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一、名一、名詞解釋(本大題共5題每題4分,共20分)1.受主能級(jí):通過(guò)受主摻雜在半導(dǎo)體的禁帶中形成缺陷能級(jí)。正常情況下,此能級(jí)為空穴所占據(jù),這個(gè)被受主雜質(zhì)束縛的空穴的能量狀態(tài)稱為受主能級(jí)。2.直接復(fù)合:導(dǎo)帶中的電子越過(guò)禁帶直接躍遷到價(jià)帶,與價(jià)帶中的空穴復(fù)合,這樣的復(fù)合過(guò)程稱為直接復(fù)合。3.空穴:當(dāng)滿帶頂附近產(chǎn)生P0個(gè)空態(tài)時(shí),其余大量電子在外電場(chǎng)作用下所產(chǎn)生的電流,可等效為P0個(gè)具有正電荷q和正有效質(zhì)量mp,速度為v(k)的準(zhǔn)經(jīng)典粒子所產(chǎn)生的電流,這樣的準(zhǔn)經(jīng)典粒子稱為空穴。4.過(guò)剩載流子:在光注入、電注入、高能輻射注入等條件下,半導(dǎo)體材料中會(huì)產(chǎn)生高于熱平衡時(shí)濃度的電子和空穴,超過(guò)熱平衡濃度的電子△n=n-n0和空穴△p=p-p0稱為過(guò)剩載流子。5.費(fèi)米能級(jí)與化學(xué)勢(shì):費(fèi)米能級(jí)表示等系統(tǒng)處于熱平衡狀態(tài),也不對(duì)外做功的情況下,系統(tǒng)中增加一個(gè)電子所引起系統(tǒng)自由能的變化,等于系統(tǒng)的化學(xué)勢(shì)。處于熱平衡的系統(tǒng)有統(tǒng)一的化學(xué)勢(shì)。這時(shí)的化學(xué)勢(shì)等于系統(tǒng)的費(fèi)米能級(jí)。費(fèi)米能級(jí)和溫度、材料的導(dǎo)電類型雜質(zhì)含量、能級(jí)零點(diǎn)選取有關(guān)。費(fèi)米能級(jí)標(biāo)志了電子填充能級(jí)水平。費(fèi)米能級(jí)位置越高,說(shuō)明較多的能量較高的量子態(tài)上有電子。隨之溫度升高,電子占據(jù)能量小于費(fèi)米能級(jí)的量子態(tài)的幾率下降,而電子占據(jù)能量大于費(fèi)米能級(jí)的量子態(tài)的幾率增大。二、選擇題(本大題共5題每題3分,共15分)1.對(duì)于大注入下的直接輻射復(fù)合,非平衡載流子的壽命與(D)A.平衡載流子濃度成正比B.非平衡載流子濃度成正比C.平衡載流子濃度成反比D.非平衡載流子濃度成反比2.有3個(gè)硅樣品,其摻雜情況分別是:含鋁1×10-15cm-3乙.含硼和磷各1×10-17cm-3丙.含鎵1×10-17cm-3室溫下,這些樣品的電阻率由高到低的順序是(C)A.甲乙丙B.甲丙乙C.乙甲丙D.丙甲乙3.有效復(fù)合中心的能級(jí)必靠近(A)A.禁帶中部B.導(dǎo)帶C.價(jià)帶D.費(fèi)米能級(jí)4.當(dāng)一種n型半導(dǎo)體的少子壽命由直接輻射復(fù)合決定時(shí),其小注入下的少子壽命正比于(C).A.1/n0B.1/△nC.1/p0D.1/△p5.以下4種半導(dǎo)體中最適合于制作高溫器件的是(D).A.SiB.GeC.GaAsD.GaN三、填空:(每空2分,共20分)(1)半導(dǎo)體的晶格結(jié)構(gòu)式多種多樣的,常見(jiàn)的Ge和Si材料,其原子均通過(guò)共價(jià)鍵四面體相互結(jié)合,屬于金剛石結(jié)構(gòu);與Ge和Si晶格結(jié)構(gòu)類似,兩種不同元素形成的化合物半導(dǎo)體通過(guò)共價(jià)鍵四面體還可以形成閃鋅礦和纖鋅礦等兩種晶格結(jié)構(gòu)。