新一代分子增壓泵—深冷水氣泵組合抽氣機組—

1、 新一代分子增壓泵深冷水氣泵組合抽氣機組(1) 最近，我們采用4臺抽速1,000L/s的分子增壓泵+1臺0.4m2 深冷水汽泵組成高真空抽氣機組，成功取代了為 1600 1900大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備配套的2臺K-800擴散泵和1臺ZJ-1200羅茨泵抽氣機組，取得了下列優(yōu)異成果： 抽氣能耗：2.5 度/爐，比原設(shè)備節(jié)省80%，年節(jié)電3040萬度/臺，相當(dāng)于每臺設(shè)備減排CO2200300噸/年。 鍍膜周期（粗抽時間相同）：12分鐘，與原設(shè)備相同。 真空質(zhì)量：明顯優(yōu)于原設(shè)備。 鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量：優(yōu)于原設(shè)備產(chǎn)品的質(zhì)量，消除了膜層色澤泛黃現(xiàn)象。 設(shè)備費用：比雙擴散泵機組節(jié)省5 萬元；比單擴散泵機組增加13萬元

2、，6個月節(jié)省的電費可收回增加的設(shè)備費。 本項技術(shù)原則上還可以用于其它大型高真空設(shè)備，2臺K-800擴散泵的抽速總和已超過目前最大的KT-1000油擴散泵。因此，本項成果已表明：大型擴散泵+羅茨泵機組退出歷史舞臺的日子已經(jīng)不遠(yuǎn)了。一、大型蒸發(fā)鍍膜目前存在的問題1油蒸汽污染 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備容積大，氣體負(fù)載重，目前普遍采用大型擴散泵、羅茨泵和滑閥泵機組抽氣，存在油蒸汽污染嚴(yán)重，膜層結(jié)合力差，表面色澤泛黃，鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量低等缺點。 油蒸汽污染的來源： 蒸發(fā)鍍膜低真空采用滑閥泵，或旋片泵抽氣，這二種泵的本底油蒸汽壓為10-1Pa。 中真空區(qū)段通常采用羅茨泵抽氣。羅茨泵的最大壓縮比不超過50，而且與氣體種

3、類幾乎無關(guān)，因此，該泵只能將滑閥泵的油蒸汽污染降低1 個數(shù)量級。加上該泵采用有油軸承，軸承與鍍膜室之間存在直通通道，因此，本身也是一個污染源，本底油蒸汽壓為10-210-3Pa量級，其污染不能忽略。 以油蒸汽為工作質(zhì)的擴散泵是污染的主要源頭。擴散泵高閥處存在大量液態(tài)泵油，鍍膜室抽氣口常見的褐色、粘稠狀物質(zhì)就是明證。擴散泵的油蒸汽本底在10-410-6Pa，該油蒸汽壓看起來很低，但造成的污染很難清除，加上分子量大，對鍍膜產(chǎn)生的不利影響以一抵十，是真空鍍膜的頭號大敵。鍍膜設(shè)備使用一段時間后，抽氣時間變長也是油蒸汽污染的直接結(jié)果。2能耗高 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的抽氣能耗很高。 1600 1900 大型蒸

4、發(fā)鍍膜設(shè)備常用的配置主要有如下兩種：單擴散泵機組和雙擴散泵機組。兩種設(shè)備的具體配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗如表1所示。表1 1600 1900蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的真空泵配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗 單擴散泵機組和雙擴散泵機組的實際抽氣能耗分別為35kW 和52kW，年耗電28萬度和40萬度/臺。 3活性氣體分壓強高 除了油蒸汽之外，活性氣體是影響鍍膜質(zhì)量的最重要的因數(shù)。蒸發(fā)鍍膜設(shè)備頻繁暴露大氣，鍍膜室會吸附大量可凝性氣體（H2O 為主）。實測結(jié)果表明，蒸發(fā)鍍膜的精抽本底中，H2O占總氣體總量的8090%。 因此，蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的升級換代，需要應(yīng)對上述三大難題。 近年來，部分蒸發(fā)鍍膜設(shè)備開始采用

5、深冷水汽泵（-120）與擴散泵一起工作（例如珠三角地區(qū)比較流行的雙擴散泵機組），抽氣時間明顯縮短，油蒸汽污染也有所降低（未能消除），但能耗和費用卻進一步增加，因此，未能在大范圍內(nèi)推廣應(yīng)用。二、升級換代的新路 分子增壓泵+深冷水汽泵 最近，深圳大學(xué)的原創(chuàng)性科技成果 分子增壓泵 實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，該泵的結(jié)構(gòu)和性能分別如圖1、2所示，具有結(jié)構(gòu)簡單，轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，兼有中、高真空泵雙重性能，而且能耗低，抽速1,000L/s的MB200D分子增壓泵能耗0.25kW，僅為同抽速羅茨泵的15%，擴散泵的20%，分子泵的60%，還能獲得十分清潔的中、高真空。此外，該泵轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，消除了分子泵易發(fā)生

6、打片損壞的一大缺陷。圖1 MB200D分子增壓泵的平圓盤轉(zhuǎn) 近年來，深冷水汽泵（POLYCOLD，-120）開始獲得推廣應(yīng)用，該泵能耗低、無油蒸汽污染、對水蒸汽的抽速高達20,000200,000L/s。目前，我國已有多家廠商生產(chǎn)深冷水氣泵(阱)，部分產(chǎn)品質(zhì)量已接近進口水平，售價不到進口產(chǎn)品的50%。我們采用的是上海協(xié)元低溫真空設(shè)備有限公司生產(chǎn)的制冷面積為0.4M2的深冷水氣泵，深冷溫度低于130。 上述二種新型的抽氣裝備，為攻克大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的三大難題提供了新的路子：1油蒸汽的對策 中、高真空采用能獲得清潔中、高真空的分子增壓泵+深冷水氣泵，取代擴散泵和羅茨泵。 粗真空采用獨特抽氣工藝，粗

7、抽壓強從幾Pa 提高到幾十Pa，將油蒸汽污染降至可檢測值之下。2高能耗的對策 采用低能耗的分子增壓泵和深冷水汽泵，取代高能耗擴散泵和羅茨泵，節(jié)省精抽能耗80%以上。 粗抽壓強從幾Pa 提高到50100Pa，粗抽泵（滑閥泵，或旋片泵）運行時間降至34分鐘，節(jié)省粗抽能耗70%。 3活性可凝性氣體的對策 采用深冷水氣泵作輔助抽氣，對水蒸汽的抽速可提高至40,000L/s 以上。上一頁12 下一頁 友情提示：如需查看全文，請全文下載，或者進入真空論壇提問。 最近，我們采用4臺抽速1,000L/s的分子增壓泵+1臺0.4m2 深冷水汽泵組成高真空抽氣機組，成功取代瞭為 1600 1900大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

