圍為2000,它的最小探測(cè)照度為多少?像敏單元上的最低可探測(cè)的光通量為多少?(將計(jì)算出的暗電壓視為最小電壓); 5.8 為什么TCD1206UD的積分時(shí)間必須大于2236個(gè)T1(T1為驅(qū)動(dòng)脈沖的周期)

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