(2)如果電子從價(jià)帶頂躍遷到導(dǎo)帶底時(shí)波矢k不發(fā)生變化,則具有這種能帶結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體稱為直接禁帶半導(dǎo)體,否則稱為間接禁帶半導(dǎo)體,那么按這種原則分類,GaAs屬于直接禁帶半導(dǎo)體。(3)半導(dǎo)體載流子在輸運(yùn)過(guò)程中,會(huì)受到各種散射機(jī)構(gòu)的散射,主要散射機(jī)構(gòu)有晶格振動(dòng)散射、電離雜質(zhì)散射、中性雜質(zhì)散射、位錯(cuò)散射、載流子間的散射和等價(jià)能谷間散射。(4)半導(dǎo)體中的載流子復(fù)合可以有很多途徑,主要有兩大類:帶間電子-空穴直接復(fù)合和通過(guò)禁帶內(nèi)的復(fù)合中心進(jìn)行復(fù)合。(5)反向偏置pn結(jié),當(dāng)電壓升高到某值時(shí),反向電流急劇增加,這種現(xiàn)象稱為pn結(jié)擊穿,主要的擊穿機(jī)理有兩種:雪崩擊穿和隧道擊穿。三、簡(jiǎn)答題(15分)1)當(dāng)電子和空穴的濃度是空間和時(shí)間的函數(shù)時(shí),它們隨時(shí)間的變化率將由載流子的擴(kuò)散、漂移及其產(chǎn)生和復(fù)合所決定,由電子數(shù)、空穴數(shù)的守恒原則,試寫出載流子隨時(shí)間的凈變化率()和()并加以說(shuō)明。(6分)解:載流子隨時(shí)間的凈變化率()和()為:右邊右邊第一項(xiàng)為擴(kuò)散項(xiàng),第二項(xiàng)為漂移項(xiàng),第三項(xiàng)為產(chǎn)生,第四項(xiàng)為復(fù)合。注意為電場(chǎng),是幾何空間坐標(biāo)的函數(shù),該式為連續(xù)性方程.2)請(qǐng)描述小注入條件正向偏置和反向偏置下的pn結(jié)中載流子的運(yùn)動(dòng)情況,寫出其電流密度方程,請(qǐng)解釋為什么pn結(jié)具有單向?qū)щ娦???分)解:在p-n結(jié)兩端加正向偏壓VF,VF基本全落在勢(shì)壘區(qū)上,由于正向偏壓產(chǎn)生的電場(chǎng)與內(nèi)建電場(chǎng)方向相反,勢(shì)壘區(qū)的電場(chǎng)強(qiáng)度減弱,勢(shì)壘高度由平衡時(shí)的qVD下降到q(VD-VF),耗盡區(qū)變窄,因而擴(kuò)散電流大于漂移電流,產(chǎn)生正向注入。過(guò)剩電子在p區(qū)邊界的結(jié)累,使-xTp處的電子濃度由熱平衡值n0p上升并向p區(qū)內(nèi)部擴(kuò)散,經(jīng)過(guò)一個(gè)擴(kuò)散長(zhǎng)度Ln后,又基本恢復(fù)到n0p。在-xTp處電子濃度為n(-xTp),同理,空穴向n區(qū)注入時(shí),在n區(qū)一側(cè)xTn處的空穴濃度上升到p(xTn),經(jīng)Lp后,恢復(fù)到p0n。反向電壓VR在勢(shì)壘區(qū)產(chǎn)生的電場(chǎng)與內(nèi)建電場(chǎng)方向一致,因而勢(shì)壘區(qū)的電場(chǎng)增強(qiáng),空間電荷數(shù)量增加,勢(shì)壘區(qū)變寬,勢(shì)壘高度由qVD增高到q(VD+VR).勢(shì)壘區(qū)電場(chǎng)增強(qiáng)增強(qiáng),破壞了原來(lái)載流子擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)和漂移運(yùn)動(dòng)的平衡,漂移運(yùn)動(dòng)大于擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)。這時(shí),在區(qū)邊界處的空穴被勢(shì)壘區(qū)電場(chǎng)逐向p區(qū),p區(qū)邊界的電子被逐向n區(qū)。