8、配套的2臺K-800擴散泵和1臺ZJ-1200羅茨泵抽氣機組，取得瞭下列優(yōu)異成果： 抽氣能耗：2.5 度/爐，比原設(shè)備節(jié)省80%，年節(jié)電3040萬度/臺，相當(dāng)於每臺設(shè)備減排CO2200300噸/年。 鍍膜周期（粗抽時間相同）：12分鐘，與原設(shè)備相同。 真空質(zhì)量：明顯優(yōu)於原設(shè)備。 鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量：優(yōu)於原設(shè)備產(chǎn)品的質(zhì)量，消除瞭膜層色澤泛黃現(xiàn)象。 設(shè)備費用：比雙擴散泵機組節(jié)省5 萬元；比單擴散泵機組增加13萬元，6個月節(jié)省的電費可收回增加的設(shè)備費。 本項技術(shù)原則上還可以用於其它大型高真空設(shè)備，2臺K-800擴散泵的抽速總和已超過目前最大的KT-1000油擴散泵。因此，本項成果已表明：大型擴散泵+羅茨泵

9、機組退出歷史舞臺的日子已經(jīng)不遠(yuǎn)瞭。一、大型蒸發(fā)鍍膜目前存在的問題1油蒸汽污染 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備容積大，氣體負(fù)載重，目前普遍采用大型擴散泵、羅茨泵和滑閥泵機組抽氣，存在油蒸汽污染嚴(yán)重，膜層結(jié)合力差，表面色澤泛黃，鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量低等缺點。 油蒸汽污染的來源： 蒸發(fā)鍍膜低真空采用滑閥泵，或旋片泵抽氣，這二種泵的本底油蒸汽壓為10-1Pa。 中真空區(qū)段通常采用羅茨泵抽氣。羅茨泵的最大壓縮比不超過50，而且與氣體種類幾乎無關(guān)，因此，該泵隻能將滑閥泵的油蒸汽污染降低1 個數(shù)量級。加上該泵采用有油軸承，軸承與鍍膜室之間存在直通通道，因此，本身也是一個污染源，本底油蒸汽壓為10-210-3Pa量級，其污染不能忽

10、略。 以油蒸汽為工作質(zhì)的擴散泵是污染的主要源頭。擴散泵高閥處存在大量液態(tài)泵油，鍍膜室抽氣口常見的褐色、粘稠狀物質(zhì)就是明證。擴散泵的油蒸汽本底在10-410-6Pa，該油蒸汽壓看起來很低，但造成的污染很難清除，加上分子量大，對鍍膜產(chǎn)生的不利影響以一抵十，是真空鍍膜的頭號大敵。鍍膜設(shè)備使用一段時間後，抽氣時間變長也是油蒸汽污染的直接結(jié)果。2能耗高 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的抽氣能耗很高。 1600 1900 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備常用的配置主要有如下兩種：單擴散泵機組和雙擴散泵機組。兩種設(shè)備的具體配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗如表1所示。表1 1600 1900蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的真空泵配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣

11、能耗 單擴散泵機組和雙擴散泵機組的實際抽氣能耗分別為35kW 和52kW，年耗電28萬度和40萬度/臺。 3活性氣體分壓強高 除瞭油蒸汽之外，活性氣體是影響鍍膜質(zhì)量的最重要的因數(shù)。蒸發(fā)鍍膜設(shè)備頻繁暴露大氣，鍍膜室會吸附大量可凝性氣體（H2O 為主）。實測結(jié)果表明，蒸發(fā)鍍膜的精抽本底中，H2O占總氣體總量的8090%。 因此，蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的升級換代，需要應(yīng)對上述三大難題。 近年來，部分蒸發(fā)鍍膜設(shè)備開始采用深冷水汽泵（-120）與擴散泵一起工作（例如珠三角地區(qū)比較流行的雙擴散泵機組），抽氣時間明顯縮短，油蒸汽污染也有所降低（未能消除），但能耗和費用卻進一步增加，因此，未能在大范圍內(nèi)推廣應(yīng)用。二、升

12、級換代的新路 分子增壓泵+深冷水汽泵 最近，深圳大學(xué)的原創(chuàng)性科技成果 分子增壓泵 實現(xiàn)瞭產(chǎn)業(yè)化，該泵的結(jié)構(gòu)和性能分別如圖1、2所示，具有結(jié)構(gòu)簡單，轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，兼有中、高真空泵雙重性能，而且能耗低，抽速1,000L/s的MB200D分子增壓泵能耗0.25kW，僅為同抽速羅茨泵的15%，擴散泵的20%，分子泵的60%，還能獲得十分清潔的中、高真空。此外，該泵轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，消除瞭分子泵易發(fā)生打片損壞的一大缺陷。圖1 MB200D分子增壓泵的平圓盤轉(zhuǎn) 近年來，深冷水汽泵（POLYCOLD，-120）開始獲得推廣應(yīng)用，該泵能耗低、無油蒸汽污染、對水蒸汽的抽速高達20,000200,00

13、0L/s。目前，我國已有多傢廠商生產(chǎn)深冷水氣泵(阱)，部分產(chǎn)品質(zhì)量已接近進口水平，售價不到進口產(chǎn)品的50%。我們采用的是上海協(xié)元低溫真空設(shè)備有限公司生產(chǎn)的制冷面積為0.4M2的深冷水氣泵，深冷溫度低於130。 上述二種新型的抽氣裝備，為攻克大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的三大難題提供瞭新的路子：1油蒸汽的對策 中、高真空采用能獲得清潔中、高真空的分子增壓泵+深冷水氣泵，取代擴散泵和羅茨泵。 粗真空采用獨特抽氣工藝，粗抽壓強從幾Pa 提高到幾十Pa，將油蒸汽污染降至可檢測值之下。2高能耗的對策 采用低能耗的分子增壓泵和深冷水汽泵，取代高能耗擴散泵和羅茨泵，節(jié)省精抽能耗80%以上。 粗抽壓強從幾Pa 提高到50

14、100Pa，粗抽泵（滑閥泵，或旋片泵）運行時間降至34分鐘，節(jié)省粗抽能耗70%。 3活性可凝性氣體的對策 采用深冷水氣泵作輔助抽氣，對水蒸汽的抽速可提高至40,000L/s 以上。上一頁12 下一頁 友情提示：如需查看全文，請全文下載，或者進入真空論壇提問。 最近，我們采用4臺抽速1,000L/s的分子增壓泵+1臺0.4m2 深冷水汽泵組成高真空抽氣機組，成功取代了為 1600 1900大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備配套的2臺K-800擴散泵和1臺ZJ-1200羅茨泵抽氣機組，取得了下列優(yōu)異成果： 抽氣能耗：2.5 度/爐，比原設(shè)備節(jié)省80%，年節(jié)電3040萬度/臺，相當(dāng)于每臺設(shè)備減排CO2200300噸/

