JJG77-2006干涉顯微鏡.pdf

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程 JJG772006 干 涉 顯 微 鏡 InterferenceMicroscopes 2006-05-23發(fā)布 2006-11-23實(shí)施 國(guó) 家 質(zhì) 量 監(jiān) 督 檢 驗(yàn) 檢 疫 總 局 發(fā) 布 JJG772006 干 涉 顯 微 鏡 檢 定 規(guī) 程 JJG772006 Verification Regulationof 代替JJG771983 Interference Microscopes 本 規(guī) 程 經(jīng) 國(guó) 家 質(zhì) 量 監(jiān) 督 檢 驗(yàn) 檢 疫 總 局 年 月 日 批 準(zhǔn) 并 自 2006 5 23 , 年 月 日起施行2006 11 23 。 歸口單位:全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì) 起草單位:中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院 本規(guī)程委托全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋 JJG772006本規(guī)程主要起草人: 杜 華 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院 ( ) 高思田 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院 ( ) 參加起草人: 趙有祥 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院 ( ) 朱小平 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院 ( ) JJG772006 目 錄 范圍1 (1) 引用文獻(xiàn)2 (1) 概述3 (1) 計(jì)量性能要求4 (3) 干涉濾光片的特性4.1 (3) 測(cè)微鼓輪微分筒刻線錐面的內(nèi)棱邊與固定套管刻線面之間的距離4.2 (3) 測(cè)微目鏡十字線分劃板的指標(biāo)線與毫米分劃板刻線的相對(duì)位置4.3 (3) 測(cè)微目鏡測(cè)微鼓輪刻線與毫米分劃板刻線的相符性4.4 (3) 測(cè)微目鏡的示值誤差4.5 (3) 光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量4.6 (3) 工作臺(tái)與主光軸的相互位置4.7 (4) 輔助成像裝置的特性4.8 (4) 儀器的示值誤差4.9 (4) 通用技術(shù)要求5 (4) 計(jì)量器具控制6 (5) 檢定條件6.1 (5) 檢定項(xiàng)目6.2 (6) 檢定方法6.3 (6) 檢定結(jié)果的處理6.4 (10) 檢定周期6.5 (10)附錄 干涉顯微鏡示值誤差檢定結(jié)果的不確定度評(píng)定 A (11)附錄 檢定證書(shū)和檢定結(jié)果通知書(shū) 內(nèi)頁(yè) 格式 B ( ) (16) JJG772006 干涉顯微鏡檢定規(guī)程1 范圍 本規(guī)程適用于雙光束干涉顯微鏡的首次檢定 后續(xù)檢定和使用中檢驗(yàn) 、 。2 引用文獻(xiàn) 本規(guī)程引用下列文獻(xiàn) : 通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義 JJF10011998 測(cè)量不確定度評(píng)定與表示 JJF10591999 測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定技術(shù)規(guī)范 JJF10942002 干涉濾光片檢定規(guī)程 JJG8121993 使用本規(guī)程時(shí) 應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本 , 。3 概述 干涉顯微鏡由干涉和顯微系統(tǒng)組成 利用光波干涉原理來(lái)測(cè)量表面粗糙度參數(shù) 它 , 。是以范圍為 的光波波長(zhǎng)為標(biāo)尺 將被測(cè)表面與標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)鏡面相比較 (530600)nm , ,再經(jīng)顯微系統(tǒng)高倍放大后 來(lái)觀察和測(cè)量被測(cè)表面的微觀幾何形狀特性 雙光束干涉顯 , 。微鏡主要用于表面粗糙度評(píng)定參數(shù) Rz的測(cè)量 該儀器可用來(lái)測(cè)量精密加工零件的表面 。如平面 圓柱面等外表面 也可用來(lái)測(cè)量零件表面刻線 鍍層等深度 目前常用的儀器 、 , 、 。外形如圖 和圖 所示 1 2 。 調(diào)焦鼓輪 遮光屏 干涉帶寬度 方向調(diào)節(jié)螺釘 參考鏡微調(diào)螺絲 1 ;2 ;3 、 ;4 ; 工作臺(tái)縱橫向移動(dòng)千分尺 工作臺(tái) 光源 可換濾光片 5,6