當(dāng)這些少數(shù)載流子被電場(chǎng)驅(qū)走后,內(nèi)部少子就來(lái)補(bǔ)充,形成了反向偏壓下的空穴擴(kuò)散電流和電子擴(kuò)散電流。(5分)電流密度方程:(2分)正向偏置時(shí)隨偏置電壓指數(shù)上升,反向偏壓時(shí),反向擴(kuò)散電流與V無(wú)關(guān),它正比于少子濃度,數(shù)值是很小的,因此可以認(rèn)為是單向?qū)щ?。?分)四、計(jì)算題(共3小題,每題10分,共30分)1.已知室溫時(shí)鍺的本征載流子濃度,均勻摻雜百萬(wàn)分之一的硼原子后,又均勻摻入1.442×1017cm-3的砷,計(jì)算摻雜鍺室溫時(shí)的多子濃度和少子濃度以及EF的位置。(10解:硼的濃度:NA=4.42×1016cm-3。有效施主雜質(zhì)濃度為:ND=(14.42-4.42)1016cm-3=10室溫時(shí)下雜質(zhì)全部電離,由于有效雜質(zhì)濃度遠(yuǎn)大于本征載流子濃度2.4×1013cm多子濃度n0=ND=1017cm-3少子濃度p0=ni2/n0==(2.41013)2/1017=5.76109(cm費(fèi)米能級(jí):EF=EC+k0Tln(ND/NC)=EC+0.026ln[1017/(1.11019)]=EC-0.122(eV)2、摻有1.1×1015cm-3硼原子和9×1014cm-3磷原子的Si樣品,試計(jì)算室溫時(shí)多數(shù)載流子和少數(shù)載流子濃度及樣品的電阻率。(10分)解:對(duì)于Si:ND=9×1014cm-3;NA=1.1×1015cm-3;T=300K時(shí)ni=2.4×1013cm多子濃度:;少子濃度:3.由電阻率為4的p型Ge和0.4的n型Ge半導(dǎo)體組成一個(gè)p-n結(jié),計(jì)算在室溫(300K)時(shí)內(nèi)建電勢(shì)VD和勢(shì)壘寬度xD。已知在上述電阻率下,p區(qū)的空穴遷移率n區(qū)的電子遷移率,Ge的本征載流子濃度,真空介電常數(shù)(10分)解:(2分)(2分)(3分)(3分)一、名詞解釋一、名詞解釋初基原胞:又稱初基晶胞或固體物理學(xué)原胞,是布拉非格子中的最小周期單元,也是體積最小的晶胞。直接帶隙半導(dǎo)體:導(dǎo)帶底和價(jià)帶頂在同一波矢位置的半導(dǎo)體。格波態(tài)密度:確定體積V的晶體,在ω附近單位頻率間隔內(nèi)的格波總數(shù)。雜質(zhì)補(bǔ)償半導(dǎo)體:同時(shí)含有施主雜質(zhì)和受主雜質(zhì),施主和受主在導(dǎo)電性能上有互相抵消的作用半導(dǎo)體,通常稱為雜質(zhì)補(bǔ)償半導(dǎo)體。遷移率:載流子在單位電場(chǎng)作用下的平均漂移速度。內(nèi)建電勢(shì)差:N型半導(dǎo)體和P型半導(dǎo)體接觸形成PN節(jié)時(shí),N區(qū)導(dǎo)帶內(nèi)的電子在試圖進(jìn)入P區(qū)導(dǎo)帶時(shí)遇到一個(gè)勢(shì)壘,這個(gè)勢(shì)壘稱為內(nèi)建電勢(shì)差。單電子近似:假設(shè)每個(gè)電子是在周期排列且固定不動(dòng)的原子核勢(shì)場(chǎng)及其它電子的平均勢(shì)場(chǎng)中運(yùn)動(dòng),用其研究固態(tài)晶體中電子的能量狀態(tài)。電子共有化運(yùn)動(dòng):原子組成晶體以后,由于電子殼層的交疊,電子不再完全局限在某一個(gè)原子上,可以由一個(gè)原子轉(zhuǎn)移到相臨的原子上去,電子在整個(gè)晶體上運(yùn)動(dòng),該運(yùn)動(dòng)叫電子的共有化運(yùn)動(dòng)。替位式雜質(zhì):雜質(zhì)原子取代晶格原子而位于在晶格點(diǎn)處,常稱為替位雜質(zhì)。