15、年。 鍍膜周期（粗抽時間相同）：12分鐘，與原設(shè)備相同。 真空質(zhì)量：明顯優(yōu)于原設(shè)備。 鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量：優(yōu)于原設(shè)備產(chǎn)品的質(zhì)量，消除了膜層色澤泛黃現(xiàn)象。 設(shè)備費用：比雙擴散泵機組節(jié)省5 萬元；比單擴散泵機組增加13萬元，6個月節(jié)省的電費可收回增加的設(shè)備費。 本項技術(shù)原則上還可以用于其它大型高真空設(shè)備，2臺K-800擴散泵的抽速總和已超過目前最大的KT-1000油擴散泵。因此，本項成果已表明：大型擴散泵+羅茨泵機組退出歷史舞臺的日子已經(jīng)不遠(yuǎn)了。一、大型蒸發(fā)鍍膜目前存在的問題1油蒸汽污染 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備容積大，氣體負(fù)載重，目前普遍采用大型擴散泵、羅茨泵和滑閥泵機組抽氣，存在油蒸汽污染嚴(yán)重，膜層結(jié)合力差

16、，表面色澤泛黃，鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量低等缺點。 油蒸汽污染的來源： 蒸發(fā)鍍膜低真空采用滑閥泵，或旋片泵抽氣，這二種泵的本底油蒸汽壓為10-1Pa。 中真空區(qū)段通常采用羅茨泵抽氣。羅茨泵的最大壓縮比不超過50，而且與氣體種類幾乎無關(guān)，因此，該泵只能將滑閥泵的油蒸汽污染降低1 個數(shù)量級。加上該泵采用有油軸承，軸承與鍍膜室之間存在直通通道，因此，本身也是一個污染源，本底油蒸汽壓為10-210-3Pa量級，其污染不能忽略。 以油蒸汽為工作質(zhì)的擴散泵是污染的主要源頭。擴散泵高閥處存在大量液態(tài)泵油，鍍膜室抽氣口常見的褐色、粘稠狀物質(zhì)就是明證。擴散泵的油蒸汽本底在10-410-6Pa，該油蒸汽壓看起來很低，但造成的

17、污染很難清除，加上分子量大，對鍍膜產(chǎn)生的不利影響以一抵十，是真空鍍膜的頭號大敵。鍍膜設(shè)備使用一段時間后，抽氣時間變長也是油蒸汽污染的直接結(jié)果。2能耗高 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的抽氣能耗很高。 1600 1900 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備常用的配置主要有如下兩種：單擴散泵機組和雙擴散泵機組。兩種設(shè)備的具體配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗如表1所示。表1 1600 1900蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的真空泵配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗 單擴散泵機組和雙擴散泵機組的實際抽氣能耗分別為35kW 和52kW，年耗電28萬度和40萬度/臺。 3活性氣體分壓強高 除了油蒸汽之外，活性氣體是影響鍍膜質(zhì)量的最重要的因數(shù)。蒸發(fā)鍍膜設(shè)備頻

18、繁暴露大氣，鍍膜室會吸附大量可凝性氣體（H2O 為主）。實測結(jié)果表明，蒸發(fā)鍍膜的精抽本底中，H2O占總氣體總量的8090%。 因此，蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的升級換代，需要應(yīng)對上述三大難題。 近年來，部分蒸發(fā)鍍膜設(shè)備開始采用深冷水汽泵（-120）與擴散泵一起工作（例如珠三角地區(qū)比較流行的雙擴散泵機組），抽氣時間明顯縮短，油蒸汽污染也有所降低（未能消除），但能耗和費用卻進一步增加，因此，未能在大范圍內(nèi)推廣應(yīng)用。二、升級換代的新路 分子增壓泵+深冷水汽泵 最近，深圳大學(xué)的原創(chuàng)性科技成果 分子增壓泵 實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，該泵的結(jié)構(gòu)和性能分別如圖1、2所示，具有結(jié)構(gòu)簡單，轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，兼有中、高真空泵雙重性能，

19、而且能耗低，抽速1,000L/s的MB200D分子增壓泵能耗0.25kW，僅為同抽速羅茨泵的15%，擴散泵的20%，分子泵的60%，還能獲得十分清潔的中、高真空。此外，該泵轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，消除了分子泵易發(fā)生打片損壞的一大缺陷。圖1 MB200D分子增壓泵的平圓盤轉(zhuǎn) 近年來，深冷水汽泵（POLYCOLD，-120）開始獲得推廣應(yīng)用，該泵能耗低、無油蒸汽污染、對水蒸汽的抽速高達20,000200,000L/s。目前，我國已有多家廠商生產(chǎn)深冷水氣泵(阱)，部分產(chǎn)品質(zhì)量已接近進口水平，售價不到進口產(chǎn)品的50%。我們采用的是上海協(xié)元低溫真空設(shè)備有限公司生產(chǎn)的制冷面積為0.4M2的深冷水氣泵，深冷溫

20、度低于130。 上述二種新型的抽氣裝備，為攻克大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的三大難題提供了新的路子：1油蒸汽的對策 中、高真空采用能獲得清潔中、高真空的分子增壓泵+深冷水氣泵，取代擴散泵和羅茨泵。 粗真空采用獨特抽氣工藝，粗抽壓強從幾Pa 提高到幾十Pa，將油蒸汽污染降至可檢測值之下。2高能耗的對策 采用低能耗的分子增壓泵和深冷水汽泵，取代高能耗擴散泵和羅茨泵，節(jié)省精抽能耗80%以上。 粗抽壓強從幾Pa 提高到50100Pa，粗抽泵（滑閥泵，或旋片泵）運行時間降至34分鐘，節(jié)省粗抽能耗70%。 3活性可凝性氣體的對策 采用深冷水氣泵作輔助抽氣，對水蒸汽的抽速可提高至40,000L/s 以上。上一頁12 下

21、一頁 友情提示：如需查看全文，請全文下載，或者進入真空論壇提問。 最近，我們采用4臺抽速1,000L/s的分子增壓泵+1臺0.4m2 深冷水汽泵組成高真空抽氣機組，成功取代瞭為 1600 1900大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備配套的2臺K-800擴散泵和1臺ZJ-1200羅茨泵抽氣機組，取得瞭下列優(yōu)異成果： 抽氣能耗：2.5 度/爐，比原設(shè)備節(jié)省80%，年節(jié)電3040萬度/臺，相當(dāng)於每臺設(shè)備減排CO2200300噸/年。 鍍膜周期（粗抽時間相同）：12分鐘，與原設(shè)備相同。 真空質(zhì)量：明顯優(yōu)於原設(shè)備。 鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量：優(yōu)於原設(shè)備產(chǎn)品的質(zhì)量，消除瞭膜層色澤泛黃現(xiàn)象。 設(shè)備費用：比雙擴散泵機組節(jié)省5 萬元；比單擴散

