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光纖端面干涉儀示值誤差測量結(jié)果不確定度評定A.1測量方法光纖端面干涉儀的示值誤差是用標(biāo)準(zhǔn)光纖高度塊進(jìn)行校準(zhǔn)的,根據(jù)實際測量應(yīng)用范圍和條件的不同,設(shè)定好相關(guān)的測量程序和條件,并按要求進(jìn)行必要的儀器預(yù)校準(zhǔn)后再進(jìn)行測量。本次評定以分辨力0.1nm的光纖端面干涉儀,測量158.6μm的標(biāo)準(zhǔn)臺階塊為例。A.2測量模型δ=-h(A.1)式中:校準(zhǔn)點的儀器示值的平均值,μm;h標(biāo)準(zhǔn)臺階的實際值,μm;δ校準(zhǔn)點的示值誤差,μm。A.3方差和靈敏系數(shù)因Δ=-h,所以靈敏系數(shù)ci:,、分別為和h的標(biāo)準(zhǔn)不確定度,因和相互獨立,則合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度uc為:=式中:—儀器示值引入的不確定度分量;—標(biāo)準(zhǔn)光纖高度塊引入的不確定度分量。A.4標(biāo)準(zhǔn)不確定度一覽表
表A.1不確定度分量一覽表標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量不確定度來源標(biāo)準(zhǔn)不確定度值nmcinm儀器示值0.3310.33標(biāo)準(zhǔn)光纖高度塊10-1-10A.5標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量A5.1儀器示值引起的不確定度分量A.5.1.1重復(fù)測量引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量光纖端面干涉儀的測量重復(fù)性引入的不確定度分量可以通過10次重復(fù)連續(xù)測量得到,測量結(jié)果為165.9nm、163.7nm、165.3nm、164.8nm、162.9nm、166.4nm、163.9nm、163.3nm、163.6nm、164.4nm,計算單次實驗標(biāo)準(zhǔn)偏差為=1.16nm實際測量時采用10次重復(fù)測量結(jié)果的平均值,則μA.5.1.2光纖端面干涉儀分辨力引入的不確定度分量光纖端面干涉儀分辨力為0.1nm,其量化誤差引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量為均勻分布,則μ和取其中較大者,故=0.33nmA.5.2標(biāo)準(zhǔn)光纖高度塊引起的不確定度分量標(biāo)準(zhǔn)臺階樣塊引入的不確定度主要來源于標(biāo)準(zhǔn)臺階樣塊的高度測量結(jié)果不確定度,可根據(jù)校準(zhǔn)證書給出的擴(kuò)展不確定度來計算。由標(biāo)準(zhǔn)光纖高度塊的校準(zhǔn)證書測量結(jié)果的擴(kuò)展不確定度U=10nm,k=2,則=10/2=5nmA.6合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度==0.332+=5.
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