非平衡載流子的壽命:非平衡載流子的濃度減小到原值的1/e所經(jīng)歷的時(shí)間。陷阱效應(yīng):當(dāng)半導(dǎo)體處于非平衡狀態(tài)時(shí),雜質(zhì)能級(jí)上的發(fā)生改變。如果電子增加,說(shuō)明能級(jí)具有收容非平衡電子的作用;若電子減少,說(shuō)明能級(jí)具有收容空穴的作用,雜質(zhì)能級(jí)的這種積累非平衡載流子的作用稱陷阱效應(yīng)。雜質(zhì)的補(bǔ)償:假如在半導(dǎo)體中,同時(shí)存在著受主和施主雜質(zhì),兩者之間相互抵消的作用。二、填空題:(1×22=22分)1、在簡(jiǎn)并半導(dǎo)體中,由于電子的共有化運(yùn)動(dòng)而導(dǎo)致電子不再屬于某一個(gè)原子而是在晶體中作共有化運(yùn)動(dòng),分裂的每個(gè)能帶稱為允帶,其相互之間因沒(méi)有能級(jí)稱為禁帶。2、雜質(zhì)原子進(jìn)入半導(dǎo)基體(如硅、鍺等)后,可能以兩種方式存在,一種是雜質(zhì)原子位于晶格原子間的位置,常稱為間隙式雜質(zhì);另一種方式是雜質(zhì)原子取代晶格原子而位于晶格點(diǎn)處,稱為替位式雜質(zhì)。3、位錯(cuò)是半導(dǎo)體的一種缺陷,它對(duì)半導(dǎo)體材料和器件的性能會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重的影響。在棱位錯(cuò)的周圍會(huì)導(dǎo)致原子間的壓縮和伸張,晶格壓縮區(qū)禁帶寬度變寬;伸張區(qū)禁帶寬度變窄。4、有效質(zhì)量概括的是粒子在晶體內(nèi)部?jī)?nèi)力作用下的質(zhì)量,電子在能帶頂?shù)挠行з|(zhì)量為負(fù)值,空穴在能帶頂?shù)挠行з|(zhì)量為正值。5、根據(jù)摻雜原子在晶格中的位置不同,可分為和雜質(zhì)。6、載流子速度隨外加電場(chǎng)強(qiáng)度線性增加,總速度包括漂移運(yùn)動(dòng)速度和隨機(jī)熱運(yùn)動(dòng)速度兩者之和。7、載流子的復(fù)合主要包括:直接帶間復(fù)合和帶隙復(fù)合兩大類。8、內(nèi)建電勢(shì)差的大小主要取決于:熱電壓、施主雜質(zhì)濃度和受主雜質(zhì)濃度三大類。9、空間電荷區(qū)的寬度:隨雜質(zhì)的濃度增加而變窄,隨反偏電壓的增大而變寬。10、形成PN結(jié)反向擊穿的機(jī)制主要有:雪崩擊穿和齊納擊穿兩種。11、在半導(dǎo)體中,電流主要是由載流子的漂移、擴(kuò)散兩種運(yùn)動(dòng)形式的構(gòu)成。12、對(duì)于一定的半導(dǎo)體材料,電子和孔穴的濃度乘積00np只決定于溫度,和費(fèi)米能級(jí)以及雜質(zhì)無(wú)關(guān)。13、對(duì)于n型半導(dǎo)體,當(dāng)?shù)蜏厝蹼婋x時(shí),多數(shù)載流子電子的濃度n0在數(shù)值上等于電離的施主濃度;在強(qiáng)電離時(shí),電子的濃度n0為施主的摻雜濃度。14、對(duì)于基體材料一定的n型半導(dǎo)體,費(fèi)米能級(jí)將隨著摻雜濃度的增加向上偏移,隨溫度升高向下偏移。15、重?fù)诫s的簡(jiǎn)并半導(dǎo)體,雜質(zhì)的濃度很高,雜質(zhì)原子相互間很靠近,被雜質(zhì)原子束縛的電子波函數(shù)顯著重疊,雜質(zhì)電子就可能在雜質(zhì)原子之間產(chǎn)生共有化運(yùn)動(dòng),從而使孤立的雜質(zhì)能級(jí)擴(kuò)展為能帶,通常稱為雜質(zhì)的能帶。16、載流子在復(fù)合的過(guò)程中,一定要釋放多余的能量,其能量的釋放方式主要包括:發(fā)射光子、發(fā)射聲子和俄歇復(fù)合。