22、泵機組增加13萬元，6個月節(jié)省的電費可收回增加的設(shè)備費。 本項技術(shù)原則上還可以用於其它大型高真空設(shè)備，2臺K-800擴散泵的抽速總和已超過目前最大的KT-1000油擴散泵。因此，本項成果已表明：大型擴散泵+羅茨泵機組退出歷史舞臺的日子已經(jīng)不遠(yuǎn)瞭。一、大型蒸發(fā)鍍膜目前存在的問題1油蒸汽污染 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備容積大，氣體負(fù)載重，目前普遍采用大型擴散泵、羅茨泵和滑閥泵機組抽氣，存在油蒸汽污染嚴(yán)重，膜層結(jié)合力差，表面色澤泛黃，鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量低等缺點。 油蒸汽污染的來源： 蒸發(fā)鍍膜低真空采用滑閥泵，或旋片泵抽氣，這二種泵的本底油蒸汽壓為10-1Pa。 中真空區(qū)段通常采用羅茨泵抽氣。羅茨泵的最大壓縮比不超過

23、50，而且與氣體種類幾乎無關(guān)，因此，該泵隻能將滑閥泵的油蒸汽污染降低1 個數(shù)量級。加上該泵采用有油軸承，軸承與鍍膜室之間存在直通通道，因此，本身也是一個污染源，本底油蒸汽壓為10-210-3Pa量級，其污染不能忽略。 以油蒸汽為工作質(zhì)的擴散泵是污染的主要源頭。擴散泵高閥處存在大量液態(tài)泵油，鍍膜室抽氣口常見的褐色、粘稠狀物質(zhì)就是明證。擴散泵的油蒸汽本底在10-410-6Pa，該油蒸汽壓看起來很低，但造成的污染很難清除，加上分子量大，對鍍膜產(chǎn)生的不利影響以一抵十，是真空鍍膜的頭號大敵。鍍膜設(shè)備使用一段時間後，抽氣時間變長也是油蒸汽污染的直接結(jié)果。2能耗高 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的抽氣能耗很高。 1600

24、 1900 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備常用的配置主要有如下兩種：單擴散泵機組和雙擴散泵機組。兩種設(shè)備的具體配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗如表1所示。表1 1600 1900蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的真空泵配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗 單擴散泵機組和雙擴散泵機組的實際抽氣能耗分別為35kW 和52kW，年耗電28萬度和40萬度/臺。 3活性氣體分壓強高 除瞭油蒸汽之外，活性氣體是影響鍍膜質(zhì)量的最重要的因數(shù)。蒸發(fā)鍍膜設(shè)備頻繁暴露大氣，鍍膜室會吸附大量可凝性氣體（H2O 為主）。實測結(jié)果表明，蒸發(fā)鍍膜的精抽本底中，H2O占總氣體總量的8090%。 因此，蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的升級換代，需要應(yīng)對上述三大難題。 近年來，部分蒸

25、發(fā)鍍膜設(shè)備開始采用深冷水汽泵（-120）與擴散泵一起工作（例如珠三角地區(qū)比較流行的雙擴散泵機組），抽氣時間明顯縮短，油蒸汽污染也有所降低（未能消除），但能耗和費用卻進一步增加，因此，未能在大范圍內(nèi)推廣應(yīng)用。二、升級換代的新路 分子增壓泵+深冷水汽泵 最近，深圳大學(xué)的原創(chuàng)性科技成果 分子增壓泵 實現(xiàn)瞭產(chǎn)業(yè)化，該泵的結(jié)構(gòu)和性能分別如圖1、2所示，具有結(jié)構(gòu)簡單，轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，兼有中、高真空泵雙重性能，而且能耗低，抽速1,000L/s的MB200D分子增壓泵能耗0.25kW，僅為同抽速羅茨泵的15%，擴散泵的20%，分子泵的60%，還能獲得十分清潔的中、高真空。此外，該泵轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，

26、消除瞭分子泵易發(fā)生打片損壞的一大缺陷。圖1 MB200D分子增壓泵的平圓盤轉(zhuǎn) 近年來，深冷水汽泵（POLYCOLD，-120）開始獲得推廣應(yīng)用，該泵能耗低、無油蒸汽污染、對水蒸汽的抽速高達20,000200,000L/s。目前，我國已有多傢廠商生產(chǎn)深冷水氣泵(阱)，部分產(chǎn)品質(zhì)量已接近進口水平，售價不到進口產(chǎn)品的50%。我們采用的是上海協(xié)元低溫真空設(shè)備有限公司生產(chǎn)的制冷面積為0.4M2的深冷水氣泵，深冷溫度低於130。 上述二種新型的抽氣裝備，為攻克大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的三大難題提供瞭新的路子：1油蒸汽的對策 中、高真空采用能獲得清潔中、高真空的分子增壓泵+深冷水氣泵，取代擴散泵和羅茨泵。 粗真空采

27、用獨特抽氣工藝，粗抽壓強從幾Pa 提高到幾十Pa，將油蒸汽污染降至可檢測值之下。2高能耗的對策 采用低能耗的分子增壓泵和深冷水汽泵，取代高能耗擴散泵和羅茨泵，節(jié)省精抽能耗80%以上。 粗抽壓強從幾Pa 提高到50100Pa，粗抽泵（滑閥泵，或旋片泵）運行時間降至34分鐘，節(jié)省粗抽能耗70%。 3活性可凝性氣體的對策 采用深冷水氣泵作輔助抽氣，對水蒸汽的抽速可提高至40,000L/s 以上。上一頁12 下一頁 友情提示：如需查看全文，請全文下載，或者進入真空論壇提問。 最近，我們采用4臺抽速1,000L/s的分子增壓泵+1臺0.4m2 深冷水汽泵組成高真空抽氣機組，成功取代了為 1600 190

28、0大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備配套的2臺K-800擴散泵和1臺ZJ-1200羅茨泵抽氣機組，取得了下列優(yōu)異成果： 抽氣能耗：2.5 度/爐，比原設(shè)備節(jié)省80%，年節(jié)電3040萬度/臺，相當(dāng)于每臺設(shè)備減排CO2200300噸/年。 鍍膜周期（粗抽時間相同）：12分鐘，與原設(shè)備相同。 真空質(zhì)量：明顯優(yōu)于原設(shè)備。 鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量：優(yōu)于原設(shè)備產(chǎn)品的質(zhì)量，消除了膜層色澤泛黃現(xiàn)象。 設(shè)備費用：比雙擴散泵機組節(jié)省5 萬元；比單擴散泵機組增加13萬元，6個月節(jié)省的電費可收回增加的設(shè)備費。 本項技術(shù)原則上還可以用于其它大型高真空設(shè)備，2臺K-800擴散泵的抽速總和已超過目前最大的KT-1000油擴散泵。因此，本項成果已表明：

29、大型擴散泵+羅茨泵機組退出歷史舞臺的日子已經(jīng)不遠(yuǎn)了。一、大型蒸發(fā)鍍膜目前存在的問題1油蒸汽污染 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備容積大，氣體負(fù)載重，目前普遍采用大型擴散泵、羅茨泵和滑閥泵機組抽氣，存在油蒸汽污染嚴(yán)重，膜層結(jié)合力差，表面色澤泛黃，鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量低等缺點。 油蒸汽污染的來源： 蒸發(fā)鍍膜低真空采用滑閥泵，或旋片泵抽氣，這二種泵的本底油蒸汽壓為10-1Pa。 中真空區(qū)段通常采用羅茨泵抽氣。羅茨泵的最大壓縮比不超過50，而且與氣體種類幾乎無關(guān)，因此，該泵只能將滑閥泵的油蒸汽污染降低1 個數(shù)量級。加上該泵采用有油軸承，軸承與鍍膜室之間存在直通通道，因此，本身也是一個污染源，本底油蒸汽壓為10-210-3Pa

