無塵室空調方案的比較(基本原創(chuàng)).doc

隨著信息產業(yè)技術的發(fā)展，許多電子產品性能、質量的提高和生產過程的微細化，越來越要求生產環(huán)境具有一定的空氣潔凈度和環(huán)境的控制。今年我有幸參加的常州晶瑞半導體工程的施工（主要是10000級無塵室和1000級無塵室），就無塵室暢談一下。在無塵車間潔凈工程的設計過程中，應根據該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結合其具體的生產工藝、生產流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據該工程的具體情況，同時還要考慮到生產廠家的經濟承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設計出一個能滿足甲方生產使用要求、工程造價合理、經濟節(jié)能實用的方案。一、無塵車間的特點1、無塵車間的潔凈度本工程主要生產LED產品，大部分房間要求萬級，光刻間及光晶體間要求千級。復合LED生產廠房的基本要求。2、室內空氣參數(shù)要求（1）溫濕度要求：溫度一般為24+2，相對濕度為55+5。（2）新風量大。由于這類車間內，人員比較多，可以根據以下數(shù)值應取下列的最大值：非單向流潔凈室總送風量的10-30；補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量；保證室內每人每小時的新鮮空氣量40m3/h。（3）送風量大。為了滿足無塵車間內的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風量就需要3002.530=22500m3/h的送風量（換氣次數(shù)，是25次/h）；如果是十萬級，送風量就需要3002.520=15000m3/h的送風量（換氣次數(shù)，是15次/h）。二、空調方案的選用比較1、組合式空氣處理機組冷水機組高效送風口這是一個最傳統(tǒng)的凈化空調系統(tǒng)的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段（或中間段）、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。優(yōu)點：A空氣處理效果好，因空氣經過集中處理，在送風過程中被污染程度較低。送風的溫度、濕度的控制比較精確；B比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房；C空調冷熱源可與廠房普通空調系統(tǒng)合用或獨立冷熱源；D維修頻率較低；E車間的噪音低。缺點：A需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調機房，如25000m3/h的組合式空氣處理機組，常用外形尺寸為645018502250mm左右。對于舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20-30的機房的；B造價高。特點：A.建議新風經過集中處理后再與回風混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負擔；C這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。2、水冷柜機增壓風柜高效送風口與第一種方案比較，這是相對比較簡單的空調方案。它可以大大地縮小機房的面積，水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房內或凈化車間內，增壓風柜也可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。優(yōu)點：A空氣處理效果較好的，處理過后的空氣在送風過程中被污染程度低。送風的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組（增壓風柜）里進行控制；B布置靈活。自帶冷源；C大小廠房、新舊廠房都適用；D維修頻率較低；E車間噪音低。缺點：A需要小面積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置；B空調機組與空調處理機組要集中布置；C造價較低。特點：這種方案可以是一次回風也可以是二次回風，具體根據車間的大小情況而定；這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。3、分體空調柜機+FFU送風口這是最簡易的一個空調方案。是直接將分體空調柜機布置于車間內，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口（帶初效過濾網）；FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間。優(yōu)點：A不需要占用機房面積，布置很靈活的；B可以滿足空氣的潔凈度；C造價最低。如300的無塵車間初投資約需要40萬；D送風均勻度好。缺點：A溫濕度控制較差；B可以滿足空氣的潔凈度；CFFU的維修頻率高?？偨Y對于常規(guī)電子廠房潔凈室空調的設計，應根據電子廠房的生產工藝要求及甲方的經濟條件來選用哪種空調設計方案，以滿足生產工藝