17、愛(ài)因斯坦從理論上找出擴(kuò)散系數(shù)和遷移率的定量關(guān)系,其中遷移率是反映載流子在電場(chǎng)濃度下運(yùn)動(dòng)的難易程度,擴(kuò)散系數(shù)反映存在時(shí)濃度梯度載流子運(yùn)動(dòng)的難易程度。三、簡(jiǎn)答、簡(jiǎn)單計(jì)算題:1、一簡(jiǎn)單立方的晶格常數(shù)是5.63?,請(qǐng)計(jì)算(111)的面間距和面密度?22、請(qǐng)簡(jiǎn)述費(fèi)米-狄拉克函數(shù)和玻爾茲曼分布函數(shù)實(shí)用條件和相互關(guān)系?答:費(fèi)米-狄拉克函數(shù)實(shí)用的條件是:滿足泡利不相容原理玻爾茲曼分布函數(shù):當(dāng)能級(jí)遠(yuǎn)離費(fèi)米能級(jí)時(shí),能級(jí)被電子占據(jù)的幾率很小,不在考慮泡利不相容原理。兩者的關(guān)系是:分布函數(shù)的分母是否去掉1。3、為什么隨電場(chǎng)的增加,載流子漂移速度會(huì)達(dá)到飽和?答:載流子漂移速度是遷移率和電場(chǎng)的函數(shù),當(dāng)電場(chǎng)增加的足夠大載流子從低能谷躍遷到高能谷,高能谷中的有效質(zhì)量增加,遷移率下降。當(dāng)電場(chǎng)增加一定程度后,遷移率下降速度和電場(chǎng)的增加速度相等。載流子的速度達(dá)到飽和狀態(tài)。4、外加作用力之后,為什么過(guò)剩載流子密度不能隨時(shí)間持續(xù)增加?答:當(dāng)半導(dǎo)體在外加作用力下產(chǎn)生過(guò)剩載流子,載流子存在濃度梯度,有擴(kuò)散運(yùn),載流子邊擴(kuò)散邊復(fù)合,故載流子的不能隨時(shí)間可持續(xù)增加。5、什么是歐姆接觸,制作歐姆接觸最常用的方法是什么?答:當(dāng)金屬和半導(dǎo)體接觸,不產(chǎn)生明顯的附加阻抗,而且不會(huì)使半導(dǎo)體內(nèi)部的平衡載流子濃度發(fā)生顯著的改變,叫歐姆接觸。制作歐姆接觸最常用的方法是用重?fù)诫s的半導(dǎo)體與金屬接觸,常常在N型或P型半導(dǎo)體上制作一層重?fù)诫s區(qū)后再與金屬接觸,對(duì)金屬的選擇比較自由6、為什么PN結(jié)空間電荷區(qū)內(nèi)會(huì)有電場(chǎng),什么位置的電場(chǎng)最大?答:當(dāng)P型半導(dǎo)體和N半導(dǎo)體接觸后:N型區(qū)中多子電子向P型區(qū)中擴(kuò)散,形成帶正電荷的空間區(qū);P型區(qū)中的多子空穴向N型區(qū)中擴(kuò)散,形成了帶負(fù)電的空間電荷區(qū),于是形成了空間電場(chǎng)。在P型區(qū)和N型區(qū)的界面處,電場(chǎng)的強(qiáng)度最大。四、問(wèn)答題:(9×2=18分)1、在半導(dǎo)體材料中,費(fèi)米能級(jí)的位置受那些因素的影響,變化趨勢(shì)怎樣?答:⑴在半導(dǎo)體材料中,費(fèi)米能級(jí)的位置受摻雜濃度和溫度兩種因素的影響;⑵對(duì)于N型半導(dǎo)體,費(fèi)米能級(jí)的位置隨摻雜濃度向上偏移,對(duì)于P型半導(dǎo)體,費(fèi)米能級(jí)的位置隨摻雜濃度向下偏移;⑶無(wú)論是N型還是P型半導(dǎo)體,載流子的濃度都會(huì)隨溫度的增加向本征費(fèi)米能級(jí)移動(dòng)。2、PN結(jié)電容主要包括那兩大類,各自的影響因素有那些,變化趨勢(shì)何如?答:⑴PN結(jié)電容主要包括兩大類:勢(shì)壘電容和擴(kuò)散電容⑵勢(shì)壘電容的主要影響因素有:施主、受主的
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