30、量級，其污染不能忽略。 以油蒸汽為工作質(zhì)的擴散泵是污染的主要源頭。擴散泵高閥處存在大量液態(tài)泵油，鍍膜室抽氣口常見的褐色、粘稠狀物質(zhì)就是明證。擴散泵的油蒸汽本底在10-410-6Pa，該油蒸汽壓看起來很低，但造成的污染很難清除，加上分子量大，對鍍膜產(chǎn)生的不利影響以一抵十，是真空鍍膜的頭號大敵。鍍膜設(shè)備使用一段時間后，抽氣時間變長也是油蒸汽污染的直接結(jié)果。2能耗高 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的抽氣能耗很高。 1600 1900 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備常用的配置主要有如下兩種：單擴散泵機組和雙擴散泵機組。兩種設(shè)備的具體配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗如表1所示。表1 1600 1900蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的真空泵配置、標(biāo)稱

31、抽氣能耗和實際抽氣能耗 單擴散泵機組和雙擴散泵機組的實際抽氣能耗分別為35kW 和52kW，年耗電28萬度和40萬度/臺。 3活性氣體分壓強高 除了油蒸汽之外，活性氣體是影響鍍膜質(zhì)量的最重要的因數(shù)。蒸發(fā)鍍膜設(shè)備頻繁暴露大氣，鍍膜室會吸附大量可凝性氣體（H2O 為主）。實測結(jié)果表明，蒸發(fā)鍍膜的精抽本底中，H2O占總氣體總量的8090%。 因此，蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的升級換代，需要應(yīng)對上述三大難題。 近年來，部分蒸發(fā)鍍膜設(shè)備開始采用深冷水汽泵（-120）與擴散泵一起工作（例如珠三角地區(qū)比較流行的雙擴散泵機組），抽氣時間明顯縮短，油蒸汽污染也有所降低（未能消除），但能耗和費用卻進一步增加，因此，未能在大范圍

32、內(nèi)推廣應(yīng)用。二、升級換代的新路 分子增壓泵+深冷水汽泵 最近，深圳大學(xué)的原創(chuàng)性科技成果 分子增壓泵 實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，該泵的結(jié)構(gòu)和性能分別如圖1、2所示，具有結(jié)構(gòu)簡單，轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，兼有中、高真空泵雙重性能，而且能耗低，抽速1,000L/s的MB200D分子增壓泵能耗0.25kW，僅為同抽速羅茨泵的15%，擴散泵的20%，分子泵的60%，還能獲得十分清潔的中、高真空。此外，該泵轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，消除了分子泵易發(fā)生打片損壞的一大缺陷。圖1 MB200D分子增壓泵的平圓盤轉(zhuǎn) 近年來，深冷水汽泵（POLYCOLD，-120）開始獲得推廣應(yīng)用，該泵能耗低、無油蒸汽污染、對水蒸汽的抽速高達20,

33、000200,000L/s。目前，我國已有多家廠商生產(chǎn)深冷水氣泵(阱)，部分產(chǎn)品質(zhì)量已接近進口水平，售價不到進口產(chǎn)品的50%。我們采用的是上海協(xié)元低溫真空設(shè)備有限公司生產(chǎn)的制冷面積為0.4M2的深冷水氣泵，深冷溫度低于130。 上述二種新型的抽氣裝備，為攻克大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的三大難題提供了新的路子：1油蒸汽的對策 中、高真空采用能獲得清潔中、高真空的分子增壓泵+深冷水氣泵，取代擴散泵和羅茨泵。 粗真空采用獨特抽氣工藝，粗抽壓強從幾Pa 提高到幾十Pa，將油蒸汽污染降至可檢測值之下。2高能耗的對策 采用低能耗的分子增壓泵和深冷水汽泵，取代高能耗擴散泵和羅茨泵，節(jié)省精抽能耗80%以上。 粗抽壓強從

34、幾Pa 提高到50100Pa，粗抽泵（滑閥泵，或旋片泵）運行時間降至34分鐘，節(jié)省粗抽能耗70%。 3活性可凝性氣體的對策 采用深冷水氣泵作輔助抽氣，對水蒸汽的抽速可提高至40,000L/s 以上。上一頁12 下一頁 友情提示：如需查看全文，請全文下載，或者進入真空論壇提問。 最近，我們采用4臺抽速1,000L/s的分子增壓泵+1臺0.4m2 深冷水汽泵組成高真空抽氣機組，成功取代瞭為 1600 1900大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備配套的2臺K-800擴散泵和1臺ZJ-1200羅茨泵抽氣機組，取得瞭下列優(yōu)異成果： 抽氣能耗：2.5 度/爐，比原設(shè)備節(jié)省80%，年節(jié)電3040萬度/臺，相當(dāng)於每臺設(shè)備減排CO

35、2200300噸/年。 鍍膜周期（粗抽時間相同）：12分鐘，與原設(shè)備相同。 真空質(zhì)量：明顯優(yōu)於原設(shè)備。 鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量：優(yōu)於原設(shè)備產(chǎn)品的質(zhì)量，消除瞭膜層色澤泛黃現(xiàn)象。 設(shè)備費用：比雙擴散泵機組節(jié)省5 萬元；比單擴散泵機組增加13萬元，6個月節(jié)省的電費可收回增加的設(shè)備費。 本項技術(shù)原則上還可以用於其它大型高真空設(shè)備，2臺K-800擴散泵的抽速總和已超過目前最大的KT-1000油擴散泵。因此，本項成果已表明：大型擴散泵+羅茨泵機組退出歷史舞臺的日子已經(jīng)不遠(yuǎn)瞭。一、大型蒸發(fā)鍍膜目前存在的問題1油蒸汽污染 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備容積大，氣體負(fù)載重，目前普遍采用大型擴散泵、羅茨泵和滑閥泵機組抽氣，存在油蒸汽污染

36、嚴(yán)重，膜層結(jié)合力差，表面色澤泛黃，鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量低等缺點。 油蒸汽污染的來源： 蒸發(fā)鍍膜低真空采用滑閥泵，或旋片泵抽氣，這二種泵的本底油蒸汽壓為10-1Pa。 中真空區(qū)段通常采用羅茨泵抽氣。羅茨泵的最大壓縮比不超過50，而且與氣體種類幾乎無關(guān)，因此，該泵隻能將滑閥泵的油蒸汽污染降低1 個數(shù)量級。加上該泵采用有油軸承，軸承與鍍膜室之間存在直通通道，因此，本身也是一個污染源，本底油蒸汽壓為10-210-3Pa量級，其污染不能忽略。 以油蒸汽為工作質(zhì)的擴散泵是污染的主要源頭。擴散泵高閥處存在大量液態(tài)泵油，鍍膜室抽氣口常見的褐色、粘稠狀物質(zhì)就是明證。擴散泵的油蒸汽本底在10-410-6Pa，該油蒸汽壓看

37、起來很低，但造成的污染很難清除，加上分子量大，對鍍膜產(chǎn)生的不利影響以一抵十，是真空鍍膜的頭號大敵。鍍膜設(shè)備使用一段時間後，抽氣時間變長也是油蒸汽污染的直接結(jié)果。2能耗高 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的抽氣能耗很高。 1600 1900 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備常用的配置主要有如下兩種：單擴散泵機組和雙擴散泵機組。兩種設(shè)備的具體配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗如表1所示。表1 1600 1900蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的真空泵配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗 單擴散泵機組和雙擴散泵機組的實際抽氣能耗分別為35kW 和52kW，年耗電28萬度和40萬度/臺。 3活性氣體分壓強高 除瞭油蒸汽之外，活性氣體是影響鍍膜質(zhì)量的最重要的因

38、數(shù)。蒸發(fā)鍍膜設(shè)備頻繁暴露大氣，鍍膜室會吸附大量可凝性氣體（H2O 為主）。實測結(jié)果表明，蒸發(fā)鍍膜的精抽本底中，H2O占總氣體總量的8090%。 因此，蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的升級換代，需要應(yīng)對上述三大難題。 近年來，部分蒸發(fā)鍍膜設(shè)備開始采用深冷水汽泵（-120）與擴散泵一起工作（例如珠三角地區(qū)比較流行的雙擴散泵機組），抽氣時間明顯縮短，油蒸汽污染也有所降低（未能消除），但能耗和費用卻進一步增加，因此，未能在大范圍內(nèi)推廣應(yīng)用。二、升級換代的新路 分子增壓泵+深冷水汽泵 最近，深圳大學(xué)的原創(chuàng)性科技成果 分子增壓泵 實現(xiàn)瞭產(chǎn)業(yè)化，該泵的結(jié)構(gòu)和性能分別如圖1、2所示，具有結(jié)構(gòu)簡單，轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，兼有中、

39、高真空泵雙重性能，而且能耗低，抽速1,000L/s的MB200D分子增壓泵能耗0.25kW，僅為同抽速羅茨泵的15%，擴散泵的20%，分子泵的60%，還能獲得十分清潔的中、高真空。此外，該泵轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，消除瞭分子泵易發(fā)生打片損壞的一大缺陷。圖1 MB200D分子增壓泵的平圓盤轉(zhuǎn) 近年來，深冷水汽泵（POLYCOLD，-120）開始獲得推廣應(yīng)用，該泵能耗低、無油蒸汽污染、對水蒸汽的抽速高達20,000200,000L/s。目前，我國已有多傢廠商生產(chǎn)深冷水氣泵(阱)，部分產(chǎn)品質(zhì)量已接近進口水平，售價不到進口產(chǎn)品的50%。我們采用的是上海協(xié)元低溫真空設(shè)備有限公司生產(chǎn)的制冷面積為0.4M2的

40、深冷水氣泵，深冷溫度低於130。 上述二種新型的抽氣裝備，為攻克大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的三大難題提供瞭新的路子：1油蒸汽的對策 中、高真空采用能獲得清潔中、高真空的分子增壓泵+深冷水氣泵，取代擴散泵和羅茨泵。 粗真空采用獨特抽氣工藝，粗抽壓強從幾Pa 提高到幾十Pa，將油蒸汽污染降至可檢測值之下。2高能耗的對策 采用低能耗的分子增壓泵和深冷水汽泵，取代高能耗擴散泵和羅茨泵，節(jié)省精抽能耗80%以上。 粗抽壓強從幾Pa 提高到50100Pa，粗抽泵（滑閥泵，或旋片泵）運行時間降至34分鐘，節(jié)省粗抽能耗70%。 3活性可凝性氣體的對策 采用深冷水氣泵作輔助抽氣，對水蒸汽的抽速可提高至40,000L/s 以

41、上。上一頁12 下一頁 友情提示：如需查看全文，請全文下載，或者進入真空論壇提問。 最近，我們采用4臺抽速1,000L/s的分子增壓泵+1臺0.4m2 深冷水汽泵組成高真空抽氣機組，成功取代了為 1600 1900大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備配套的2臺K-800擴散泵和1臺ZJ-1200羅茨泵抽氣機組，取得了下列優(yōu)異成果： 抽氣能耗：2.5 度/爐，比原設(shè)備節(jié)省80%，年節(jié)電3040萬度/臺，相當(dāng)于每臺設(shè)備減排CO2200300噸/年。 鍍膜周期（粗抽時間相同）：12分鐘，與原設(shè)備相同。 真空質(zhì)量：明顯優(yōu)于原設(shè)備。 鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量：優(yōu)于原設(shè)備產(chǎn)品的質(zhì)量，消除了膜層色澤泛黃現(xiàn)象。 設(shè)備費用：比雙擴散泵機組節(jié)省

42、5 萬元；比單擴散泵機組增加13萬元，6個月節(jié)省的電費可收回增加的設(shè)備費。 本項技術(shù)原則上還可以用于其它大型高真空設(shè)備，2臺K-800擴散泵的抽速總和已超過目前最大的KT-1000油擴散泵。因此，本項成果已表明：大型擴散泵+羅茨泵機組退出歷史舞臺的日子已經(jīng)不遠(yuǎn)了。一、大型蒸發(fā)鍍膜目前存在的問題1油蒸汽污染 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備容積大，氣體負(fù)載重，目前普遍采用大型擴散泵、羅茨泵和滑閥泵機組抽氣，存在油蒸汽污染嚴(yán)重，膜層結(jié)合力差，表面色澤泛黃，鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量低等缺點。 油蒸汽污染的來源： 蒸發(fā)鍍膜低真空采用滑閥泵，或旋片泵抽氣，這二種泵的本底油蒸汽壓為10-1Pa。 中真空區(qū)段通常采用羅茨泵抽氣。羅茨泵

43、的最大壓縮比不超過50，而且與氣體種類幾乎無關(guān)，因此，該泵只能將滑閥泵的油蒸汽污染降低1 個數(shù)量級。加上該泵采用有油軸承，軸承與鍍膜室之間存在直通通道，因此，本身也是一個污染源，本底油蒸汽壓為10-210-3Pa量級，其污染不能忽略。 以油蒸汽為工作質(zhì)的擴散泵是污染的主要源頭。擴散泵高閥處存在大量液態(tài)泵油，鍍膜室抽氣口常見的褐色、粘稠狀物質(zhì)就是明證。擴散泵的油蒸汽本底在10-410-6Pa，該油蒸汽壓看起來很低，但造成的污染很難清除，加上分子量大，對鍍膜產(chǎn)生的不利影響以一抵十，是真空鍍膜的頭號大敵。鍍膜設(shè)備使用一段時間后，抽氣時間變長也是油蒸汽污染的直接結(jié)果。2能耗高 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的抽氣能

44、耗很高。 1600 1900 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備常用的配置主要有如下兩種：單擴散泵機組和雙擴散泵機組。兩種設(shè)備的具體配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗如表1所示。表1 1600 1900蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的真空泵配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗 單擴散泵機組和雙擴散泵機組的實際抽氣能耗分別為35kW 和52kW，年耗電28萬度和40萬度/臺。 3活性氣體分壓強高 除了油蒸汽之外，活性氣體是影響鍍膜質(zhì)量的最重要的因數(shù)。蒸發(fā)鍍膜設(shè)備頻繁暴露大氣，鍍膜室會吸附大量可凝性氣體（H2O 為主）。實測結(jié)果表明，蒸發(fā)鍍膜的精抽本底中，H2O占總氣體總量的8090%。 因此，蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的升級換代，需要應(yīng)對上述三大難題

45、。 近年來，部分蒸發(fā)鍍膜設(shè)備開始采用深冷水汽泵（-120）與擴散泵一起工作（例如珠三角地區(qū)比較流行的雙擴散泵機組），抽氣時間明顯縮短，油蒸汽污染也有所降低（未能消除），但能耗和費用卻進一步增加，因此，未能在大范圍內(nèi)推廣應(yīng)用。二、升級換代的新路 分子增壓泵+深冷水汽泵 最近，深圳大學(xué)的原創(chuàng)性科技成果 分子增壓泵 實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，該泵的結(jié)構(gòu)和性能分別如圖1、2所示，具有結(jié)構(gòu)簡單，轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，兼有中、高真空泵雙重性能，而且能耗低，抽速1,000L/s的MB200D分子增壓泵能耗0.25kW，僅為同抽速羅茨泵的15%，擴散泵的20%，分子泵的60%，還能獲得十分清潔的中、高真空。此外，該泵轉(zhuǎn)子

46、全部由平圓盤構(gòu)成，消除了分子泵易發(fā)生打片損壞的一大缺陷。圖1 MB200D分子增壓泵的平圓盤轉(zhuǎn) 近年來，深冷水汽泵（POLYCOLD，-120）開始獲得推廣應(yīng)用，該泵能耗低、無油蒸汽污染、對水蒸汽的抽速高達20,000200,000L/s。目前，我國已有多家廠商生產(chǎn)深冷水氣泵(阱)，部分產(chǎn)品質(zhì)量已接近進口水平，售價不到進口產(chǎn)品的50%。我們采用的是上海協(xié)元低溫真空設(shè)備有限公司生產(chǎn)的制冷面積為0.4M2的深冷水氣泵，深冷溫度低于130。 上述二種新型的抽氣裝備，為攻克大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的三大難題提供了新的路子：1油蒸汽的對策 中、高真空采用能獲得清潔中、高真空的分子增壓泵+深冷水氣泵，取代擴散泵和

47、羅茨泵。 粗真空采用獨特抽氣工藝，粗抽壓強從幾Pa 提高到幾十Pa，將油蒸汽污染降至可檢測值之下。2高能耗的對策 采用低能耗的分子增壓泵和深冷水汽泵，取代高能耗擴散泵和羅茨泵，節(jié)省精抽能耗80%以上。 粗抽壓強從幾Pa 提高到50100Pa，粗抽泵（滑閥泵，或旋片泵）運行時間降至34分鐘，節(jié)省粗抽能耗70%。 3活性可凝性氣體的對策 采用深冷水氣泵作輔助抽氣，對水蒸汽的抽速可提高至40,000L/s 以上。上一頁12 下一頁 友情提示：如需查看全文，請全文下載，或者進入真空論壇提問。 最近，我們采用4臺抽速1,000L/s的分子增壓泵+1臺0.4m2 深冷水汽泵組成高真空抽氣機組，成功取代瞭為

48、 1600 1900大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備配套的2臺K-800擴散泵和1臺ZJ-1200羅茨泵抽氣機組，取得瞭下列優(yōu)異成果： 抽氣能耗：2.5 度/爐，比原設(shè)備節(jié)省80%，年節(jié)電3040萬度/臺，相當(dāng)於每臺設(shè)備減排CO2200300噸/年。 鍍膜周期（粗抽時間相同）：12分鐘，與原設(shè)備相同。 真空質(zhì)量：明顯優(yōu)於原設(shè)備。 鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量：優(yōu)於原設(shè)備產(chǎn)品的質(zhì)量，消除瞭膜層色澤泛黃現(xiàn)象。 設(shè)備費用：比雙擴散泵機組節(jié)省5 萬元；比單擴散泵機組增加13萬元，6個月節(jié)省的電費可收回增加的設(shè)備費。 本項技術(shù)原則上還可以用於其它大型高真空設(shè)備，2臺K-800擴散泵的抽速總和已超過目前最大的KT-1000油擴散泵。因此

49、，本項成果已表明：大型擴散泵+羅茨泵機組退出歷史舞臺的日子已經(jīng)不遠(yuǎn)瞭。一、大型蒸發(fā)鍍膜目前存在的問題1油蒸汽污染 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備容積大，氣體負(fù)載重，目前普遍采用大型擴散泵、羅茨泵和滑閥泵機組抽氣，存在油蒸汽污染嚴(yán)重，膜層結(jié)合力差，表面色澤泛黃，鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量低等缺點。 油蒸汽污染的來源： 蒸發(fā)鍍膜低真空采用滑閥泵，或旋片泵抽氣，這二種泵的本底油蒸汽壓為10-1Pa。 中真空區(qū)段通常采用羅茨泵抽氣。羅茨泵的最大壓縮比不超過50，而且與氣體種類幾乎無關(guān)，因此，該泵隻能將滑閥泵的油蒸汽污染降低1 個數(shù)量級。加上該泵采用有油軸承，軸承與鍍膜室之間存在直通通道，因此，本身也是一個污染源，本底油蒸汽壓為1

50、0-210-3Pa量級，其污染不能忽略。 以油蒸汽為工作質(zhì)的擴散泵是污染的主要源頭。擴散泵高閥處存在大量液態(tài)泵油，鍍膜室抽氣口常見的褐色、粘稠狀物質(zhì)就是明證。擴散泵的油蒸汽本底在10-410-6Pa，該油蒸汽壓看起來很低，但造成的污染很難清除，加上分子量大，對鍍膜產(chǎn)生的不利影響以一抵十，是真空鍍膜的頭號大敵。鍍膜設(shè)備使用一段時間後，抽氣時間變長也是油蒸汽污染的直接結(jié)果。2能耗高 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的抽氣能耗很高。 1600 1900 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備常用的配置主要有如下兩種：單擴散泵機組和雙擴散泵機組。兩種設(shè)備的具體配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗如表1所示。表1 1600 1900蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

51、的真空泵配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗 單擴散泵機組和雙擴散泵機組的實際抽氣能耗分別為35kW 和52kW，年耗電28萬度和40萬度/臺。 3活性氣體分壓強高 除瞭油蒸汽之外，活性氣體是影響鍍膜質(zhì)量的最重要的因數(shù)。蒸發(fā)鍍膜設(shè)備頻繁暴露大氣，鍍膜室會吸附大量可凝性氣體（H2O 為主）。實測結(jié)果表明，蒸發(fā)鍍膜的精抽本底中，H2O占總氣體總量的8090%。 因此，蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的升級換代，需要應(yīng)對上述三大難題。 近年來，部分蒸發(fā)鍍膜設(shè)備開始采用深冷水汽泵（-120）與擴散泵一起工作（例如珠三角地區(qū)比較流行的雙擴散泵機組），抽氣時間明顯縮短，油蒸汽污染也有所降低（未能消除），但能耗和費用卻進一步增加，

52、因此，未能在大范圍內(nèi)推廣應(yīng)用。二、升級換代的新路 分子增壓泵+深冷水汽泵 最近，深圳大學(xué)的原創(chuàng)性科技成果 分子增壓泵 實現(xiàn)瞭產(chǎn)業(yè)化，該泵的結(jié)構(gòu)和性能分別如圖1、2所示，具有結(jié)構(gòu)簡單，轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，兼有中、高真空泵雙重性能，而且能耗低，抽速1,000L/s的MB200D分子增壓泵能耗0.25kW，僅為同抽速羅茨泵的15%，擴散泵的20%，分子泵的60%，還能獲得十分清潔的中、高真空。此外，該泵轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，消除瞭分子泵易發(fā)生打片損壞的一大缺陷。圖1 MB200D分子增壓泵的平圓盤轉(zhuǎn) 近年來，深冷水汽泵（POLYCOLD，-120）開始獲得推廣應(yīng)用，該泵能耗低、無油蒸汽污染、對水蒸

53、汽的抽速高達20,000200,000L/s。目前，我國已有多傢廠商生產(chǎn)深冷水氣泵(阱)，部分產(chǎn)品質(zhì)量已接近進口水平，售價不到進口產(chǎn)品的50%。我們采用的是上海協(xié)元低溫真空設(shè)備有限公司生產(chǎn)的制冷面積為0.4M2的深冷水氣泵，深冷溫度低於130。 上述二種新型的抽氣裝備，為攻克大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的三大難題提供瞭新的路子：1油蒸汽的對策 中、高真空采用能獲得清潔中、高真空的分子增壓泵+深冷水氣泵，取代擴散泵和羅茨泵。 粗真空采用獨特抽氣工藝，粗抽壓強從幾Pa 提高到幾十Pa，將油蒸汽污染降至可檢測值之下。2高能耗的對策 采用低能耗的分子增壓泵和深冷水汽泵，取代高能耗擴散泵和羅茨泵，節(jié)省精抽能耗80%

54、以上。 粗抽壓強從幾Pa 提高到50100Pa，粗抽泵（滑閥泵，或旋片泵）運行時間降至34分鐘，節(jié)省粗抽能耗70%。 3活性可凝性氣體的對策 采用深冷水氣泵作輔助抽氣，對水蒸汽的抽速可提高至40,000L/s 以上。上一頁12 下一頁 友情提示：如需查看全文，請全文下載，或者進入真空論壇提問。 最近，我們采用4臺抽速1,000L/s的分子增壓泵+1臺0.4m2 深冷水汽泵組成高真空抽氣機組，成功取代了為 1600 1900大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備配套的2臺K-800擴散泵和1臺ZJ-1200羅茨泵抽氣機組，取得了下列優(yōu)異成果： 抽氣能耗：2.5 度/爐，比原設(shè)備節(jié)省80%，年節(jié)電3040萬度/臺，相當(dāng)

55、于每臺設(shè)備減排CO2200300噸/年。 鍍膜周期（粗抽時間相同）：12分鐘，與原設(shè)備相同。 真空質(zhì)量：明顯優(yōu)于原設(shè)備。 鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量：優(yōu)于原設(shè)備產(chǎn)品的質(zhì)量，消除了膜層色澤泛黃現(xiàn)象。 設(shè)備費用：比雙擴散泵機組節(jié)省5 萬元；比單擴散泵機組增加13萬元，6個月節(jié)省的電費可收回增加的設(shè)備費。 本項技術(shù)原則上還可以用于其它大型高真空設(shè)備，2臺K-800擴散泵的抽速總和已超過目前最大的KT-1000油擴散泵。因此，本項成果已表明：大型擴散泵+羅茨泵機組退出歷史舞臺的日子已經(jīng)不遠(yuǎn)了。一、大型蒸發(fā)鍍膜目前存在的問題1油蒸汽污染 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備容積大，氣體負(fù)載重，目前普遍采用大型擴散泵、羅茨泵和滑閥泵機組抽

56、氣，存在油蒸汽污染嚴(yán)重，膜層結(jié)合力差，表面色澤泛黃，鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量低等缺點。 油蒸汽污染的來源： 蒸發(fā)鍍膜低真空采用滑閥泵，或旋片泵抽氣，這二種泵的本底油蒸汽壓為10-1Pa。 中真空區(qū)段通常采用羅茨泵抽氣。羅茨泵的最大壓縮比不超過50，而且與氣體種類幾乎無關(guān)，因此，該泵只能將滑閥泵的油蒸汽污染降低1 個數(shù)量級。加上該泵采用有油軸承，軸承與鍍膜室之間存在直通通道，因此，本身也是一個污染源，本底油蒸汽壓為10-210-3Pa量級，其污染不能忽略。 以油蒸汽為工作質(zhì)的擴散泵是污染的主要源頭。擴散泵高閥處存在大量液態(tài)泵油，鍍膜室抽氣口常見的褐色、粘稠狀物質(zhì)就是明證。擴散泵的油蒸汽本底在10-410-6

57、Pa，該油蒸汽壓看起來很低，但造成的污染很難清除，加上分子量大，對鍍膜產(chǎn)生的不利影響以一抵十，是真空鍍膜的頭號大敵。鍍膜設(shè)備使用一段時間后，抽氣時間變長也是油蒸汽污染的直接結(jié)果。2能耗高 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的抽氣能耗很高。 1600 1900 大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備常用的配置主要有如下兩種：單擴散泵機組和雙擴散泵機組。兩種設(shè)備的具體配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗如表1所示。表1 1600 1900蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的真空泵配置、標(biāo)稱抽氣能耗和實際抽氣能耗 單擴散泵機組和雙擴散泵機組的實際抽氣能耗分別為35kW 和52kW，年耗電28萬度和40萬度/臺。 3活性氣體分壓強高 除了油蒸汽之外，活性氣體是影響鍍膜質(zhì)量的最重要的因數(shù)。蒸發(fā)鍍膜設(shè)備頻繁暴露大氣，鍍膜室會吸附大量可凝性氣體（H2O 為主）。實測結(jié)果表明，蒸發(fā)鍍膜的精